基板水分檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及顯示技術領域，尤其涉及一種在顯示器制造過程中用于對基板的吹干效果進行檢測的基板水分檢測裝置。
【背景技術】
[0002]TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜場效應晶體管顯示器)陣列基板在制造工藝中，玻璃基板在進行濕法刻蝕(Wet Etch)之后，要進入干法刻蝕(Dry Etch)設備內進行灰化刻蝕(Ashing Etch)、有源層刻蝕(Active Etch)。玻璃基板在濕法刻蝕工藝段清洗后，會經(jīng)過氣刀(Air Knife)吹干再進入干法刻蝕設備內。如果吹干效果不好，玻璃基板背面將帶有水漬進入干法刻蝕設備，這將引起玻璃基板在PC內損壞。若玻璃基板在PC內發(fā)生損壞后，干法刻蝕設備需要降溫、通風(Vent For Atmosphere)、開腔、取走基板、清潔、重啟等過程，會嚴重影響產(chǎn)能，給企業(yè)帶來極大損失。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的就在于提供一種基板水分檢測裝置，能夠對濕法刻蝕之后的基板在吹干之后，進入干法刻蝕設備之前，進行水分檢測，有效防止帶有水漬基板進入干法刻蝕設備，而提高干法刻蝕設備運行穩(wěn)定性，提高設備壽命。
[0004]本實用新型所提供的技術方案如下:
[0005]一種基板水分檢測裝置，包括:
[0006]用于與基板表面接觸，并傳送基板的滾輪；
[0007]用于獲取滾輪外周面上水分信息的水分檢測機構，所述水分檢測機構包括至少一個水分檢測儀，所述水分檢測儀具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；
[0008]用于對所述水分檢測儀進行干燥處理的干燥機構；
[0009]用于控制所述水分檢測儀在所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)之間切換的切換機構；
[0010]其中在所述第一狀態(tài)，所述水分檢測儀移動至與所述滾輪的外周面相接觸的第一位置，以獲取滾輪外周面上水分信息；在所述第二狀態(tài)，所述水分檢測儀移動至位于所述干燥機構內的第二位置，以進行干燥處理。
[0011]進一步的，所述水分檢測儀包括:
[0012]用于與滾輪外周面相接觸的電阻器件，所述電阻器件能夠根據(jù)從滾輪所吸收的水量不同，而電阻值發(fā)生變化；
[0013]以及，用于檢測所述電阻器件的電阻值的電阻檢測部件。
[0014]進一步的，所述干燥機構包括:
[0015]干燥室，所述干燥室上設有用于供所述水分檢測儀進入的活動門；
[0016]以及，用于對所述干燥室進行抽真空處理的真空栗，所述真空栗與所述干燥室連接。
[0017]進一步的，所述干燥機構還包括:用于向所述干燥室內吹送氣流的吹風噴頭，所述吹風噴頭設置于所述干燥室內。
[0018]進一步的，所述吹風噴頭有多個，且多個所述吹風噴頭分布于所述干燥室內的不同位置，以使多個所述吹風噴頭能夠分別從不同預定方向吹送氣流。
[0019]進一步的，所述干燥機構還包括:用于改變所述吹風噴頭的吹風角度的角度調整結構，所述吹風噴頭通過所述角度調整結構活動連接在所述干燥室內。
[0020]進一步的，所述滾輪設置于所述干燥機構的上方，并與所述干燥機構之間留有預定距離；所述切換機構包括:
[0021]設置于所述滾輪與所述干燥機構之間的第一旋轉軸；
[0022]以及，套設在所述第一旋轉軸上的連接部，所述連接部包括用于安裝所述水分檢測儀的第一端，所述連接部能夠在所述第一旋轉軸帶動下進行旋轉，以使所述第一端在所述第一位置和所述第二位置之間切換。
