X射線分析裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種X射線分析裝置，其包括：第1補(bǔ)償機(jī)構(gòu)(13A、13B)，該第1補(bǔ)償機(jī)構(gòu)(13A、13B)基于通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)(10A、10B)所求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)，推測出通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)(10A、10B)得到的能量譜中的波峰位置，并輸出初始值，該初始值是用于將該推測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的增益值；第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)(14A、14B)，該第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)(14A、14B)在通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)(10A、10B)得到的能量譜中，在包括基準(zhǔn)位置的規(guī)定的能量范圍內(nèi)檢測波峰位置，輸出動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值，該動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值是用于將該檢測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的增益值。
【專利說明】X射線分析裝置
[0001]相關(guān)申請
[0002]本申請要求申請日為2013年3月25日、申請?zhí)枮槿毡咎卦?013-061644的申請的優(yōu)先權(quán)，通過參照其整體，將其作為本申請的一部分的內(nèi)容而引用。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本申請涉及一種對所謂波峰偏離進(jìn)行補(bǔ)償?shù)腦射線分析裝置。

【背景技術(shù)】
[0004]目前，例如在波長色散型熒光X射線分析裝置中，向試樣照射一次X射線，通過分光元件對試樣所發(fā)出的熒光X射線進(jìn)行分光，通過檢測器檢測被分光的熒光X射線并產(chǎn)生脈沖。該脈沖的電壓即波高值對應(yīng)于熒光X射線的能量，具體來說普遍認(rèn)為有比例關(guān)系。此夕卜，單位時(shí)間內(nèi)的脈沖數(shù)與熒光X射線的強(qiáng)度相對應(yīng)。因此，通過脈沖幅度分析器，篩選脈沖中的在規(guī)定電壓范圍(通過設(shè)定上限值和下限值來規(guī)定，稱為窗口值)內(nèi)的脈沖，其計(jì)數(shù)率(單位時(shí)間內(nèi)的脈沖數(shù))作為X射線強(qiáng)度由計(jì)數(shù)器等計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)求得。
[0005]但是，眾所周知，在例如使用比例計(jì)數(shù)管作為檢測器的場合，當(dāng)高強(qiáng)度的熒光X射線入射到檢測器時(shí)，被送至脈沖幅度分析器的脈沖的電壓即波高值例如在數(shù)秒內(nèi)快速降低百分之幾十，或者有時(shí)在此后的例如數(shù)十分鐘內(nèi)在幾個(gè)百分比左右的范圍內(nèi)波動(dòng)。該現(xiàn)象被稱為波峰偏離、波高值的偏差等，如果發(fā)生波峰偏離，則會(huì)導(dǎo)致在和目標(biāo)波長有偏差的不恰當(dāng)?shù)脑O(shè)定窗口值下進(jìn)行測定，從而無法正確地進(jìn)行分析(參見專利文獻(xiàn)I?4)。在除了波長色散型熒光X射線分析裝置以外的X射線分析裝置中也會(huì)有該問題，另外，雖然有程度的差別，但是也可在使用比例計(jì)數(shù)管以外的檢測器的場合發(fā)生(參見專利文獻(xiàn)3、4)。
[0006]因此，作為用于補(bǔ)償波峰偏離的第I現(xiàn)有技術(shù)中有以下的裝置，在預(yù)備測定中，基于通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)得到的X射線強(qiáng)度推測波峰位置，在正式測定中，將推測的波峰位置與相當(dāng)于原本的波高值的基準(zhǔn)位置一致化，從而改變檢測器發(fā)出的脈沖的增益(參見專利文獻(xiàn)
1、2)。在此，通過實(shí)驗(yàn)預(yù)先求出下述關(guān)系，即，計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)所求得的X射線強(qiáng)度與能量譜中降低并穩(wěn)定后的波峰位置的關(guān)系。此外，作為用于補(bǔ)償波峰偏離的第2現(xiàn)有技術(shù)中有以下裝置，通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)獲得能量譜，在包含基準(zhǔn)位置的規(guī)定的能量范圍中檢測波峰位置，將該檢測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化，從而將檢測器發(fā)出的脈沖的增益動(dòng)態(tài)地(實(shí)時(shí))變更(參照專利文獻(xiàn)3、4)。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)I JP特開昭58-187885號公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)2 JP特開2005-9861號公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)3 JP特開平6-130155號公報(bào)
