本發(fā)明是一種針對(duì)壓電傳感器的壓電石英晶片組制作的裝置，屬于傳感器專用裝置制作技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及壓電石英式傳感器力敏元件——壓電石英晶組的快速精確高效的制作，也可以用作其它相似元件的預(yù)緊和制作。

背景技術(shù)：

壓電式傳感器是一種基于壓電效應(yīng)的力傳感器，其特點(diǎn)是尺寸小、穩(wěn)定性好、強(qiáng)度高、較高的固有頻率和靈敏度，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。目前，壓電式傳感器已經(jīng)在軍事工程、航空航天設(shè)備等領(lǐng)域的推力測(cè)量特別是多維力測(cè)量方面有了非常重要的應(yīng)用。壓電式傳感器的力敏元件是壓電石英晶組，石英晶組由多個(gè)xy切型或者多個(gè)yx切型石英晶片或者有多個(gè)xy、yx切型石英晶片組合制作而成的，而壓電石英晶組制作的好壞直接影響著傳感器的測(cè)量精度和靈敏度，如何快速、精確的對(duì)石英晶組進(jìn)行制作是壓電式傳感器設(shè)計(jì)、制造和推廣應(yīng)用的重要一環(huán)，本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、精確度高的石英晶組專用制作裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作快速精確、操作方便的壓電石英晶組專用制作裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)壓電式傳感器力敏元件——石英晶組的快速精確高效的制作，滿足實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)的需要。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：壓電石英晶組制作裝置由螺桿1、橫梁2、壓架3、壓板4、墊塊5、滑塊6、工作臺(tái)7、支撐柱8、螺釘9等部分組成。所述的工作臺(tái)7上開(kāi)有矩形定位槽，槽的各表面較光滑，可容所述的滑塊6在槽中橫向移動(dòng)，對(duì)晶組進(jìn)行定位；所述墊塊5通過(guò)螺釘安裝在工作臺(tái)7上，對(duì)定位后的滑塊6進(jìn)行壓緊，防止其滑動(dòng)。所述支撐柱8伸入工作臺(tái)7上的支撐柱定位孔13中，通過(guò)焊接垂直固定在所述的工作臺(tái)7上；所述橫梁2垂直焊接在支撐柱8上，保持和工作臺(tái)7上表面平行，橫梁2上開(kāi)有螺紋孔；所述螺桿1通過(guò)螺紋孔安裝在橫梁2上，螺桿1底端開(kāi)有螺紋孔；所述壓架3底部圓周均布四個(gè)矩形槽，頂部開(kāi)有螺紋孔，上下端面有較高的平面度而且較光滑，壓架3通過(guò)螺釘與螺桿1底端連接，保持壓架3下端面與工作臺(tái)7的上表面平行，通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺桿1，使螺旋桿1和壓架3向下移動(dòng)，對(duì)石英晶片進(jìn)行壓緊。所述壓板4上開(kāi)有U型槽13，可使壓板4穿過(guò)支撐柱8，放置在工作臺(tái)7上；壓板4上開(kāi)有與工作臺(tái)7螺紋孔位置相對(duì)應(yīng)的沉頭孔，在總裝過(guò)程中通過(guò)螺釘連接安裝在工作臺(tái)7上，壓板4可上下調(diào)整高度，對(duì)石英晶片組進(jìn)行壓緊。

本發(fā)明的有益效果是提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作快速精確、操作方便的壓電石英晶組專用制作裝置，能夠有效的解決壓電石英晶組制作過(guò)程中晶片的對(duì)準(zhǔn)及預(yù)壓緊的問(wèn)題，也可以對(duì)與石英晶組相似的元件進(jìn)行壓緊制作。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明裝置的結(jié)構(gòu)爆炸圖。

圖2是本發(fā)明的裝置的結(jié)構(gòu)圖。

圖3是工作臺(tái)7的結(jié)構(gòu)圖。

圖4是石英晶片示意圖。

具體實(shí)施方式

為能清楚說(shuō)明本方案的技術(shù)特點(diǎn)，下面通過(guò)附圖說(shuō)明本方案的具體實(shí)施方法以及結(jié)合多維力壓電石英晶組的制作說(shuō)明其工作原理。

