測試座的制作方法
【專利說明】測試座
[0001]相關發(fā)明的交叉參考
[0002]本發(fā)明主張以下在韓國智慧財產局申請的各專利發(fā)明的權益:2014年10月17日申請的第10-2014-0141213號韓國專利發(fā)明，以及2015年6月12日申請的第10-2015-0083673號韓國專利發(fā)明，所述發(fā)明的揭示內容全文以引用的方式并入本文中。
技術領域
[0003]本發(fā)明是有關于一或多個示范性實施例涉及一種測試座(test socket)，且更明確地說涉及一種具有可維持的電特性和可甚至經由頻繁測試過程而有效防止的使用壽命減少的測試座。
【背景技術】
[0004]通常，需要在待測試裝置與測試設備之間穩(wěn)定地形成電連接以便在待測試裝置上執(zhí)行電性測試。測試座作為用于將待測試裝置連接到測試設備的設備。
[0005]所述測試座用以將待測試裝置上的端子連接到測試設備的襯墊使得可在彼此之間雙向交換電信號。各向異性導電片和彈簧頂針主要用作所述測試座。在使用各向異性導電片的測試座中，其中導電粒子密集地分布在彈性硅橡膠中的導電單元分別連接到待測試裝置上的端子。在使用彈簧頂針的測試座中，彈簧插入到外殼中，且隨后連接到待測試裝置上的端子。使用各向異性導電片的測試座和使用彈簧頂針的測試座兩者具有用于吸收可在連接到端子的過程中發(fā)生的電震動的結構。
[0006]圖1為現有技術中的測試座，圖2為圖1的測試座的操作，圖3為圖2中示出的操作的放大圖，如圖1、2、3所示，示出用作測試座20的各向異性導電片(anisotropicconductive sheet)的實例。測試座20包含形成于其中待測試裝置2上的球型端子4接觸測試座20的每一區(qū)域中的導電單元8，和形成于其中待測試裝置2上的球型端子4并不接觸測試座20且充當支撐導電單元8的絕緣層的區(qū)域中的絕緣單元6。導電單元8包含其內密集地安置導電粒子8a的硅橡膠。測試座20安裝在其內提供多個襯墊10的測試設備9中。詳細地說，當測試設備9中包含的所述多個襯墊10分別接觸導電單元8時，測試座20安裝在測試設備9中。
[0007]在待測試裝置2由特定載具(未圖示)承載以用于電性測試之后，待測試裝置2朝向測試座20降低以接觸導電單元8。隨后，待測試裝置2通過使用按壓部件(未圖示)而按壓導電單元8。隨后，在導電單元8的厚度的方向中壓縮導電單元8，且因此，導電單元8中的導電粒子8a彼此接觸以達到導電狀態(tài)。如果特定電信號從測試設備9施加到待測試裝置2，那么電信號經由導電單元8傳送到待測試裝置2，且因此，執(zhí)行特定電性測試。
[0008]測試座20在接觸待測試裝置2的若干過程中被反復地壓縮和擴展。如果導電單元8由于與待測試裝置2接觸而被壓縮，那么導電單元8的中心凸出且所有導電單元8在平面方向中擴展。換句話說，導電單元8具有圖3中示出的形狀。
[0009]絕緣單元6被提供在導電單元8附近以支撐導電單元8。絕緣單元6被一體地提供到導電單元8，且因此，支撐導電單元8。絕緣單元6還防止導電單元8的擴展。換句話說，絕緣單元6可防止導電單元8的自由擴展。由此，因為絕緣單元6防止導電單元8的自由擴展，所以需要大的按壓力以在導電單元8的厚度的方向中按壓導電單元8。
[0010]然而，測試座20可需要特定壓力以具有導電性。這樣代表待測試的裝置2需要用所述壓力按壓測試座20以獲得導電性。在過去，當待測試裝置2中僅存在少量導電單元8時，不存在按壓測試座20時的問題。然而，因為存在朝向半導體裝置的高密度集成的增長的趨勢，所以待測試裝置2上端子的數目已增加。如果端子的數目增加，那么導電單元8的數目也需要增加。由此，如果導電單元8的數目增加，那么存在需要通過使用較大力來按壓測試座20以獲得導電性的問題。然而，可能技術上難以過度增加按壓部件按壓待測試裝置時所施加的按壓力，且當待測試裝置2將過度按壓力傳送到測試座20時，待測試裝置2可能損壞。
