檢查設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種檢查設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]日本專利N0.4858657公開了一種基板檢查設(shè)備，其對(duì)于印刷板進(jìn)行電氣測(cè)試。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于增強(qiáng)在其中測(cè)試器被以上下方向布置的結(jié)構(gòu)中裝卸基板時(shí)的工作性。
[0004]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種檢查設(shè)備，其包括第一測(cè)試器和第二測(cè)試器，基板被裝載到所述第一測(cè)試器和所述第二測(cè)試器中的每一個(gè)中以及從所述第一測(cè)試器和所述第二測(cè)試器中的每一個(gè)卸下；第一臺(tái)，所述第一測(cè)試器被安裝在所述第一臺(tái)上，所述第一臺(tái)可移動(dòng)到所述基板被裝載到所述第一測(cè)試器中以及從所述第一測(cè)試器卸下的第一裝卸位置以及所述第一測(cè)試器在裝載在第一裝卸位置的基板的測(cè)試期間所位于的第一測(cè)試位置，所述第一測(cè)試位置設(shè)置在所述第一裝卸位置上方；第二臺(tái)，所述第二測(cè)試器安裝在所述第二臺(tái)上，所述第二臺(tái)被設(shè)置在所述第一臺(tái)下方并且可移動(dòng)到基板被裝載在所述第二測(cè)試器中以及從所述第二測(cè)試器卸下的第二裝卸位置以及第二測(cè)試器在裝載在所述第二裝卸位置處的所述基板的測(cè)試期間所位于的第二測(cè)試位置，所述第二測(cè)試位置設(shè)置在所述第二裝卸位置下方；以及升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)將所述第一臺(tái)上下移動(dòng)到所述第一裝卸位置和所述第一測(cè)試位置以及將所述第二臺(tái)上下移動(dòng)到所述第二裝卸位置和所述第二測(cè)試位置。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，第二測(cè)試器包括蓋部，所述蓋部在所述基板裝載時(shí)通過(guò)朝向所述第一臺(tái)移動(dòng)而打開，并且所述第一測(cè)試位置是所述第一臺(tái)從打開的蓋部退回到的位置。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的第三方面，升降機(jī)構(gòu)將第一臺(tái)和第二臺(tái)一起向上分別移動(dòng)到所述第一測(cè)試位置和所述第二裝卸位置，并且將所述第一臺(tái)和所述第二臺(tái)一起向下分別移動(dòng)到所述第一裝卸位置和所述第二測(cè)試位置。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的第四方面，升降機(jī)構(gòu)在開始所述第一測(cè)試器中的基板的測(cè)試的操作被執(zhí)行時(shí)將所述第一臺(tái)向上移動(dòng)到所述第一測(cè)試位置。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的第五方面，升降機(jī)構(gòu)在開始所述第二測(cè)試器中的基板的測(cè)試的操作被執(zhí)行時(shí)將所述第二臺(tái)向下移動(dòng)到所述第二測(cè)試位置。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的第六方面，檢查設(shè)備進(jìn)一步包括顯示部，所述顯示部顯示所述第一測(cè)試器和所述第二測(cè)試器中的測(cè)試的結(jié)束，并且所述升降機(jī)構(gòu)將所述第一測(cè)試器和所述第二測(cè)試器中結(jié)束測(cè)試較早的測(cè)試器向上或向下移動(dòng)到該測(cè)試器的裝卸位置，而與所述第一測(cè)試器和所述第二測(cè)試器中的哪個(gè)較早地開始測(cè)試無(wú)關(guān)。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，能夠使得裝卸基板時(shí)的工作性高于第一臺(tái)和第二臺(tái)不上下移動(dòng)的情況。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，與第一臺(tái)不退回的情況相比，能夠進(jìn)一步抑制第二測(cè)試器的蓋部分與第一臺(tái)發(fā)生干擾。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的第三方面，能夠利用單個(gè)升降機(jī)將第一臺(tái)和第二臺(tái)上下移動(dòng)。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的第四方面，不需要向上移動(dòng)第一臺(tái)的操作。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的第五方面，不需要向下移動(dòng)第二臺(tái)的操作。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的第六方面，能夠與測(cè)試開始的順序無(wú)關(guān)地將基板裝載到結(jié)束測(cè)試較早的測(cè)試器中以及從結(jié)束測(cè)試較早的測(cè)試器卸下。
