本發(fā)明涉及一種檢測(cè)裝置，尤其是一種波紋管實(shí)際壽命檢測(cè)工裝，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

波紋管式機(jī)械密封的應(yīng)用范圍很廣，從低溫到高溫，從中性介質(zhì)到腐蝕性介質(zhì)，從低速到高速，從普通到苛刻的工作條件都可選用。所有這些可通過(guò)變更波紋管的幾何形狀(如內(nèi)外徑、波片厚度和波數(shù)等)與材料彈性模量，改變波紋管的彈率。根據(jù)介質(zhì)的腐蝕性能，選用不同的波紋管材料等。

在現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，波紋管處于一個(gè)關(guān)鍵的部位，且環(huán)境溫度較高，內(nèi)部處于真空狀態(tài)。同時(shí)，波紋管始終處于上下運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，且內(nèi)部還有腐蝕介質(zhì)存在。使用過(guò)程中，因?yàn)橥饬蚋邷氐淖饔?，?huì)導(dǎo)致波紋管變形或破裂。波紋管的壽命期限是個(gè)很關(guān)鍵的指標(biāo)，它直接影響機(jī)臺(tái)的正常運(yùn)行。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種一種波紋管實(shí)際壽命檢測(cè)工裝。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種波紋管實(shí)際壽命檢測(cè)工裝，包括上蓋板(4)、腔體(42)、加熱器組件及過(guò)渡法 蘭(36)。上蓋板(4)設(shè)置在腔體(42)的上端。加熱器組件及過(guò)渡法蘭(36)固定在腔體(42)的下端。加熱盤(pán)組件包括安裝基座(14)、氣缸(21)、萬(wàn)向活節(jié)(22)、直線(xiàn)滑軌(15)、滑塊(16)、加熱盤(pán)連接件(30)、波紋管(34)和加熱盤(pán)(3)。廠(chǎng)務(wù)端的泵管路連接到過(guò)渡法蘭(36)的下端法蘭(35)上。直線(xiàn)滑軌(15)固定在安裝基座(14)上?；瑝K(16)在直線(xiàn)滑軌(15)上滑動(dòng)。氣缸(21)固定在安裝基座(14)的下端。氣缸(21)與加熱盤(pán)連接件(30)連接在一起。加熱盤(pán)連接件(30)的側(cè)面與滑塊(16)固定連接。加熱盤(pán)(3)上端插入到腔體(42)內(nèi)，下端與加熱盤(pán)連接件(30)連接。波紋管(34)上端固定在腔體(42)上，下端固定在加熱盤(pán)連接件(30)上。加熱盤(pán)(3)穿過(guò)波紋管(34)。

優(yōu)選的，所述上蓋板(4)與腔體(42)之間有膠圈密封。

優(yōu)選的，安裝基座(14)上設(shè)有加強(qiáng)筋(17)。

優(yōu)選的，在加熱盤(pán)連接件(30)上設(shè)有水道(29)。

本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過(guò)模擬機(jī)臺(tái)的實(shí)際使用情況，來(lái)測(cè)試波紋管真正的使用壽命是否符合設(shè)備的需求。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1的A-A剖視圖。

