光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種利用空間移相干涉測量技術(shù)進(jìn)行測試的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]移相干涉術(shù)是以光波波長為單位的非接觸式測量技術(shù)，具有極高的測量精度和靈敏度，被認(rèn)為是檢測精密元件的最準(zhǔn)確技術(shù)之一。早在200多年前，人們就注意到了了光的干涉現(xiàn)象，并開始有計(jì)劃的控制干涉現(xiàn)象。但是直到I960年第一臺(tái)紅寶石激光器的研制成功，干涉現(xiàn)象才開始廣泛應(yīng)用于測量領(lǐng)域。傳統(tǒng)的干涉測量技術(shù)主要是通過照相或人眼直接觀察干涉條紋，手工計(jì)算測量結(jié)果的方式進(jìn)行的，效率低下，主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領(lǐng)域中的相位探測技術(shù)引入到光學(xué)測量中，使經(jīng)典的干涉測量技術(shù)從微米級(jí)跨入納米級(jí)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)計(jì)量測試的重大突破。80年代以來，隨著激光技術(shù)、光電探測技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖像處理技術(shù)和精密機(jī)械等技術(shù)在光學(xué)測試中的逐步應(yīng)用，移相干涉技術(shù)得到進(jìn)一步發(fā)展，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)、快速、多參數(shù)、自動(dòng)化的測量。
[0003]時(shí)間移相是在不同時(shí)刻引入有序相移并記錄多幅干涉圖，并通過不同的算法得出待測的相位分布。而時(shí)間移相法是通過探測器在同一空間位置不同時(shí)刻采集，得到不同相移的干涉圖，此方法對(duì)作用于被測元件的振動(dòng)非常敏感，因此只適用于靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)位相的測量，不能用于動(dòng)態(tài)測量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0005]本實(shí)用新型提供了一種光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，由點(diǎn)光源、聚光鏡、光闌、準(zhǔn)直鏡、第一反射鏡、第一移相器、第一探測器、第一半反半透鏡、第二移相器、第二探測器、第二半反半透鏡、第三移相器、第三探測器、第二反射鏡、第四移相器和第四探測器構(gòu)成，第一探測器、第二探測器、第三探測器和第四探測器并列平行設(shè)置，第一移相器、第二移相器、第三移相器和第四移相器也并列平行設(shè)置。
[0006]優(yōu)選的，上述第一反射鏡設(shè)置在第一移相器前側(cè)，第一半反半透鏡設(shè)置在第二移相器前側(cè)，第二半反半透鏡設(shè)置在第三移相器前側(cè)，第二反射鏡設(shè)置在第四移相器前側(cè)。
[0007]優(yōu)選的，上述點(diǎn)光源發(fā)出的光線經(jīng)過聚光鏡、光闌和準(zhǔn)直鏡后，經(jīng)過第一半反半透鏡后分別到達(dá)第二移相器和第一反射鏡，經(jīng)第二半反半透鏡后分別到達(dá)第三移相器和第二反射鏡。
[0008]優(yōu)選的，上述光闌為圓形小孔光闌。
[0009]優(yōu)選的，上述第一反射鏡、第一半反半透鏡、第二半反半透鏡和第二反射鏡并列平行設(shè)置。
[0010]本實(shí)用新型提供的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對(duì)各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測量。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]附圖標(biāo)記:1_點(diǎn)光源；2_聚光鏡；3-光闌；4_準(zhǔn)直鏡；41_第一反射鏡；42_第一移相器；43_第一探測器；51_第一半反半透鏡；52_第二移相器；53_第二探測器；61_第二半反半透鏡；62_第三移相器；63_第三探測器；71_第二反射鏡；72_第四移相器；73_第四探測器。
【具體實(shí)施方式】
[0013]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0014]如圖1所示，本實(shí)用新型提供的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，由點(diǎn)光源1、聚光鏡2、光闌3、準(zhǔn)直鏡4、第一反射鏡41、第一移相器42、第一探測器43、第一半反半透鏡51、第二移相器52、第二探測器53、第二半反半透鏡61、第三移相器62、第三探測器63、第二反射鏡71、第四移相器72和第四探測器73構(gòu)成，第一探測器43、第二探測器53、第三探測器63和第四探測器73并列平行設(shè)置，第一移相器42、第二移相器52、第三移相器62和第四移相器72也并列平行設(shè)置。
