位置檢知裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種位置檢知裝置，通過設(shè)置縱向磁頭、及橫向磁頭，增強(qiáng)磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端之間的磁感應(yīng)，使磁頭反復(fù)翹起及落下后與信號(hào)線感應(yīng)端的相對(duì)位置產(chǎn)生偏移時(shí)，信號(hào)線感應(yīng)端能夠正常對(duì)磁頭進(jìn)行感測(cè)；通過設(shè)置一端能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于杠桿靠近磁頭一端的聯(lián)動(dòng)桿、及能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于聯(lián)動(dòng)桿另一端的磁屏蔽板，當(dāng)磁頭翹起時(shí)杠桿帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)桿使磁屏蔽板蓋于信號(hào)線感應(yīng)端之上對(duì)感測(cè)進(jìn)行屏蔽，能夠防止因磁頭磁力過大導(dǎo)致的始終存在感應(yīng)信號(hào)的感應(yīng)不良；通過設(shè)置清潔單元對(duì)磁頭及信號(hào)線感應(yīng)端進(jìn)行清潔，防止磁頭及信號(hào)線感應(yīng)端產(chǎn)生結(jié)晶而產(chǎn)生感應(yīng)不良，從而減少感應(yīng)不良幾率，進(jìn)而減少位置檢知裝置的當(dāng)機(jī)次數(shù)，提升產(chǎn)品良率及產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】
位置檢知裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示面板生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種位置檢知裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有機(jī)身薄、省電、無福射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用，如:移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、數(shù)字相機(jī)、計(jì)算機(jī)屏幕或筆記本電腦屏幕等。
[0003]薄膜晶體管液晶顯示器一般包括殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶面板及設(shè)于殼體內(nèi)的背光模組(Backlight module)。其中，液晶面板的結(jié)構(gòu)是由一薄膜晶體管陣列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate ,TFT Array Substrate)、一彩色濾光片基板(ColorFiIter，CF)、以及一配置于兩基板間的液晶層(Liquid Crystal Layer)所構(gòu)成，其工作原理是通過在兩片玻璃基板上施加驅(qū)動(dòng)電壓來控制液晶層的液晶分子的旋轉(zhuǎn)，將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0004]上述TFT-LCD的制程過程一般包括:前段陣列(Array)制程，主要是制造TFT基板及CF基板；中段成盒(Ce 11)制程，主要是將TFT基板與CF基板貼合，在二者之間添加液晶，形成液晶面板;及后段模組組裝制程，主要是將液晶面板與背光模組、PCB等其它零部件進(jìn)行組裝。
[0005]前段陣列制程又包括:玻璃基板的清洗與干燥、鍍膜、涂光刻膠、曝光、顯影、蝕刻、去除光刻膠等制程。蝕刻制程分為干法蝕刻與濕法蝕刻。濕法蝕刻是使用液體化學(xué)試劑，即蝕刻藥液以化學(xué)腐蝕的方式去除無光刻膠覆蓋的薄膜，以在玻璃基板上形成所需的電路圖案。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)中，一般會(huì)在清洗機(jī)及蝕刻設(shè)備中設(shè)置位置檢知裝置，以感測(cè)該位置檢知裝置所在的位置是否有玻璃基板進(jìn)入。