X射線分析裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種當(dāng)對(duì)樣品照射了X射線時(shí)通過(guò)X射線檢測(cè)器檢測(cè)從該樣品發(fā)出的X射線的X射線分析裝置。該X射線分析裝置具備可更換的部件。該X射線分析裝置具有：標(biāo)簽，附加于可更換的部件中并且附加了表示可更換的部件的種類的符號(hào)；攝影機(jī)，將可更換的部件和標(biāo)簽進(jìn)行攝影；以及CPU和圖像認(rèn)識(shí)軟件，基于附加于標(biāo)簽的符號(hào)通過(guò)計(jì)算特定可更換的部件的種類。
【專利說(shuō)明】X射線分析裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及使用X射線對(duì)樣品進(jìn)行分析的X射線分析裝置。特別是，本發(fā)明涉及具備可更換的部件的X射線分析裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]X射線分析裝置通常具有可更換的部件。作為可更換的部件，例如有，X射線管、X射線檢測(cè)器、X射線光學(xué)部件、配件(附屬裝置)等。作為X射線光學(xué)部件，例如有，狹縫(slit)、單色儀(monochromator)、梭拉狹縫(Soller slit)、PSC (Parallel SlitCollimator:平行狹縫準(zhǔn)直儀)、濾光器、PSA (Parallel Slit Analyzer:平行狹縫分析器)等。另外，作為配件，例如有，充填有樣品的樣品座、放置樣品座的樣品板單元、樣品轉(zhuǎn)換器(樣品更換裝置)、其它的各種附屬裝置。
[0003]目前，已知的有以使用磁傳感器識(shí)別作為可更換的部件的X射線管的種類的方式做成的X射線分析裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。另外，已知的有以使用光傳感器、微動(dòng)開關(guān)等識(shí)別作為可更換的部件的狹縫、單色儀、濾光器等的種類的方式做成的X射線分析裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本實(shí)開平2-069750號(hào)公報(bào)；
專利文獻(xiàn)2:日本特開2008-057989號(hào)公報(bào)。
[0005]但是，在使用了傳感器、微動(dòng)開關(guān)等的現(xiàn)有的部件認(rèn)識(shí)方法中，感測(cè)用標(biāo)識(shí)的數(shù)量被限制。例如，只能準(zhǔn)備最大為5bit (32種)的ID (識(shí)別符號(hào))。為此，存在對(duì)超過(guò)了限制數(shù)量的部件無(wú)法分配識(shí)別用的ID的問(wèn)題。
[0006]另外，在使用了傳感器、微動(dòng)開關(guān)等的現(xiàn)有的部件認(rèn)識(shí)方法中，必須使作為檢查對(duì)象的部件通過(guò)通信線路連接于電路基板，為此，部件的安裝位置(即部件的位置)被限定在特定位置，并且不能追加安裝位置。
[0007]另外，在使用了傳感器、微動(dòng)開關(guān)等的現(xiàn)有的部件認(rèn)識(shí)方法中，雖然能認(rèn)識(shí)部件的種類，但不能認(rèn)識(shí)部件的安裝位置。另外，不能進(jìn)行部件被安裝在縱向還是被安裝在橫向這樣的安裝方向的認(rèn)識(shí)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明是鑒于上述的問(wèn)題點(diǎn)而做成的發(fā)明，其目的在于，提供一種能增加可認(rèn)識(shí)的部件的種類，并且能容易地追加認(rèn)識(shí)安裝于新安裝位置的部件，也能認(rèn)識(shí)部件的安裝位置、安裝方向的X射線分析裝置。
[0009]本發(fā)明所涉及的第一 X射線分析裝置，當(dāng)對(duì)樣品照射了 X射線時(shí)，通過(guò)X射線檢測(cè)器檢測(cè)從該樣品發(fā)出的X射線，并且具備可更換的部件，其特征在于，具有:標(biāo)志，設(shè)置于所述可更換的部件中；攝影機(jī)，將所述可更換的部件和所述標(biāo)志進(jìn)行攝影；以及部件種類計(jì)算單元，基于由所述攝影機(jī)攝影的所述標(biāo)志的圖像，通過(guò)計(jì)算特定所述可更換的部件的種類名稱。部件種類計(jì)算單元，例如，能通過(guò)CPU與圖像認(rèn)識(shí)應(yīng)用軟件的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0010]根據(jù)本發(fā)明所涉及的第一 X射線分析裝置，由于不是使用通過(guò)通信線路傳送信號(hào)的光傳感器等來(lái)識(shí)別部件的種類，而是做成了通過(guò)將附加于部件、配件的標(biāo)志，用攝影機(jī)攝影而得到的圖像的解析來(lái)認(rèn)識(shí)部件等的種類，所以，通過(guò)適當(dāng)?shù)貨Q定標(biāo)志，能增加能認(rèn)識(shí)的部件的種類。