[0012]專利文獻(xiàn)4 JP特公昭62-12475號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]發(fā)明要解決的課題
[0014]但是，為了使波峰偏離所導(dǎo)致的降低的波峰位置變得穩(wěn)定，即使在較短的場合也需要數(shù)秒，故如果在穩(wěn)定之前應(yīng)用第I現(xiàn)有技術(shù)，推測波峰位置，基于波峰的變更補(bǔ)償波峰位置，開始正式測定，則波峰位置從降低到穩(wěn)定的期間，得到補(bǔ)償?shù)牟ǚ逦恢酶哂谙喈?dāng)于原本的波高值的基準(zhǔn)位置，從而無法正確地進(jìn)行分析。雖然如此，但是為了進(jìn)行正確的分析，如果將正式測定的開始時(shí)刻推遲到波峰偏離所致的降低的波峰位置并且穩(wěn)定時(shí)，即使時(shí)間較短也必須花費(fèi)數(shù)秒時(shí)間，僅在分析上花費(fèi)了很多時(shí)間。在波高峰值快速下降后的數(shù)十分鐘內(nèi)依然不穩(wěn)定的場合，在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行正確的分析會(huì)變得更加困難。此外，由于通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)所求得的X射線強(qiáng)度與能量譜中降低并穩(wěn)定后的波峰位置的關(guān)系，在每個(gè)X射線分析裝置中均有微小差別，故為了進(jìn)行正確的分析，需要通過實(shí)驗(yàn)在各X射線分析裝置中預(yù)先求出該關(guān)系。在更換各X射線分析裝置中的檢測器時(shí)，需要求得更換后的檢測器的上述關(guān)系O
[0015]另一方面，作為第2現(xiàn)有技術(shù)，如果X射線強(qiáng)度發(fā)生快速的變化，則有觀測不到波峰位置而無法正確地進(jìn)行檢測的風(fēng)險(xiǎn)，在該場合下，無法正確地分析。
[0016]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種X射線分析裝置，即使發(fā)生了波峰偏離，該X射線分析裝置也能迅速且適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行補(bǔ)償，能在短時(shí)間內(nèi)做出正確的分析。
[0017]解決課題用的技術(shù)方案
[0018]為了達(dá)成該目的，本發(fā)明提供了一種X射線分析裝置，其包括:檢測器，該檢測器產(chǎn)生與射入的X射線的能量相對應(yīng)的波高的脈沖，所述脈沖以僅僅與前述X射線的強(qiáng)度相對應(yīng)的數(shù)量來產(chǎn)生；高速AD轉(zhuǎn)換器，該高速AD轉(zhuǎn)換器將該檢測器所產(chǎn)生的脈沖數(shù)字化；計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，該計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)對于該高速AD轉(zhuǎn)換器所發(fā)出的脈沖，分成多個(gè)連續(xù)的波高范圍并求出計(jì)數(shù)率，由此，作為獲得相對于波高的計(jì)數(shù)率的分布的能量譜，并基于該能量譜算出上述X射線的強(qiáng)度；波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)，該波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)對于上述高速AD轉(zhuǎn)換器所發(fā)出的脈沖，將上述能量譜中的波峰位置穩(wěn)定化。
[0019]而且，上述波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)包括:輸入脈沖乘法器，該輸入脈沖乘法器輸入上述高速AD轉(zhuǎn)換器發(fā)來的脈沖，改變增益并將該增益輸出；第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)基于通過上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)所求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)，推測出上述能量譜中的波峰位置，并輸出初始值，該初始值是用于將該推測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的增益值；第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)在通過上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)得到的能量譜中，在包括上述基準(zhǔn)位置的規(guī)定的能量范圍內(nèi)檢測波峰位置，輸出動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值，該動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值是用于將該檢測出的波峰位置與上述基準(zhǔn)位置一致化的增益值；增益加法器，該增益加法器輸入上述初始值、上述動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值，將兩者相加并輸出到上述輸入脈沖乘法器。
