1.一種高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測(cè)裝置，其特征在于，包括凸臺(tái)、3軸加速度敏感結(jié)構(gòu)、光電探測(cè)器陣列；凸臺(tái)上布置有固定納米光柵，凸臺(tái)下方布置有與固定納米光柵對(duì)應(yīng)的激光光源陣列，3軸加速度敏感結(jié)構(gòu)包括分別檢測(cè)X、Y、Z軸加速度的納米光柵加速度敏感結(jié)構(gòu)，位于凸臺(tái)上方，所述納米光柵加速度敏感結(jié)構(gòu)上設(shè)有與固定納米光柵對(duì)應(yīng)的可動(dòng)納米光柵，3軸加速度敏感結(jié)構(gòu)通過連接塊與凸臺(tái)可移動(dòng)連接；激光光源陣列、固定納米光柵、可動(dòng)納米光柵、光電探測(cè)器陣列自下而上對(duì)應(yīng)布置，且均在同一條豎直軸線上。
2.如權(quán)利要求1所述的高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測(cè)裝置，其特征在于，激光光源陣列、固定納米光柵、可動(dòng)納米光柵、光電探測(cè)器陣列均為5組，2組用于檢測(cè)面內(nèi)X軸加速度，2組用于檢測(cè)面內(nèi)Y軸加速度，1組用于檢測(cè)離面Z軸加速度。
3.如權(quán)利要求1所述的高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測(cè)裝置，其特征在于，納米光柵的制作材料為硅。
4.如權(quán)利要求1所述的高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測(cè)裝置，其特征在于，固定納米光柵和可動(dòng)納米光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)均為：入射光波長(zhǎng)λ為850nm，光柵周期Λ為800nm，占空比r為0.5，光柵厚度d為400nm。
5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)裝置用惰性氣體封裝。
6.如權(quán)利要求5所述的高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測(cè)裝置，其特征在于，所述惰性氣體為氦氣。