[0011]因此，在現有技術中，很難在具有多個端子的待測試裝置2上通過測試座有效地執(zhí)行電性測試。

【發(fā)明內容】

[0012]—或多個示范性實施例包含一種測試座，其用于即使當待測試裝置上的端子的數目增加時也容易地在待測試裝置上執(zhí)行電性測試。
[0013]額外方面將部分在以下描述中得到闡述，并且部分地，將從描述中顯而易見，或者可以通過對所呈現的實施例的實踐習得。
[0014]根據一或多個示范性實施例，一種被安置于待測試裝置上的端子與測試設備的襯墊之間且電連接所述端子和所述襯墊的測試座包含:第一薄片型連接器，其包含具有固定到特定位置的邊緣的第一絕緣片，以及經配置以安置在對應于待測試裝置上的端子的每一位置處的多個第一導電單元，其具有所述第一絕緣片的厚度的方向中的導電性，且被提供到所述第一絕緣片；多個導電彈性單元，其經配置以安置在所述第一薄片型連接器下方，在所述第一絕緣片的厚度的方向中在對應于待測試裝置上的端子的每一位置處延伸，由其內分布多個導電粒子的絕緣彈性材料形成，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的上部部分一體地提供到所述第一導電單元中的每一者；以及第二薄片型連接器，其包含安置在所述多個導電彈性單元下方且邊緣固定到特定位置的第二絕緣片，以及經配置以安置在對應于待測試裝置上的端子的每一位置處的多個第二導電單元，其具有所述第二絕緣片的厚度的方向中的導電性，且被提供到所述第二絕緣片，其中所述多個第二導電單元中的每一者的上部部分一體地提供到所述多個導電彈性單元中的每一者，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的上部部分和下部部分的位置由所述第一薄片型連接器和所述第二薄片型連接器支撐，且空白空間(empty space)形成在所述多個導電彈性單元中的每一者附近，而不會阻止所述多個導電彈性單元在厚度方向中被按壓且在面的方向中擴展。
[0015]所述多個導電彈性單元中的每一者的一側可被空白空間包圍，使得空白空間從所述多個導電彈性單元中的每一者的所述側的頂部延伸到底部。
[0016]所述多個導電彈性單元中的每一者的一側的頂部與底部之間的中間區(qū)域可被所述空白空間包圍。
[0017]第一絕緣片可包含由合成樹脂形成的膜，且多個通孔形成在對應于待測試裝置上的端子的每一位置處，且所述多個第一導電單元可穿透所述穿透孔且被所述第一絕緣片支撐。
[0018]所述第一絕緣片的通孔的內徑可小于導電彈性單元的外徑，且因此，第一絕緣片中通孔的周圍區(qū)域可被導電彈性單元的上表面的一端支撐。
[0019]所述第一絕緣片可包含絕緣彈性材料，且多個通孔形成在對應于待測試裝置上的端子的每一位置處，且第一導電單元可穿透所述通孔且被第一絕緣片支撐。
[0020]所述多個第一導電單元可由導電金屬材料形成。
[0021 ] 所述多個第一導電單元可包含與所述多個導電彈性單元的材料相同的材料。
[0022]所述多個導電彈性單元可一體地被提供到選自由以下各項組成的群組的至少一者:第一薄片型連接器和第二薄片型連接器。
[0023]所述多個導電彈性單元的絕緣彈性材料可由聚硅氧橡膠形成。
[0024]第一絕緣片的絕緣彈性材料可由聚硅氧橡膠形成。
[0025]構成所述多個導電彈性單