[0023]進一步的，所述連接部還包括與所述第一端相對的第二端，且所述連接部能夠在所述第一旋轉軸帶動下進行旋轉，以使所述第一端和所述第二端在所述第一位置和所述第二位置之間相互交換位置；
[0024]所述水分檢測機構中包括兩個所述水分檢測儀，且兩個水分檢測儀分別安裝在所述連接部的第一端和第二端，以使得當兩個水分檢測儀中一個水分檢測儀處于第一狀態(tài)時，另一個水分檢測儀處于第二狀態(tài)。
[0025]進一步的，所述基板水分檢測裝置還包括:
[0026]用于將所述水分檢測儀的水分信息與預設值進行比較，并根據(jù)比較結果控制所述切換機構的工作狀態(tài)的控制機構。
[0027]進一步的，所述基板水分檢測裝置包括:多個所述滾輪，其中多個所述滾輪通過第二旋轉軸連接，并在所述第二旋轉軸帶動下滾動。
[0028]本實用新型所帶來的有益效果如下:
[0029]本實用新型所提供的基板水分檢測裝置，可以在滾輪上傳送基板，而使?jié)L輪的外周面獲取到基板的表面上的水分含量，而滾輪外周面相接觸的水分檢測儀，可以檢測滾輪外周面上水分含量，以對基板表面的水漬進行檢測，并且，水分檢測儀可以在干燥機構和滾輪外周面接觸的兩種位置之間切換，利用干燥機構來對水分檢測儀進行干燥，而保證水分檢測儀的工作可靠性和準確性，由此，該基板水分檢測裝置實現(xiàn)對進入干法刻蝕設備之前的基板的干燥效果進行檢測的目的，而有效地防止帶有水漬的基板進入干法刻蝕設備，提高干法刻蝕設備運行穩(wěn)定性，提高設備壽命。
【附圖說明】
[0030]圖1表示本實用新型實施例中提供的基板水分檢測裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0031]以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0032]針對現(xiàn)有技術中進入干法刻蝕設備之間的基板干燥效果不好會導致影響干法刻蝕設備運行穩(wěn)定性，影響產(chǎn)能的技術問題，本實用新型提供了一種基板水分檢測裝置，可以有效防止帶有水漬基板進入干法刻蝕設備，而提高干法刻蝕設備運行穩(wěn)定性，提高設備壽命O
[0033]如圖1所示，本實用新型所提供的基板檢測裝置包括:
[0034]用于與基板10表面接觸，并傳送基板10的滾輪100 ;
[0035]用于獲取滾輪100外周面上水分信息的水分檢測機構，所述水分檢測機構包括至少一個水分檢測儀200，所述水分檢測儀200具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；
[0036]用于對所述水分檢測儀200進行干燥處理的干燥機構300 ;
[0037]用于控制所述水分檢測儀200在所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)之間切換的切換機構；
[0038]其中在所述第一狀態(tài)，所述水分檢測儀200移動至與所述滾輪100的外周面相接觸的第一位置，以獲取滾輪100外周面上水分信息；在所述第二狀態(tài)，所述水分檢測儀200移動至位于所述干燥機構300內的第二位置，以進行干燥處理。
[0039]本實用新型所提供的基板水分檢測裝置，可以在滾輪100上傳送基板10，而使?jié)L輪100的外周面獲取到基板10的表面上的水分含量，而滾輪100外周面相接觸的水分檢測儀200，可以檢測滾輪100外周面上水分含量，以對基板10表面的水漬進行檢測，并且，水分檢測儀200可以在干燥機構300和滾輪100外周面接觸的兩種位置之間切換，利用干燥機構300來對水分檢測儀200進行干燥，而保證水分檢測儀200的工作可靠性和準確性，由此，該基板水分檢測裝置實現(xiàn)對進入干法刻蝕設備之前的基板10的干燥效果進行檢測的目的，而有效地防止帶有水漬的基板10進入干法刻蝕設備，提高干法刻蝕設備運行穩(wěn)定性，提