[0011]另外，由于不使用傳感器、通信電纜，所以不光是由通信電纜規(guī)定的特別的位置，而且能容易追加地識(shí)別安裝于新安裝位置的部件。
[0012]另外，在現(xiàn)有的識(shí)別方法中需要光傳感器、通信電纜，但由于在本實(shí)施方式中讀取通過(guò)攝影機(jī)攝影的圖像并將信息數(shù)據(jù)化，所以不需要傳感器和從該傳感器延伸的通信電纜。為此,能減少部件成本。
[0013]另外，在現(xiàn)有的X射線分析裝置中，為了確認(rèn)系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，在開閉門的適當(dāng)?shù)胤皆O(shè)置了由含鉛玻璃構(gòu)成的視覺(jué)確認(rèn)用的窗，但在本發(fā)明的X射線分析裝置中，由于通過(guò)攝影機(jī)系統(tǒng)被攝影，所以變?yōu)椴恍枰@樣的窗，降低成本是可能的。
[0014]本發(fā)明所涉及的第二 X射線分析裝置，當(dāng)對(duì)樣品照射了 X射線時(shí)，通過(guò)X射線檢測(cè)器檢測(cè)從該樣品發(fā)出的X射線，并且具備可更換的部件，其特征在于，具有:標(biāo)志，設(shè)置于所述可更換的部件中；攝影機(jī)，將所述可更換的部件和所述標(biāo)志進(jìn)行攝影；以及部件位置計(jì)算單元，基于由所述攝影機(jī)攝影的所述標(biāo)志的圖像，通過(guò)計(jì)算，特定應(yīng)安裝所述可更換的部件的位置。部件位置計(jì)算單元，例如，能通過(guò)CPU與圖像認(rèn)識(shí)應(yīng)用軟件的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0015]根據(jù)本發(fā)明所涉及的第二 X射線分析裝置，通過(guò)使應(yīng)安裝可更換的部件的位置的信息包含在標(biāo)志中，也能認(rèn)識(shí)可更換的部件，例如光學(xué)部件、配件的位置。
[0016]另外，在現(xiàn)有的X射線分析裝置中，為了確認(rèn)系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，在開閉門的適當(dāng)?shù)胤皆O(shè)置了由含鉛玻璃構(gòu)成的視覺(jué)確認(rèn)用的窗，但在本發(fā)明的X射線分析裝置中，由于通過(guò)攝影機(jī)系統(tǒng)被攝影，所以變?yōu)椴恍枰@樣的窗，降低成本是可能的。
[0017]在本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置中，能使所述標(biāo)志為以下的任一個(gè)，即為:(I)附加于所述可更換的部件中已附加的標(biāo)簽中的符號(hào)、(2)所述可更換的部件本身的形狀、
(3)附加于所述可更換的部件中的顏色、(4)附加于所述可更換的部件中的標(biāo)簽的顏色、(5)直接記載于所述可更換的部件中的符號(hào)、或者(6)通過(guò)雕刻直接記載于所述可更換的部件中的符號(hào)。
[0018]上述標(biāo)簽是附加于部件的張貼物、印刷物的通稱，表示必要的標(biāo)志。將標(biāo)簽附加于部件的方法有各種各樣，例如，可考慮粘貼、縫貼、向部件的直接印刷，向部件的直接燒粘
坐寸ο
[0019]在本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置中，所述可更換的部件，例如能為狹縫、單色儀等這樣的X射線光學(xué)部件，樣品座、其它的配件。
[0020]本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置，還能具有:圖案，能識(shí)別相互正交的2方向；以及部件方向計(jì)算單元，基于該圖案通過(guò)計(jì)算特定所述可更換的部件的方向。部件方向計(jì)算單元，例如，能通過(guò)CPU與圖像認(rèn)識(shí)應(yīng)用軟件的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0021]在本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置中，能識(shí)別所述相互正交的2方向的圖案能為長(zhǎng)方形的框的圖案。
[0022]本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置，能具有:部件距離計(jì)算單元，計(jì)算從所述攝影機(jī)的攝影圖像內(nèi)的基準(zhǔn)點(diǎn)到所述可更換的部件的特定點(diǎn)的距離。部件距離計(jì)算單元，例如能通過(guò)CPU與圖像認(rèn)識(shí)應(yīng)用軟件的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0023]所述的“攝影機(jī)的攝影圖像內(nèi)的基準(zhǔn)點(diǎn)”能為該攝影圖像內(nèi)的任意的點(diǎn)。例如，該基準(zhǔn)點(diǎn)，有時(shí)能為作為對(duì)所述樣品照射X射線的區(qū)域的中心的樣品中心，有時(shí)作為用于調(diào)整樣品的上下位置的配件的Z工作臺(tái)上的特定點(diǎn)。在為Z工作臺(tái)上的特定點(diǎn)的情況下，例如，在Z工作臺(tái)上的所希望的位置粘貼標(biāo)簽的同時(shí)，能將該標(biāo)簽內(nèi)設(shè)定的特定點(diǎn)作為Z工作臺(tái)的特定點(diǎn)。
