Cmos圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案cp測(cè)試裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，包括探針卡，探針卡上安裝有圖形玻璃，圖形玻璃上設(shè)有測(cè)試圖案和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。探針卡的兩側(cè)分別設(shè)有移動(dòng)卡槽，移動(dòng)卡槽的兩端分別設(shè)有步進(jìn)電機(jī)，兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)的軸相對(duì)設(shè)置，兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)的軸之間連接有圓輥狀導(dǎo)軌，圖形玻璃放在圓輥狀導(dǎo)軌上?？梢愿鼫?zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)芯片缺陷，提高測(cè)試的效率。
【專利說(shuō)明】CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種WAFER測(cè)試裝置，尤其涉及一種CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的WAFER測(cè)試(CP測(cè)試)是必備的測(cè)試項(xiàng)目，要求能能保證測(cè)試的準(zhǔn)確性。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的測(cè)試方法準(zhǔn)確性較低、測(cè)試效率較低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種準(zhǔn)確性高、測(cè)試效率高的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置。
[0005]本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]本實(shí)用新型的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，包括探針卡，所述探針卡上安裝有圖形玻璃，所述圖形玻璃上設(shè)有測(cè)試圖案和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
[0007]由上述本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，由于探針卡上安裝有圖形玻璃，所述圖形玻璃上設(shè)有測(cè)試圖案和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，可以更準(zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)芯片缺陷，提高測(cè)試的效率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中圖形玻璃的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中圖形玻璃在探針卡上的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中移動(dòng)卡槽的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中:
[0012]1、測(cè)試圖案，2、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，3、圖形玻璃，4、PUPIL LENS (測(cè)試鏡頭)，5、移動(dòng)卡槽，6、探針卡，7、步進(jìn)馬達(dá)，8、導(dǎo)軌。

【具體實(shí)施方式】
[0013]下面將對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0014]本實(shí)用新型的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，其較佳的【具體實(shí)施方式】是:
[0015]包括探針卡，所述探針卡上安裝有圖形玻璃，所述圖形玻璃上設(shè)有測(cè)試圖案和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
[0016]所述探針卡的兩側(cè)分別設(shè)有移動(dòng)卡槽，所述移動(dòng)卡槽中設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，所述圖形玻璃安裝在所述驅(qū)動(dòng)裝置上。
[0017]所述驅(qū)動(dòng)裝置包括步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)的軸上連接有導(dǎo)軌，所述圖形玻璃設(shè)于所述導(dǎo)軌上。
[0018]所述移動(dòng)卡槽的兩端分別設(shè)有步進(jìn)電機(jī)，兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)的軸相對(duì)設(shè)置，所述導(dǎo)軌連接在兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)的軸之間。
[0019]所述導(dǎo)軌為圓輥狀。
[0020]本實(shí)用新型的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，將測(cè)試的PATTERN(圖案)印制在玻璃上，通過(guò)程序控制玻璃的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)有PATTERN的測(cè)試和無(wú)PATTERN的測(cè)試；為保證測(cè)試的準(zhǔn)確性，在玻璃上印制對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，實(shí)現(xiàn)玻璃上PATTERN對(duì)芯片的感光測(cè)試。CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的WAFER測(cè)試(CP測(cè)試)，在PROBE CARD (探針卡)上安裝帶有特定的圖案玻璃，可以更準(zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)芯片缺陷，提高測(cè)試的效率。
[0021]以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，包括探針卡，其特征在于，所述探針卡上安裝有圖形玻璃，所述圖形玻璃上設(shè)有測(cè)試圖案和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，其特征在于，所述探針卡的兩側(cè)分別設(shè)有移動(dòng)卡槽，所述移動(dòng)卡槽中設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，所述圖形玻璃安裝在所述驅(qū)動(dòng)裝置上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)的軸上連接有導(dǎo)軌，所述圖形玻璃設(shè)于所述導(dǎo)軌上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，其特征在于，所述移動(dòng)卡槽的兩端分別設(shè)有步進(jìn)電機(jī)，兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)的軸相對(duì)設(shè)置，所述導(dǎo)軌連接在兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)的軸之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的帶圖案CP測(cè)試裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌為圓棍狀。
【文檔編號(hào)】G01R31/26GK204142905SQ201420632236
【公開(kāi)日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年10月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月28日
【發(fā)明者】馮建中 申請(qǐng)人:北京思比科微電子技術(shù)股份有限公司