[0080] 為便于用戶實(shí)時(shí)記錄待測(cè)硅芯的電阻率，優(yōu)選地，所述檢測(cè)裝置還包括打印單元， 其與計(jì)算單元連接，用于打印計(jì)算單元計(jì)算得出的各根待測(cè)硅芯的電阻率，例如可打印成 報(bào)表。所述打印單元可采用現(xiàn)有的打印設(shè)備。
[0081] 為了便于用戶獲知各根待測(cè)硅芯的電阻率分別與標(biāo)準(zhǔn)硅芯的電阻率之間的差距， 優(yōu)選地，所述檢測(cè)裝置還包括比較單元，所述比較單元內(nèi)預(yù)設(shè)有標(biāo)準(zhǔn)硅芯電阻率，其與計(jì)算 單元相連，用于將計(jì)算單元計(jì)算得出的各根待測(cè)硅芯的電阻率分別與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)硅芯電阻 率相比較，以得出分別與各根待測(cè)硅芯對(duì)應(yīng)的比較結(jié)果，并將比較結(jié)果輸出至顯示單元和/ 或打印單元，以顯示和/或打印所述比較結(jié)果，所述比較結(jié)果即各根待測(cè)硅芯的電阻率分 別與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)硅芯電阻率的差值；
[0082] 為了便于用戶判斷待測(cè)硅芯的電阻率是否符合要求，進(jìn)一步地，所述檢測(cè)裝置還 包括二次比較單元，所述二次比較單元內(nèi)預(yù)設(shè)有誤差允許范圍，其與比較單元相連，用于將 比較單元輸出的所述比較結(jié)果與預(yù)設(shè)的誤差允許范圍相比較，以得出分別與各根待測(cè)硅芯 對(duì)應(yīng)的二次比較結(jié)果，并將所述二次比較結(jié)果輸出至顯示單元和/或打印單元，以顯示和/ 或打印所述二次比較結(jié)果，所述二次比較結(jié)果即各根待測(cè)硅芯的電阻率符合要求或不符合 要求，以便用戶判斷每根待測(cè)硅芯的電阻率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)硅芯電阻率的差值是否在誤差允 許范圍內(nèi)，若在誤差允許范圍內(nèi)，則該待測(cè)硅芯符合要求，屬于合格產(chǎn)品，若不在誤差允許 范圍內(nèi)，則該待測(cè)硅芯不符合要求，屬于次品，需剔除。所述比較單元和二次比較單元可采 用現(xiàn)有的比較電路，或具有比較功能的芯片。
[0083] 為便于用戶查看以往測(cè)得的硅芯電阻率，優(yōu)選地，所述檢測(cè)裝置還包括存儲(chǔ)單元， 其與計(jì)算單元連接，用于存儲(chǔ)計(jì)算單元計(jì)算得出的各根待測(cè)硅芯的電阻率；所述存儲(chǔ)單元 可采用現(xiàn)有的存儲(chǔ)芯片；
[0084] 同時(shí)，所述存儲(chǔ)單元還與顯示單元連接，用于將其存儲(chǔ)的用戶需要的待測(cè)硅芯的 電阻率輸出至顯示單元；所述顯示單元還用于顯示存儲(chǔ)單元輸出的待測(cè)硅芯的電阻率，以 根據(jù)用戶需要顯示以往測(cè)得的某根或某些根待測(cè)硅芯的電阻率；
[0085] 和/或，所述存儲(chǔ)單元還與打印單元連接，用于將其存儲(chǔ)的用戶需要的待測(cè)硅芯 的電阻率輸出至打印單元；所述打印單元還用于打印存儲(chǔ)單元輸出的待測(cè)硅芯的電阻率， 以根據(jù)用戶需要打印以往測(cè)得的某根或某些根待測(cè)硅芯的電阻率；
