波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種利用移相干涉測量技術(shù)進行測試的波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]移相干涉術(shù)是以光波波長為單位的非接觸式測量技術(shù)，具有極高的測量精度和靈敏度，被認為是檢測精密元件的最準確技術(shù)之一。早在200多年前，人們就注意到了了光的干涉現(xiàn)象，并開始有計劃的控制干涉現(xiàn)象。但是直到I960年第一臺紅寶石激光器的研制成功，干涉現(xiàn)象才開始廣泛應(yīng)用于測量領(lǐng)域。傳統(tǒng)的干涉測量技術(shù)主要是通過照相或人眼直接觀察干涉條紋，手工計算測量結(jié)果的方式進行的，效率低下，主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領(lǐng)域中的相位探測技術(shù)引入到光學(xué)測量中，使經(jīng)典的干涉測量技術(shù)從微米級跨入納米級，實現(xiàn)光學(xué)計量測試的重大突破。80年代以來，隨著激光技術(shù)、光電探測技術(shù)、計算機技術(shù)、圖像處理技術(shù)和精密機械等技術(shù)在光學(xué)測試中的逐步應(yīng)用，移相干涉技術(shù)得到進一步發(fā)展，實現(xiàn)了實時、快速、多參數(shù)、自動化的測量。
[0003]正是因為移相干涉測試技術(shù)的高精度和高靈敏性，輕微的擾動都會造成干涉圖的扭曲、抖動和模糊，這使得很多測量都需要在封閉室內(nèi)的隔振臺上才能進行，嚴重限制了移相干涉技術(shù)在現(xiàn)場測試中的應(yīng)用。如何消除干涉測量中的振動影響，實現(xiàn)現(xiàn)場測試，是當前干涉測量方面的主要研究課題之一。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0005]本實用新型提供了一種波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，由激光器、擴束透鏡、準直透鏡、分光棱鏡、參考鏡、成像透鏡和CCD構(gòu)成，按照激光光路方向依次設(shè)置激光器、擴束透鏡、準直透鏡、分光棱鏡和參考鏡，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡兩側(cè)分別設(shè)置成像透鏡和被測鏡。
[0006]優(yōu)選的，上述CXD設(shè)置在成像透鏡外側(cè)。
[0007]優(yōu)選的，上述參考鏡連接有壓電陶瓷驅(qū)動器。
[0008]優(yōu)選的，上述壓電陶瓷驅(qū)動器配設(shè)有驅(qū)動裝置。
[0009]優(yōu)選的，上述參考鏡設(shè)置在壓電陶瓷驅(qū)動器控制的平臺上。
[0010]本系統(tǒng)選用波長可調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器作為光源，同時利用其波長可調(diào)諧的特點，控制注入電流，產(chǎn)生連續(xù)的、速率可調(diào)的相移，實現(xiàn)移相器的作用。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]附圖標記:1_激光器；2_擴束透鏡；3_準直透鏡；4_分光棱鏡；5_參考鏡；6-成像透鏡；7-(XD ;8-壓電陶瓷驅(qū)動器；9-被測鏡。
【具體實施方式】
[0013]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實施本實用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進一步的詳細描述。
[0014]如圖1所示，本實用新型提供的波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，由激光器1、擴束透鏡2、準直透鏡3、分光棱鏡4、參考鏡5、成像透鏡6和(XD7構(gòu)成，按照激光光路方向依次設(shè)置激光器1、擴束透鏡2、準直透鏡3、分光棱鏡4和參考鏡5，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡4兩側(cè)分別設(shè)置成像透鏡6和被測鏡9。
[0015](XD7設(shè)置在成像透鏡6外側(cè)。參考鏡5連接有壓電陶瓷驅(qū)動器8。壓電陶瓷驅(qū)動器8配設(shè)有驅(qū)動裝置。參考鏡5設(shè)置在壓電陶瓷驅(qū)動器8控制的平臺上。
[0016]時頻域雙重分析抗干擾移相干涉測量方法對移相方式?jīng)]有限制，為減小由于額外的機械振動和干擾引入的誤差，本系統(tǒng)選用波長可調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器作為光源，同時利用其波長可調(diào)諧的特點，控制注入電流，產(chǎn)生連續(xù)的、速率可調(diào)的相移，實現(xiàn)移相器的作用。為了評估系統(tǒng)抗振性能，將參考鏡至于壓電陶瓷推動的平臺上，利用電壓控制壓電陶瓷的伸縮變化，定量模擬環(huán)境振動的頻率和振幅，分析不同振動條件下的測量精度。
[0017]以上所述之【具體實施方式】為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本【具體實施方式】，凡依照本實用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)由激光器(I)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)、參考鏡(5)、成像透鏡(6)和CCD (7)構(gòu)成，按照激光光路方向依次設(shè)置激光器(I)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)和參考鏡(5)，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡(4)兩側(cè)分別設(shè)置成像透鏡(6)和被測鏡(9)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述CCD(7)設(shè)置在成像透鏡(6)外側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述參考鏡(5)連接有壓電陶瓷驅(qū)動器(8)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述壓電陶瓷驅(qū)動器(8)配設(shè)有驅(qū)動裝置。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述參考鏡(5)設(shè)置在壓電陶瓷驅(qū)動器(8)控制的平臺上。
【專利摘要】本實用新型涉及一種波長調(diào)諧移相干涉系統(tǒng)，由激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)、參考鏡(5)、成像透鏡(6)和CCD(7)構(gòu)成，按照激光光路方向依次設(shè)置激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)和參考鏡(5)，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡(4)兩側(cè)分別設(shè)置成像透鏡(6)和被測鏡(9)。本系統(tǒng)選用波長可調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器作為光源，同時利用其波長可調(diào)諧的特點，控制注入電流，產(chǎn)生連續(xù)的、速率可調(diào)的相移，實現(xiàn)移相器的作用。
【IPC分類】G02B26/06, G01B9/02
【公開號】CN204881513
【申請?zhí)枴緾N201520297068
【發(fā)明人】王靈浩
【申請人】王靈浩
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年5月4日