本實(shí)用新型涉及一種基于透射光柵分光的多角度接收散射光測量裝置，屬于光學(xué)檢測領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
光散射測量技術(shù)是利用光波遇到待測物時(shí)會與其發(fā)生相互作用，從而改變了入射光信息，通過接收散射光的信息而獲得待測物信息的一種光學(xué)測量方法。光散射法因其具有非接觸、測量范圍寬（從幾十微米到幾納米）、測量速度快、準(zhǔn)確性高，重復(fù)性好、能夠在線測量等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于物體的表面檢測、顆粒物的濃度測量，如半導(dǎo)體晶圓表面的多參量測量、空氣中懸浮物濃度的測量等?，F(xiàn)有的光散射測量方法根據(jù)使用的光源類型、信道、接收裝置的不同而層出不窮。
光全散射法是一種基于Mie散射理論，近似地實(shí)現(xiàn)對待測物精確測量的方法，具有測量范圍大、數(shù)據(jù)處理簡單的優(yōu)點(diǎn)。現(xiàn)有的光全散射法中，由于待測物的分布不規(guī)則導(dǎo)致散射光方向不固定，存在接收復(fù)雜的問題。這些方法多數(shù)只接收一個(gè)方向的散射法光進(jìn)行計(jì)算和重構(gòu)，因此就會存在待測物散射信息不全面，測量誤差大的問題。光柵分光相比棱鏡分光具有譜線分離角度固定、分離程度大、分辨率高、分散能量大的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)經(jīng)過透射光柵得到的光角度固定，在測量中操作簡單又獲得了散射光的多維信息。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本實(shí)用新型目的是解決目前對顆粒濃度測量存在測量誤差大、接收的散射信息不全面的問題，提供了一種基于透射光柵分光的多角度接收散射光測量裝置。
一種基于透射光柵分光的多角度接收散射光測量裝置，該測量裝置包括半導(dǎo)體激光器（1）、擴(kuò)束器（2）、準(zhǔn)直器（3）、衰減器（4）、起偏器（5）、分束器（6）、第一檢偏器（7-1）、樣品（8）、會聚透鏡（9）、第一透射分光光柵（10-1）、第一CCD圖像傳感器（11-1）、第二CCD圖像傳感器（11-2）、第三CCD圖像傳感器（11-3）、第四CCD圖像傳感器（11-4）、第二檢偏器（7-2）、第二透射分光光柵（10-2）、第五CCD圖像傳感器（11-5）、第六CCD圖像傳感器（11-6）、第七CCD圖像傳感器（11-7）、第八CCD圖像傳感器（11-8）、計(jì)算機(jī)（12）；
從半導(dǎo)體激光器（1）出射的激光入射至擴(kuò)束器（2），通過擴(kuò)束器（2）擴(kuò)束的光入射至準(zhǔn)直器（3），通過準(zhǔn)直器（3）準(zhǔn)直后的光入射至衰減器（4），經(jīng)過起偏器（5）的光變?yōu)榫€偏振光，該線偏振光通過分束器（6）分為水平光和垂直光；
通過分束器（6）分光的水平光入射至第一檢偏器（7-1），第一檢偏器（7-1）出射的光入射至樣品（8），通過樣品的散射光入射至第一透射分光光柵（10-1），通過第一透射分光光柵的光以多個(gè)角度分別入射至第一CCD圖像傳感器（11-1）、第二CCD圖像傳感器（11-2）、第三CCD圖像傳感器（11-3）、第四CCD圖像傳感器（11-4）；
通過分束器（6）分光的垂直光入射至第二檢偏器（7-2），第二檢偏器（7-2）出射的光入射至第二透射分光光柵（10-2），通過第二透射分光光柵的光以多個(gè)角度分別入射至第五CCD圖像傳感器（11-5）、第六CCD圖像傳感器（11-6）、第七CCD圖像傳感器（11-7）、第八CCD圖像傳感器（11-8）；
所述第一透射分光光柵與第二透射分光光柵結(jié)構(gòu)完全相同，使得入射至第一到第四CCD圖像傳感器接收的散射光的角度分別與入射至第五到第八CCD圖像傳感器接收的散射光角度一一對應(yīng)，降低測量誤差、提高測量精度。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：本實(shí)用新型利用一種基于光柵分光的多角度接收散射光測量，建立了一種非接觸性、快速簡便、測量精度高、誤差小的空氣中顆粒濃度的測量裝置，提高了實(shí)際測量時(shí)的速度，減小了測量誤差，降低了發(fā)生一次測量結(jié)果錯(cuò)誤的可能，這種實(shí)用化的測量空氣中顆粒濃度裝置具有相當(dāng)大的市場優(yōu)勢，而且能夠在一定程度上彌補(bǔ)了國內(nèi)現(xiàn)有顆粒濃度測量系統(tǒng)的不足。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型所述一種基于透射光柵分光的多角度接收散射光測量裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合圖1說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述一種基于透射光柵分光的多角度接收散射光測量裝置，該測量裝置包括半導(dǎo)體激光器（1）、擴(kuò)束器（2）、準(zhǔn)直器（3）、衰減器（4）、起偏器（5）、分束器（6）、第一檢偏器（7-1）、樣品（8）、會聚透鏡（9）、第一透射分光光柵（10-1）、第一CCD圖像傳感器（11-1）、第二CCD圖像傳感器（11-2）、第三CCD圖像傳感器（11-3）、第四CCD圖像傳感器（11-4）、第二檢偏器（7-2）、第二透射分光光柵（10-2）、第五CCD圖像傳感器（11-5）、第六CCD圖像傳感器（11-6）、第七CCD圖像傳感器（11-7）、第八CCD圖像傳感器（11-8）、計(jì)算機(jī)（12）；
從半導(dǎo)體激光器（1）出射的激光入射至擴(kuò)束器（2），通過擴(kuò)束器（2）擴(kuò)束的光入射至準(zhǔn)直器（3），通過準(zhǔn)直器（3）準(zhǔn)直后的光入射至衰減器（4），經(jīng)過起偏器（5）的光變?yōu)榫€偏振光，該線偏振光通過分束器（6）分為水平光和垂直光；
通過分束器（6）分光的水平光入射至第一檢偏器（7-1），第一檢偏器（7-1）出射的光入射至樣品（8），通過樣品的散射光入射至第一透射分光光柵（10-1），通過第一透射分光光柵的光以多個(gè)角度分別入射至第一CCD圖像傳感器（11-1）、第二CCD圖像傳感器（11-2）、第三CCD圖像傳感器（11-3）、第四CCD圖像傳感器（11-4）；
通過分束器（6）分光的垂直光入射至第二檢偏器（7-2），第二檢偏器（7-2）出射的光入射至第二透射分光光柵（10-2），通過第二透射分光光柵的光以多個(gè)角度分別入射至第五CCD圖像傳感器（11-5）、第六CCD圖像傳感器（11-6）、第七CCD圖像傳感器（11-7）、第八CCD圖像傳感器（11-8）；
所述第一透射分光光柵與第二透射分光光柵結(jié)構(gòu)完全相同，使得入射至第一到第四CCD圖像傳感器接收的散射光的角度分別與入射至第五到第八CCD圖像傳感器接收的散射光角度一一對應(yīng)，降低測量誤差、提高測量精度。