請(qǐng)參閱圖1，為一種現(xiàn)有的位置檢知裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括:基座I’、位于基座I’上的安裝部3’、能轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于安裝部3’上的杠桿2’、安裝于杠桿2’一端的磁頭4’、設(shè)于杠桿2’另一端的滾輪5’、及安裝于基座I’上的信號(hào)線感應(yīng)端6’。由于所述磁頭4 ’的重量大于滾輪5’，當(dāng)該位置檢知裝置所在的位置無玻璃基板經(jīng)過時(shí)，磁頭4’與信號(hào)線感應(yīng)端6’保持接觸狀態(tài)，信號(hào)線感應(yīng)端6’將感應(yīng)信號(hào)傳輸至顯示機(jī)臺(tái)，顯示為of f狀態(tài)，代表玻璃基板不在此位置；當(dāng)玻璃基板到達(dá)位置檢知裝置所在位置時(shí)，滾輪5 ’被下壓，磁頭4’翹起與信號(hào)線感應(yīng)端6’分離，感應(yīng)信號(hào)消失，顯示機(jī)臺(tái)顯示為on狀態(tài)，代表玻璃基板位置在此。
[0007]這種位置檢知裝置存在幾個(gè)缺陷:第一，信號(hào)線感應(yīng)端6，因不能與酸、及有機(jī)物等接觸，需在外表面包裹保護(hù)塑料，使得磁頭4 ’與信號(hào)線感應(yīng)端6 ’不能直接接觸，容易造成感應(yīng)不良；第二，不能使用強(qiáng)磁力的磁頭，因?yàn)閺?qiáng)磁力的磁頭會(huì)導(dǎo)致玻璃基板下壓滾輪5’時(shí)，磁頭4，與信號(hào)線感應(yīng)端6，分離卻仍保持感應(yīng)狀態(tài)，造成感應(yīng)不良；第三，因磁頭4，反復(fù)翹起落下，磁頭4’與信號(hào)線感應(yīng)端6’的相對(duì)位置易發(fā)生改變，導(dǎo)致磁頭4’雖然落下，信號(hào)線感應(yīng)端6’卻感應(yīng)不到信號(hào)的情況，造成感應(yīng)不良；第四，當(dāng)該位置檢知裝置用于氧化銦錫(ITO)蝕刻機(jī)臺(tái)時(shí)，由于該機(jī)臺(tái)易結(jié)晶，當(dāng)機(jī)臺(tái)處于閑置狀態(tài)時(shí)，位置檢知裝置的磁頭4’與信號(hào)線感應(yīng)端6’會(huì)析出晶體，造成感應(yīng)不良。上述幾種感應(yīng)不良的狀況均會(huì)造成當(dāng)機(jī)，致使產(chǎn)品報(bào)廢，同時(shí)，每次當(dāng)機(jī)均需要重新調(diào)節(jié)位置檢知裝置的磁頭4’和信號(hào)線感應(yīng)端6’的相對(duì)位置，耗費(fèi)大量時(shí)間，從而影響產(chǎn)能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種位置檢知裝置，能夠減少位置檢知裝置的感應(yīng)不良幾率，進(jìn)而減少位置檢知裝置的當(dāng)機(jī)次數(shù)，提升產(chǎn)品良率及產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。
[0009]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種位置檢知裝置，包括:基座、位于基座上的安裝部、能轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于安裝部上的杠桿、安裝于杠桿一端的磁頭、一端能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于杠桿靠近磁頭一端的聯(lián)動(dòng)桿、能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于聯(lián)動(dòng)桿另一端的磁屏蔽板、及安裝于基座上的信號(hào)線感應(yīng)端;在沒有外力施加于杠桿時(shí)，杠桿一端因重力朝下，磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端產(chǎn)生磁感應(yīng)；當(dāng)杠桿另一端受外力作用，杠桿一端轉(zhuǎn)動(dòng)，磁頭朝遠(yuǎn)離信號(hào)線感應(yīng)端方向運(yùn)動(dòng)，所述聯(lián)動(dòng)桿帶動(dòng)磁屏蔽板蓋于信號(hào)線感應(yīng)端上，所述磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端未產(chǎn)生感應(yīng)，通過磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端的感應(yīng)與否來實(shí)現(xiàn)兩個(gè)不同位置狀態(tài)指示。
