用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種腔內(nèi)長度可調(diào)節(jié)的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，通過精確的測量和反饋，以及精確的進(jìn)給制動系統(tǒng)，實現(xiàn)測試腔所包含的內(nèi)腔管和外腔管之間精確的相對位移，從而實現(xiàn)腔體的內(nèi)部長度調(diào)節(jié)，從而實現(xiàn)一個腔體測量多種光譜相隔很遠(yuǎn)、吸收強(qiáng)度不同的氣體，針對每種氣體，濃度測量范圍可覆蓋從1×10?8到2％。
【專利說明】
用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種光腔衰蕩光譜技術(shù)領(lǐng)域中的測試腔，具體涉及一種用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔。
【背景技術(shù)】
[0002]光腔衰蕩光譜技術(shù)(以下簡稱CRDS技術(shù))是一種高靈敏的吸收光譜技術(shù)，常常用作痕量氣體檢測以及鏡片反射率測量。
[0003]CRDS技術(shù)的歷史起源于1961年，當(dāng)時Jackson通過通過改進(jìn)法布里-珀羅腔增加了測量精度。1973年，Kastler測量到一束脈沖光進(jìn)入法布里-珀羅腔后，由于鏡面的反射損耗，在腔后檢測到隨指數(shù)衰減的信號。1980年，隨著鍍膜技術(shù)的革新，鏡面反射率不斷的提高，傳統(tǒng)技術(shù)已經(jīng)很難達(dá)到反射率測量的要求，Herbelin使用光學(xué)腔相移技術(shù)精確地得到了鏡面反射率。1984年，Anderson首次提出使用腔衰蕩技術(shù)測量鏡面反射率。到了 1988年，O，Keef e和Deacon首次提出了 CRDS技術(shù)，并用脈沖激光器測量了02在630nm處得吸收線，但是由于脈沖激光器線寬寬，頻率穩(wěn)定度差，測量得到的分辨率很低。1996年D.Roman ini提出基于連續(xù)激光器的CRDS技術(shù)，基于連續(xù)激光器的高重復(fù)率、高穩(wěn)定度和低噪聲，大大提高了檢測靈敏度。
[0004]根據(jù)朗伯比爾定律，當(dāng)一束強(qiáng)度為1的光穿過氣體吸收介質(zhì)時，強(qiáng)度會由于介質(zhì)的吸收而衰減，檢測到的透射光強(qiáng)度將減小，而且光程越大，強(qiáng)度減小越明顯。吸收光譜技術(shù)就是通過比較初始光強(qiáng)以及透射光強(qiáng)的變化關(guān)系從而反演出吸收介質(zhì)的濃度。光腔衰蕩光譜技術(shù)通過使用兩片高反鏡作為光學(xué)腔，將吸收光程大大增加，從而增加了探測靈敏度，光進(jìn)入光學(xué)腔后在兩個高反鏡之間來回反射，每一次反射都會由于吸收介質(zhì)的吸收而衰減，腔后的透射光將呈現(xiàn)指數(shù)衰減的形式，通過測量透射光強(qiáng)的衰減時間得到腔內(nèi)的吸收介質(zhì)濃度。從以上過程可以看出，不同于其他光譜技術(shù)，光腔衰蕩光譜技術(shù)測量的是光強(qiáng)的時間特性，而不是強(qiáng)度特性，所以光強(qiáng)度的起伏對于測量并沒有影響，從而對激光光源穩(wěn)定性的依賴有所減小。
[0005]腔長在光腔衰蕩光譜技術(shù)中具有重要作用，在設(shè)計階段需要通過調(diào)整腔長以確定適合于特定被測氣體的腔長值?，F(xiàn)有技術(shù)中大多采用固定長度的測試腔，設(shè)計完成后，針對于固定長度的測試腔其被測氣體的種類以及測量的動態(tài)范圍都會受到選定的腔長的限制，無法靈活的擴(kuò)展，而能夠調(diào)節(jié)腔長的測試腔也存在很多不足之處，尤其是其密封性能達(dá)不到使用要求，往往造成使用效果的不足。
[0006]由于上述原因，本發(fā)明人對現(xiàn)有的測試腔技術(shù)做了深入研究，以便設(shè)計出能夠解決上述問題的測試腔。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]為了克服上述問題，本發(fā)明人進(jìn)行了銳意研究，設(shè)計出一種腔內(nèi)長度可調(diào)節(jié)的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，通過精確的測量和反饋，以及精確的進(jìn)給制動系統(tǒng)，實現(xiàn)測試腔所包含的內(nèi)腔管和外腔管之間精確的相對位移，從而實現(xiàn)腔體的內(nèi)部長度調(diào)節(jié)，從而完成本實用新型。