[0024]在本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置中，在所述可更換的部件中能附加長(zhǎng)方形的框，能將該可更換的部件的特定點(diǎn)設(shè)為該長(zhǎng)方形的框的對(duì)角線的交點(diǎn)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，變?yōu)槟苋菀椎靥囟筛鼡Q的部件的特定點(diǎn)。此外，作為特定點(diǎn)的決定方法除了設(shè)為對(duì)角線的交點(diǎn)的方法之外能采用其它的任意的決定方法。例如，設(shè)為長(zhǎng)方形的框的角部的點(diǎn)也可以，基于長(zhǎng)方形之外的其它的形狀決定特定點(diǎn)也可以。
[0025]本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置中，所述可更換的部件能具有:擁有直線性的長(zhǎng)度的標(biāo)志或擁有平面性的寬度的標(biāo)志，進(jìn)而還能具有:部件的Z位置計(jì)算單元，計(jì)算擁有所述直線性的長(zhǎng)度的標(biāo)志的長(zhǎng)度的變化或擁有所述平面性的寬度的標(biāo)志的面積的變化，并基于該長(zhǎng)度的變化或面積的變化，通過(guò)計(jì)算求取所述可更換的部件的相對(duì)所述攝影機(jī)的前后方向的位置的變化。部件的Z位置計(jì)算單元，例如能通過(guò)CPU與圖像認(rèn)識(shí)應(yīng)用軟件的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0026]接著，本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置，其特征在于，具有:計(jì)算單元，根據(jù)基于以上記載的部件種類計(jì)算單元、部件位置計(jì)算單元、部件方向計(jì)算單元、部件距離計(jì)算單元以及部件的Z位置計(jì)算單元的至少任一個(gè)的計(jì)算結(jié)果，判定所述可更換的部件是否被設(shè)定在正常的狀態(tài)。
[0027](發(fā)明效果)
根據(jù)本發(fā)明所涉及的第一 X射線分析裝置，由于不是使用通過(guò)通信線路傳送信號(hào)的光傳感器等來(lái)識(shí)別部件的種類，而是做成了通過(guò)將附加于部件、配件的標(biāo)志，用攝影機(jī)攝影而得到的圖像的解析來(lái)認(rèn)識(shí)部件等的種類，所以，通過(guò)適當(dāng)?shù)貨Q定標(biāo)志，能增加能認(rèn)識(shí)的部件的種類。
[0028]另外，由于不使用傳感器和從該傳感器延伸的通信電纜，所以不光是由通信電纜規(guī)定的特別的位置，而且能容易追加地識(shí)別安裝于新安裝位置的部件。
[0029]另外，在現(xiàn)有的識(shí)別方法中需要光傳感器、通信電纜，但由于在本實(shí)施方式中讀取通過(guò)攝影機(jī)攝影的圖像并將信息數(shù)據(jù)化，所以不需要傳感器和從該傳感器延伸的通信電纜。為此,能減少部件成本。
[0030]另外，在現(xiàn)有的X射線分析裝置中，為了確認(rèn)系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，在開閉門的適當(dāng)?shù)胤皆O(shè)置了由含鉛玻璃構(gòu)成的視覺(jué)確認(rèn)用的窗，但在本發(fā)明的X射線分析裝置中，由于通過(guò)攝影機(jī)系統(tǒng)被攝影，所以變?yōu)椴恍枰@樣的窗，降低成本是可能的。
[0031]根據(jù)本發(fā)明所涉及的第二 X射線分析裝置，由于使應(yīng)安裝可更換的部件的位置的信息包含在標(biāo)志中，所以能認(rèn)識(shí)可更換的部件，例如光學(xué)部件、配件的位置。
[0032]另外，在現(xiàn)有的X射線分析裝置中，為了確認(rèn)系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，在開閉門的適當(dāng)?shù)胤皆O(shè)置了由含鉛玻璃構(gòu)成的視覺(jué)確認(rèn)用的窗，但在本發(fā)明的X射線分析裝置中，由于通過(guò)攝影機(jī)系統(tǒng)被攝影，所以變?yōu)椴恍枰@樣的窗，降低成本是可能的。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1是表示本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置的一實(shí)施方式的機(jī)械以及電結(jié)構(gòu)的圖；