[0010]所述基座設(shè)有收容槽，所述信號(hào)線感應(yīng)端容納于收容槽內(nèi)，當(dāng)杠桿另一端受外力作用，杠桿一端轉(zhuǎn)動(dòng)，所述聯(lián)動(dòng)桿帶動(dòng)磁屏蔽板蓋于基座對(duì)應(yīng)信號(hào)線感應(yīng)端的收容槽上。
[0011]所述杠桿另一端設(shè)有滾輪，以在杠桿另一端受外力作用時(shí)外力施加于滾輪上。
[0012]所述磁頭的數(shù)量為兩個(gè)，分別定義為縱向磁頭與橫向磁頭。
[0013]所述縱向磁頭設(shè)于所述杠桿一端的一側(cè)面上;所述橫向磁頭鄰近縱向磁頭設(shè)置，以在沒有外力施加于杠桿，杠桿一端因重力朝下時(shí)，增強(qiáng)磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端產(chǎn)生磁感應(yīng)。
[0014]所述磁屏蔽板包括一屏蔽板部、連接于屏蔽板部的連接部、及設(shè)于連接部上的轉(zhuǎn)軸，所述聯(lián)動(dòng)桿另一端設(shè)有一軸孔，其能轉(zhuǎn)動(dòng)容納該轉(zhuǎn)軸;所述杠桿一端設(shè)有樞軸，所述聯(lián)動(dòng)桿一端設(shè)有一樞孔，其能轉(zhuǎn)動(dòng)容納該樞軸。
[0015]在沒有外力施加于杠桿時(shí)，杠桿一端因重力朝下，磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端接觸產(chǎn)生磁感應(yīng)。
[0016]所述位置檢知裝置還包括設(shè)于所述基座上與信號(hào)線感應(yīng)端及磁頭對(duì)應(yīng)的清潔單元，以用于對(duì)信號(hào)線感應(yīng)端及磁頭進(jìn)行清潔。
[0017]所述清潔單元為CDA吹掃氣管。
[0018]所述位置檢知裝置用于濕法蝕刻設(shè)備。
[0019]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供的一種位置檢知裝置，通過設(shè)置縱向磁頭、及橫向磁頭，增強(qiáng)磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端之間的磁感應(yīng)，使磁頭反復(fù)翹起及落下后與信號(hào)線感應(yīng)端的相對(duì)位置產(chǎn)生偏移時(shí)，信號(hào)線感應(yīng)端能夠正常對(duì)磁頭進(jìn)行感測(cè);通過設(shè)置一端能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于杠桿靠近磁頭一端的聯(lián)動(dòng)桿、及能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于聯(lián)動(dòng)桿另一端的磁屏蔽板，當(dāng)磁頭翹起時(shí)杠桿帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)桿使磁屏蔽板蓋于信號(hào)線感應(yīng)端之上對(duì)感測(cè)進(jìn)行屏蔽，當(dāng)磁頭落下時(shí)杠桿帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)桿使磁屏蔽板從信號(hào)線感應(yīng)端上移開，能夠防止因磁頭磁力過大導(dǎo)致的始終存在感應(yīng)信號(hào)的感應(yīng)不良；通過設(shè)置清潔單元對(duì)磁頭及信號(hào)線感應(yīng)端進(jìn)行清潔，防止磁頭及信號(hào)線感應(yīng)端產(chǎn)生結(jié)晶而產(chǎn)生感應(yīng)不良，從而減少感應(yīng)不良幾率，進(jìn)而減少位置檢知裝置的當(dāng)機(jī)次數(shù)，提升產(chǎn)品良率及產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0020]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對(duì)本發(fā)明加以限制。
[0021]附圖中，
