顯影液筒及其氣壓報警裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種顯影液筒的氣壓報警裝置，顯影液筒位于一涂膠顯影機(jī)上，氣壓報警裝置包括：供電電源；氣體壓力開關(guān)，其一端與供電電源相連接，監(jiān)測顯影液筒內(nèi)的氣體壓力，于氣體壓力達(dá)到一預(yù)設(shè)數(shù)值時閉合；繼電器，其一端與氣體壓力開關(guān)的另一端相連接，其另一端接地；常閉觸點開關(guān)，其一端與供電電源相連接，于繼電器得電時打開；報警器，其一端與常閉觸點開關(guān)的另一端相連接，其另一端接地。本發(fā)明能夠在顯影液筒處于失壓狀態(tài)時發(fā)出報警信號，預(yù)防因顯影液不足而顯影不清，提高產(chǎn)品合格率。
【專利說明】顯影液筒及其氣壓報警裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體來說，本發(fā)明涉及一種顯影液筒及其氣壓報警裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，用于光刻(Lithography)工藝的涂膠和顯影的設(shè)備——涂膠顯影機(jī)，其顯影液筒中的顯影液在使用一段時間后需要操作工通過手動的方式進(jìn)行添加。在打開顯影液筒添加之前，要將通入顯影液筒中用于加壓輸出顯影液的氣體管路(一般為N2)先關(guān)閉，在添加完成之后再重新打開。
[0003]但是，由于關(guān)閉氣體管路和添加顯影液的過程均為人工操作，難免出現(xiàn)添加完顯影液之后忘記重新打開氣體管路，導(dǎo)致顯影液筒一直處于失壓狀態(tài)。于是，在涂膠顯影機(jī)重新開動工作時，其顯影軌道無法從該顯影液筒中獲得顯影液。對此，現(xiàn)有技術(shù)中并無足以引起人員注意的手段來對該失壓狀態(tài)報警或者對設(shè)備作停止的功能。
[0004]上述缺陷會造成圖形化曝光后的晶圓(Wafer)顯影不清，甚至無法顯影，并且難以及時發(fā)現(xiàn)，影響成品率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種顯影液筒及其氣壓報警裝置，在顯影液筒處于失壓狀態(tài)時發(fā)出報警信號，預(yù)防因顯影液不足而顯影不清。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種顯影液筒的氣壓報警裝置，所述顯影液筒位于一涂膠顯影機(jī)上，所述氣壓報警裝置包括:
[0007]供電電源；
[0008]氣體壓力開關(guān)，其一端與所述供電電源相連接，監(jiān)測所述顯影液筒內(nèi)的氣體壓力，于所述氣體壓力達(dá)到一預(yù)設(shè)數(shù)值時閉合；
[0009]繼電器，其一端與所述氣體壓力開關(guān)的另一端相連接，其另一端接地；
[0010]常閉觸點開關(guān)，其一端與所述供電電源相連接，于所述繼電器得電時打開；
[0011]報警器，其一端與所述常閉觸點開關(guān)的另一端相連接，其另一端接地。
[0012]可選地，所述氣壓報警裝置還包括:
[0013]常開觸點開關(guān)，其設(shè)置于所述涂膠顯影機(jī)的一送片盒傳感器的回路中，于所述繼電器得電時閉合。
[0014]可選地，所述供電電源為24V。
[0015]可選地，所述氣體壓力開關(guān)為壓力開關(guān)傳感器。
[0016]可選地，所述報警器為蜂鳴器。
[0017]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供一種顯影液筒，位于一涂膠顯影機(jī)上，所述顯影液筒具有氣壓報警裝置，所述氣壓報警裝置包括:
[0018]供電電源；
[0019]氣體壓力開關(guān)，其一端與所述供電電源相連接，監(jiān)測所述顯影液筒內(nèi)的氣體壓力，于所述氣體壓力達(dá)到一預(yù)設(shè)數(shù)值時閉合；
[0020]繼電器，其一端與所述氣體壓力開關(guān)的另一端相連接，其另一端接地；
[0021]常閉觸點開關(guān)，其一端與所述供電電源相連接，于所述繼電器得電時打開；
[0022]報警器，其一端與所述常閉觸點開關(guān)的另一端相連接，其另一端接地。
[0023]可選地，所述氣壓報警裝置還包括:
[0024]常開觸點開關(guān)，其設(shè)置于所述涂膠顯影機(jī)的一送片盒傳感器的回路中，于所述繼電器得電時閉合。
[0025]可選地，所述供電電源為24V。
[0026]可選地，所述氣體壓力開關(guān)為壓力開關(guān)傳感器。
[0027]可選地，所述報警器為蜂鳴器。
[0028]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點:
[0029]本發(fā)明通過在顯影液筒上安裝氣壓報警裝置，在顯影液筒處于失壓狀態(tài)時發(fā)出報警信號，預(yù)防因管道抽空、顯影液不足而顯影不清，并與晶圓傳送、停止聯(lián)動，提高產(chǎn)品合格率。
[0030]總之，本發(fā)明通過極小的成本和相對簡單的工藝改進(jìn)達(dá)到了減少顯影不清的問題，提聞了廣品合格率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]本發(fā)明的上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢將通過下面結(jié)合附圖和實施例的描述而變得更加明顯，其中:
[0032]圖1為本發(fā)明一個實施例的顯影液筒的氣壓報警裝置的電路原理圖；
[0033]圖2為本發(fā)明另一個實施例的顯影液筒的氣壓報警裝置的電路原理圖。

【具體實施方式】
[0034]下面結(jié)合具體實施例和說明書附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，在以下的描述中闡述了更多的細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明顯然能夠以多種不同于此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下根據(jù)實際應(yīng)用情況作類似推廣、演繹，因此不應(yīng)以此具體實施例的內(nèi)容限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0035]圖1為本發(fā)明一個實施例的顯影液筒的氣壓報警裝置的電路原理圖。顯影液筒位于一涂膠顯影機(jī)上，如圖1所示，該氣壓報警裝置100至少包括:供電電源101、氣體壓力開關(guān)102、報警器103、繼電器J和常閉觸點開關(guān)J1。其中，氣體壓力開關(guān)102(如壓力開關(guān)傳感器)的一端與供電電源101 (如24V)相連接，監(jiān)測顯影液筒內(nèi)的氣體壓力，于氣體壓力達(dá)到一預(yù)設(shè)數(shù)值時閉合。繼電器J的一端與氣體壓力開關(guān)102的另一端相連接，其另一端接地。常閉觸點開關(guān)Jl的一端與供電電源101相連接，于繼電器J得電時打開。報警器103 (如蜂鳴器)的一端與常閉觸點開關(guān)Jl的另一端相連接，其另一端接地。
[0036]圖2為本發(fā)明另一個實施例的顯影液筒的氣壓報警裝置的電路原理圖。如圖2所示，該氣壓報警裝置100可以還包括:常開觸點開關(guān)J2，其設(shè)置于涂膠顯影機(jī)的一送片盒傳感器104的回路中，于繼電器J得電時閉合。
[0037]本實施例的顯影液筒的氣壓報警裝置100的工作原理簡要說明如下:
[0038]當(dāng)顯影液筒內(nèi)的顯影液添加完成后重新加上輸氣壓力時，氣體壓力開關(guān)102閉合，繼電器J得電，使常閉觸點開關(guān)Jl打開，報警器103 (蜂鳴器)斷開，報警提示聲音停止。另外，常開觸點開關(guān)J2閉合，接通涂膠顯影機(jī)的送片盒傳感器(Send Cassette Sensor) 104的回路，使涂膠顯影機(jī)臺正常工藝。
[0039]而顯影液筒內(nèi)的顯影液添加完成后沒有重新加上輸氣壓力時，氣體壓力開關(guān)102保持?jǐn)嚅_不導(dǎo)通，繼電器J與供電電源101的通路斷開，常閉觸點開關(guān)Jl恢復(fù)閉合，報警器103(蜂鳴器)的電路導(dǎo)通，持續(xù)發(fā)出報警提示音。另外，常開觸點開關(guān)J2恢復(fù)斷開，涂膠顯影機(jī)的送片盒傳感器104的通路斷開。此時，涂膠顯影機(jī)臺由于送片盒傳感器104的信號通路被斷開而自檢生成“無送片盒”的信號，工藝過程自動中斷。