[0086] 和/或，所述存儲(chǔ)單元還與比較單元和/或二次比較單元相連，用于存儲(chǔ)比較單元 輸出的比較結(jié)果和/或二次比較單元輸出的二次比較結(jié)果，以便用戶調(diào)用以往測(cè)得的硅芯 的電阻率與標(biāo)準(zhǔn)硅芯的電阻率之間的比較結(jié)果（即所述比較結(jié)果），和/或者調(diào)用以往測(cè)得 的硅芯與預(yù)設(shè)的誤差允許范圍的比較結(jié)果（即所述二次比較結(jié)果）；當(dāng)然也可根據(jù)用戶需 要顯示和/或打印存儲(chǔ)單元內(nèi)存儲(chǔ)的比較單元輸出的比較結(jié)果或二次比較單元輸出的二 次比較結(jié)果。
[0087] 為了實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控功能，優(yōu)選地，所述檢測(cè)裝置的計(jì)算單元還通過(guò)通訊線纜與遠(yuǎn) 程監(jiān)控終端相連，用于將計(jì)算單元計(jì)算得出的各根硅芯的電阻率輸出至遠(yuǎn)程監(jiān)控終端，以 便于用戶遠(yuǎn)程監(jiān)控待測(cè)硅芯的電阻率。
[0088] 實(shí)施例2 :
[0089] 本實(shí)施例中，以待測(cè)硅芯采用現(xiàn)有的通用多晶硅芯為例詳細(xì)描述所述硅芯電阻 率檢測(cè)裝置的操作臺(tái)的結(jié)構(gòu)，所述通用多晶娃芯為圓柱形，長(zhǎng)度為2000mm-3000mm，直徑為 3mm-10mm，則需采用的金屬探頭的數(shù)量為五個(gè)，即N等于5,故本實(shí)施例中所有出現(xiàn)的N均等 于5。
[0090] 如圖3、4所示，所述操作臺(tái)包括基座2、多個(gè)可調(diào)式基座支架1、硅芯固定子單元和 金屬探頭調(diào)節(jié)子單元。
[0091] 其中，所述基座2采用矩形板狀結(jié)構(gòu)，其尺寸優(yōu)選為：長(zhǎng)2000mm，寬230mm，高 25mm〇
[0092] 所述可調(diào)式基座支架1可采用六個(gè)，且間隔均勻地設(shè)置在基座2的底部，用于調(diào)節(jié) 基座2相對(duì)于地面的距離，并保證基座2水平。
[0093] 具體地，如圖5所示，每個(gè)所述可調(diào)式基座支架1包括絲杠11、連接件12和支撐件 13 ；
[0094] 所述基座2上設(shè)置有與所述絲杠 11的數(shù)量相同且位置相對(duì)應(yīng)的螺紋通孔，所述基 座2上設(shè)置的螺紋通孔的公稱直徑與其對(duì)應(yīng)的絲桿11的公稱直徑相同，以使得基座2上設(shè) 置的螺紋通孔能夠與其對(duì)應(yīng)的絲桿11相匹配，所述絲桿11的長(zhǎng)度優(yōu)選為20mm，其上設(shè)置的 螺紋的公稱直徑優(yōu)選為12mm ;
[0095] 所述連接件12的一端與絲桿11相連，另一端與支撐件13相連，用于將絲桿11和 支撐件13連成一體，其高度優(yōu)選為8mm，所述連接件12優(yōu)選采用六棱柱結(jié)構(gòu)，以方便用戶 對(duì)其進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，通過(guò)旋轉(zhuǎn)連接件12可調(diào)節(jié)絲桿11在其對(duì)應(yīng)的螺紋通孔中的位置，從而 調(diào)節(jié)該螺紋通孔相對(duì)于地面的距離，進(jìn)而調(diào)芐基座2相對(duì)于地面的距離，所述六棱柱的橫 截面的外接圓（即六邊形的外接圓）的直徑優(yōu)選為30_，當(dāng)然也可以采用其它形狀的連接 件；