[0020]在本發(fā)明中，具有作為技術(shù)機(jī)構(gòu)的多通道分析器，并且，在波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)中包括:第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)基于通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)所求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)，推測出計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)得到的能量譜中的波峰位置，并輸出初始值，該初始值是用于將該推測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的增益值；第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)在通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)得到的能量譜中，在包括上述基準(zhǔn)位置的規(guī)定的能量范圍內(nèi)檢測波峰位置，輸出動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值，該動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值是用于將該檢測出的波峰位置與上述基準(zhǔn)位置一致化的增益值。即使發(fā)生波峰偏離，也可在極短的時(shí)間內(nèi)輸出初始值，并且加入動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值，通過反饋而進(jìn)行修正，由此，不必等待波峰偏離導(dǎo)致的降低的波峰位置變得穩(wěn)定后再開始正式測定，也不會(huì)有下述情況:由于輸出初始值導(dǎo)致在求得動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值時(shí)丟失波峰位置，而無法正確地進(jìn)行檢測。因此，即使發(fā)生波峰偏離，也能迅速且適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行補(bǔ)償，能在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行正確的分析。
[0021]在本發(fā)明中，上述波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)優(yōu)選包括:零位置補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，在通過上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)得到的能量譜中，檢測出零波峰位置，并輸出用于將該檢測出的零波峰位置與零基準(zhǔn)位置一致化的零位置用增益值，所述零波峰位置是指，在包含與零波高相對應(yīng)的零基準(zhǔn)位置的規(guī)定的能量范圍內(nèi)，將在沒有信號時(shí)的水平的頻率設(shè)為峰值的位置；零位置加法器，該零位置加法器設(shè)置于上述高速AD轉(zhuǎn)換器與上述輸入脈沖乘法器之間，輸入上述高速AD轉(zhuǎn)換器發(fā)出的脈沖與上述零位置用增益值，將上述高速AD轉(zhuǎn)換器發(fā)出的脈沖與上述零位置用增益值相加并輸出至上述輸入脈沖乘法器。在該場合，即使與零波高相對應(yīng)的零位置的偏差也能被補(bǔ)償，故能正確地進(jìn)行分析。
[0022]在本發(fā)明中，所述檢測器為流氣式比例計(jì)數(shù)管的場合，所述波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)優(yōu)選包括:測定上述檢測器的溫度的溫度傳感器和/或測定上述檢測器的氣壓的壓力傳感器；氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)基于上述溫度傳感器的測定溫度和/或上述壓力傳感器的測定壓力，推測上述能量譜中的波峰位置，輸出用于將該推測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的氣體密度用增益系數(shù)；初始值乘法器，該初始值乘法器設(shè)置于上述第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)與上述增益加法器之間，輸入上述初始值與上述氣體密度用增益系數(shù)，將上述初始值與上述氣體密度用增益系數(shù)相乘并輸出至上述增益加法器。