[0008]具體來說，本實用新型的目的在于提供以下方面:
[0009](I) —種用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，該測試腔包括能夠相對滑動的內(nèi)腔管I和外腔管2。
[0010](2)根據(jù)上述(I)所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述內(nèi)腔管I和外腔管2之間保持密封。
[0011](3)根據(jù)上述(I)所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在所述內(nèi)腔管I和/或外腔管2上開設(shè)有進(jìn)氣口和/或出氣口。
[0012](4)根據(jù)上述(I)所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在內(nèi)腔管I和/或外腔管2內(nèi)設(shè)置有用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的光學(xué)元件。
[0013](5)根據(jù)上述(I)所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在所述內(nèi)腔管I和/或外腔管2外部還設(shè)置有用于控制、測量所述內(nèi)腔管I和/或外腔管2運(yùn)動的控制組件。
[0014](6)根據(jù)上述(5)所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述控制組件包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)4、驅(qū)動單元5、測量單元6、和控制單元7。
[0015](7)根據(jù)上述(1)-(6)之一所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在所述內(nèi)腔管I和外腔管2之間設(shè)置有密封單元3。
[0016](8)根據(jù)上述(7)所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述密封單元3包括第一密封圈31和第二密封圈32，所述第一密封圈31和第二密封圈32都呈環(huán)狀，其截面都為一端開口的U型；
[0017]優(yōu)選地，在第一密封圈31上靠近所述內(nèi)腔管I或外腔管2的外壁上設(shè)置有梯形凹槽33，在第二密封圈32上靠近所述內(nèi)腔管I或外腔管2的外壁上設(shè)置有梯形凹槽33。
[0018](9)根據(jù)上述(8)所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在第一密封圈31和第二密封圈32的開口端內(nèi)都嵌入有用于向外撐大所述U型開口的支撐部件；
[0019]優(yōu)選地，在第一密封圈31的開口端內(nèi)嵌入的支撐部件為凸型壓緊環(huán)34，在第二密封圈32的開口端內(nèi)嵌入的支撐部件為V型彈簧35。
[0020](10)根據(jù)上述(7)-(9)之一所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述密封單元3安裝在內(nèi)腔管I和/或外腔管2上；
[0021]優(yōu)選地，所述密封單元有一個或兩個或多個；
[0022]更優(yōu)選地，在所述內(nèi)腔管I和/或外腔管2上開設(shè)有用于容納所述密封單元的環(huán)形槽。
[0023]本實用新型所具有的有益效果包括:
[0024](I)根據(jù)本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔具有控制組件，通過控制組件帶動內(nèi)腔管或外腔管，使得測試腔的腔長可以靈活調(diào)節(jié)，根據(jù)測試的需要增加和縮短腔長。
[0025](2)根據(jù)本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔通過調(diào)節(jié)測試腔的腔長，使得單一測試腔適用于不同種類氣體濃度的測量。
[0026](3)根據(jù)本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔通過調(diào)節(jié)測試腔的腔長，增加了測量的動態(tài)范圍。
【附圖說明】
[0027]圖1示出根據(jù)本實用新型一種優(yōu)選實施方式的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2示出根據(jù)本實用新型另種優(yōu)選實施方式的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔結(jié)構(gòu)示意圖