圖2A是表示包圍圖1的X射線分析裝置的機(jī)械的結(jié)構(gòu)元件即X射線測(cè)定系統(tǒng)的殼體的門被關(guān)閉的狀態(tài)的圖；
圖2B是表示該門被打開的狀態(tài)的圖；
圖3是表示圖1的X射線分析裝置的機(jī)械的結(jié)構(gòu)元件即測(cè)定工作系統(tǒng)的圖；
圖4是圖3的測(cè)定工作系統(tǒng)的俯視圖；
圖5A是表示本發(fā)明的X射線分析裝置的主要部件即標(biāo)簽的一個(gè)例子的圖；
圖5B是表示該標(biāo)簽的其它的一個(gè)例子的圖；
圖5C是表示在該標(biāo)簽中附加的符號(hào)的例子的圖；
圖6是表示圖1的X射線分析裝置的工作的一部分的順序圖；
圖7A是表示本發(fā)明的X射線分析裝置的主要部件即標(biāo)簽(縱長(zhǎng)的標(biāo)簽)的例子的圖； 圖7B是表示本發(fā)明的X射線分析裝置的主要部件即標(biāo)簽(橫長(zhǎng)的標(biāo)簽)的例子的圖； 圖8A是表示本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置的變形例的圖；
圖SB是表示本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置的其它的變形例的圖；
圖9是表示本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置的其它的實(shí)施方式的主要部分即測(cè)定工作系統(tǒng)的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034](X射線分析裝置的第一實(shí)施方式)
以下，基于實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置進(jìn)行說(shuō)明。此外，本發(fā)明當(dāng)然不限定于該實(shí)施方式。另外，在本說(shuō)明書的附圖中，為了易于理解地表示特征部分，存在以與實(shí)物不同的比率來(lái)表示結(jié)構(gòu)元件的情況。
[0035]圖1示出本發(fā)明所涉及的X射線分析裝置的一實(shí)施方式。在圖1中，本實(shí)施方式的X射線分析裝置I具有:x射線測(cè)定系統(tǒng)2、控制裝置3、顯示裝置4、輸入裝置5。X射線測(cè)定系統(tǒng)2是在對(duì)樣品照射了 X射線時(shí)由X射線檢測(cè)器檢測(cè)出從該樣品發(fā)出的X射線例如衍射X射線的測(cè)定系統(tǒng)。
[0036]控制裝置3是有時(shí)控制X射線測(cè)定系統(tǒng)2的工作，有時(shí)處理通過(guò)X射線測(cè)定系統(tǒng)2求取的測(cè)定數(shù)據(jù)的裝置。顯示裝置4是將各種的數(shù)據(jù)在畫面上作為圖像進(jìn)行顯示的裝置，例如是液晶顯示裝置等這樣的平面顯示面板。輸入裝置5是操作人員向控制裝置3輸入數(shù)據(jù)時(shí)所使用的裝置，例如是鍵盤、鼠標(biāo)等。
[0037]在本實(shí)施方式中，控制裝置3由將CPU (Central Processing Unit:中央處理單兀)8、R0M (Read Only Memory:只讀存儲(chǔ)器)9、RAM (Random Access Memory:隨機(jī)存儲(chǔ)器)
10、存儲(chǔ)器11連接到總線12而成的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)構(gòu)成。顯示裝置4和輸入裝置5經(jīng)由合適的接口連接到CPU8。
[0038](X射線測(cè)定系統(tǒng)) X射線測(cè)定系統(tǒng)2具有:能屏蔽X射線的X射線屏蔽殼體14、設(shè)置于該屏蔽殼體14中的測(cè)定工作系統(tǒng)15、設(shè)置于與屏蔽殼體14的天花板接近的位置的攝影機(jī)16、設(shè)置于屏蔽殼體14的天花板的照明裝置例如LED (Light Emitting Diode:發(fā)光二極管)照明裝置17。攝影機(jī)16是具備能將攝影的圖像內(nèi)的位置作為二維坐標(biāo)內(nèi)的坐標(biāo)值進(jìn)行特定的功能的攝影機(jī)。這樣的攝影機(jī)能使用通常的CCD (Charge Coupled Device /電荷稱合元件)攝影機(jī)、所謂的WEB (環(huán)球網(wǎng))攝影機(jī)等構(gòu)成。
[0039]X射線屏蔽殼體14，如圖2A所示，在測(cè)定中，通過(guò)中央門20a和左右門20b，20c使其前面打開面關(guān)閉。在操作人員對(duì)測(cè)定工作系統(tǒng)15進(jìn)行必要的操作時(shí)，中央門20a和左右門20b，20c向左右滑動(dòng)移動(dòng)使屏蔽殼體14的前面打開面向外部大大地打開。殼體14和門20a, 20b, 20c的組合構(gòu)成包圍測(cè)定工作系統(tǒng)15的蓋罩。