在該場合，即使作為流氣式比例計(jì)數(shù)管的檢測器的氣體密度變化導(dǎo)致波峰位置偏差，即，檢測器的溫度和/或檢測器的氣壓的變化所致的波峰位置偏差，由于不使用機(jī)械化的氣體密度穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)的狀態(tài)下進(jìn)行補(bǔ)償且輸出初始值，故在求出動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值時(shí)能進(jìn)一步避免波峰位置丟失，能正確地檢測且能簡便、進(jìn)行更加正確的分析。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]通過參考附圖的下述合適的實(shí)施方式的說明，可清楚地理解本發(fā)明。但是實(shí)施方式和附圖僅僅是用于圖示和說明，并非用于確定本發(fā)明的范圍而使用。本發(fā)明的范圍由附上的權(quán)利要求書確定。在附圖中，多個(gè)附圖中的同一部件號表不同一部分。
[0024]圖1為表示作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的波長色散型熒光X射線分析裝置的示意圖；
[0025]圖2為表示上述裝置的波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)的方框圖；
[0026]圖3為表示通過上述裝置得到的能量譜的一個(gè)例子的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0027]下面按照圖示對本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的波長色散型熒光X射線分析裝置進(jìn)行說明。如圖1所示，該裝置具有檢測機(jī)構(gòu)18A、18B，該檢測機(jī)構(gòu)18A、18B分別檢測應(yīng)測定的熒光X射線等的二次X射線7A、7B的波長。檢測機(jī)構(gòu)18A、18B具有分光元件6A、6B ;檢測器8A、8B ;高速AD轉(zhuǎn)換器9A、9B ;計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)10AU0B以及波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)11A、11B。S卩，該裝置是波長色散型的、多元素同時(shí)分析型的熒光X射線分析裝置。此外，在檢測器8A、SB與高速AD轉(zhuǎn)換器9A、9B之間可以設(shè)置前置放大器。
[0028]更加詳細(xì)地，該裝置包括:試樣臺(tái)2，該試樣臺(tái)2裝載試樣I ;X射線源4，該X射線源4是向試樣I照射一次X射線3的X射線管；分光兀件6A、6B,該分光兀件6A、6B對試樣I所產(chǎn)生的熒光X射線等的二次X射線5A、5B進(jìn)行分光；檢測器8A、8B，該檢測器8A、8B為流氣式比例計(jì)數(shù)管，其入射分光元件6A、6B所分光的二次X射線7A、7B，并產(chǎn)生與該X射線7A.7B的能量相對應(yīng)的波高的脈沖，所述脈沖以僅僅與X射線7A、7B的強(qiáng)度相對應(yīng)的數(shù)量來產(chǎn)生；高速AD轉(zhuǎn)換器9A、9B，該高速AD轉(zhuǎn)換器9A、9B將檢測器8A、8B所產(chǎn)生的脈沖數(shù)字化。
[0029]該裝置包括:計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)10A、10B，該計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)10AU0B為下述技術(shù)機(jī)構(gòu)，也就是多通道分析器:對于高速AD轉(zhuǎn)換器9A、9B所發(fā)出的脈沖，將其分成多個(gè)連續(xù)的波高范圍并求出計(jì)數(shù)率，由此，獲得了作為相對于波高的計(jì)數(shù)率的分布的能量譜(圖3右側(cè))，基于該能量譜算出上述X射線7A、7B的強(qiáng)度；波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)11A、11B，該波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)IlAUlB對于高速AD轉(zhuǎn)換器9A、9B所發(fā)出的脈沖，將上述能量譜中的波峰位置穩(wěn)定化。
[0030]而且，舉出與二次X射線7A相對應(yīng)的波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)IlA的例子的話，則如圖2所示，波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)IlA具有:輸入脈沖乘法器12A、第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13A、第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)14A以及增益加法器15A。輸入脈沖乘法器12A輸入高速AD轉(zhuǎn)換器9A發(fā)來的脈沖，改變增益并將該增益輸出。高速AD轉(zhuǎn)換器9A發(fā)來的輸入脈沖在本實(shí)施方式的裝置中，途經(jīng)后述的零位置加法器17A。