[0015]第一反射鏡41設(shè)置在第一移相器42前側(cè)，第一半反半透鏡51設(shè)置在第二移相器52前側(cè)，第二半反半透鏡61設(shè)置在第三移相器62前側(cè)，第二反射鏡71設(shè)置在第四移相器72前側(cè)。點(diǎn)光源I發(fā)出的光線經(jīng)過聚光鏡2、光闌3和準(zhǔn)直鏡4后，經(jīng)過第一半反半透鏡51后分別到達(dá)第二移相器52和第一反射鏡41，經(jīng)第二半反半透鏡61后分別到達(dá)第三移相器62和第二反射鏡71。光闌3為圓形小孔光闌。第一反射鏡41、第一半反半透鏡51、第二半反半透鏡61和第二反射鏡71并列平行設(shè)置。
[0016]本實(shí)用新型提供的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)如圖1所示，是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對(duì)各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測量。采用分光系統(tǒng)將入射光分成完全相同的四組光束，經(jīng)過移相器時(shí)分別引入了 0、31/2、、3 /2的相移，通過四路探測器分別接收對(duì)應(yīng)相移的干涉圖，計(jì)算此時(shí)的相位分布。
[0017]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)由點(diǎn)光源(I)、聚光鏡(2)、光闌(3)、準(zhǔn)直鏡(4)、第一反射鏡(41)、第一移相器(42)、第一探測器(43)、第一半反半透鏡(51)、第二移相器(52)、第二探測器(53)、第二半反半透鏡(61)、第三移相器(62)、第三探測器(63)、第二反射鏡(71)、第四移相器(72)和第四探測器(73)構(gòu)成，第一探測器(43)、第二探測器(53)、第三探測器(63)和第四探測器(73)并列平行設(shè)置，第一移相器(42)、第二移相器(52)、第三移相器￠2)和第四移相器(72)也并列平行設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述第一反射鏡(41)設(shè)置在第一移相器(42)前側(cè)，第一半反半透鏡(51)設(shè)置在第二移相器(52)前側(cè)，第二半反半透鏡￠1)設(shè)置在第三移相器￠2)前側(cè)，第二反射鏡(71)設(shè)置在第四移相器(72)前側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述點(diǎn)光源(I)發(fā)出的光線經(jīng)過聚光鏡(2)、光闌(3)和準(zhǔn)直鏡(4)后，經(jīng)過第一半反半透鏡(51)后分別到達(dá)第二移相器(52)和第一反射鏡(41)，經(jīng)第二半反半透鏡(61)后分別到達(dá)第三移相器(62)和第二反射鏡(71)ο4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述光闌(3)為圓形小孔光闌。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述第一反射鏡(41)、第一半反半透鏡(51)、第二半反半透鏡￠1)和第二反射鏡(71)并列平行設(shè)置。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)，由點(diǎn)光源(1)、聚光鏡(2)、光闌(3)、準(zhǔn)直鏡(4)、第一反射鏡(41)、第一移相器(42)、第一探測器(43)、第一半反半透鏡(51)、第二移相器(52)、第二探測器(53)、第二半反半透鏡(61)、第三移相器(62)、第三探測器(63)、第二反射鏡(71)、第四移相器(72)和第四探測器(73)構(gòu)成，第一探測器(43)、第二探測器(53)、第三探測器(63)和第四探測器(73)并列平行設(shè)置，第一移相器(42)、第二移相器(52)、第三移相器(62)和第四移相器(72)也并列平行設(shè)置。本實(shí)用新型提供的光柵分光偏振移相干涉系統(tǒng)是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對(duì)各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測量。
【IPC分類】G01J9/02
【公開號(hào)】CN204903022
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520276426
【發(fā)明人】林燕彬
【申請(qǐng)人】林燕彬
【公開日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年4月28日