[0096] 所述支撐件13采用能夠支撐基座2的結(jié)構(gòu)，用于支撐基座2,其高度優(yōu)選為35mm， 所述支撐件13優(yōu)選采用頂端小、底端大的圓臺(tái)結(jié)構(gòu)，且該圓臺(tái)頂面的尺寸需與連接件12底 端的尺寸相適配，例如該圓臺(tái)頂面的直徑與六棱柱底面的外接圓的直徑相同，該圓臺(tái)底面 的直徑優(yōu)選為65_ ;為了在保持穩(wěn)固性的同時(shí)還能節(jié)約材料，優(yōu)選地，所述支撐件13采用 上部分為圓臺(tái)狀、下部分為圓柱狀的結(jié)構(gòu)，且該圓柱的直徑與該圓臺(tái)底面的直徑相同，該圓 臺(tái)頂面的直徑與六棱柱底面的外接圓的直徑相同，該圓臺(tái)底面的直徑優(yōu)選為65mm，該圓柱 的高度優(yōu)選為3mm ;為了進(jìn)一步地節(jié)約材料，所述支撐件13的底部還設(shè)置有凹槽，所述凹槽 的深度優(yōu)選為20mm，所述凹槽優(yōu)選為接近連接件12的部分為圓臺(tái)狀凹槽、遠(yuǎn)離連接件12的 部分為圓柱狀凹槽的結(jié)構(gòu)，且該圓臺(tái)頂面的直徑優(yōu)選為35mm，該圓臺(tái)底面的直徑與該圓柱 的直徑相同，該圓柱的直徑優(yōu)選為55mm，該圓柱的高度優(yōu)選為3mm。
[0097] 所述硅芯固定子單元與待測(cè)硅芯可拆卸地連接，用于固定待測(cè)硅芯；所述硅芯固 定子單元優(yōu)選采用開口角度可調(diào)式卡槽結(jié)構(gòu)，且卡槽的長(zhǎng)度方向與待測(cè)硅芯的軸向平行， 其使用方法為：先將卡槽的開口角度調(diào)大，把待測(cè)硅芯水平地放入卡槽中，待放好后再把卡 槽的開口角度調(diào)小，以?shī)A持住待測(cè)硅芯，使其無(wú)法移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)，卡槽的最終開口角度與待測(cè) 硅芯的直徑相關(guān)，以能夾持住待測(cè)硅芯又不會(huì)傷害待測(cè)硅芯為準(zhǔn)；為了在保證固定性的同 時(shí)還能節(jié)約材料，進(jìn)一步地，所述硅芯固定子單元包括N個(gè)固定模塊3,該N個(gè)固定模塊3間 隔均勻地固定（可通過(guò)螺栓和螺母固定）在基座2上，每個(gè)固定模塊3均采用開口角度可 調(diào)式卡槽結(jié)構(gòu)，且每個(gè)固定模塊3的卡槽的長(zhǎng)度方向均與待測(cè)硅芯的軸向平行，其長(zhǎng)度優(yōu) 選為100mm。
[0098] 所述金屬探頭調(diào)節(jié)子單元與N個(gè)金屬探頭可拆卸地連接，用于調(diào)節(jié)N個(gè)金屬探頭 的位置，以使其沿待測(cè)硅芯的軸向排列且間隔均勻地放置在待測(cè)硅芯上，并使每根金屬探 針以一定的壓力垂直放置在待測(cè)硅芯表面上。
[0099] 具體地，所述金屬探頭調(diào)節(jié)子單元包括N個(gè)立柱4、N個(gè)調(diào)節(jié)模塊、連接軸8和手柄 7 ；
[0100] 所述N個(gè)立柱4間隔均勻地垂直固定在基座2上，且每相鄰兩個(gè)立柱4的軸間距 優(yōu)選為300mm，每個(gè)立柱4的直徑優(yōu)選為25mm，長(zhǎng)度優(yōu)選為365mm ;優(yōu)選地，每個(gè)立柱4的位 置均與硅芯固定子單元的一個(gè)固定模塊3的位置相對(duì)應(yīng)，故每相鄰兩個(gè)固定模塊3的軸間 距也優(yōu)選為300mm ;所述立柱4和固定模塊3的軸均指的是中心軸，并垂直于基座2 ;