[0029]圖3示出根據(jù)本實用新型另種優(yōu)選實施方式的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔的密封單元結(jié)構(gòu)示意圖
[0030]圖4示出根據(jù)本實用新型又種優(yōu)選實施方式的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔結(jié)構(gòu)示意圖
[0031]圖5示出根據(jù)本實用新型一種優(yōu)選實施方式的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔的具體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]附圖標(biāo)號說明:
[0033]1-內(nèi)腔管
[0034]2-外腔管
[0035]3-密封單元
[0036]31-第一密封圈
[0037]32-第二密封圈
[0038]33-梯形凹槽
[0039]34-凸型壓緊環(huán)
[0040]35-V 型彈簧[0041 ] 4-執(zhí)行機(jī)構(gòu)
[0042]5-驅(qū)動單元
[0043]6-測量單元
[0044]7-控制單元
[0045]8-傳動塊
[0046]9-腔鏡
[0047]10-壓電陶瓷
[0048]11-殷鋼柱套
【具體實施方式】
[0049]下面通過附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。通過這些說明，本實用新型的特點和優(yōu)點將變得更為清楚明確。
[0050]在這里專用的詞“示例性”意為“用作例子、實施例或說明性”。這里作為“示例性”所說明的任何實施例不必解釋為優(yōu)于或好于其它實施例。盡管在附圖中示出了實施例的各種方面，但是除非特別指出，不必按比例繪制附圖。
[0051]根據(jù)本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，如圖1中所示，該測試腔包括能夠相對滑動的內(nèi)腔管I和外腔管2，所述內(nèi)腔管I和外腔管2內(nèi)部都具有足夠的預(yù)定空間，以便于放置其他部件，作為優(yōu)選的實施方式，內(nèi)腔管I和外腔管2的外形近似，大小略有不同，內(nèi)腔管一端嵌入到外腔管中，二者可以相互滑動，達(dá)到長度可調(diào)的效果。優(yōu)選地，所述內(nèi)腔管I和外腔管2都采用具有低熱脹系數(shù)的殷鋼材料制備，在內(nèi)腔管I和外腔管2的端面上設(shè)計置有中空的殷鋼柱套11，其中優(yōu)選地，在外腔管2的殷鋼柱套上鑲有壓電陶瓷10，用于腔鏡的微調(diào)。
[0052]在一個優(yōu)選的實施方式中，所述內(nèi)腔管和外腔管之間保持密封，優(yōu)選地，在內(nèi)腔管和外腔管之間設(shè)置有密封單元3，以實現(xiàn)內(nèi)腔管和外腔管之間的密封，另外，為了內(nèi)腔管和外腔管之間滑動方便，在二者之間還放置有潤滑系統(tǒng)和潤滑材料。
[0053]在一個優(yōu)選的實施方式中，如圖2、3、4中所示，所述密封單元3包括第一密封圈31和第二密封圈32，所述第一密封圈31和第二密封圈32都呈環(huán)狀，其截面都為一端開口的U型；
[0054]進(jìn)一步優(yōu)選地，如圖2在所示，所述密封圈的U型開口內(nèi)部尺寸是不均勻的，其由內(nèi)向外逐漸增大，具有一定的坡度;本實用新型中所述的密封圈是指第一密封圈31和第二密封圈32。
[0055]優(yōu)選地，在第一密封圈31上靠近所述內(nèi)腔管I或外腔管2的外壁上設(shè)置有梯形凹槽33，在第二密封圈32上靠近所述內(nèi)腔管I或外腔管2的外壁上設(shè)置有梯形凹槽33，所述梯形凹槽的深度能夠隨著密封圈的變形大小而改變。所述密封圈是聚四氟乙烯密封圈，即該密封圈是由聚四氟乙烯制成的，具有一定的彈性。
[0056]在一個優(yōu)選的實施方式中，在第一密封圈31和第二密封圈32的開口端內(nèi)都嵌入有用于向外撐大所述U型開口的支撐部件；
[0057]優(yōu)選地，在第一密封圈31的開口端內(nèi)嵌入的支撐部件為凸型壓緊環(huán)34，在第二密封圈32的開口端內(nèi)嵌入的支撐部件為V型彈簧35。其中，所述凸型壓緊環(huán)34不易發(fā)生形變，可以由剛性更強(qiáng)的材料制成，所述凸型壓緊環(huán)34的外形與密封圈的U型開口形狀相匹配，進(jìn)一步地，所述凸型壓緊環(huán)34可以左右移動;具體來說，凸型壓緊環(huán)34能夠嵌入到所述密封圈的U型開口內(nèi)，并且可以在密封圈的U型開口被壓迫時由于具有預(yù)定的坡度而被壓出一段距離，即凸型壓緊環(huán)34可以在有外界壓力的時候向外伸出一段距離，同樣，在外界壓力的作用下，所述凸型壓緊環(huán)34也可以向內(nèi)移動，即被壓入到密封圈的U型開口內(nèi)；
