本發(fā)明屬于微傳感器的力學(xué)測試分析領(lǐng)域，特別是涉及一種噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法。

背景技術(shù)：

高量程加速度傳感器，比如量程在10萬g(1g＝9.8m/s2)或者高于10萬g的加速度傳感器，有兩個重要參數(shù)需要確定。一個是靈敏度，另一個是一階模態(tài)共振頻率的測試。一般來說，加速度傳感器的靈敏度和一階共振頻率平方的乘積是一個常數(shù)。就是說，如果靈敏度大，那么共振頻率就小；靈敏度小，共振頻率就很高。高量程加速度傳感器的靈敏度很小，通常在微伏量級，這樣共振頻率就會很高，因此，對共振頻率的測試就困難，對測試系統(tǒng)要求就很高。除了靈敏度需要確定外，加速度傳感器的一階共振頻率是一個重要參數(shù)，它決定了加速度傳感器的工作帶寬范圍，因此，需要對一階共振頻率進(jìn)行確定。對于基于硅壓阻型加速度傳感器，單端固支懸臂梁型的加速度傳感器，其一階共振頻率在幾十KHz到幾百KHz。而對于雙端固支的加速度傳感器其共振頻率可達(dá)幾百KHz，甚至到MHz量級。同時，由于其靈敏度低，這樣其共振峰信號就很小。當(dāng)在高沖擊測試下時，其共振峰信號將與典型的背景噪聲信號混疊在一起，尤其是高頻的電噪聲信號及其諧波信號有很強(qiáng)的共振信號峰，這些信號同加速度傳感器的機(jī)械共振信號一同出現(xiàn)在頻譜中，難以區(qū)分和識別，這樣就很難確定其一階機(jī)械共振頻率。簡而言之，在沖擊測試中，由于系統(tǒng)帶來電噪聲信號的干擾，高量程加速度傳感器的一階高頻共振信號難以識別和提取，因此需要排除、降低或者識別典型的噪聲譜，才能確定加速度傳感器的固有共振頻率。

高量程加速度傳感器一般采用沖擊法來提取靈敏度和共振頻率等參數(shù)。沖擊過程中會產(chǎn)生幾千g，甚至幾萬g的加速度輸入信號，同時采用放大器進(jìn)行信號放大，然后對采集到的信號進(jìn)行波形分析和計算，以獲取典型參數(shù)。在自由落桿沖擊測試系統(tǒng)中，固定加速度傳感器的金屬桿從一定高度自由落下與地面上放置的金屬砧發(fā)生碰撞，在幾十微秒的時間內(nèi)將產(chǎn)生幾千到幾萬g的加速度。自由落桿沖擊測試系統(tǒng)包括四個部分：自由落桿沖擊發(fā)生裝置，傳感器前端，傳感器放大電路，計算機(jī)控制的數(shù)據(jù)采集、存儲和顯示系統(tǒng)。傳感器背景噪聲信號主要來自于計算機(jī)本機(jī)系統(tǒng)的固有電噪聲信號，如相位噪聲的存在，以及放大電路的固有噪聲、外界干擾噪聲和加速度傳感器的噪聲等，這些信號在某一固有頻率處會有明顯的電共振信號峰及其諧波信號噪聲，極大地妨礙了對加速度傳感器固有共振頻率峰位的識別和確認(rèn)。沖擊過程中，加速度傳感器一階固有機(jī)械共振信號會與這些信號混疊在一起，需要將其與噪聲信號分開。雖然可以通過機(jī)械或者電濾波等方式來降低噪聲或消除噪聲，但這樣同樣會極大地降低甚至削弱加速度傳感器的固有信號大小，因此是不利的。

