技術總結
本實用新型涉及一種基于微間隙壓力監(jiān)測的聲表面波傳感器,包括兩塊壓電材料基片、兩塊壓電材料墊片和兩組叉指換能器,兩塊壓電材料墊片連接兩塊壓電材料基片并形成中空的內腔,兩組叉指換能器均設于內腔中,且分別固定于兩塊壓電材料基片上。與現(xiàn)有技術相比,本實用新型中空部分兩面呈開放式,工藝加工導線引出線可以保證精確,進而提升測量精度,再者兩側基片均設置傳感器電路,可實現(xiàn)兩面壓測的測量。
技術研發(fā)人員:王俊;李媛媛;陳柯
受保護的技術使用者:上海工程技術大學
文檔號碼:201620520746
技術研發(fā)日:2016.06.01
技術公布日:2016.12.07