壓力傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于壓力感應(yīng)裝置技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種壓力傳感器，特別是一種采用擴(kuò)散硅壓力芯體的壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]目前市場上銷售的水用模擬量壓力傳感器，主要有兩種:一種采用陶瓷壓力芯體，另一種采用擴(kuò)散硅壓力芯體。陶瓷壓力芯體可直接檢測水壓，技術(shù)成熟，價格較高，沒有競爭力；采用擴(kuò)散硅芯體的壓力傳感器，擴(kuò)散硅芯體直接與水接觸，雖然在價格上與陶瓷壓力芯體的傳感器相比，有一定的價格優(yōu)勢，但是由于水質(zhì)的不同以及復(fù)雜的水源成份，擴(kuò)散硅芯體使用壽命短，性能不穩(wěn)定，在市場上很難推廣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是針對現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問題，提出了一種避免擴(kuò)散硅壓力芯體直接與水接觸、性能穩(wěn)定的壓力傳感器。
[0004]本實用新型的目的可通過下列技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0005]本壓力傳感器，包括筒狀的殼體和由擴(kuò)散硅壓力芯體、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路與信號放大電路構(gòu)成的傳感器模組，所述的傳感器模組通過限位結(jié)構(gòu)設(shè)于所述的殼體內(nèi)，其特征在于，所述殼體的一端設(shè)有用于感應(yīng)管路中水壓的超敏銳膜片，所述殼體的內(nèi)部位于膜片與傳感器模組之間形成有封閉腔體，所述的封閉腔體內(nèi)充滿用于傳遞水壓的傳導(dǎo)介質(zhì)，該傳導(dǎo)介質(zhì)與膜片和傳感器模組接觸。
[0006]在上述的壓力傳感器中，所述的限位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于殼體內(nèi)部的限位擋沿和設(shè)于傳感器模組外端的限位扣，所述的傳感器模組抵靠在限位擋沿上且與限位擋沿平面接觸，上述的封閉腔體位于限位擋沿遠(yuǎn)離傳感器模組的一側(cè)，所述的限位擋沿上具有用于連通封閉腔體與傳感器模組的通孔。
[0007]在上述的壓力傳感器中，所述的傳感器模組與限位擋沿之間設(shè)有密封圈。傳感器模組在限位擋沿與限位扣的作用下被定位與殼體中，在傳感器模組與限位擋沿之間設(shè)有密封圈，來實現(xiàn)傳感器模組的控制部分與傳導(dǎo)介質(zhì)的隔離。
[0008]在上述的壓力傳感器中，所述的傳導(dǎo)介質(zhì)為工業(yè)硅油。
[0009]在上述的壓力傳感器中，所述的膜片通過超聲波焊接技術(shù)焊接在所述殼體的端部。
[0010]在上述的壓力傳感器中，所述殼體的外側(cè)具有用于與管路連接的連接部，所述的連接部上具有螺絲固定孔。為了增強(qiáng)連接密封性，在連接部與管路之間也設(shè)置密封圈。
[0011]在使用時，通過螺絲將殼體連接到被測試的管路上，并通過密封圈進(jìn)行結(jié)構(gòu)密封，傳感器模組與管路中的水流通過膜片隔離開。管路中的水壓通過膜片傳遞給工業(yè)硅油，工業(yè)硅油再將水壓傳遞給傳感器模組中的擴(kuò)散硅壓力芯體，最后將擴(kuò)散硅壓力芯體的壓力信號通過模數(shù)轉(zhuǎn)換電路和信號放大電路，將壓力信號轉(zhuǎn)化為標(biāo)準(zhǔn)電壓信號，傳遞給控制器進(jìn)行邏輯運算。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本壓力傳感器具有以下優(yōu)點:
[0013]通過超敏銳膜片將傳感器模組與水流隔離，避免擴(kuò)散硅壓力芯體直接與水接觸，在保證性能穩(wěn)定的前提下可有效提高傳感器模組的使用壽命；通過膜片將水壓傳遞給工業(yè)硅油，再通過工業(yè)硅油將水壓傳遞給擴(kuò)散硅壓力芯體，傳遞過程壓力無損失，傳遞精度高；在傳感器模組與限位擋沿之間設(shè)有密封圈，來實現(xiàn)傳感器模組的控制部分與工業(yè)硅油的隔離，防止工業(yè)硅油對傳感器模組的控制部分產(chǎn)生不良影響，從而提高感應(yīng)精度。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型提供的一種較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中，1、殼體；11、封閉腔體；12、限位擋沿；13、通孔；14、連接部；15、螺絲固定孔；
2、傳感器模組；3、膜片；4、傳導(dǎo)介質(zhì)；5、限位扣；6、密封圈。
【具體實施方式】
[0016]以下是本實用新型的具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述，但本實用新型并不限于這些實施例。
[0017]如圖1所示的壓力傳感器，包括筒狀的殼體I和由擴(kuò)散硅壓力芯體、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路與信號放大電路構(gòu)成的傳感器模組2，傳感器模組2通過限位結(jié)構(gòu)設(shè)于殼體I內(nèi)。如圖1所示，限位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于殼體I內(nèi)部的限位擋沿12和設(shè)于傳感器模組2外端的限位扣5，傳感器模組2在限位擋沿12與限位扣5的作用下被定位與殼體I中。