在其他專利中，譬如，《一種高量程壓阻加速度傳感器共振頻率的測試方法-CN101354284》，《壓阻加速度傳感器的模態(tài)共振頻率的半橋測試方法-CN101539588》，并不涉及到噪聲對信號的干擾問題。專利CN101354284描述了利用自由落桿金屬碰撞產(chǎn)生的脈沖信號作為高量程壓阻加速度傳感器共振頻率激發(fā)源的測試方法，主要是利用金屬端面之間碰撞產(chǎn)生較高的加速度和頻率成份分布豐富的波作為激勵源，當(dāng)激勵源中某些頻率的波與高量程壓阻加速度傳感器的固有模態(tài)的頻率等于或者接近時，器件高量程壓阻加速度傳感器發(fā)生共振，利用共振激發(fā)的方式以獲得高量程壓阻加速度傳感器的共振頻率。專利CN101539588中描述了利用半橋輸出形式測試共振頻率的方法，主要為在保持壓阻加速度傳感器原有全橋電路連接結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，利用金屬碰撞沖擊產(chǎn)生豐富的頻譜作為激勵源，通過適當(dāng)?shù)耐饨与娐?，采用半橋輸出的形式，以獲得加速度傳感器模態(tài)的共振頻率信息，利用獲得的原始數(shù)據(jù)進(jìn)行頻譜分析，獲得微結(jié)構(gòu)的模態(tài)共振頻率。由于測試范圍、器件結(jié)構(gòu)和靈敏度等問題，這兩個專利中均不涉及噪聲干擾問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中加速度傳感器共振頻率的測試方法中由于無法排除系統(tǒng)帶來電噪聲信號的干擾，高量程加速度傳感器的一階高頻共振信號難以識別和提取的問題。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法，所述噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法至少包括以下步驟：

獲取待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜；

獲取所述待檢測加速度傳感器系統(tǒng)的沖擊頻率譜；

依據(jù)所述沖擊頻率譜及所述電噪聲頻率譜確定所述加速度傳感器的共振頻率。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，獲取所述待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜包括以下步驟：

將所述待檢測加速度傳感器安裝在具有一定長徑比的金屬桿上；

直接記錄電噪聲隨時間變化的第一系列輸出波形；

將所述第一系列輸出波形進(jìn)行傅里葉變換得到相應(yīng)的頻率譜；

確定所述頻率譜中高頻電噪聲共振信號峰的位置，即得到所述待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，將所述待檢測加速度傳感器安裝在具有一定長徑比的金屬桿上之后，將所述待檢測加速度傳感器的輸入端短路，利用多通道數(shù)據(jù)采集方式直接記錄電噪聲隨時間變化的所述第一系列輸出波形。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，電噪聲隨時間變化的第一系列輸出波形包括電噪聲電壓幅值隨時間的變化曲線，將所述電噪聲電壓幅值隨時間的變化曲線進(jìn)行傅里葉變換得到相應(yīng)的頻率譜。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，獲取所述待檢測加速度傳感器系統(tǒng)的沖擊頻率譜包括以下步驟：

將所述待檢測加速度傳感器安裝在具有一定長徑比的金屬桿上；

將安裝有所述待檢測加速度傳感器的所述金屬桿自一定的高度自由落下與地面上放置的金屬砧發(fā)生碰撞，以產(chǎn)生高幅值的沖擊加速度；

利用多通道數(shù)據(jù)采集方式直接記錄所述加速度傳感器在沖擊碰撞過程中隨時間變化的第二系列輸出波形；

將所述第二系列輸出波形進(jìn)行傅里葉變換得到相應(yīng)的頻率譜；

確定所述頻率譜中包括高頻電噪聲共振信號峰在內(nèi)的加速度傳感器固有共振頻率峰的位置，即得到所述待測加速度傳感器的沖擊頻率譜。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，所述加速度傳感器在沖擊碰撞過程中隨時間變化的第二系列輸出波形包括電壓幅值隨時間的變化曲線，將所述電壓幅值隨時間的變化曲線進(jìn)行傅里葉變換得到相應(yīng)的頻率譜。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，所述待檢測加速度傳感器沿敏感方向安裝在所述金屬桿上。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，所述待檢測加速度傳感器沿交叉軸方向安裝在所述金屬桿上。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，依據(jù)所述沖擊頻率譜及所述電噪聲頻率譜確定所述加速度傳感器的共振頻率的具體方法為：依據(jù)所述電噪聲頻率譜，去除所述沖擊頻率譜中的與所述電噪聲頻率譜相同的電信號共振峰，即得到所述加速度傳感器的共振頻率。

