專利名稱：一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法。
背景技術(shù)：
目前，在工廠實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)后，其產(chǎn)品的生產(chǎn)周期均是由人工控制，即當(dāng)發(fā)現(xiàn)某lot的準(zhǔn)時(shí)交貨時(shí)間有問題時(shí)，只能通過人工方式改變該lot的優(yōu)先權(quán)，以使得該lot能夠準(zhǔn)時(shí)交貨；但由于是人工控制，而且都是當(dāng)lot的交貨時(shí)間可能滯后才對(duì)lot的優(yōu)先級(jí)進(jìn)行調(diào)控，很容易由于調(diào)控不當(dāng)或時(shí)間緊迫，需要付出成倍的人力和產(chǎn)能才能準(zhǔn)時(shí)交貨，甚至有些lot的生產(chǎn)周期失控根本就無法趕上交貨時(shí)間，從而嚴(yán)重影響準(zhǔn)時(shí)交貨率。 圖I是本發(fā)明背景技術(shù)中由于生產(chǎn)周期失控造成不良影響的示意圖；如圖I所示，當(dāng)客戶將大量訂單交付給工廠后，由于線上產(chǎn)品多且復(fù)雜，人工調(diào)控不當(dāng)易造成生產(chǎn)周期的失控，進(jìn)而影響產(chǎn)品的準(zhǔn)時(shí)交貨率，最終造成客戶滿意度的降低而喪失訂單，使得工廠蒙受巨大的損失；如某一 lot的優(yōu)先級(jí)是4，但由于在某個(gè)站點(diǎn)進(jìn)程(process)問題被耽擱(hold)兩天,當(dāng)恢復(fù)進(jìn)程(release)后沒有被注意到,勢必會(huì)影響該lot的準(zhǔn)時(shí)交貨率。圖2是本發(fā)明背景技術(shù)中采用人工控制的產(chǎn)品生產(chǎn)周期的正態(tài)分布圖，縱軸表示lot數(shù)量比例，橫軸表示生產(chǎn)周期(單位為天/光罩層)；如圖2所示，方框a中的曲線表示生產(chǎn)周期超速部分，會(huì)造成產(chǎn)能的浪費(fèi)，而方框b中的曲線則表示生產(chǎn)周期較差，即生產(chǎn)周期失控部分，失控的異常值會(huì)大大影響產(chǎn)品的準(zhǔn)時(shí)交貨率；所以，要想控制生產(chǎn)周期的失控及產(chǎn)能的浪費(fèi)，要將方框a和b中的曲線想中間部分收斂才行。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述存在的問題，本發(fā)明揭示了一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法(A effective Fab cycle time control method),主要是通過自動(dòng)設(shè)定并及時(shí)更新每個(gè)lot的緊迫系數(shù)，自動(dòng)調(diào)控站點(diǎn)上每個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)。
本發(fā)明的目的是通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
本發(fā)明一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，
于一站點(diǎn)上，對(duì)已送達(dá)的所有l(wèi)ot進(jìn)行組別劃分；
確認(rèn)每個(gè)lot的交貨期；
計(jì)算每個(gè)lot的緊迫性系數(shù)；
根據(jù)所述緊迫性系數(shù)重新賦予上述每個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)；
根據(jù)優(yōu)先級(jí)依次對(duì)每個(gè)lot進(jìn)行該站點(diǎn)的制程工藝。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，進(jìn)行所述組別劃分時(shí)去除緊急批次的lot和異常的lot，緊急批次的lot先于設(shè)定有優(yōu)先級(jí)的lot進(jìn)行該站點(diǎn)的制程工藝。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，所述異常的lot包括緩存批次lot，有劃痕的lot和刻意減緩進(jìn)度的lot。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，所述每個(gè)lot的交貨期采用公式D=Di+Z+N進(jìn)行確定，D為lot的交貨期，D1為lot的下線日期，Z為lot承諾的生產(chǎn)周期，N為緩存天數(shù)。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，采用公式C= (D-D2)/ (S-X)計(jì)算每個(gè)lot的緊迫性系數(shù)，C為lot的緊迫性系數(shù)，D為lot的交貨期，D2為當(dāng)前日期，S為lot的制程總站點(diǎn)數(shù)，X為lot已完成站點(diǎn)數(shù)。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，lot的優(yōu)先級(jí)級(jí)別數(shù)與該lot的緊迫性系數(shù)成反比。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，每隔一定時(shí)間后，重復(fù)上述步驟以重新確定該站點(diǎn)送達(dá)的每個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)。 上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，每隔12個(gè)小時(shí)，重復(fù)重新確定該站點(diǎn)送達(dá)的每個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)一次。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，根據(jù)所述緊迫性系數(shù)可賦予上述lot為緊急批次。