[0018]如圖1所示，殼體I的一端設(shè)有用于感應(yīng)管路中水壓的超敏銳膜片3，殼體I的內(nèi)部位于膜片3與傳感器模組2之間形成有封閉腔體11，封閉腔體11內(nèi)充滿用于傳遞水壓的傳導(dǎo)介質(zhì)4，該傳導(dǎo)介質(zhì)4與膜片3和傳感器模組2接觸。
[0019]本實施例中，如圖1所示，傳感器模組2抵靠在限位擋沿12上且與限位擋沿12平面接觸，封閉腔體11位于限位擋沿12遠(yuǎn)離傳感器模組2的一側(cè)，限位擋沿12上具有用于連通封閉腔體11與傳感器模組2的通孔13，在傳感器模組2與限位擋沿12之間設(shè)有密封圈6，來實現(xiàn)傳感器模組2的控制部分與傳導(dǎo)介質(zhì)4的隔離。
[0020]本實施例中的傳導(dǎo)介質(zhì)4為工業(yè)硅油。
[0021]膜片3通過超聲波焊接技術(shù)焊接在所述殼體I的端部。
[0022]如圖1所示，殼體I的外側(cè)具有用于與管路連接的連接部14，連接部14上具有螺絲固定孔15，為了增強(qiáng)連接密封性，在連接部14與管路之間也設(shè)置密封圈6。
[0023]在使用時，通過螺絲將殼體I連接到被測試的管路上，并通過密封圈6進(jìn)行結(jié)構(gòu)密封，傳感器模組2與管路中的水流通過膜片3隔離開。管路中的水壓通過膜片3傳遞給工業(yè)硅油，工業(yè)硅油再將水壓傳遞給傳感器模組2中的擴(kuò)散硅壓力芯體，最后將擴(kuò)散硅壓力芯體的壓力信號通過模數(shù)轉(zhuǎn)換電路和信號放大電路，將壓力信號轉(zhuǎn)化為標(biāo)準(zhǔn)電壓信號，傳遞給控制器進(jìn)行邏輯運算。
[0024]本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型精神作舉例說明。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種壓力傳感器，包括筒狀的殼體(I)和由擴(kuò)散硅壓力芯體、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路與信號放大電路構(gòu)成的傳感器模組(2)，所述的傳感器模組(2)通過限位結(jié)構(gòu)設(shè)于所述的殼體(I)內(nèi)，其特征在于，所述殼體(I)的一端設(shè)有用于感應(yīng)管路中水壓的超敏銳膜片(3)，所述殼體(I)的內(nèi)部位于膜片(3)與傳感器模組(2)之間形成有封閉腔體(11)，所述的封閉腔體(11)內(nèi)充滿用于傳遞水壓的傳導(dǎo)介質(zhì)(4)，該傳導(dǎo)介質(zhì)(4)與膜片(3)和傳感器模組(2)接觸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述的限位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于殼體(I)內(nèi)部的限位擋沿(12)和設(shè)于傳感器模組(2)外端的限位扣(5)，所述的傳感器模組(2)抵靠在限位擋沿(12)上且與限位擋沿(12)平面接觸，上述的封閉腔體(11)位于限位擋沿(12)遠(yuǎn)離傳感器模組(2)的一側(cè)，所述的限位擋沿(12)上具有用于連通封閉腔體(11)與傳感器模組(2)的通孔(13)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述的傳感器模組(2)與限位擋沿(12)之間設(shè)有密封圈(6)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的壓力傳感器，其特征在于，所述的傳導(dǎo)介質(zhì)(4)為工業(yè)硅油。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的壓力傳感器，其特征在于，所述的膜片(3)通過超聲波焊接技術(shù)焊接在所述殼體(I)的端部。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的壓力傳感器，其特征在于，所述殼體(I)的外側(cè)具有用于與管路連接的連接部(14)，所述的連接部(14)上具有螺絲固定孔(15)。
【專利摘要】本實用新型提供了一種壓力傳感器，屬于壓力感應(yīng)裝置技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有的壓力傳感器中擴(kuò)散硅壓力芯體直接與水接觸，使用壽命短，性能不穩(wěn)定的問題。本壓力傳感器，包括筒狀的殼體和由擴(kuò)散硅壓力芯體、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路與信號放大電路構(gòu)成的傳感器模組，傳感器模組通過限位結(jié)構(gòu)設(shè)于殼體內(nèi)，殼體的一端設(shè)有用于感應(yīng)管路中水壓的超敏銳膜片，殼體的內(nèi)部位于膜片與傳感器模組之間形成有封閉腔體，封閉腔體內(nèi)充滿用于傳遞水壓的傳導(dǎo)介質(zhì)，該傳導(dǎo)介質(zhì)與膜片和傳感器模組接觸。本實用新型避免擴(kuò)散硅壓力芯體直接與水接觸，具有性能穩(wěn)定、使用壽命長等優(yōu)點。
【IPC分類】G01L9/00
【公開號】CN204730974
【申請?zhí)枴緾N201520458464
【發(fā)明人】趙永華, 周海軍
【申請人】臺州市耀達(dá)工貿(mào)有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請日】2015年6月30日