[0101] 每個(gè)調(diào)節(jié)模塊均包括旋轉(zhuǎn)件和移動(dòng)件，且每個(gè)調(diào)節(jié)模塊的旋轉(zhuǎn)件和移動(dòng)件均通過(guò) 連接軸8連接，每個(gè)調(diào)節(jié)模塊的旋轉(zhuǎn)件均對(duì)應(yīng)一個(gè)金屬探頭，每個(gè)金屬探頭均固定在其對(duì) 應(yīng)的旋轉(zhuǎn)件上且位于固定在硅芯固定子單元中的待測(cè)硅芯的正上方（即金屬探頭的初始 位置），每個(gè)調(diào)節(jié)模塊的移動(dòng)件均對(duì)應(yīng)一根立柱4,并與其對(duì)應(yīng)的立柱4可拆卸地連接，從而 能夠調(diào)整每個(gè)調(diào)節(jié)模塊在其對(duì)應(yīng)立柱4上的堅(jiān)直位置（即使得調(diào)節(jié)模塊沿立柱4上下移 動(dòng)），進(jìn)而能夠調(diào)節(jié)每個(gè)金屬探頭相對(duì)于固定在硅芯固定子單元中的待測(cè)硅芯的距離；
[0102] 所述連接軸8與固定在硅芯固定子單元中的待測(cè)硅芯平行設(shè)置，所述N個(gè)調(diào)節(jié)模 塊的旋轉(zhuǎn)件和移動(dòng)件均套裝在連接軸8上，且旋轉(zhuǎn)件能隨連接軸8 -起轉(zhuǎn)動(dòng)，而移動(dòng)件無(wú)法 隨連接軸8 -起轉(zhuǎn)動(dòng)；所述連接軸8的直徑優(yōu)選為12mm，長(zhǎng)度優(yōu)選為大于1200mm ;
[0103] 所述手柄7如圖6所示，其固定在連接軸8的一端，用于使連接軸8轉(zhuǎn)動(dòng)，并帶動(dòng) N個(gè)調(diào)節(jié)模塊的旋轉(zhuǎn)件一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)N個(gè)金屬探頭沿連接軸8轉(zhuǎn)動(dòng)；所述手柄7的長(zhǎng) 度優(yōu)選為200mm。
[0104] 測(cè)試前，手柄7處于初始位置，此時(shí)手柄7未動(dòng)作，N個(gè)金屬探頭也處于初始位置， 即位于待測(cè)硅芯的正上方；測(cè)試時(shí)，先使手柄7通過(guò)連接軸8帶動(dòng)N個(gè)調(diào)節(jié)模塊的旋轉(zhuǎn)件轉(zhuǎn) 動(dòng)，從而帶動(dòng)N個(gè)金屬探頭沿連接軸8轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)N個(gè)金屬探頭由于沿連接軸8轉(zhuǎn)動(dòng)而偏離 了初始位置，即偏離了待測(cè)硅芯正上方的位置，再向上或向下調(diào)節(jié)各個(gè)調(diào)節(jié)模塊的移動(dòng)件 在立柱4上的堅(jiān)直位置，以使得手柄7回到初始位置時(shí)，每個(gè)金屬探頭的兩根金屬探針能垂 直放置在待測(cè)硅芯表面上，而且，由于受到旋轉(zhuǎn)件自身重力的影響，每根金屬探針還會(huì)以一 定的壓力垂直放置在待測(cè)硅芯表面上，故能夠避免各根金屬探針與待測(cè)硅芯表面之間出現(xiàn) 間隙，提高了硅芯電阻率的測(cè)量精度。
[0105] 如圖7-9所示，所述移動(dòng)件采用三角支架5,所述旋轉(zhuǎn)件采用卡套6 ;
[0106] 所述三角支架5包括第一空心柱狀部51、第一三角板狀部52和第二三角板狀部 53 ;所述第一空心柱狀部51套裝在對(duì)應(yīng)的立柱4上，且所述第一空心柱狀部51的側(cè)