[0040]測(cè)定工作系統(tǒng)15，如圖3和圖4所示，具有具備了入射側(cè)臂23和受光側(cè)臂24的測(cè)角儀(測(cè)角器)25。在測(cè)角儀25的中心部分安裝有Z軸工作臺(tái)22。在該Z軸工作臺(tái)22安裝有樣品臺(tái)21。在該樣品臺(tái)21安裝有樣品板26。作為測(cè)定對(duì)象的樣品28被填充到樣品座27。該樣品座27被放置在樣品板26的上面。Z軸工作臺(tái)22、樣品臺(tái)21、樣品板26以及樣品座27分別是配件的一個(gè)。
[0041]在Z軸工作臺(tái)22附加設(shè)置上下驅(qū)動(dòng)裝置29 (參照?qǐng)D4)。通過(guò)由該上下驅(qū)動(dòng)裝置29使Z軸工作臺(tái)22向上下方向(在圖3中由箭頭C表示的上下方向、在圖4中穿通紙面的方向)移動(dòng)，能調(diào)整樣品28的上下方向的位置。也就是說(shuō)，Z軸工作臺(tái)22作為用于進(jìn)行樣品28的上下位置的調(diào)整的樣品上下位置調(diào)整部而起作用。
[0042]在本實(shí)施方式中，作為配件例示了 Z軸工作臺(tái)22、樣品臺(tái)21、樣品板26以及樣品座27。但是，作為配件除這些之外還包括各種的配件。例如，作為其它的配件，可以考慮樣品轉(zhuǎn)換器、樣品的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)等。
[0043]在入射側(cè)臂23連接有Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)31。在受光側(cè)臂24連接有2 Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)32。入射側(cè)臂23由Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)31進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，并將通過(guò)樣品28的表面的水平軸線即樣品中心線XO作為中心以箭頭A-A所示的那樣進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。受光側(cè)臂24由2Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)32進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，并將樣品軸線XO作為中心以箭頭B-B所示的那樣進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。
[0044]Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)31和2 Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)32能由任意構(gòu)造的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)構(gòu)造構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，采用將可控制旋轉(zhuǎn)角度的電動(dòng)機(jī)，例如伺服電動(dòng)機(jī)、脈沖電動(dòng)機(jī)等作為動(dòng)力源，并將該動(dòng)力經(jīng)由由蝸桿和渦輪構(gòu)成的動(dòng)力傳遞系統(tǒng)向各臂進(jìn)行傳遞的旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。
[0045](入射光學(xué)系統(tǒng))
入射側(cè)臂23支承入射光學(xué)系統(tǒng)33。入射光學(xué)系統(tǒng)33具有:X射線管34、CBO (CrossBeam Optics)單元35、入射側(cè)第一光學(xué)元件36、入射狹縫箱37。X射線管34在內(nèi)部具備作為X射線源的X射線焦點(diǎn)F。
[0046](CB0 單元)
CBO單元35是用于形成與測(cè)定的類別(例如，粉末測(cè)定、小角度散射測(cè)定、顯微測(cè)定、面內(nèi)(In-plane )測(cè)定等)的各個(gè)對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度和剖面形狀的X射線的單元。CBO單元35在內(nèi)部具有多層膜鏡。在CBO單元35中，內(nèi)置有調(diào)整多層膜鏡的位置的電動(dòng)機(jī)。用于控制該電動(dòng)機(jī)的輸出軸的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)器被內(nèi)置在接口基板47。該電動(dòng)機(jī)與基板47內(nèi)的驅(qū)動(dòng)器由作為通信線路的通信電纜48連接。[0047]CBO單元35還具有狹縫插入口 40。在該狹縫插入口 40能插入選擇狹縫41。插入的選擇狹縫41變?yōu)槲挥诙鄬幽ょR的X射線出射側(cè)。