[0031]第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13A通過所謂的預(yù)備測定，基于通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)，推測出上述能量譜中的波峰位置，并輸出初始值，該初始值是用于將該推測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的增益值。在此，通過計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)為入射到檢測器8A的X射線7A的強(qiáng)度的總數(shù)，例如圖3右側(cè)所示的能量譜與橫軸之間的面積，但預(yù)備測定中使用的能量譜并不限于這樣的微分曲線，也可以使用所謂積分曲線。能量譜中的波峰位置是指作為能量譜中的最大值的波峰處的波高值能量譜中的最大值，例如圖3右側(cè)所示的Pa。基準(zhǔn)位置是指:沒有發(fā)生波峰偏離的場合的相當(dāng)于原本的波高值的位置，在圖3右側(cè)中，基準(zhǔn)位置Sa對應(yīng)于波峰位置Pa。
[0032]關(guān)于波峰偏離，預(yù)先求出下述關(guān)系，S卩，計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A所求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)(如上所述，基于微分曲線或積分曲線的能量譜)與能量譜中的波峰位置的關(guān)系。第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13A由于存儲(chǔ)該關(guān)系，故基于計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A所求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)，能推測出能量譜中的波峰位置Pa，并輸出初始值，該初始值是用于將該推測出的波峰位置Pa與基準(zhǔn)位置Sa—致化的增益值。在此，在本發(fā)明中，由于初始值與后述的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值相加，從而通過反饋進(jìn)行修正，故對于計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A所求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)與能量譜中的位置的關(guān)系，即使不嚴(yán)謹(jǐn)?shù)厍蟪龈鱔射線分析裝置、各監(jiān)測器的該關(guān)系，也能正確地進(jìn)行分析。
[0033]在計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A所求得的圖3右側(cè)的能量譜中，圖2的第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)14A在包括基準(zhǔn)位置Sa的規(guī)定的能量(波高)范圍內(nèi)檢測波峰位置Pa，將動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值實(shí)時(shí)輸出，該動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值是用于將該檢測出的波峰位置Pa與基準(zhǔn)位置Sa—致化的增益值。在此，作為波峰位置Pa的檢測范圍的規(guī)定的能量范圍，按照與波峰位置Pa相對應(yīng)的基準(zhǔn)位置Sa來設(shè)定。此外，在檢測波峰位置Pa時(shí)，通過檢測出作為能量譜中最小值的波谷的位置Pb，可以檢測出與波谷的位置關(guān)系為間接最大值的波峰的位置Pa。另外，雖然圖中未示出，也可通過檢測出能量譜中確實(shí)出現(xiàn)的一次X射線3的特性X射線的湯姆遜散射線的波峰位置，從而依據(jù)與該波峰位置的位置關(guān)系，間接地檢測出作為測定對象的二次X射線7A的波峰位置Pa。
[0034]圖2所示的增益加法器15A，輸入第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13A發(fā)出的初始值、第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)14A發(fā)出的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值，將兩者相加并輸出到輸入脈沖乘法器12A。在此，從第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13A得到的初始值，在本實(shí)施方式的裝置中，途徑后述的初始值乘法器22A，然后輸入到增益加法器15A。輸入脈沖乘法器12A基于被輸入的增益值，通過變更高速AD轉(zhuǎn)換器9A發(fā)出的脈沖的增益，將使波峰位置穩(wěn)定化的輸出脈沖發(fā)送至計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)10A。計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A從該輸出脈沖獲得了波峰位置穩(wěn)定的能量譜，計(jì)算出基于該能量譜的二次X射線7A的強(qiáng)度。例如，在作為測定對象的二次X射線7A對應(yīng)于圖3右側(cè)的峰值Pa的場合，當(dāng)波峰位置Pa呈穩(wěn)定的狀態(tài)時(shí)，即，波峰位置Pa與基準(zhǔn)位置Sa為一致的狀態(tài)時(shí)，包括基準(zhǔn)位置Sa的規(guī)定的能量(波高)范圍中的，能量譜與橫軸之間的面積為二次X射線7A的強(qiáng)度。
