本申請(qǐng)涉及射頻，尤其涉及一種匹配參數(shù)確定方法、匹配參數(shù)確定裝置、射頻電源系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、射頻電源可以產(chǎn)生射頻頻率且具有一定輸出功率的射頻信號(hào)。射頻電源廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，為各種核心制造設(shè)備的負(fù)載輸出射頻信號(hào)。在射頻電源向負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)，需要根據(jù)反射系數(shù)、反射系數(shù)模值、駐波比等匹配參數(shù)來(lái)確定射頻電源與負(fù)載之間的阻抗匹配情況，從而避免射頻電源的損壞，并提高輸出效率。

2、因此，如何確定反射系數(shù)模值等匹配參數(shù)，以反映射頻電源向負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)射頻電源與負(fù)載之間的阻抗匹配情況，成為了需要考慮的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N匹配參數(shù)確定方法、匹配參數(shù)確定裝置、射頻電源系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，可快速確定反射系數(shù)模值，以反映射頻電源向負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)射頻電源與負(fù)載之間的阻抗匹配情況。

2、第一方面，提供一種匹配參數(shù)確定方法，所述匹配參數(shù)確定方法用于確定匹配參數(shù)，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值，所述匹配參數(shù)確定方法包括：至少獲取測(cè)試交流源向負(fù)載輸出測(cè)試交流信號(hào)時(shí)所述負(fù)載的測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值；至少根據(jù)測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，確定負(fù)載的電阻值和阻抗模值；根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值；其中，所述反射系數(shù)模值用于反映射頻電源向所述負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)所述射頻電源與所述負(fù)載之間的阻抗匹配情況。

3、在一種可能的實(shí)施方式中，所述至少獲取測(cè)試交流源向負(fù)載輸出測(cè)試交流信號(hào)時(shí)所述負(fù)載的測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，包括：獲取測(cè)試交流源向負(fù)載輸出測(cè)試交流信號(hào)時(shí)所述負(fù)載的測(cè)試電流值、測(cè)試電壓值以及測(cè)試功率值；所述至少根據(jù)測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，確定負(fù)載的電阻值和阻抗模值，包括：根據(jù)測(cè)試電流值、測(cè)試電壓值以及測(cè)試功率值，確定負(fù)載的電阻值和阻抗模值。

4、在一種可能的實(shí)施方式中，所述根據(jù)測(cè)試電流值、測(cè)試電壓值以及測(cè)試功率值，確定負(fù)載的電阻值和阻抗模值，包括：根據(jù)測(cè)試電壓值和測(cè)試功率值，確定負(fù)載的電阻值；根據(jù)測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，確定負(fù)載的阻抗模值。

5、在一種可能的實(shí)施方式中，所述匹配參數(shù)還包括駐波比，所述駐波比也用于反映所述射頻電源向所述負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)所述射頻電源與所述負(fù)載之間的阻抗匹配情況；其中，在所述根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值之后，所述匹配參數(shù)確定方法還包括：基于反射系數(shù)模值與駐波比之間的第一換算關(guān)系，根據(jù)所述反射系數(shù)模值，確定所述駐波比。

6、在一種可能的實(shí)施方式中，在所述反射系數(shù)模值小于等于第一預(yù)設(shè)值以及所述駐波比小于等于第二預(yù)設(shè)值時(shí)，反映所述射頻電源與所述負(fù)載之間完成阻抗匹配；在所述反射系數(shù)模值大于第一預(yù)設(shè)值和/或所述駐波比大于第二預(yù)設(shè)值時(shí)，反映所述射頻電源與所述負(fù)載之間未完成阻抗匹配；其中，所述第二預(yù)設(shè)值基于所述第一換算關(guān)系以及所述第一預(yù)設(shè)值對(duì)應(yīng)得到。

7、在一種可能的實(shí)施方式中，所述根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值，包括：獲取反射系數(shù)、虛數(shù)單位、預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值、電抗值和阻抗模值之間的第一預(yù)設(shè)關(guān)系；基于反射系數(shù)模值、預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值和阻抗模值之間的第二預(yù)設(shè)關(guān)系，根據(jù)所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負(fù)載的電阻值和阻抗模值，確定所述反射系數(shù)模值，其中，所述第二預(yù)設(shè)關(guān)系基于第一預(yù)設(shè)關(guān)系以及所述反射系數(shù)模值與反射系數(shù)之間的第二換算關(guān)系得到。

8、在一種可能的實(shí)施方式中，所述反射系數(shù)具有實(shí)部、虛部以及虛部系數(shù)，所述虛數(shù)單位是所述反射系數(shù)中的虛部系數(shù)；其中，在所述第一預(yù)設(shè)關(guān)系中，所述反射系數(shù)的實(shí)部和虛部均與所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負(fù)載的電阻值和阻抗模值相關(guān)；在所述第二換算關(guān)系中，所述反射系數(shù)模值為所述反射系數(shù)的實(shí)部的平方與虛部的平方之和的平方根，以使得基于所述第一預(yù)設(shè)關(guān)系以及所述第二換算關(guān)系建立的所述第二預(yù)設(shè)關(guān)系中，所述反射系數(shù)模值與所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負(fù)載的電阻值和阻抗模值相關(guān)。

