膜厚的檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請(qǐng)涉及薄膜厚度檢測(cè)的技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種膜厚的檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]薄片狀物品，如紙張、票據(jù)、塑料薄膜、紡織物品等的在線連續(xù)厚度測(cè)量，在其產(chǎn)品的生產(chǎn)、檢測(cè)、處理、回收等過(guò)程中處于越來(lái)越重要的地位。當(dāng)前，薄膜厚度的檢測(cè)技術(shù)要包括霍爾、反射型超聲波、透射型超聲、電磁感應(yīng)式、渦流式等技術(shù)。但這些技術(shù)對(duì)應(yīng)的檢測(cè)裝置體積較大，成本較高，不利于這些技術(shù)的應(yīng)用。
[0003]近年來(lái)，通過(guò)電極間的靜電感應(yīng)進(jìn)行薄膜厚度的檢測(cè)技術(shù)在不斷研究探索之中，例如公開(kāi)號(hào)CN210302446Y的專利公開(kāi)的了一種電容式紙厚傳感器，其主要是將電容器的容量變化轉(zhuǎn)化成振蕩頻率的變化，再通過(guò)頻壓轉(zhuǎn)換模塊將頻率的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化。公開(kāi)號(hào)為CN103363887A的專利也公開(kāi)了一種材料厚度的檢測(cè)方法，利用平板電容的極板作為厚度檢測(cè)的敏感器件，實(shí)測(cè)對(duì)象的厚度變化引起的電容活動(dòng)極板產(chǎn)生位移，導(dǎo)致平板電容器的容量發(fā)生變化。
[0004]上述這些通過(guò)電極間的靜電感應(yīng)的檢測(cè)薄膜厚度的技術(shù)在一定程度上減小了檢測(cè)裝置的體積，但仍需要傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，因此與檢測(cè)設(shè)備的小型化發(fā)展還不相符。
[0005]另外，現(xiàn)有技術(shù)中的檢測(cè)裝置不能精確測(cè)量薄膜各個(gè)位置的厚度，不利于薄膜產(chǎn)品厚度的均勻性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本申請(qǐng)旨在提供一種膜厚的檢測(cè)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的檢測(cè)裝置不能精確測(cè)量薄膜各個(gè)位置的厚度的問(wèn)題。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請(qǐng)的一個(gè)方面，提供了一種膜厚的檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置包括:公共電極、多個(gè)檢測(cè)電極組與檢測(cè)電路。其中，各檢測(cè)電極組與上述公共電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，且上述公共電極的第一表面與每個(gè)上述檢測(cè)電極組的第一表面相對(duì)，多個(gè)上述檢測(cè)電極組沿第二方向間隔設(shè)置，各上述檢測(cè)電極組包括至少一個(gè)檢測(cè)電極，上述第一方向與第一平面垂直，上述第二方向與待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，上述第一平面與上述第二方向平行；檢測(cè)電路與多個(gè)上述檢測(cè)電極組電連接，上述檢測(cè)電路包括移位控制單元，上述移位控制單元用于控制多個(gè)上述檢測(cè)電極組的感應(yīng)電信號(hào)的輸出順序。
[0008]進(jìn)一步地，上述移位控制單元包括開(kāi)關(guān)模塊與開(kāi)關(guān)控制模塊。
[0009]進(jìn)一步地，上述開(kāi)關(guān)模塊中包含多個(gè)開(kāi)關(guān)，每一個(gè)檢測(cè)電極組對(duì)應(yīng)一個(gè)上述開(kāi)關(guān)。
[0010]進(jìn)一步地，上述開(kāi)關(guān)控制模塊包括移位寄存器，上述移位寄存器將接收到的外部控制信號(hào)傳輸至上述開(kāi)關(guān)模塊中，逐個(gè)開(kāi)啟每一個(gè)上述開(kāi)關(guān)。
[0011]進(jìn)一步地，上述外部控制信號(hào)由時(shí)鐘信號(hào)驅(qū)動(dòng)。
[0012]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)電路還包括采樣單元、阻抗匹配單元與放大單元。其中，采樣單元的輸入端與上述檢測(cè)電極組電連接；阻抗匹配單元一端與上述采樣單元的輸出端電連接，另一端與上述移位控制單元電連接；放大單元一端與上述移位控制單元電連接。
[0013]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)電路還包括復(fù)位單元，上述復(fù)位單元設(shè)置在上述采樣單元與上述阻抗匹配單元之間，在上述采樣單元采樣之前，上述復(fù)位單元將上述檢測(cè)電極的信號(hào)進(jìn)行復(fù)位。
[0014]進(jìn)一步地，上述復(fù)位單元采用復(fù)位信號(hào)實(shí)施上述復(fù)位，上述復(fù)位信號(hào)的有效區(qū)間對(duì)應(yīng)施加在上述公共電極上的電信號(hào)的無(wú)效區(qū)間。