作為本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的一種優(yōu)選方案，所述加速度傳感器的共振頻率為一階共振頻率或高階共振頻率。

如上所述，本發(fā)明的噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法，具有以下有益效果：本發(fā)明采用兩步測試法，分別得到電噪聲頻率譜和沖擊頻率譜，通過對電噪聲頻率譜的識別，可以較為準(zhǔn)確地確定加速度傳感器的共振頻率；本發(fā)明在測試的過程中，采用金屬桿自由落體與地面金屬砧相互碰撞的方法獲取較高的加速度，具有操作簡單方便的特點；本發(fā)明即可以確定加速度傳感器的共振頻率，又可以確定加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲。

附圖說明

圖1顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法的流程圖。

圖2顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法中所使用的自由落桿沖擊裝置示意圖及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。

圖3顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法中加速度傳感器安裝在金屬桿側(cè)壁敏感y方向的示意圖。

圖4顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法中加速度傳感器安裝的坐標(biāo)示意圖。

圖5顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法中加速度傳感器電噪聲的第一系列輸出波形示意圖。

圖6顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法中加速度傳感器電噪聲頻率譜的輸出波形示意圖。

圖7顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法中加速度傳感器敏感方向的沖擊輸出波形示意圖。

圖8顯示為本發(fā)明噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法中加速度傳感器敏感方向沖擊輸出下的沖擊頻率譜示意圖。

元件標(biāo)號說明

1 待測加速度傳感器

2 金屬桿

3 金屬砧

4 電纜線

5 信號放大器

6 計算機(jī)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)

7 待測加速度傳感器的管腳

具體實施方式

以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。

請參閱圖1至圖8。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想，雖圖示中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。

本發(fā)明的目的在于提供一種噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率提取方法。采用金屬桿自由落體與地面上放置的金屬砧相互碰撞的方法獲得較大的加速度。采用兩步測試法，分別獲取系統(tǒng)電噪聲頻率譜和沖擊頻率譜，從沖擊頻率譜中排除電噪聲頻率譜中明顯的高頻電噪聲信號，即可獲得加速度傳感器的一階共振頻率。在金屬桿自由落體測試方法中，是將加速度傳感器用選定的雙面膠固定在金屬桿尾端的凹槽內(nèi)。在一定加速度量程范圍內(nèi)，所使用的雙面膠對產(chǎn)生的應(yīng)變波傳遞過程沒有影響。金屬桿自由落體與地面上放置的金屬砧碰撞產(chǎn)生應(yīng)變波，應(yīng)變波將沿著金屬桿傳遞給金屬桿尾端固定的傳感器，傳感器記錄這一碰撞過程。碰撞過程會產(chǎn)生很多豐富的高頻波，這些波中將包含加速度傳感器的一階共振頻率波，當(dāng)滿足一定條件時，將激發(fā)出加速度傳感器的一階固有共振，從而能夠通過頻率譜分析中獲得該頻率出的共振峰。

請參閱圖1，本發(fā)明提供一種噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法，所述噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法包括以下步驟：

S1：獲取待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜；

S2：獲取所述待檢測加速度傳感器系統(tǒng)的沖擊頻率譜；

S3：依據(jù)所述沖擊頻率譜及所述電噪聲頻率譜確定所述加速度傳感器的共振頻率。

在步驟S1中，請參閱圖1中的S1步驟及圖5至圖6，獲取待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜。

