To光電探測器同軸度檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種T0光電探測器裝配同軸度檢測技術(shù)，尤其涉及一種T0光電探測器同軸度檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]T0光電探測器的結(jié)構(gòu)中，先單獨(dú)加工出芯片和殼體，然后通過AB膠將芯片和殼體粘接成一個(gè)整體，由于粘接操作和部件加工尺寸都難以避免地存在誤差，為了確保T0光電探測器的探測精度，在出廠時(shí)，必須對T0光電探測器上的殼體和芯片的安裝同軸度進(jìn)行檢測，從而篩選出不合格產(chǎn)品、保證產(chǎn)品品質(zhì)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，常用的同軸度檢測方式是:在殼體和芯片上分別設(shè)置標(biāo)記，然后通過成像設(shè)備將標(biāo)記放大后，測量出殼體和芯片上的標(biāo)記的相對坐標(biāo)，然后用勾股定理計(jì)算獲得同軸度數(shù)值；前述檢測方式存在如下缺點(diǎn):
[0004]1)由于加工誤差的存在，不同殼體的尺寸不可能完全一致，從而導(dǎo)致殼體上的標(biāo)記位置存在差異，因此，對于每個(gè)T0光電探測器，都需要重新對其殼體上的標(biāo)記進(jìn)行精確定位，操作效率十分低下，嚴(yán)重影響檢測效率；
[0005]2)對于單個(gè)T0光電探測器來說，由于誤差的不可避免，殼體上的標(biāo)記的坐標(biāo)不可能精確確定，導(dǎo)致檢測出來的結(jié)果可能不準(zhǔn)確。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]針對【背景技術(shù)】中的問題，本實(shí)用新型提出了一種T0光電探測器同軸度檢測裝置，其創(chuàng)新在于:所述T0光電探測器同軸度檢測裝置由二維位移平臺、旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置、安裝座、C⑶成像儀和顯示器組成；
[0007]所述旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置的底座與二維位移平臺的上端面連接，旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置的傳動(dòng)軸與安裝座連接，安裝座位于旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置的上方；所述傳動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)軸與二維位移平臺的上端面垂直，安裝座能在傳動(dòng)軸的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)；所述安裝座用于夾持待檢測的T0光電探測器，安裝座上對應(yīng)T0光電探測器物理中心的部位與所述旋轉(zhuǎn)軸重合；所述CCD成像儀設(shè)置于安裝座上方；所述顯示器與CCD成像儀電氣連接；顯示器用于顯示CCD成像儀拍攝到的圖像；所述圖像上附加有一標(biāo)記，所述標(biāo)記在CCD成像儀的成像區(qū)中的位置相對固定。
[0008]前述T0光電探測器同軸度檢測裝置的檢測原理是:檢測時(shí)，將待檢測的T0光電探測器設(shè)置在安裝座上，然后通過二維位移平臺調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置的水平位置，使T0光電探測器的芯片中心(芯片版圖設(shè)計(jì)及工藝刻蝕形成的全拉通或部分拉通的十字叉標(biāo)記)在圖像上的位置與圖像上的標(biāo)記重合，然后通過旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置傳動(dòng)T0光電探測器旋轉(zhuǎn):由于安裝座上對應(yīng)T0光電探測器物理中心的部位與旋轉(zhuǎn)軸重合，若殼體和芯片的同軸度誤差為0，則芯片中心應(yīng)該與T0光電探測器的物理中心重合，T0光電探測器旋轉(zhuǎn)時(shí)，由芯片中心所形成的軌跡就應(yīng)該是一個(gè)點(diǎn)，若殼體和芯片的同軸度誤差不為0，則說明芯片中心與T0光電探測器的物理中心不重合，T0光電探測器旋轉(zhuǎn)時(shí)，由芯片中心所形成的軌跡就應(yīng)該是一個(gè)圓，且圓的半徑越大，說明同軸度誤差也較大。