圖3是本發(fā)明去掉上蓋板后的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方 案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖1-圖3所示：一種波紋管實(shí)際壽命檢測(cè)工裝，由上蓋板4、腔體42、加熱器組件及過(guò)渡法蘭36組成。加熱盤(pán)組件包括安裝基座14、氣缸21、萬(wàn)向活節(jié)22、直線(xiàn)滑軌15、滑塊16、加熱盤(pán)連接件30、波紋管34、加熱器3幾部分。過(guò)渡法蘭36使用時(shí)，通過(guò)在上端法蘭37上的膠圈安裝槽38內(nèi)放置膠圈，實(shí)現(xiàn)過(guò)渡法蘭36上端法蘭面39與腔體下表面12的密封。廠(chǎng)務(wù)端的泵管路會(huì)連接到過(guò)渡法蘭36的下端法蘭35上。其中，上蓋板4與腔體42之間有膠圈密封，上蓋板下表面7要求一定的加工精度，保證密封性。加熱盤(pán)組件的安裝基座14基本為T(mén)型機(jī)加結(jié)構(gòu)，其正面18有多個(gè)螺紋孔，用于直線(xiàn)滑軌15的固定安裝，滑軌上面安裝有兩個(gè)滑塊16。背面有兩個(gè)加強(qiáng)筋17，用于加強(qiáng)作用，防止其自身的形變。上端面13為固定面，帶有兩個(gè)定位銷(xiāo)及四個(gè)通孔，用于與腔體下表面12之間的定位固定。下端板19上中心上設(shè)有一大的通孔和四個(gè)小的通孔，氣缸21的安裝固定在下端板的下表面20上。氣缸21通過(guò)萬(wàn)向活節(jié)22與加熱盤(pán)連接件30連接在一起。加熱盤(pán)連接件30也為T(mén)型機(jī)加結(jié)構(gòu)，其基準(zhǔn)立面上設(shè)有定位銷(xiāo)及安裝固定孔，用于與直線(xiàn)滑軌15上面的兩個(gè)滑塊16的連接固定。該立面的下端部23，設(shè)有用于與萬(wàn)向活節(jié)22連接的螺紋孔24。其垂直水平基準(zhǔn)面26上設(shè)有加熱盤(pán)安裝固定孔、加熱盤(pán) TC及電源線(xiàn)出線(xiàn)孔以及加熱盤(pán)密封膠圈安裝槽27。加熱盤(pán)3通過(guò)下部的立柱端面28上設(shè)有螺紋孔，用于加熱盤(pán)3與加熱盤(pán)連接件30之間的安裝固定。當(dāng)加熱盤(pán)安裝固定到該水平基準(zhǔn)面25上后，通過(guò)安裝在其上面的加熱盤(pán)密封膠圈來(lái)實(shí)現(xiàn)二者之間的密封。同時(shí)，考慮加熱盤(pán)密封膠圈的使用壽命，該加熱盤(pán)連接件30上設(shè)有水道29。整個(gè)水路通過(guò)管路與廠(chǎng)務(wù)端冷卻水源聯(lián)通，實(shí)現(xiàn)熱盤(pán)連接件30處的冷卻，即實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱盤(pán)密封膠圈密封性的保證。該波紋管34的結(jié)構(gòu)及尺寸，同現(xiàn)有設(shè)備上的波紋管保持完全一致，均由上法蘭41、下法蘭32及焊接波紋管33組成。上法蘭41及下法蘭32上帶有膠圈安裝槽31及螺栓安裝固定孔，用于實(shí)現(xiàn)跟兩端連接件的密封連接，即分別跟腔體42及加熱盤(pán)連接件30的密封連接。工作時(shí)，氣缸21帶動(dòng)加熱盤(pán)連接件30上下運(yùn)動(dòng)，連接固定在加熱盤(pán)連接件30上的加熱盤(pán)3會(huì)同時(shí)跟著一起上下運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，波紋管34固定在加熱盤(pán)連接件30的這端也將隨著一起上下運(yùn)動(dòng)，從而波紋管34隨著加熱盤(pán)3的上下運(yùn)動(dòng)，自身也處于一個(gè)壓縮、伸展交替循環(huán)的狀態(tài)。在下降的過(guò)程中，加熱盤(pán)3的下表面2不會(huì)與腔室的下表面11接觸。

在開(kāi)啟加熱盤(pán)3之前，需要將腔室5內(nèi)抽真空。將抽真空組件與廠(chǎng)務(wù)泵組連接，實(shí)現(xiàn)腔室5內(nèi)的真空度要求。腔體42根據(jù)安裝及組件的功能設(shè)有腔室5，腔室5的外徑9大于加熱盤(pán)的直徑。還有加熱盤(pán)安裝孔10、真空抽氣孔40、上蓋板安裝孔44以及加熱盤(pán)安裝基座安裝孔、波紋管固定安裝孔等，其上表面1還設(shè)有與上蓋板密封用的膠圈槽6。另外，側(cè)面偏上部還設(shè)有上蓋板用的限位開(kāi)關(guān)46安裝槽 45及安裝孔。側(cè)部靠近上表面1處，還對(duì)稱(chēng)設(shè)有兩個(gè)大凹槽8。大凹槽8與腔體42及上蓋板4的最外表面43有一定的深度，保證有足夠的操作空間用于上蓋板4的開(kāi)啟。作為簡(jiǎn)易工裝，上蓋板4上沒(méi)有安裝把手，其開(kāi)啟是通過(guò)大凹槽8作為操作空間，直接把持上蓋板4來(lái)實(shí)現(xiàn)上蓋板4的開(kāi)啟、安放和位置調(diào)整。測(cè)試過(guò)程中，需要將上蓋板4放好，保證與腔體42的密封。同時(shí)腔室內(nèi)5抽真空，啟動(dòng)加熱盤(pán)3，升溫至所需溫度。啟動(dòng)氣缸21，設(shè)定好測(cè)試程序，讓整個(gè)測(cè)試工裝自動(dòng)進(jìn)行上下往復(fù)的運(yùn)動(dòng)，直至波紋管34出現(xiàn)破裂、不可壓縮等極限狀態(tài)為止。記錄當(dāng)前狀態(tài)的氣缸21的運(yùn)動(dòng)的次數(shù)，即為波紋管34的實(shí)際使用壽命。