[0048]作為變成選擇狹縫41的部件，例如可以考慮以下的4種類的狹縫。
[0049]( I)選擇狹縫BB
(2)選擇狹縫PB
(3)選擇狹縫SA
(4)選擇狹縫MA。
[0050]此外，BB是聚焦法用的狹縫，PB是平行光束法用的狹縫，SA是小角度散射測(cè)定用的狹縫，MA是顯微測(cè)定用的狹縫。選擇狹縫SA是將選擇狹縫PB的狹縫寬度做得更細(xì)的狹縫。選擇狹縫MA是將選擇狹縫PB的長(zhǎng)度做得更短的狹縫。在安裝CBO單元35的位置，有時(shí)代替CBO單元35而配置空心塊。這樣的空心塊，有時(shí)稱作入射通路。
[0051](入射側(cè)第一光學(xué)元件)
入射側(cè)第一光學(xué)元件36可裝卸地安裝于元件基座42上。作為入射側(cè)第一光學(xué)元件36，例如，能適用以下的X射線光學(xué)元件。
[0052](I) 2 結(jié)晶單色儀 Ge (220) X2
(2)2結(jié)晶單色儀Ge (400) X2
(3)4結(jié)晶單色儀Ge (220) X4
(4)4結(jié)晶單色儀Ge(400) X4
(5)梭拉狹縫Open
(6)梭拉狹縫5deg
(7)梭拉狹縫2.5deg
(8)面內(nèi)PSC (Parallel Slit Collimator:平行狹縫準(zhǔn)直儀)1.0deg
(9)面內(nèi)PSC0.5deg
(10)面內(nèi)PSC0.15deg。
[0053]單色儀被直接安裝于元件基座42上。梭拉狹縫和面內(nèi)PSC被安裝在元件基座42上已安裝的單色儀，并且經(jīng)由專用的IPS (Incident Parallel Slit)適配器(入射平行狹縫適配器)安裝于元件基座42。
[0054]在安裝入射第一光學(xué)元件36的位置，有時(shí)不設(shè)置單色儀、梭拉狹縫或PSC。另外，有時(shí)不安裝IPS適配器。
[0055](入射狹縫箱)
入射狹縫箱37具有狹縫插入口 43。在該狹縫插入口 43中能插入長(zhǎng)度限制狹縫44。作為變成長(zhǎng)度限制狹縫44的部件，例如，有以下的狹縫。
[0056](I)長(zhǎng)度限制狹縫0.5mm
(2)長(zhǎng)度限制狹縫2mm
(3)長(zhǎng)度限制狹縫5mm
(4)長(zhǎng)度限制狹縫IOmm
(5)長(zhǎng)度限制狹縫15mm。
[0057]在入射狹縫箱37中內(nèi)置有用于使狹縫開閉的電動(dòng)機(jī)。用于控制該電動(dòng)機(jī)的輸出軸的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)器被內(nèi)置于接口基板47。上述的電動(dòng)機(jī)與基板47內(nèi)的驅(qū)動(dòng)器由作為通信線路的通信電纜48連接。
[0058]在專利文獻(xiàn)2 (特開2008-057989號(hào)公報(bào))中公開的X射線分析裝置中，為了感測(cè)安裝于本申請(qǐng)的圖3中的元件基座42上的第一光學(xué)元件36的種類名稱是什么名稱，而采用了通過(guò)光傳感器感測(cè)標(biāo)志的方法。為此，需要將元件基座42與基板47用通信電纜進(jìn)行連結(jié)，并且將元件基座42上的光傳感器的輸出信號(hào)通過(guò)通信電纜和基板47向外部輸出。
[0059]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，如后面敘述的那樣，由于做成了通過(guò)使用攝影機(jī)的認(rèn)識(shí)方法來(lái)認(rèn)識(shí)入射側(cè)第一光學(xué)元件36的種類名稱和應(yīng)安裝入射側(cè)第一光學(xué)元件36的位置，所以無(wú)需在元件基座42上使用光傳感器等這樣的傳感元件，為此，沒(méi)有將元件基座42與基板47用通信電纜48連接的必要性。
[0060](受光光學(xué)系統(tǒng))
在圖3中，受光側(cè)臂24支承受光光學(xué)系統(tǒng)51。受光光學(xué)系統(tǒng)51具有:第一受光狹縫箱52、受光側(cè)第二光學(xué)兀件53、受光側(cè)第三光學(xué)兀件54、第二受光狹縫箱55、衰減器箱56、X射線檢測(cè)器57。
[0061](第一受光狹縫箱)
第一受光狹縫箱52內(nèi)置有受光狹縫和該狹縫開閉用的電動(dòng)機(jī)。另外，第一受光狹縫箱52具有狹縫插入口 60。在該狹縫插入口 60中能插入K β濾光器61。
[0062](受光側(cè)第二光學(xué)元件) 受光側(cè)第二光學(xué)元件53在ROD適配器(受光光學(xué)元件適配器)62上被可裝卸地安裝。作為受光側(cè)第二光學(xué)元件53，例如，適用以下的X射線光學(xué)元件。
[0063](I)PSA (Parallel Slit Analyzer:平行狹縫分析器)Open