[0009]使用本實(shí)用新型時(shí)，只需將標(biāo)記與芯片中心對準(zhǔn)即可進(jìn)行同軸度檢測，而現(xiàn)有技術(shù)中，需要對每個(gè)T0光電探測器殼體上的標(biāo)記都進(jìn)行精確的坐標(biāo)定位，并且后續(xù)過程中，還需要用勾股定理進(jìn)行計(jì)算才能獲得同軸度誤差值；另外，現(xiàn)有技術(shù)中，是以芯片中心的坐標(biāo)值相對于殼體上的標(biāo)記的坐標(biāo)值的差值檢測出的同軸度，檢測誤差較大，而本實(shí)用新型中，是以芯片中心繞T0光電探測器的物理中心旋轉(zhuǎn)所形成的軌跡檢測出的同軸度，檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確可信。
[0010]優(yōu)選地，所述標(biāo)記以物理方式形成在(XD成像儀的鏡頭光窗上。
[0011]優(yōu)選地，所述標(biāo)記以物理方式形成在顯示器的屏幕上。
[0012]優(yōu)選地，所述標(biāo)記由軟件生成，與圖像一起顯示在顯示器的屏幕上。
[0013]對于允許同軸度存在一定誤差的判定，所述標(biāo)記可采用一圓圈和一十字線重疊而成的標(biāo)靶，所述圓圈的圓心與十字線的中心重合。圓圈的半徑即為設(shè)定的同軸度誤差范圍，若芯片中心的軌跡始終位于圓圈范圍內(nèi)，則可判定同軸度誤差在允許的范圍內(nèi)，否則，即可判定同軸度誤差大于設(shè)定的同軸度誤差范圍。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚，標(biāo)記中的圓圈在顯示器上顯示出來的尺寸與實(shí)際的物理尺寸存在差異，在應(yīng)用時(shí)，需先將同軸度誤差范圍所對應(yīng)的實(shí)際物理尺寸與圓圈在顯示器上顯示出來的尺寸進(jìn)行標(biāo)定。
[0014]圓圈在顯示器上顯示出來的尺寸與實(shí)際的物理尺寸，
[0015]基于前述的硬件方案，本實(shí)用新型還提出了一種T0光電探測器同軸度檢測方法，所涉及的硬件包括待檢測的T0光電探測器和T0光電探測器同軸度檢測裝置；
[0016]所述T0光電探測器同軸度檢測裝置的結(jié)構(gòu)如前所述；
[0017]所述T0光電探測器包括殼體和安裝在殼體上的芯片；所述芯片的光敏面由多個(gè)象限組成；所述光敏面的中心記為中心點(diǎn)；
[0018]按如下方法對T0光電探測器的同軸度進(jìn)行檢測:
[0019]1)將待檢測的T0光電探測器設(shè)置在安裝座上，T0光電探測器的光敏面朝上；
[0020]2)通過二維位移平臺對旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置的水平位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，使圖像上顯示出的中心點(diǎn)與所述標(biāo)記重合；
[0021 ] 3 )通過旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置傳動(dòng)T0光電探測器旋轉(zhuǎn)；T0光電探測器旋轉(zhuǎn)的過程中，觀察中心點(diǎn)的軌跡，若由中心點(diǎn)的軌跡所形成的圓的半徑越小，說明同軸度越好。
[0022]在“方法”方案中，優(yōu)選地，所述標(biāo)記的設(shè)置方式在如下三種方式中擇一采用:
[0023]方式一:以物理方式形成在(XD成像儀的鏡頭光窗上；方式二:所述標(biāo)記以物理方式形成在顯示器的屏幕上；方式三:所述標(biāo)記由軟件生成，與圖像一起顯示在顯示器的屏幕上。
[0024]在“方法”方案中，優(yōu)選地，所述標(biāo)記的形狀在如下兩種圖案中擇一采用:
[0025]圖案一:所述標(biāo)記為為 h字線；
[0026]圖案二:所述標(biāo)記為一圓圈和—h字線重疊而成的標(biāo)革E，所述圓圈的圓心與十字線的中心重合。
[0027]本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果是:提出了一種T0光電探測器同軸度檢測裝置，該技術(shù)硬件結(jié)構(gòu)簡單，操作方便快捷，能大幅提高檢測的效率，檢測結(jié)果準(zhǔn)確可靠。
【附圖說明】
[0028]圖1、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖2、T0光電探測器結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖3、本實(shí)用新型的檢測原理示意圖；
[0031]圖中各個(gè)標(biāo)記所對應(yīng)的名稱分別為:二維位移平臺1、旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置2、安裝座3、C⑶成像儀4、顯示器5、殼體6、芯片7、T0光電探測器8、中心點(diǎn)A。
【具體實(shí)施方式】
[0032]一種T0光電探測器同軸度檢測裝置，其創(chuàng)新在于:所述T0光電探測器同軸度檢測裝置由二