[0015]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)裝置還包括第一基板與第二基板，第二基板與上述第一基板在上述第一方向上間隔設(shè)置，上述第一基板的第一表面朝向上述第二基板的第一表面，且上述第一基板的第一表面與上述第二基板的第一表面均為垂直于上述第一平面，上述公共電極設(shè)置在上述第一基板的第一表面上，上述檢測(cè)電極設(shè)置在上述第二基板的第一表面上，上述檢測(cè)電路設(shè)置在上述第二基板的第二表面。
[0016]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)裝置還包括第一屏蔽電極與第二屏蔽電極，其中，第一屏蔽電極設(shè)置在上述第一基板的第一表面上，并且圍繞上述公共電極設(shè)置；第二屏蔽電極設(shè)置在上述第二基板的第一表面上，并且圍繞上述檢測(cè)電極設(shè)置。
[0017]應(yīng)用本申請(qǐng)的檢測(cè)裝置，檢測(cè)裝置中包括多個(gè)檢測(cè)電極組，當(dāng)待測(cè)膜經(jīng)過(guò)傳輸通道時(shí)，每個(gè)檢測(cè)電極均感應(yīng)出電荷，因?yàn)椴煌臋z測(cè)電極組對(duì)應(yīng)待測(cè)膜的不同位置，所以不同的檢測(cè)電極感應(yīng)出的電荷的多少不同，并且，該檢測(cè)裝置中的移位控制單元能夠?qū)z測(cè)電極組的感應(yīng)電信號(hào)按照順序輸出，這樣就可以得到待測(cè)膜不同位置處的厚度。并且，該檢測(cè)裝置無(wú)需機(jī)械裝置引導(dǎo)電極產(chǎn)生位移就能夠測(cè)量得到待測(cè)膜的厚度，更加輕便，方便使用，能夠應(yīng)用到很多領(lǐng)域中。
【附圖說(shuō)明】
[0018]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本申請(qǐng)的進(jìn)一步理解，本申請(qǐng)的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本申請(qǐng)，并不構(gòu)成對(duì)本申請(qǐng)的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0019]圖1示出了本申請(qǐng)一種典型實(shí)施方式提出的膜厚的檢測(cè)裝置的側(cè)視圖；
[0020]圖2示出了一種實(shí)施例提供的檢測(cè)電路的結(jié)構(gòu)圖；
[0021]圖3示出了一種實(shí)施例提供的膜厚的檢測(cè)裝置的電路原理示意圖；
[0022]圖4示出了一種實(shí)施例提供的膜厚的檢測(cè)裝置的工作時(shí)序示意圖；
[0023]圖5示出了一種實(shí)施例提供的公共電極的第一表面的俯視圖；
[0024]圖6示出了一種實(shí)施例提供的檢測(cè)電極的第一表面的俯視圖；
[0025]圖7示出了一種實(shí)施例提供的膜厚的檢測(cè)裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖8示出了另一種實(shí)施例提供的膜厚的檢測(cè)裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0027]圖9示出了一種實(shí)施例中的輸出信號(hào)SIG、控制信號(hào)SP與時(shí)鐘信號(hào)CLK的時(shí)序圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]應(yīng)該指出，以下詳細(xì)說(shuō)明都是例示性的，旨在對(duì)本申請(qǐng)?zhí)峁┻M(jìn)一步的說(shuō)明。除非另有指明，本文使用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)具有與本申請(qǐng)所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的相同含義。
[0029]需要注意的是，這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅是為了描述【具體實(shí)施方式】，而非意圖限制根據(jù)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說(shuō)明書(shū)中使用術(shù)語(yǔ)“包含”和/或“包括”時(shí)，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。
[0030]正如【背景技術(shù)】所介紹的，現(xiàn)有的檢測(cè)裝置不能精確檢測(cè)出待測(cè)膜不同位置的厚度，為了解決如上的問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N膜厚的檢測(cè)裝置。
[0031]本申請(qǐng)的一種典型的是實(shí)施方式中，提供了一種膜厚的檢測(cè)裝置，如圖1所示該檢測(cè)裝置包括公共電極12、多個(gè)檢測(cè)電極組2與檢測(cè)電路25。其中，各檢測(cè)電極組2與上述公共電極12在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，且上述公共電極12的第一表面與每個(gè)上述檢測(cè)電極組2的第一表面相對(duì)，多個(gè)上述檢測(cè)電極組2沿第二方向間隔設(shè)置，各上述檢測(cè)電極組2包括至少一個(gè)檢測(cè)電極22，上述第一方向與第一平面垂直，上述第二方向與上述待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，上述第一平面與上述第二方向平行。檢測(cè)電路25與多個(gè)上述檢測(cè)電極組2電連接，上述檢測(cè)電路25包括移位控