[0035]與二次X射線7B相對應(yīng)的波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)IlB也具有:輸入脈沖乘法器12B、第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13B、第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)14B、增益加法器15B。
[0036]根據(jù)上述本實(shí)施方式的裝置的基本構(gòu)造，同時(shí)具備如上所述的第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13A、13B以及第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)14A、14B,即使發(fā)生波峰偏離，也可在極短的時(shí)間內(nèi)輸出初始值，并且加入動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值，通過反饋進(jìn)行修正，由此，不必等待波峰偏離導(dǎo)致的降低的波峰位置變得穩(wěn)定后再開始正式測定，也不會(huì)有下述情況，由于輸出初始值導(dǎo)致在求得動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值時(shí)丟失波峰位置，能進(jìn)行正確的檢測。因此，即使發(fā)生波峰偏離，也能迅速且適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行補(bǔ)償，能在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行正確的分析。
[0037]在本實(shí)施方式中，波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)IlAUlB進(jìn)一步具有零位置補(bǔ)償機(jī)構(gòu)16A、16B和零位置加法器17A、17B。如果舉出與二次X射線7A相對應(yīng)的位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)IIA為例，在計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)1A所獲得的圖3左側(cè)的能量譜中，零位置補(bǔ)償機(jī)構(gòu)16A檢測出了零波峰位置Pz，并輸出用于將該檢測出的零波峰位置Pz與零基準(zhǔn)位置Sz —致化的零位置用增益值，該零波峰位置Pz是指，在包含與零波高相對應(yīng)的零基準(zhǔn)位置Sz的規(guī)定的能量(波高)范圍內(nèi)，將沒有信號時(shí)的水平的頻率設(shè)為峰值位置。圖2的零位置加法器17A設(shè)置于高速AD轉(zhuǎn)換器9A(圖1)與輸入脈沖乘法器12A之間，輸入高速AD轉(zhuǎn)換器9A發(fā)出的脈沖與零位置補(bǔ)償機(jī)構(gòu)16A發(fā)出的零位置用增益值，將高速AD轉(zhuǎn)換器9A發(fā)出的脈沖與零位置用增益值相加，輸出至輸入脈沖乘法器12A。關(guān)于該零位置補(bǔ)償?shù)淖芳拥臉?gòu)造，即使與零波高相對應(yīng)的零位置發(fā)生偏差也能被補(bǔ)償，故能正確地進(jìn)行分析。
[0038]在本實(shí)施方式中，由于檢測器8A、8B(圖1)是流氣式比例計(jì)數(shù)管，故波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)11A、11B進(jìn)一步具有:溫度傳感器19A、19B，該溫度傳感器19A、19B測定檢測器8A、SB的溫度；壓力傳感器21，該壓力傳感器21測定檢測器8A、8B的氣壓；氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)20A、20B，該氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)20A、20B基于溫度傳感器19A、19B的測定溫度以及壓力傳感器21的測定壓力，推測能量譜(圖3右側(cè))中的波峰位置Pa，輸出用于將該推測出的波峰位置Pa與基準(zhǔn)位置Sa —致化的氣體密度用增益系數(shù)；初始值乘法器22A、22B。初始值乘法器22A、22B設(shè)置于第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)13A、13B與增益加法器15A、15B之間，輸入上述初期設(shè)定值與上述氣體密度用增益系數(shù)，將上述初始值與上述氣體密度用增益系數(shù)相乘并輸出至增益加法器15A、15B。