作為示例，獲取所述待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜包括以下步驟：

S11：將所述待檢測加速度傳感器安裝在具有一定長徑比的金屬桿上；

S12：直接記錄電噪聲隨時間變化的第一系列輸出波形，如圖5所示；

S13：將所述第一系列輸出波形進(jìn)行傅里葉變換得到相應(yīng)的頻率譜；

S14：確定所述頻率譜中高頻電噪聲共振信號峰的位置，即得到所述待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜，如圖6所示。

作為示例，所述待檢測加速度傳感器與所述金屬桿之間設(shè)有機(jī)械濾波材料，所述機(jī)械濾波材料可以為但不僅限于雙面膠，所述機(jī)械濾波材料的厚度可以為但不僅限于0.1mm～0.2mm。

作為示例，本發(fā)明所使用的自由落桿沖擊裝置示意圖及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)如圖2所示，該步驟中使用到所述自由落桿沖擊裝置示意圖及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)中的待檢測加速度傳感器1、金屬桿2、電纜線4、信號放大器5及計算機(jī)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)6。

作為示例，所述待檢測加速度傳感器1的放大電路的放大倍數(shù)可以為但不僅限于20倍，-1dB截止頻率大于25kHz。所述待檢測加速度傳感器1的輸出端與所述信號放大器5通過所述電纜線4相連接，所述信號放大器5的輸出端與所述計算機(jī)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)6的輸入端相連接。

作為示例，所述金屬桿可以為鋼桿或鋁合金桿，優(yōu)選地，本實施例中，所述金屬桿為鋁合金桿，所述金屬桿的尺寸可以為但不僅限于：長為1m、直徑為1.5cm。

在一示例中，所述待檢測加速度傳感器1沿敏感方向安裝在所述金屬桿2上，即所述待檢測加速度傳感器1的管腳7的長度方向沿y軸方向分布，如圖3及圖4所示。

在另一示例中，所述待檢測加速度傳感器1沿交叉軸方向安裝在所述金屬桿2上，即所述待檢測加速度傳感器1的管腳7的長度方向沿如圖3及圖4中所示的x軸方向分布。

作為示例，將所述待檢測加速度傳感器1安裝在具有一定長徑比的金屬桿2上之后，將所述待檢測加速度傳感器1的輸入端短路(即所述待檢測加速度傳感器1的管腳7中的四個管腳中的任意兩個短路，當(dāng)然，在其他示例中也可以采用其他的方式，只要確保獲取的所述待檢測加速度傳感器的輸出為在沒有沖擊作用下的輸出即可)，利用多通道數(shù)據(jù)采集方式直接記錄電噪聲隨時間變化的所述第一系列輸出波形，具體的，所述待檢測加速度傳感器1經(jīng)由所述信號放大器5放大后的信號可以由但不僅限于Topview4012多通道電壓波采集卡獲取，并最終顯示在計算機(jī)屏幕上。

作為示例，電噪聲隨時間變化的第一系列輸出波形包括電噪聲電壓幅值隨時間的變化曲線，即時域關(guān)系，將所述電噪聲電壓幅值隨時間的變化曲線進(jìn)行傅里葉變換即可得到相應(yīng)的頻率譜，如圖6所示，按照頻率從低到高確定明顯的高頻電信號共振峰，記錄所有電信號共振峰，其中包含了諧波信號。圖6中分別為1.44MHz和2.88MHz。