[0058]所述V型彈簧35具有較大的彈力，能夠最大限度地向外支撐所述密封圈的U型開
□ O
[0059]優(yōu)選地，如圖2中所示，所述第一密封圈31和第二密封圈32串聯(lián)布置，即第一密封圈31和第二密封圈32的開口方向一致，都朝向右側(cè)，且所述第一密封圈在左，第二密封圈在右。
[0060]在一個優(yōu)選的實施方式中，所述密封單元3安裝在內(nèi)腔管I和/或外腔管2上;優(yōu)選地，所述密封單元有一個或兩個或多個；
[0061]更優(yōu)選地，如圖4中所示，在所述內(nèi)腔管I和/或外腔管2上開設(shè)有用于容納所述密封單元的環(huán)形槽。
[0062]根據(jù)本實用新型提供的密封單元使得介質(zhì)壓力越高，密封峰值應(yīng)力越大，實現(xiàn)高壓密封。
[0063]在一個優(yōu)選的實施方式中，在所述內(nèi)腔管和/或外腔管上開設(shè)有進(jìn)氣口和/或出氣口，以便于調(diào)節(jié)測試腔中的氣壓，所述進(jìn)氣口和出氣口上分別連接有進(jìn)氣管和出氣管，以便于控制腔內(nèi)的氣體成分。
[0064]在一個優(yōu)選的實施方式中，在內(nèi)腔管和/或外腔管內(nèi)設(shè)置有用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的光學(xué)元件，所述光學(xué)元件包括腔鏡等能夠用在腔管中的光學(xué)元件，以便實現(xiàn)光腔衰蕩光譜的測量等實驗操作。優(yōu)先地，如圖5中所示，所述腔鏡9設(shè)置在內(nèi)腔管的端部，進(jìn)一步地設(shè)置在中空的殷鋼柱套上，所述腔鏡為具有高反射率的平凹球面反射鏡，反射率大于99.9%。
[0065]在一個優(yōu)選的實施方式中，在所述內(nèi)腔管和/或外腔管外部還設(shè)置有用于控制、測量所述內(nèi)腔管和/或外腔管運(yùn)動的控制組件，所述控制組件包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)4、驅(qū)動單元5、測量單元6、和控制單元7，根據(jù)被測氣體的吸收譜線位置、吸收強(qiáng)度以及所需的測量范圍，內(nèi)腔管和/或外腔管在控制組件的帶動下精確地運(yùn)動至指定位置。優(yōu)先地，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)4包括氣浮導(dǎo)軌，在該導(dǎo)軌兩面間有氣腔，當(dāng)氣體進(jìn)入氣腔后，在兩導(dǎo)軌面之間形成一層極薄的氣模，且氣模厚度基本保持恒定不變。氣浮導(dǎo)軌可以使腔體得到無摩擦和無振動的平滑移動，同時具有誤差均化作用，可以保證腔體之間高精度的相對運(yùn)動。
[0066]進(jìn)一步優(yōu)選地，將內(nèi)腔管或外腔管之一固定，另外一個通過傳動塊8與執(zhí)行機(jī)構(gòu)上的滑塊連接在一起，執(zhí)行機(jī)構(gòu)4可以采用高精度導(dǎo)軌絲杠，測量單元6可以采用高精度光柵尺，驅(qū)動單元5由步進(jìn)電機(jī)配合精密減速機(jī)和壓電陶瓷兩部分組成可以采用步進(jìn)電機(jī)配合精密減速機(jī)，步進(jìn)電機(jī)配合精密減速機(jī)用于實現(xiàn)位移量粗調(diào)，壓電陶瓷用于實現(xiàn)微位移，可以補(bǔ)償和修正材質(zhì)和機(jī)理缺陷以及系統(tǒng)的非線性；控制單元7可以采用嵌入式ARM微處理器;導(dǎo)軌絲杠的傳動結(jié)構(gòu)可保證內(nèi)腔管I和外腔管2運(yùn)動的同軸度;高精度光柵尺可準(zhǔn)確測量位移的長度從而計算出調(diào)整后的測量腔長度;步進(jìn)電機(jī)配合精密減速機(jī)和壓電陶瓷10相結(jié)合的驅(qū)動設(shè)計可以對位移進(jìn)行細(xì)微的控制調(diào)節(jié);嵌入式ARM微處理器通過測量光柵尺反饋的位置數(shù)據(jù)控制步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動;作為優(yōu)選的實施方式，可以使內(nèi)腔管固定，控制外腔管移動，也可以使外腔管固定，控制內(nèi)腔管移動，還可以控制兩個腔管同時移動。
[0067]本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔能夠通過使用一個腔體測量多種不同的氣體，這些氣體的光譜相隔很遠(yuǎn)，并且吸收強(qiáng)度不同，針對每種氣體，濃度測量范圍可覆蓋從I X 10—8到2%。