(2)PSA1.0deg
(3)PSA0.5deg
(4)PSA0.114deg
(5)PSA0.05deg
(6)Vacuum Path (真空通路)。
[0064]此外，有時(shí)在ROD適配器62上以不安裝PSA而保持空間的原樣。
[0065](受光側(cè)第三光學(xué)元件54)
受光側(cè)第三光學(xué)元件54在RPS適配器(受光平行狹縫適配器)63上被可裝卸地安裝。作為受光側(cè)第三光學(xué)元件54，例如，適用以下的X射線光學(xué)元件。
[0066](I)梭拉狹縫 5deg
(2)梭拉狹縫2.5deg
(3)面內(nèi)PSA (Parallel Slit Analyzer) 1.0deg
(4)面內(nèi)PSA 0.5deg
(5)面內(nèi)PSA 0.114deg。
[0067]此外，有時(shí)不設(shè)置RPS適配器63其本身。另外，有時(shí)在RPS適配器63上以不安裝梭拉狹縫、面內(nèi)PSA而保持空間的原樣。
[0068](第二受光狹縫箱)
在第二受光狹縫箱55的內(nèi)部設(shè)置有受光狹縫。另外，在第二受光狹縫箱55的內(nèi)部設(shè)置有用于開閉狹縫的電動(dòng)機(jī)。另外，在第二受光狹縫箱55中設(shè)置有狹縫插入口 64。在該狹縫插入口 64中能插入高度限制狹縫65。有時(shí)在狹縫插入口 64中不插入高度限制狹縫65。
[0069](衰減器箱)
在衰減器箱56的內(nèi)部設(shè)置有衰減器。另外，在衰減器箱56的內(nèi)部設(shè)置有用于切換衰減器的種類的電動(dòng)機(jī)。
[0070]用于控制第一受光狹縫箱52、第二受光狹縫箱55和衰減器箱56的各箱內(nèi)的電動(dòng)機(jī)的輸出軸的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)器被內(nèi)置于接口基板68。各箱內(nèi)的電動(dòng)機(jī)與基板68內(nèi)的驅(qū)動(dòng)器通過(guò)作為通信線路的通信電纜69連接。
[0071]在專利文獻(xiàn)2 (特開2008-057989號(hào)公報(bào))中公開的X射線分析裝置中，為了感測(cè)安裝于本申請(qǐng)的圖3中的ROD適配器62上的第二光學(xué)元件53的種類是什么種類，以及為了感測(cè)安裝于RPS適配器63上的第三光學(xué)元件54的種類是什么種類，采用了通過(guò)光傳感器感測(cè)標(biāo)志的方法。為此，需要將ROD適配器62與基板68用通信電纜進(jìn)行連結(jié)，進(jìn)而將RPS適配器63與基板68用通信 電纜進(jìn)行連結(jié)，并且將各適配器62、63上的光傳感器的輸出信號(hào)通過(guò)通信電纜69和基板68向外部進(jìn)行輸出。
[0072]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，如后面敘述的那樣，由于做成了通過(guò)使用攝影機(jī)的認(rèn)識(shí)方法來(lái)認(rèn)識(shí)第二光學(xué)元件53和第三光學(xué)元件54的種類名稱和應(yīng)安裝這些元件的位置，所以無(wú)需在各適配器62、63上設(shè)置光傳感器等這樣的傳感元件，為此，沒(méi)有將各適配器62、63與基板68用通信電纜69連接的必要性。
[0073]接口基板47、Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)31、2Θ旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)32和接口基板68的各輸出線與控制器67的測(cè)定側(cè)的端子連接。控制器67的控制側(cè)的端子通過(guò)LAN電纜66與控制裝置3的CPU8連接。攝影機(jī)16的輸入輸出端子通過(guò)通信電纜71與控制裝置3的CPU8連接。
[0074](測(cè)定類別)
在本實(shí)施方式中，在圖3的測(cè)定工作系統(tǒng)15中，通過(guò)適當(dāng)?shù)馗鼡Q部件，能進(jìn)行各種的測(cè)定。例如，能進(jìn)行聚焦法測(cè)定、反射率測(cè)定、小角度散射測(cè)定、顯微測(cè)定、其它的各種測(cè)定。為了進(jìn)行這些測(cè)定，適當(dāng)?shù)馗鼡Q光學(xué)部件來(lái)感測(cè)最佳的光學(xué)系統(tǒng)。例如，在進(jìn)行聚焦法測(cè)定、反射率測(cè)定和小角度散射測(cè)定的情況下，在圖3所示的測(cè)定工作系統(tǒng)15中，能選擇地使用以下的表中示出的光學(xué)部件。
[0075](I)測(cè)定類別=簡(jiǎn)易廣角測(cè)定(聚焦法)，樣品=填充于玻璃樣品板中的粉末樣品

I光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整時(shí)I樣品位置調(diào)整時(shí)I數(shù)據(jù)測(cè)定時(shí)
CBO選擇狹縫41BBBBBB