9、第二方面，還提供一種匹配參數(shù)確定裝置，所述匹配參數(shù)確定裝置采用上述的匹配參數(shù)確定方法來(lái)確定匹配參數(shù)，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值；其中，所述匹配參數(shù)確定裝置包括測(cè)試交流源、獲取單元以及控制單元；所述測(cè)試交流源用于向負(fù)載輸出測(cè)試交流信號(hào)；所述獲取單元用于至少獲取所述測(cè)試交流源向所述負(fù)載輸出所述測(cè)試交流信號(hào)時(shí)所述負(fù)載的測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值；所述控制單元用于至少根據(jù)所述測(cè)試電流值和所述測(cè)試電壓值，確定所述負(fù)載的電阻值和阻抗模值，且根據(jù)所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負(fù)載的電阻值和阻抗模值，確定所述反射系數(shù)模值；其中，所述反射系數(shù)模值作為匹配參數(shù)用于反映射頻電源向所述負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)所述射頻電源與所述負(fù)載之間的阻抗匹配情況。

10、第三方面，還提供一種射頻電源系統(tǒng)，所述射頻電源系統(tǒng)包括射頻電源以及上述的匹配參數(shù)確定裝置。

11、第四方面，還提供一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，當(dāng)所述計(jì)算機(jī)程序在計(jì)算機(jī)或處理器上運(yùn)行時(shí)，實(shí)現(xiàn)上述的匹配參數(shù)確定方法。

12、本申請(qǐng)的匹配參數(shù)確定方法、匹配參數(shù)確定裝置、射頻電源系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，通過(guò)至少獲取測(cè)試交流源向負(fù)載輸出測(cè)試交流信號(hào)時(shí)負(fù)載的測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，并至少根據(jù)測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，確定負(fù)載的電阻值和阻抗模值，從而能夠根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值和阻抗模值，快速確定反射系數(shù)模值，以根據(jù)反射系數(shù)模值快速反映射頻電源向負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)射頻電源與負(fù)載之間的阻抗匹配情況。

技術(shù)特征：

1.一種匹配參數(shù)確定方法，用于確定匹配參數(shù)，其特征在于，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值，所述匹配參數(shù)確定方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述至少獲取測(cè)試交流源向負(fù)載輸出測(cè)試交流信號(hào)時(shí)所述負(fù)載的測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述根據(jù)測(cè)試電流值、測(cè)試電壓值以及測(cè)試功率值，確定負(fù)載的電阻值和阻抗模值，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述匹配參數(shù)還包括駐波比，所述駐波比也用于反映所述射頻電源向所述負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)所述射頻電源與所述負(fù)載之間的阻抗匹配情況；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，在所述反射系數(shù)模值小于等于第一預(yù)設(shè)值以及所述駐波比小于等于第二預(yù)設(shè)值時(shí)，反映所述射頻電源與所述負(fù)載之間完成阻抗匹配；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值，包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述反射系數(shù)具有實(shí)部、虛部以及虛部系數(shù)，所述虛數(shù)單位是所述反射系數(shù)中的虛部系數(shù)；

8.一種匹配參數(shù)確定裝置，其特征在于，所述匹配參數(shù)確定裝置采用如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的匹配參數(shù)確定方法來(lái)確定匹配參數(shù)，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值；

9.一種射頻電源系統(tǒng)，其特征在于，包括射頻電源以及如權(quán)利要求8所述的匹配參數(shù)確定裝置。

10.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，當(dāng)所述計(jì)算機(jī)程序在計(jì)算機(jī)或處理器上運(yùn)行時(shí)，實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的匹配參數(shù)確定方法。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N匹配參數(shù)確定方法以及相關(guān)裝置，涉及射頻技術(shù)領(lǐng)域，匹配參數(shù)確定方法用于確定匹配參數(shù)，匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值，匹配參數(shù)確定方法包括：至少獲取測(cè)試交流源向負(fù)載輸出測(cè)試交流信號(hào)時(shí)負(fù)載的測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值；至少根據(jù)測(cè)試電流值和測(cè)試電壓值，確定負(fù)載的電阻值和阻抗模值；根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負(fù)載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值；其中，反射系數(shù)模值用于反映射頻電源向負(fù)載輸出射頻信號(hào)時(shí)射頻電源與負(fù)載之間的阻抗匹配情況。本申請(qǐng)可快速確定反射系數(shù)模值。

技術(shù)研發(fā)人員：王樹(shù)曉,林炯康,陳亞梯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市瀚強(qiáng)科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6