[0039]此處，溫度傳感器19A、19B未在圖1中示出，但是其被安裝于檢測器8A、8B或者檢測器8A、8B的附近。壓力傳感器21也未在圖1中示出，但是其被安裝于檢測器8A、8B的內(nèi)部。不過，檢測器8A、8B內(nèi)的氣壓在能被視為與大氣壓相等的場合，作為檢測器8A、8B的氣壓，應(yīng)當(dāng)測定大氣壓。也可在配置有檢測器8A、8B的真空環(huán)境的分光室外部處的大氣壓環(huán)境中，設(shè)置壓力傳感器21。另外，關(guān)于作為流氣式比例計(jì)數(shù)管的檢測器8A、8B的氣體密度變化所致的波峰位置的偏差，預(yù)先求出溫度傳感器19A、19B的測定溫度、壓力傳感器21的測定壓力與圖3右側(cè)所示的能量譜中的波峰位置Pa的關(guān)系，由于氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)20A、20B能存儲(chǔ)該關(guān)系，故基于溫度傳感器19A、19B的測定溫度、壓力傳感器21的測定壓力，能推測能量譜中的波峰位置Pa。關(guān)于該氣體密度補(bǔ)償?shù)淖芳拥臉?gòu)造，即使作為流氣式比例計(jì)數(shù)管的檢測器8A、8B的氣體密度變化導(dǎo)致波峰位置偏差，由于在不使用機(jī)械化的氣體密度穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)的狀態(tài)下被補(bǔ)償且輸出初始值，故在求出動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值時(shí)，能進(jìn)一步避免丟失波峰位置，而能正確地檢測且能簡便、更加正確地分析。
[0040]在本實(shí)施方式的裝置中，關(guān)于氣體密度補(bǔ)償?shù)淖芳拥臉?gòu)造，具有:測定檢測器8A、8B的溫度的溫度傳感器19A、19B與檢測檢測器8A、8B的氣壓的壓力傳感器21，基于溫度傳感器19A、19B的測定溫度與壓力傳感器21的測定壓力這兩者，推測能量譜(圖3右側(cè))中的波峰位置Pa，在本發(fā)明中，在檢測器的溫度和檢測器的氣壓中的任意一者，由于其他的控制等原因而視為一定的場合，則在氣體密度補(bǔ)償?shù)淖芳拥臉?gòu)造中不需要測定該一者的傳感器，僅僅基于另一者的傳感器的測定值，推測出能量譜中的波峰位置即可。
[0041]另外，也可僅僅增加關(guān)于零位置補(bǔ)償?shù)淖芳訕?gòu)造與關(guān)于密度補(bǔ)償?shù)淖芳訕?gòu)造中的任意一者，作為追加構(gòu)造。另外，雖然偏離了本發(fā)明的主題，但是也可想出下述應(yīng)用例，即，從本實(shí)施方式的裝置的基本構(gòu)成中去除第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，僅僅將關(guān)于密度補(bǔ)償?shù)淖芳訕?gòu)造作為追加構(gòu)造。
[0042]在上述內(nèi)容中，本實(shí)施方式的裝置是以波長色散型的多元素同時(shí)分析型的熒光X射線分析裝置來說明的，但是在本發(fā)明中，也可以為其它的X射線分析裝置，例如波長色散型的掃描型熒光X射線分析裝置、能量色散型的熒光X射線分析裝置、X射線衍射裝置等。另外，所使用的檢測器除了具有關(guān)于氣體密度補(bǔ)償?shù)淖芳訕?gòu)造的場合以外、除了流氣式比例計(jì)數(shù)管以外的檢測器，可列舉出例如密閉型比例計(jì)數(shù)管、閃爍計(jì)數(shù)器、半導(dǎo)體檢測器等。
[0043]如上所述，參照附圖，對優(yōu)選的實(shí)施例進(jìn)行了說明，但如果是本領(lǐng)域的技術(shù)人員閱讀本申請說明書，會(huì)在顯然的范圍內(nèi)容易地想到各種變更和修改方式。因此，對于這樣的變更和修改方式，被解釋在根據(jù)權(quán)利要求書而確定的發(fā)明的范圍內(nèi)。
[0044]標(biāo)號說明
[0045]標(biāo)號7A、7B表不入射的X射線；
[0046]標(biāo)號8A、8B表不檢測器；
[0047]標(biāo)號9A、9B表不高速AD轉(zhuǎn)換器；
[0048]標(biāo)號10A、10B表示計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)；
[0049]標(biāo)號11A、IIB表示波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)；
[0050]標(biāo)號12A、12B表不輸入脈沖乘法器；
[0051]標(biāo)號13A、13B表示第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)；
[0052]標(biāo)號14A、14B表示第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)；
[0053]標(biāo)號15A、15B表不增益加法器；
[0054]標(biāo)號16A、16B表示零位置補(bǔ)償機(jī)構(gòu)；
[0055]標(biāo)號17A、17B表示零位置加法器；
[0056]標(biāo)號19A、19B表不溫度傳感器；
[0057]標(biāo)號20A、20B表不氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)；
[0058]標(biāo)號21表不壓力傳感器；
[0059]標(biāo)號22A、22B表示初始值乘法器；
[0060]標(biāo)號Pa表示波峰位置；
[0061]標(biāo)號Pz表不零波峰位置；
[0062]標(biāo)號Sa表不基準(zhǔn)位置；