[0022]圖1為一種現(xiàn)有的位置檢知裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本發(fā)明的位置檢知裝置無外力作用時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本發(fā)明的位置檢知裝置有外力作用時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0026]請(qǐng)參閱圖2及圖3，本發(fā)明提供一種位置檢知裝置，可用于濕法蝕刻設(shè)備中的基板位置檢知，包括:基座1、位于基座I上的安裝部3、能轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于安裝部3上的杠桿2、安裝于杠桿2—端的磁頭4、一端能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于杠桿2靠近磁頭4 一端的聯(lián)動(dòng)桿5、能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于聯(lián)動(dòng)桿5另一端的磁屏蔽板7、及安裝于基座I上的信號(hào)線感應(yīng)端6。
[0027]具體地，請(qǐng)參閱圖2，在沒有外力施加于杠桿2時(shí)，杠桿2—端因重力朝下，磁頭4與信號(hào)線感應(yīng)端6產(chǎn)生磁感應(yīng)，信號(hào)線感應(yīng)端6將感應(yīng)信號(hào)傳輸至位置檢知裝置外部的顯示機(jī)臺(tái)，顯示為off狀態(tài)，代表基板不在此位置;請(qǐng)參閱圖3，當(dāng)杠桿2另一端受外力作用，杠桿2—端轉(zhuǎn)動(dòng)，磁頭4朝遠(yuǎn)離信號(hào)線感應(yīng)端6方向運(yùn)動(dòng)，所述聯(lián)動(dòng)桿5帶動(dòng)磁屏蔽板7蓋于信號(hào)線感應(yīng)端6上，所述磁頭4與信號(hào)線感應(yīng)端6未產(chǎn)生感應(yīng)，外部的顯示機(jī)臺(tái)顯示為on狀態(tài)，代表基板在此位置，進(jìn)而通過磁頭4與信號(hào)線感應(yīng)端6的感應(yīng)與否來實(shí)現(xiàn)兩個(gè)不同位置狀態(tài)指示。
[0028]具體地，在本實(shí)施例中，在沒有外力施加于杠桿2時(shí)，杠桿2—端因重力朝下，磁頭4與信號(hào)線感應(yīng)端6接觸產(chǎn)生磁感應(yīng)。
[0029]需要說明的是，請(qǐng)參閱圖3，當(dāng)杠桿2另一端受外力作用時(shí)，磁屏蔽板7蓋于信號(hào)線感應(yīng)端6上，能夠有效地對(duì)信號(hào)線感應(yīng)端6與磁頭4之間的磁感應(yīng)進(jìn)行屏蔽，可防止因磁頭4的磁力過強(qiáng)而產(chǎn)生的即使杠桿2受到外力，即有基板位于該位置檢知裝置所在位置時(shí)，信號(hào)線感應(yīng)端6仍能感測(cè)到感應(yīng)信號(hào)的情況發(fā)生，從而減少感應(yīng)不良的幾率，提升產(chǎn)品良率。
[0030]具體地，所述基座I設(shè)有收容槽12，所述信號(hào)線感應(yīng)端6容納于收容槽12內(nèi)，當(dāng)杠桿2另一端受外力作用，杠桿2—端轉(zhuǎn)動(dòng)，所述聯(lián)動(dòng)桿5帶動(dòng)磁屏蔽板7蓋于基座I對(duì)應(yīng)信號(hào)線感應(yīng)端6的收容槽12上。
[0031]具體地，所述杠桿2另一端設(shè)有滾輪8，以在杠桿2另一端受外力作用時(shí)外力施加于滾輪8上。
[0032]具體地，所述磁頭4的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)。優(yōu)選地，在本實(shí)施例中，所述磁頭4的數(shù)量為兩個(gè)，分別定義為縱向磁頭42與橫向磁頭44。
[0033]具體地，所述縱向磁頭42設(shè)于所述杠桿2—端的一側(cè)面上;所述橫向磁頭44鄰近縱向磁頭42設(shè)置，以在沒有外力施加于杠桿2，杠桿2—端因重力朝下時(shí)，增強(qiáng)磁頭4與信號(hào)線感應(yīng)端6產(chǎn)生磁感應(yīng)。
[0034]需要說明的是，由于本發(fā)明的位置檢知裝置的磁頭4包括縱向磁頭42、及橫向磁頭44，相較于傳統(tǒng)技術(shù)中只設(shè)置一個(gè)縱向磁頭的位置檢知裝置，能夠增強(qiáng)信號(hào)線感應(yīng)端6與磁頭4之間的磁感應(yīng)，當(dāng)磁頭4反復(fù)翹起落下后，即使磁頭4與信號(hào)線感應(yīng)端6之間的相對(duì)位置產(chǎn)生偏移，信號(hào)線感應(yīng)端6也能夠在磁頭4落下后對(duì)其進(jìn)行感應(yīng)，從而減少感應(yīng)不良的幾率，提升產(chǎn)品良率，同時(shí)可降低對(duì)位置檢知裝置的調(diào)試次數(shù)，提升產(chǎn)能。