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其中，根據(jù)所述緊迫性系數(shù)賦予上述lot為緊急批次時(shí)，交貨期小于或等于當(dāng)前日期的值。上述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，通過如計(jì)算機(jī)等自動(dòng)控制裝置實(shí)現(xiàn)每個(gè)站點(diǎn)上各個(gè)lot優(yōu)先級(jí)的重新賦予及更新，以實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)周期自動(dòng)優(yōu)化處理的目的。綜上所述，本發(fā)明一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，通過采用緊迫性系數(shù)對(duì)已送達(dá)至某一站點(diǎn)的所有l(wèi)ot重新賦予優(yōu)先級(jí)，并根據(jù)該重新賦予的優(yōu)先級(jí)依次對(duì)每個(gè)lot進(jìn)行該站點(diǎn)的制程工藝，在提高產(chǎn)能效率的基礎(chǔ)，有效控制產(chǎn)品生產(chǎn)周期的失控，進(jìn)而提升產(chǎn)品的準(zhǔn)時(shí)交貨率。


圖I是本發(fā)明背景技術(shù)中由于生產(chǎn)周期失控造成不良影響的示意 圖2是本發(fā)明背景技術(shù)中采用人工控制的產(chǎn)品生產(chǎn)周期的正態(tài)分布圖，縱軸表示lot數(shù)量比例，橫軸表示生產(chǎn)周期(單位為天/光罩層)；
圖3是本發(fā)明有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法的流程示意 圖4是本發(fā)明有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法中的優(yōu)化優(yōu)先級(jí)的表格；圖5是經(jīng)過本發(fā)明有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法控制后的生產(chǎn)周期正態(tài)分布圖，縱軸表示lot數(shù)量比例，橫軸表示生產(chǎn)周期(單位為天/光罩層)。
具體實(shí)施例方式 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明
如圖3-4所示，本發(fā)明一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的各個(gè)過程
首先，在一工藝站點(diǎn)上，對(duì)已經(jīng)送達(dá)至該站點(diǎn)的所有批次的產(chǎn)品(lot)進(jìn)行組別劃分，如去除已承諾客戶的緊急批次(Bullet/Hot)的lot和異常的lot，且該緊急批次的lot的派工優(yōu)先權(quán)先于設(shè)定有優(yōu)先級(jí)的lot ;其中，異常的lot包括如緩存批次(Future Bank)lot、有劃痕(Scrap)的lot和刻意減緩進(jìn)度(Slow Down)的lot等。其次，根據(jù)lot的下線日期D1、承諾的生產(chǎn)周期Z和該lot的緩存(Bank)天數(shù)N，并利用公式D=Di+Z+N，來確定每該站點(diǎn)此時(shí)每個(gè)lot的交貨期D的具體日期。然后，根據(jù)確定的交貨期D的值，利用公式C= (D-D2)/ (S-X)來計(jì)算每個(gè)lot的緊迫性系數(shù)(Critical Ratio), C為lot的緊迫性系數(shù)，D為lot的交貨期，D2為當(dāng)前日期，S為lot的制程總站點(diǎn)數(shù)(工藝總Stage數(shù)目)，X為lot已完成站點(diǎn)數(shù)(已完成Stage數(shù)目)，且S大于等于X。之后，根據(jù)每個(gè)lot的緊迫系數(shù)對(duì)所有的lot重新進(jìn)行優(yōu)先級(jí)賦值，由于緊迫系數(shù)與優(yōu)先級(jí)成反比，即緊迫系數(shù)越小，說明該lot的交貨緊急度越高，其派工的優(yōu)先級(jí)別也就越聞。 最后，根據(jù)各個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)級(jí)別，該站點(diǎn)依次對(duì)各個(gè)lot進(jìn)行制程工藝。優(yōu)選的，每隔一段時(shí)間后，針對(duì)已到達(dá)該站點(diǎn)的所有l(wèi)ot重復(fù)進(jìn)行優(yōu)先級(jí)的賦值，如可以每隔12個(gè)小時(shí)進(jìn)行一次lot優(yōu)先級(jí)別的更新，并更加更新后的優(yōu)先級(jí)對(duì)該站點(diǎn)的lot進(jìn)行派工順序。如圖4所示，Lot ID為A000001的lot，其交貨期D為2011年10月I日，剩余站點(diǎn)數(shù)(S-X)的值為59，設(shè)定的當(dāng)前日期D2為2011年10月15日，則該lot的緊迫系數(shù)C=14/59=0. 2372881,保留小數(shù)點(diǎn)后兩位有效數(shù)據(jù)，四舍五入后,該lot的緊迫系數(shù)的值C為
0.24。重復(fù)上述針對(duì)Lot ID為A000001的lot的緊迫系數(shù)計(jì)算的步驟,得出此時(shí)該站點(diǎn)所有的lot的緊迫系數(shù)Lot ID為A000002的lot的緊迫系數(shù)為0. 56,Lot ID為A000002的lot的緊迫系數(shù)為O. 33、Lot ID為A000002的lot的緊迫系數(shù)為I. 15、Lot ID為A000002的lot的緊迫系數(shù)為O. 41和Lot ID為A000002的lot的緊迫系數(shù)為O. 81 ;根據(jù)上述的各個(gè)lot的緊迫性系數(shù)確定Lot ID為A000001的lot的優(yōu)先級(jí)為1，同樣其余l(xiāng)ot對(duì)應(yīng)緊迫系數(shù)的優(yōu)先級(jí)依次為4、2、6、3和5 ;最后，根據(jù)各個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)進(jìn)行該站點(diǎn)的派工順序。