[0063]標(biāo)號Sz表不零基準(zhǔn)位置。
【權(quán)利要求】
1.一種X射線分析裝置，其包括: 檢測器，該檢測器產(chǎn)生與射入的X射線的能量相對應(yīng)的波高的脈沖，所述脈沖以僅僅與前述X射線的強(qiáng)度相對應(yīng)的數(shù)量來產(chǎn)生； 高速AD轉(zhuǎn)換器，該高速AD轉(zhuǎn)換器將該檢測器所產(chǎn)生的脈沖數(shù)字化； 計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，該計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)對于該高速AD轉(zhuǎn)換器所發(fā)出的脈沖，分成多個(gè)連續(xù)的波高范圍并求出計(jì)數(shù)率，由此，獲得作為相對于波高的計(jì)數(shù)率的分布的能量譜，基于該能量譜算出上述X射線的強(qiáng)度； 波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)，該波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)對于上述高速AD轉(zhuǎn)換器所發(fā)出的脈沖，將上述能量譜中的波峰位置穩(wěn)定化， 其特征在于，所述波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)包括: 輸入脈沖乘法器，該輸入脈沖乘法器輸入上述高速AD轉(zhuǎn)換器發(fā)來的脈沖，改變增益并將該增益輸出； 第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)基于通過上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)求得的計(jì)數(shù)率的總數(shù)，推測出上述能量譜中的波峰位置，并輸出初始值，該初始值是用于將該推測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的增益值； 第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該第2補(bǔ)償機(jī)構(gòu)在通過上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)得到的能量譜中，在包括上述基準(zhǔn)位置的規(guī)定的能量范圍內(nèi)檢測波峰位置，輸出動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值，該動(dòng)態(tài)增益補(bǔ)償值是用于將該檢測出的波峰位置與上述基準(zhǔn)位置一致化的增益值； 增益加法器，該增益加法器輸入上述初始值和上述動(dòng)態(tài)補(bǔ)償值，將兩者相加并輸出到上述輸入脈沖乘法器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線分析裝置，其中，所述波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)包括: 零位置補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，在通過上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)得到的能量譜中，檢測出零波峰位置，并輸出用于將該檢測出的零波峰位置與零基準(zhǔn)位置一致化的零位置用增益值，所述零波峰位置是指，在包含與零波高相對應(yīng)的零基準(zhǔn)位置的規(guī)定的能量范圍內(nèi)，將沒有信號時(shí)的水平的頻率設(shè)為峰值的位置； 零位置加法器，該零位置加法器設(shè)置于上述高速AD轉(zhuǎn)換器與上述輸入脈沖乘法器之間，輸入上述高速AD轉(zhuǎn)換器發(fā)出的脈沖與上述零位置用增益值，將上述高速AD轉(zhuǎn)換器發(fā)出的脈沖與上述零位置用增益值相加并輸出至上述輸入脈沖乘法器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X射線分析裝置，其中，所述檢測器為流氣式比例計(jì)數(shù)管，所述波峰位置穩(wěn)定化機(jī)構(gòu)包括: 測定上述檢測器的溫度的溫度傳感器和/或測定上述檢測器的氣壓的壓力傳感器； 氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，該氣體密度補(bǔ)償機(jī)構(gòu)基于上述溫度傳感器的測定溫度和/或上述壓力傳感器的測定壓力，推測上述能量譜中的波峰位置，輸出用于將該推測出的波峰位置與基準(zhǔn)位置一致化的氣體密度用增益系數(shù)； 初始值乘法器，該初始值乘法器設(shè)置于上述第I補(bǔ)償機(jī)構(gòu)與上述增益加法器之間，輸入上述初始值與上述氣體密度用增益系數(shù)，將上述初始值與上述氣體密度用增益系數(shù)相乘并輸出至上述增益加法器。
【文檔編號】G01N23/223GK104076050SQ201410109755
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年3月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月25日
【發(fā)明者】迫幸雄, 川久航介 申請人:株式會(huì)社理學(xué)