[0040]本發(fā)明通過在顯影液筒上安裝氣壓報警裝置，在顯影液筒處于失壓狀態(tài)時發(fā)出報警信號，預(yù)防因管道抽空、顯影液不足而顯影不清，并與晶圓傳送、停止聯(lián)動，提高產(chǎn)品合格率。
[0041]總之，本發(fā)明通過極小的成本和相對簡單的工藝改進(jìn)達(dá)到了減少顯影不清的問題，提聞了廣品合格率。
[0042]本發(fā)明雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何修改、等同變化及修飾，均落入本發(fā)明權(quán)利要求所界定的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種顯影液筒的氣壓報警裝置(100)，所述顯影液筒位于一涂膠顯影機(jī)上，所述氣壓報警裝置(100)包括: 供電電源(101)； 氣體壓力開關(guān)(102)，其一端與所述供電電源(101)相連接，監(jiān)測所述顯影液筒內(nèi)的氣體壓力，于所述氣體壓力達(dá)到一預(yù)設(shè)數(shù)值時閉合； 繼電器(J)，其一端與所述氣體壓力開關(guān)(102)的另一端相連接，其另一端接地； 常閉觸點開關(guān)(JI)，其一端與所述供電電源(101)相連接，于所述繼電器(J)得電時打開； 報警器(103)，其一端與所述常閉觸點開關(guān)(Jl)的另一端相連接，其另一端接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣壓報警裝置(100)，其特征在于，還包括: 常開觸點開關(guān)(J2)，其設(shè)置于所述涂膠顯影機(jī)的一送片盒傳感器(104)的回路中，于所述繼電器(J)得電時閉合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣壓報警裝置(100)，其特征在于，所述供電電源(101)為24V。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣壓報警裝置(100)，其特征在于，所述氣體壓力開關(guān)(102)為壓力開關(guān)傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的氣壓報警裝置(100)，其特征在于，所述報警器(103)為蜂鳴器。
6.一種顯影液筒，位于一涂膠顯影機(jī)上，所述顯影液筒具有氣壓報警裝置(100)，所述氣壓報警裝置(100)包括: 供電電源(101)； 氣體壓力開關(guān)(102)，其一端與所述供電電源(101)相連接，監(jiān)測所述顯影液筒內(nèi)的氣體壓力，于所述氣體壓力達(dá)到一預(yù)設(shè)數(shù)值時閉合； 繼電器(J)，其一端與所述氣體壓力開關(guān)(102)的另一端相連接，其另一端接地； 常閉觸點開關(guān)(Jl)，其一端與所述供電電源(101)相連接，于所述繼電器(J)得電時打開； 報警器(103)，其一端與所述常閉觸點開關(guān)(Jl)的另一端相連接，其另一端接地。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影液筒，其特征在于，所述氣壓報警裝置(100)還包括: 常開觸點開關(guān)(J2)，其設(shè)置于所述涂膠顯影機(jī)的一送片盒傳感器(104)的回路中，于所述繼電器(J)得電時閉合。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯影液筒，其特征在于，所述供電電源(101)為24V。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯影液筒，其特征在于，所述氣體壓力開關(guān)(102)為壓力開關(guān)傳感器。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項所述的顯影液筒，其特征在于，所述報警器(103)為蜂鳴器。
【文檔編號】G01L19/12GK104133349SQ201410409338
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月19日
【發(fā)明者】楊玉明 申請人:上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造股份有限公司