在步驟S2中，請參閱圖1中的S2步驟及圖7至圖8，獲取所述待檢測加速度傳感器系統(tǒng)的沖擊頻率譜。

作為示例，獲取所述待檢測加速度傳感器系統(tǒng)的沖擊頻率譜包括以下步驟：

S21：將所述待檢測加速度傳感器安裝在具有一定長徑比的金屬桿上；

S22：將安裝有所述待檢測加速度傳感器的所述金屬桿自一定的高度自由落下與地面上放置的金屬砧發(fā)生碰撞，以產(chǎn)生高幅值的沖擊加速度；

S23：利用多通道數(shù)據(jù)采集方式直接記錄所述加速度傳感器在沖擊碰撞過程中隨時間變化的第二系列輸出波形，如圖7所示；

S24：將所述第二系列輸出波形進(jìn)行傅里葉變換得到相應(yīng)的頻率譜；

S25：確定所述頻率譜中包括高頻電噪聲共振信號峰在內(nèi)的加速度傳感器固有共振頻率峰的位置，即得到所述待測加速度傳感器的沖擊頻率譜，如圖8所示。

作為示例，所述待檢測加速度傳感器與所述金屬桿之間設(shè)有機(jī)械濾波材料，所述機(jī)械濾波材料可以為但不僅限于雙面膠，所述機(jī)械濾波材料的厚度可以為但不僅限于0.1mm～0.2mm。

作為示例，本發(fā)明所使用的自由落桿沖擊裝置示意圖及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)如圖2所示，所述自由落桿沖擊裝置示意圖及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)包括待檢測加速度傳感器1、金屬桿2、金屬砧3、電纜線4、信號放大器5及計算機(jī)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)6，所述待檢測加速度傳感器1的放大電路的放大倍數(shù)為20倍，-1dB截止頻率大于25kHz。所述待檢測加速度傳感器1的輸出端與所述信號放大器5相連接，所述信號放大器5的輸出端與所述計算機(jī)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)6的輸入端相連接，放大的信號可以由但不僅限于Topview4012多通道電壓波采集卡獲取，并最終顯示在計算機(jī)屏幕上。

作為示例，所述金屬桿可以為鋼桿或鋁合金桿，優(yōu)選地，本實施例中，所述金屬桿為鋁合金桿，所述金屬桿的尺寸可以為但不僅限于：長為1m、直徑為1.5cm。

作為示例，所述金屬砧3可以為但不僅僅限于鋼砧，所述金屬砧3的尺寸可以為但不僅限于：長為29.8cm、寬為25.7cm、高為19.2cm。

在一示例中，所述待檢測加速度傳感器1沿敏感方向安裝在所述金屬桿2上，即所述待檢測加速度傳感器1的管腳7的長度方向沿y軸方向分布，如圖3及圖4所示。

在另一示例中，所述待檢測加速度傳感器1沿交叉軸方向安裝在所述金屬桿2上，即所述待檢測加速度傳感器1的管腳7的長度方向沿如圖3及圖4中所示的x軸方向分布。

作為示例，所述加速度傳感器在沖擊碰撞過程中隨時間變化的第二系列輸出波形包括電壓幅值隨時間的變化曲線，將所述電壓幅值隨時間的變化曲線進(jìn)行傅里葉變換得到相應(yīng)的頻率譜。

具體的，所述金屬桿2自由下落與地面上的所述金屬砧3相碰撞時，所述金屬桿2的碰撞端端面速度達(dá)到最大后并首先被減速，當(dāng)速度為零時，所述金屬桿2又反彈向上加速至離開所述金屬砧3的表面，利用該過程所述金屬桿2速度的變化得到較大的加速度。設(shè)所述金屬桿2的碰撞端端面的加速度為a(t)，那么碰撞端端面的速度變化量為式中t是碰撞開始時刻作計時起點的時間，t₀是兩碰撞體又恢復(fù)到?jīng)]有相互作用的時間。所述金屬桿2碰撞端端面形成壓應(yīng)力波，向所述金屬桿2的另一端傳播，經(jīng)過t＝l/C的時間，由所述待檢測加速度傳感器1響應(yīng)(l是金屬桿的長度，C是桿中的聲速)。以所述金屬桿2與所述金屬砧3剛接觸的時刻為時間原點，所述待檢測加速度傳感器1經(jīng)受的加速度就可以表示為a(t－l/C)，那么所述待檢測加速度傳感器1給出的電壓信號就是U(t)＝Sa(t-l/C)，在t≤l/C時所述待檢測加速度傳感器1還沒有受到加速，U(t)是0，S是所述待檢測加速度傳感器的靈敏度。