如圖5所示，采用本發(fā)明有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法后，使得產(chǎn)品的生產(chǎn)周期得到合理的優(yōu)化，使得產(chǎn)能較低的小生產(chǎn)周期和嚴(yán)重影響準(zhǔn)時(shí)交貨率的大生產(chǎn)周期的產(chǎn)品數(shù)量比值大大降低，從而在提高產(chǎn)能效率的同時(shí)，提升了產(chǎn)品的準(zhǔn)時(shí)交貨率。進(jìn)一步的，由于耽擱的時(shí)間過長，可能造成lot的交貨期已經(jīng)過期貨，造成交貨期D的值小于或等于當(dāng)前日期D2的值，此時(shí)，則設(shè)定該lot為緊急批次以先于目前所有交貨期還沒到的lot進(jìn)行工藝，以最大程度的提升產(chǎn)品的準(zhǔn)時(shí)交貨率。上述的各個(gè)工藝步驟，是基于如計(jì)算機(jī)等自動(dòng)控制設(shè)備的基礎(chǔ)上對(duì)每個(gè)站點(diǎn)上各個(gè)lot優(yōu)先級(jí)的重新賦予及更新，以實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)周期自動(dòng)優(yōu)化處理的目的。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明實(shí)施例提出一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，通過采用緊迫性系數(shù)對(duì)已送達(dá)至某一站點(diǎn)的所有l(wèi)ot重新賦予優(yōu)先級(jí)，并根據(jù)該重新賦予的優(yōu)先級(jí)依次對(duì)每個(gè)lot進(jìn)行該站點(diǎn)的制程工藝，在提高產(chǎn)能效率的基礎(chǔ)，有效控制產(chǎn)品生產(chǎn)周期的失控，進(jìn)而提升產(chǎn)品的準(zhǔn)時(shí)交貨率。通過說明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。
對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于， 于一站點(diǎn)上，對(duì)已送達(dá)的所有l(wèi)ot進(jìn)行組別劃分； 確認(rèn)每個(gè)lot的交貨期； 計(jì)算每個(gè)lot的緊迫性系數(shù)； 根據(jù)所述緊迫性系數(shù)重新賦予上述每個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)； 根據(jù)優(yōu)先級(jí)依次對(duì)每個(gè)lot進(jìn)行該站點(diǎn)的制程工藝。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，進(jìn)行所述組別劃分時(shí)去除緊急批次的lot和異常的lot，緊急批次的lot先于設(shè)定有優(yōu)先級(jí)的lot進(jìn)行該站點(diǎn)的制程工藝。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，所述異常的lot包括緩存批次lot,有劃痕的lot和刻意減緩進(jìn)度的lot。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，所述每個(gè)lot的交貨期采用公式D=Di+Z+N進(jìn)行確定，D為lot的交貨期，D1為lot的下線日期，Z為lot承諾的生產(chǎn)周期，N為緩存天數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，采用公式C= (D-D2) / (S-X)計(jì)算每個(gè)lot的緊迫性系數(shù)，C為lot的緊迫性系數(shù)，D為lot的交貨期，D2為當(dāng)前日期，S為lot的制程總站點(diǎn)數(shù)，X為lot已完成站點(diǎn)數(shù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，lot的優(yōu)先級(jí)級(jí)別數(shù)與該lot的緊迫性系數(shù)成反比。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，每隔一定時(shí)間后，重復(fù)上述步驟以重新確定該站點(diǎn)送達(dá)的每個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，每隔12個(gè)小時(shí)，重復(fù)重新確定該站點(diǎn)送達(dá)的每個(gè)lot的優(yōu)先級(jí)一次。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，根據(jù)所述緊迫性系數(shù)可賦予上述lot為緊急批次。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，其特征在于，根據(jù)所述緊迫性系數(shù)賦予上述lot為緊急批次時(shí)，交貨期小于或等于當(dāng)前日期值。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法。本發(fā)明提出一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，通過采用緊迫性系數(shù)對(duì)已送達(dá)至某一站點(diǎn)的所有l(wèi)ot重新賦予優(yōu)先級(jí)，并根據(jù)該重新賦予的優(yōu)先級(jí)依次對(duì)每個(gè)lot進(jìn)行該站點(diǎn)的制程工藝，在提高產(chǎn)能效率的基礎(chǔ)，有效控制產(chǎn)品生產(chǎn)周期的失控，進(jìn)而提升產(chǎn)品的準(zhǔn)時(shí)交貨率。
文檔編號(hào)G05B19/418GK102945030SQ20121043520
公開日2013年2月27日 申請日期2012年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月2日
發(fā)明者嚴(yán)麗輝, 趙偉, 柯陳賓 申請人:上海華力微電子有限公司