[0035]具體地，所述磁屏蔽板7包括一屏蔽板部72、連接于屏蔽板部72的連接部74、及設(shè)于連接部74上的轉(zhuǎn)軸76，所述聯(lián)動(dòng)桿5另一端設(shè)有一軸孔52，其能轉(zhuǎn)動(dòng)容納該轉(zhuǎn)軸76;所述杠桿2—端設(shè)有樞軸22，所述聯(lián)動(dòng)桿5—端設(shè)有一樞孔54，其能轉(zhuǎn)動(dòng)容納該樞軸22。當(dāng)所述杠桿2另一端受力，使杠桿2的一端翹起時(shí)，杠桿2帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)桿5將磁屏蔽板7平移覆蓋在信號(hào)線感應(yīng)端6上；當(dāng)所述杠桿2—端受重力落下時(shí)，杠桿2帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)桿5將磁屏蔽板7從信號(hào)線感應(yīng)端6上方移開。
[0036]具體地，所述位置檢知裝置還包括設(shè)于所述基座I上與信號(hào)線感應(yīng)端6及磁頭4對(duì)應(yīng)的清潔單元9，以用于對(duì)信號(hào)線感應(yīng)端6及磁頭4進(jìn)行清潔。
[0037]優(yōu)選地，所述清潔單元9為CDA吹掃氣管。
[0038]需要說明的是，由于設(shè)有能夠?qū)π盘?hào)線感應(yīng)端6及磁頭4進(jìn)行清潔的清潔單元9，可防止所述位置檢知裝置應(yīng)用于氧化銦錫蝕刻機(jī)臺(tái)時(shí)，磁頭4與信號(hào)線感應(yīng)端6的表面產(chǎn)生結(jié)晶，降低產(chǎn)生不良的幾率。清潔單元9進(jìn)行清潔的時(shí)間可根據(jù)機(jī)臺(tái)工作狀態(tài)設(shè)置而定。進(jìn)一步地，當(dāng)清潔單元9對(duì)信號(hào)線感應(yīng)端6及磁頭4進(jìn)行清潔時(shí)，可對(duì)位置檢知裝置進(jìn)行設(shè)置使其不進(jìn)行感測(cè)，避免因清潔造成感測(cè)異常誤報(bào)警。
[0039]綜上所述，本發(fā)明的位置檢知裝置，通過設(shè)置縱向磁頭、及橫向磁頭，增強(qiáng)磁頭與信號(hào)線感應(yīng)端之間的磁感應(yīng)，使磁頭反復(fù)翹起及落下后與信號(hào)線感應(yīng)端的相對(duì)位置產(chǎn)生偏移時(shí)，信號(hào)線感應(yīng)端能夠正常對(duì)磁頭進(jìn)行感測(cè);通過設(shè)置一端能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于杠桿靠近磁頭一端的聯(lián)動(dòng)桿、及能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于聯(lián)動(dòng)桿另一端的磁屏蔽板，當(dāng)磁頭翹起時(shí)杠桿帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)桿使磁屏蔽板蓋于信號(hào)線感應(yīng)端之上對(duì)感測(cè)進(jìn)行屏蔽，當(dāng)磁頭落下時(shí)杠桿帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)桿使磁屏蔽板從信號(hào)線感應(yīng)端上移開，能夠防止因磁頭磁力過大導(dǎo)致的始終存在感應(yīng)信號(hào)的感應(yīng)不良；通過設(shè)置清潔單元對(duì)磁頭及信號(hào)線感應(yīng)端進(jìn)行清潔，防止磁頭及信號(hào)線感應(yīng)端產(chǎn)生結(jié)晶而產(chǎn)生感應(yīng)不良，從而減少感應(yīng)不良幾率，進(jìn)而減少位置檢知裝置的當(dāng)機(jī)次數(shù)，提升產(chǎn)品良率及產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。