所述待檢測加速度傳感器沖擊譜測試中，需要首先確定所述待檢測加速度傳感器1的敏感方向(如y軸)的縱波輸出電壓信號U_s(y)隨時間的變化關(guān)系，其可從所述待檢測加速度傳感器1的敏感方向的測試中得到的第二系列輸出波形中讀??；然后從第二系列的時域關(guān)系，利用傅里葉變換，得到?jīng)_擊頻率譜，如圖8所示，由圖8可知，按照頻率由低到高確定明顯的共振峰，其中包含了加速度傳感器的共振峰，記錄所有共振峰的頻率數(shù)值。圖7中明顯的共振峰為1.14MHz,1.44MHz和2.88MHz。

需要說明的是，所述步驟S1與所述步驟S2的步驟可以互換，即可以如上述先執(zhí)行步驟S1，然后再執(zhí)行步驟S2，也可以先執(zhí)行步驟S2，然后再執(zhí)行步驟S1。

需要進(jìn)一步說明的是，當(dāng)先執(zhí)行步驟S1時，步驟S2中的步驟S21可以省去；當(dāng)先執(zhí)行步驟S2時，步驟S1中的步驟S11可以省去。

在步驟S3中，請結(jié)合圖6及圖8參閱圖1中的S3步驟，依據(jù)所述沖擊頻率譜及所述電噪聲頻率譜確定所述加速度傳感器的共振頻率。

作為示例，據(jù)所述沖擊頻率譜及所述電噪聲頻率譜確定所述加速度傳感器的共振頻率的具體方法為：依據(jù)所述電噪聲頻率譜，去除所述沖擊頻率譜中的與所述電噪聲頻率譜相同的電信號共振峰，即得到所述加速度傳感器的共振頻率。具體的，如圖6所示，所述電噪聲頻率譜中包括位于1.44MHz和2.88MHz的電信號共振峰，同時，如圖8所示，所述沖擊頻率譜中包括位于1.14MHz、1.44MHz和2.88MHz的共振峰，由于所述沖擊頻率譜中包括高頻電噪聲共振信號峰在內(nèi)的加速度傳感器固有共振頻率峰，將圖6與圖8比較可以知道，位于1.14MHz即為所述待檢測加速度傳感器1的共振頻率，該共振頻率與理論預(yù)期的共振頻率相吻合。

作為示例，所述待檢測加速度傳感器1為經(jīng)過設(shè)計，靈敏度和共振頻率已知的加速度傳感器。

作為示例，所述加速度傳感器的共振頻率可以為一階共振頻率，也可以為高階共振頻率。

綜上所述，本發(fā)明提供一種噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法，所述噪聲可識別的高量程加速度傳感器共振頻率的提取方法至少包括以下步驟：獲取待測加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲頻率譜；獲取所述待檢測加速度傳感器系統(tǒng)的沖擊頻率譜；依據(jù)所述沖擊頻率譜及所述電噪聲頻率譜確定所述加速度傳感器的共振頻率。本發(fā)明采用兩步測試法，分別得到電噪聲頻率譜和沖擊頻率譜，通過對電噪聲頻率譜的識別，可以較為準(zhǔn)確地確定加速度傳感器的共振頻率；本發(fā)明在測試的過程中，采用金屬桿自由落體與地面金屬砧相互碰撞的方法獲取較高的加速度，具有操作簡單方便的特點；本發(fā)明即可以確定加速度傳感器的共振頻率，又可以確定加速度傳感器系統(tǒng)的電噪聲。

上述實施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。