[0068]本實用新型所具有的有益效果包括:
[0069](I)根據(jù)本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔具有控制組件，通過控制組件帶動內(nèi)腔管或外腔管，使得測試腔的腔長可以靈活調(diào)節(jié)，根據(jù)測試的需要增加和縮短腔長。
[0070](2)根據(jù)本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔通過調(diào)節(jié)測試腔的腔長，使得單一測試腔適用于不同種類氣體濃度的測量。
[0071](3)根據(jù)本實用新型提供的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔通過調(diào)節(jié)測試腔的腔長，增加了測量的動態(tài)范圍。
[0072]以上結(jié)合了優(yōu)選的實施方式對本實用新型進(jìn)行了說明，不過這些實施方式僅是范例性的，僅起到說明性的作用。在此基礎(chǔ)上，可以對本實用新型進(jìn)行多種替換和改進(jìn)，這些均落入本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，該測試腔包括能夠相對滑動的內(nèi)腔管(I)和外腔管(2)， 所述內(nèi)腔管(I)和外腔管(2)之間保持密封， 在內(nèi)腔管(I)和/或外腔管(2)內(nèi)設(shè)置有用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的光學(xué)元件， 在所述內(nèi)腔管(I)和/或外腔管(2)外部還設(shè)置有用于控制、測量所述內(nèi)腔管(I)和/或外腔管(2)運(yùn)動的控制組件， 在所述內(nèi)腔管(I)和外腔管(2)之間設(shè)置有密封單元(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在所述內(nèi)腔管(I)和/或外腔管(2)上開設(shè)有進(jìn)氣口和/或出氣口。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述控制組件包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)(4)、驅(qū)動單元(5)、測量單元(6)、和控制單元(7)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述密封單元(3)包括第一密封圈(31)和第二密封圈(32)，所述第一密封圈(31)和第二密封圈(32)都呈環(huán)狀，其截面都為一端開口的U型。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在第一密封圈(31)上靠近所述內(nèi)腔管(I)或外腔管(2)的外壁上設(shè)置有梯形凹槽(33)，在第二密封圈(32)上靠近所述內(nèi)腔管(I)或外腔管(2)的外壁上設(shè)置有梯形凹槽(33)。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在第一密封圈(31)和第二密封圈(32)的開口端內(nèi)都嵌入有用于向外撐大所述U型開口的支撐部件。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在第一密封圈(31)的開口端內(nèi)嵌入的支撐部件為凸型壓緊環(huán)(34)，在第二密封圈(32)的開口端內(nèi)嵌入的支撐部件為V型彈簧(35)。8.根據(jù)權(quán)利要求1-7之一所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述密封單元(3)安裝在內(nèi)腔管(I)和/或外腔管(2)上。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，所述密封單元有一個或兩個或多個。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于光腔衰蕩光譜技術(shù)的連續(xù)可調(diào)長度測試腔，其特征在于，在所述內(nèi)腔管(I)和/或外腔管(2)上開設(shè)有用于容納所述密封單元的環(huán)形槽。
【文檔編號】G01N21/31GK205506673SQ201620100253
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年2月1日
【發(fā)明人】張玥
【申請人】北京仁木科技有限公司