[0040]以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明后附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種位置檢知裝置，其特征在于，包括:基座(I)、位于基座(I)上的安裝部(3)、能轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于安裝部(3)上的杠桿(2)、安裝于杠桿(2)—端的磁頭(4)、一端能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于杠桿(2)靠近磁頭(4) 一端的聯(lián)動(dòng)桿(5)、能轉(zhuǎn)動(dòng)連接于聯(lián)動(dòng)桿(5)另一端的磁屏蔽板(7)、及安裝于基座(I)上的信號(hào)線感應(yīng)端(6);在沒有外力施加于杠桿(2)時(shí)，杠桿(2)—端因重力朝下，磁頭(4)與信號(hào)線感應(yīng)端(6)產(chǎn)生磁感應(yīng);當(dāng)杠桿(2)另一端受外力作用，杠桿(2)—端轉(zhuǎn)動(dòng)，磁頭(4)朝遠(yuǎn)離信號(hào)線感應(yīng)端(6)方向運(yùn)動(dòng)，所述聯(lián)動(dòng)桿(5)帶動(dòng)磁屏蔽板(7)蓋于信號(hào)線感應(yīng)端(6)上，所述磁頭(4)與信號(hào)線感應(yīng)端(6)未產(chǎn)生感應(yīng)，通過磁頭(4)與信號(hào)線感應(yīng)端(6)的感應(yīng)與否來實(shí)現(xiàn)兩個(gè)不同位置狀態(tài)指示。2.如權(quán)利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述基座(I)設(shè)有收容槽(12)，所述信號(hào)線感應(yīng)端(6)容納于收容槽(12)內(nèi)，當(dāng)杠桿(2)另一端受外力作用，杠桿(2)—端轉(zhuǎn)動(dòng)，所述聯(lián)動(dòng)桿(5)帶動(dòng)磁屏蔽板(7)蓋于基座(I)對(duì)應(yīng)信號(hào)線感應(yīng)端(6)的收容槽(12)上。3.如權(quán)利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述杠桿(2)另一端設(shè)有滾輪(8)，以在杠桿(2)另一端受外力作用時(shí)外力施加于滾輪(8)上。4.如權(quán)利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述磁頭(4)的數(shù)量為兩個(gè)，分別定義為縱向磁頭(42)與橫向磁頭(44)。5.如權(quán)利要求4所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述縱向磁頭(42)設(shè)于所述杠桿(2)—端的一側(cè)面上;所述橫向磁頭(44)鄰近縱向磁頭(42)設(shè)置，以在沒有外力施加于杠桿(2)，杠桿(2)—端因重力朝下時(shí)，增強(qiáng)磁頭(4)與信號(hào)線感應(yīng)端(6)產(chǎn)生磁感應(yīng)。6.如權(quán)利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述磁屏蔽板(7)包括一屏蔽板部(72)、連接于屏蔽板部(72)的連接部(74)、及設(shè)于連接部(74)上的轉(zhuǎn)軸(76)，所述聯(lián)動(dòng)桿(5)另一端設(shè)有一軸孔(52)，其能轉(zhuǎn)動(dòng)容納該轉(zhuǎn)軸(76);所述杠桿(2)—端設(shè)有樞軸(22)，所述聯(lián)動(dòng)桿(5) 一端設(shè)有一樞孔(54)，其能轉(zhuǎn)動(dòng)容納該樞軸(22)。7.如權(quán)利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，在沒有外力施加于杠桿(2)時(shí)，杠桿(2)—端因重力朝下，磁頭(4)與信號(hào)線感應(yīng)端(6)接觸產(chǎn)生磁感應(yīng)。8.如權(quán)利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，還包括設(shè)于所述基座(I)上與信號(hào)線感應(yīng)端(6)及磁頭(4)對(duì)應(yīng)的清潔單元(9)，以用于對(duì)信號(hào)線感應(yīng)端(6)及磁頭(4)進(jìn)行清潔。9.如權(quán)利要求8所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述清潔單元(9)為CDA吹掃氣管。10.如權(quán)利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，用于濕法蝕刻設(shè)備。
【文檔編號(hào)】G01D5/12GK105865495SQ201610450356
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年6月20日
【發(fā)明人】陳鈺明
【申請(qǐng)人】武漢華星光電技術(shù)有限公司