技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及加速度檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測(cè)裝置，包括凸臺(tái)、3軸加速度敏感結(jié)構(gòu)、光電探測(cè)器陣列；凸臺(tái)上布置有固定納米光柵，凸臺(tái)下方布置有對(duì)應(yīng)的激光光源陣列，3軸加速度敏感結(jié)構(gòu)包括分別檢測(cè)X、Y、Z軸加速度的納米光柵加速度敏感結(jié)構(gòu)，位于凸臺(tái)上方，納米光柵加速度敏感結(jié)構(gòu)上設(shè)有與固定納米光柵對(duì)應(yīng)的可動(dòng)納米光柵，3軸加速度敏感結(jié)構(gòu)通過(guò)連接塊與凸臺(tái)可移動(dòng)連接；激光光源陣列、固定納米光柵、可動(dòng)納米光柵、光電探測(cè)器陣列自下而上對(duì)應(yīng)布置在一條豎直軸線上。本發(fā)明的有益效果為：能同時(shí)檢測(cè)三軸方向的加速度，精度高，使用惰性氣體封裝，壽命長(zhǎng)，微型化、集成化、多功能，適于推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：李孟委;王賓;薛梅;王高
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中北大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610562496
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.15
技術(shù)公布日：2016.12.07