如圖1所示，該壓電石英晶組制作裝置主要由螺桿1、橫梁2、壓架3、壓板4、墊塊5、滑塊6、工作臺(tái)7、支撐柱8、螺釘9等部分組成。所述的工作臺(tái)7(如圖3所示)上開(kāi)有矩形定位槽，槽的各表面較光滑，兩內(nèi)側(cè)面10與工作臺(tái)7上表面相互垂直，可放置滑塊6在槽中實(shí)現(xiàn)橫向（x方向）移動(dòng)，對(duì)晶片組進(jìn)行橫向的定位；工作臺(tái)7上開(kāi)有四個(gè)同樣規(guī)格的螺紋孔14；定位槽中心設(shè)有矩形凸臺(tái)11，矩形凸臺(tái)11上表面具有較高的平面度，用于平整的放置石英晶片，矩形凸臺(tái)11的兩側(cè)面與工作臺(tái)7上端面相互垂直；矩形凸臺(tái)11上設(shè)有定位圓柱12，定位圓柱12具有較高的圓柱度，其軸線與工作臺(tái)7上表面相互垂直，對(duì)石英晶片進(jìn)行橫向和縱向（y方向）的定位。所述墊塊5通過(guò)螺釘安裝在工作臺(tái)上，對(duì)所述滑塊6進(jìn)行壓緊防止其滑動(dòng)。所述壓板4上開(kāi)有U型槽13，可使壓板4穿過(guò)支撐柱8，放置在工作臺(tái)7上；壓板4上開(kāi)有四個(gè)與工作臺(tái)7螺紋孔位置相對(duì)應(yīng)的沉頭孔15，在總裝過(guò)程中通過(guò)螺釘連接安裝在工作臺(tái)7上，壓板4可上下調(diào)整高度，對(duì)石英晶片組進(jìn)行壓緊。所述支撐柱8放置在工作臺(tái)7上的支撐柱安裝孔13中，通過(guò)焊接垂直固定在所述的工作臺(tái)7上。所述橫梁2垂直焊接在支撐柱8上，保持和工作臺(tái)7上表面平行，橫梁2上開(kāi)有螺紋孔。所述螺桿1的上端開(kāi)有一通孔，用以施加旋轉(zhuǎn)力；螺桿1通過(guò)螺紋孔安裝在橫梁2上，保證螺桿1與工作臺(tái)7上表面垂直；螺桿1底端面較平整，螺桿1的底端面開(kāi)有螺紋孔。所述壓架3下端均布四個(gè)矩形槽，頂部開(kāi)有螺紋孔，上端面較平整，壓架3通過(guò)螺釘與螺桿1底端鏈接，保證螺桿1、壓架3的中心線重合且垂直于工作臺(tái)7的上表面，保證壓架3下端面與工作臺(tái)7的上表面平行，壓架3下端面表面光滑；通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)螺桿1，使螺旋桿1和壓架3向下移動(dòng)，在制作石英晶組的過(guò)程中對(duì)石英晶片進(jìn)行壓緊。以一種六維壓力傳感器的石英晶組（兩片墊片、兩片xy切型晶片、四片yx切型晶片等組成）的制作為例，說(shuō)明其工作過(guò)程。

（1）制作xy切型的石英單元晶組，將xy切型的第一石英晶片（輸出電荷為“-”的一面向上）置于工作臺(tái)7的工作槽的凸臺(tái)11上，電極引出端與y軸向平行，將輸出電極兩面涂導(dǎo)電膠均勻布置在晶片上，以石英晶片的大倒角A（如圖4）為對(duì)齊基準(zhǔn)，將xy切型的第二石英晶片(輸出電荷為“-”的一面向下)與第一石英晶片對(duì)裝；將兩個(gè)滑塊6放置在定位槽中，推動(dòng)其中一個(gè)滑塊6，至滑塊6接觸到晶組的側(cè)面，將墊塊5通過(guò)螺釘安裝在工作臺(tái)7上，壓緊滑塊6，再以相同方法放置第二個(gè)滑塊6，可以方便的保持晶片間的對(duì)齊，防止晶片滑移；通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)螺桿1，使壓架3向下壓緊，對(duì)晶組進(jìn)行預(yù)壓緊至膠干，若制作的石英晶組的高度略超過(guò)工作臺(tái)7的高度，可以使用壓板4對(duì)石英晶組進(jìn)行壓緊保持至膠干。

（2）制作yx切型的石英單元晶組，制作方法和（1）中 xy切型的石英單元晶組的制作方法相同。

（3）壓電石英晶組的總裝，將墊片（墊片與晶片形狀相同）置于工作臺(tái)7的工作槽的凸臺(tái)11上，電極引出端與y軸向平行，將輸出電極兩面涂導(dǎo)電膠布置在墊片上，以大倒角A（如圖4）為對(duì)齊基準(zhǔn)，將第一塊yx切型的石英單元晶組放置在墊片上，以相同的方法依次放置接地電極、第二塊yx切型的石英單元晶組、接地電極、xy切型的石英單元晶組、接地電極和墊片，通過(guò)（1）所述的定位和預(yù)壓緊方法進(jìn)行操作后，將壓板4通過(guò)螺釘安裝在工作臺(tái)7上，對(duì)晶組進(jìn)行壓緊保持至膠干。