【附圖說(shuō)明】
[0016]將基于附圖詳細(xì)地描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，其中:
[0017]圖1是示出根據(jù)示例性實(shí)施方式的檢查設(shè)備的構(gòu)造的透視圖；
[0018]圖2是示出圖1的構(gòu)造中移動(dòng)體向下移動(dòng)的狀態(tài)的透視圖；
[0019]圖3是示出根據(jù)示例性實(shí)施方式的檢查設(shè)備的構(gòu)造的側(cè)視圖；
[0020]圖4是示出圖3的構(gòu)造中第二測(cè)試器的蓋部打開的狀態(tài)的側(cè)視圖；
[0021]圖5是示出圖3的構(gòu)造中移動(dòng)體向下移動(dòng)的狀態(tài)的側(cè)視圖；以及
[0022]圖6是示出圖5的構(gòu)造中第一測(cè)試器的蓋部打開的狀態(tài)的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]將在下面參考附圖描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方式。
[0024]根據(jù)示例性實(shí)施方式的檢查設(shè)備10
[0025]首先，將描述根據(jù)示例性實(shí)施方式的檢查設(shè)備10的構(gòu)造。圖1和圖2是示出檢查設(shè)備10的構(gòu)造的透視圖。圖3至圖6是示出檢查設(shè)備10的構(gòu)造的側(cè)視圖。在下面的描述中使用的X方向、-X方向、Y方向(向上方向)、-y方向(向下方向)、Z方向以及-Z方向是在圖中示出的箭頭的方向。在每個(gè)附圖中，圓圈中有X的標(biāo)記表示從圖的紙面的前側(cè)指向背側(cè)的箭頭，并且圓圈中有.的標(biāo)記表示從圖的紙面的背側(cè)指向前側(cè)的箭頭。此外，在圖3至圖6中，檢查設(shè)備10中的可移動(dòng)部分(移動(dòng)體40)被繪制為各個(gè)點(diǎn)以便于理解。
[0026]如圖1中所示的，檢查設(shè)備10包括本體框架20和布置在本體框架20內(nèi)以能夠相對(duì)于本體框架20在向上方向和向下方向(Y方向以及-Y方向)上移動(dòng)的移動(dòng)體40。檢查設(shè)備10進(jìn)一步包括布置在移動(dòng)體40的上部的第一測(cè)試器70、布置在移動(dòng)體40的下部的第二測(cè)試器80以及布置在移動(dòng)體40的下方(在-Y方向一側(cè))以將移動(dòng)體40上下移動(dòng)的升降機(jī)90 (升降機(jī)構(gòu)的示例)。
[0027]第一測(cè)試器70和第二測(cè)試器80均對(duì)基板K (電路板)進(jìn)行電氣測(cè)試。例如，電氣測(cè)試是在線測(cè)試或功能測(cè)試。具體地，第一測(cè)試器70和第二測(cè)試器80包括測(cè)試器主體72和82以及分別布置在測(cè)試器主體72和82的上部的可開關(guān)的蓋部74和84。蓋部74和84分別在測(cè)試器主體72和82的Z方向端部處由支撐部(鉸鏈)73和83支撐。因此，通過(guò)圍繞Z方向端部向上(在Y方向上)旋轉(zhuǎn)蓋部74和84的-Z方向端部來(lái)打開蓋部74和84。通過(guò)圍繞Z方向端部向下(在-Y方向上)旋轉(zhuǎn)蓋部74和84的-Z方向端部來(lái)將蓋部74和84從打開狀態(tài)關(guān)閉。
[0028]測(cè)試器主體72和82是箱形狀，并且其上部在蓋部74和84分別打開的狀態(tài)下打開。待檢查的基板K被裝載在測(cè)試器主體72和82的上部以及從其卸下。在裝載在測(cè)試器主體72和82之后，基板K在蓋部74和84關(guān)閉的狀態(tài)下進(jìn)行電氣測(cè)試。
[0029]測(cè)試器主體72和82被設(shè)置有用于開始測(cè)試的操作部(未示出)。操作者在面對(duì)檢查設(shè)備10的-Z方向側(cè)表面時(shí)執(zhí)行下述操作,該操作將基板K裝載在第一測(cè)試器70和第二測(cè)試器80中以及從其卸下。
[0030]框架主體20是檢查設(shè)備10中的固定部分，并且包括板狀底部22、從底部22的四個(gè)角部向上站立的四個(gè)柱24A、24B、24C和24D(下面稱為柱24A至24D)以及連接四個(gè)柱24A至24D的上端部的四個(gè)梁26A、26B、26C和26D。
[0031]底部22是其上安裝升降機(jī)90的部分，并且包括四角形底板22E和圍繞底板22E以形成框架的四個(gè)底梁22A、22B、22C和22D(下面稱為底梁22A至22D)。四個(gè)底梁22A至22D在四個(gè)角部處由其上安裝有檢查設(shè)備10的床面(未示出)上的腿部21支撐。
[0032]具體地，柱24A至24D從連接四個(gè)底梁22A至22D的角部向上站立。在底梁22A的Z方向側(cè)部分中，對(duì)向柱28A與柱24A對(duì)向地站立并且在其間具有間隔，從而下面描述的輥47A和49A能夠被布置在該空間中。在底梁22A的-Z方向側(cè)部分中，對(duì)向柱28B與柱24B對(duì)向地站立并且在其間具有間隔，從而下面描述的輥47B和49B能夠布置在該空間中。對(duì)向柱28A和28B的上端部連接到梁26A。