第一光學(xué)元件36 (結(jié)晶單色儀)_無(wú)無(wú)無(wú)
第一光學(xué)元件36 (入射平行狹縫)_梭拉狹縫5.0deg梭拉狹縫5.0deg梭拉狹縫5.0deg
長(zhǎng)度限制狹縫44ΙΟτηπιIOmmIOmm
濾光器61_^^^_
第二光學(xué)元件53 (平行狹縫分析器)_PSAopen_PSAopen_PSAopen_
第三光學(xué)元件54 (受光平行狹縫)凝5_狹縫5.Qdeg梭拉狹縫5.Qdeg梭拉狹縫5.Qdeg
高度限制狹縫65—無(wú)無(wú)無(wú)
衰減器56_^^^_
(2)測(cè)定類別=反射率測(cè)定(高分辨率),樣品=IcmX Icm的薄膜樣品

I光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整時(shí)I樣品位置調(diào)整時(shí)I數(shù)據(jù)測(cè)定時(shí)
CBO 選擇狹縫 41_PB_PB_PB_
第一光學(xué)元件 3 (結(jié)晶單色儀)0e (220) X2 Ge (220) X2 Ge (220) X2 '
第一光學(xué)元件36 (入射平行狹縫)I梭拉狹縫Open |梭拉狹縫Open |梭拉狹縫Open _
【權(quán)利要求】
1.一種X射線分析裝置，當(dāng)對(duì)樣品照射了X射線時(shí)，通過(guò)X射線檢測(cè)器檢測(cè)從該樣品發(fā)出的X射線，并且具備可更換的部件，其特征在于，具有: 標(biāo)志，設(shè)置于所述可更換的部件中； 攝影機(jī)，將所述可更換的部件和所述標(biāo)志進(jìn)行攝影；以及 部件種類計(jì)算單元，基于由所述攝影機(jī)攝影的所述標(biāo)志的圖像，通過(guò)計(jì)算，特定所述可更換的部件的種類名稱。
2.一種X射線分析裝置，當(dāng)對(duì)樣品照射了 X射線時(shí)，通過(guò)X射線檢測(cè)器檢測(cè)從該樣品發(fā)出的X射線，并且具備可更換的部件，其特征在于，具有: 標(biāo)志，設(shè)置于所述可更換的部件中； 攝影機(jī)，將所述可更換的部件和所述標(biāo)志進(jìn)行攝影；以及 部件位置計(jì)算單元，基于由所述攝影機(jī)攝影的所述標(biāo)志的圖像，通過(guò)計(jì)算，特定應(yīng)安裝所述可更換的部件的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X射線分析裝置，其特征在于， 所述標(biāo)志為以下的任一個(gè)，即為: (O附加于所述可更換的部件中已附加的標(biāo)簽中的符號(hào)、 (2)所述可更換的部件本身的形狀、 (3)附加于所述可更換的部件中的顏色、 (4)附加于所述可更換的部件中的標(biāo)簽的顏色、 (5)直接記載于所述可更換的部件中的符號(hào)、或者 (6)通過(guò)雕刻直接記載于所述可更換的部件中的符號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2中記載的X射線分析裝置，其特征在于， 所述可更換的部件是X射線光學(xué)部件和/或配件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X射線分析裝置，其特征在于， 具有: 圖案，能識(shí)別相互正交的2方向；以及 部件方向計(jì)算單元，基于該圖案通過(guò)計(jì)算特定所述可更換的部件的方向。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的X射線分析裝置，其特征在于， 所述能識(shí)別相互正交的2方向的圖案是長(zhǎng)方形的框。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X射線分析裝置，其特征在于， 具有: 部件距離計(jì)算單元，計(jì)算從所述攝影機(jī)的攝影圖像內(nèi)的基準(zhǔn)點(diǎn)到所述可更換的部件的特定點(diǎn)的距離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的X射線分析裝置，其特征在于， 在所述可更換的部件中附加長(zhǎng)方形的框，并且該可更換的部件的特定點(diǎn)是所述長(zhǎng)方形的框的對(duì)角線的交點(diǎn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的X射線分析裝置，其特征在于， 在所述可更換的部件中附加長(zhǎng)方形的框，并且該可更換的部件的特定點(diǎn)是所述長(zhǎng)方形的框的角部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X射線分析裝置，其特征在于，所述可更換的部件具有:擁有直線性的長(zhǎng)度的標(biāo)志或擁有平面性的寬度的標(biāo)志，還具有:部件的Z位置計(jì)算單元，計(jì)算擁有所述直線性的長(zhǎng)度的標(biāo)志的長(zhǎng)度的變化或擁有所述平面性的寬度的標(biāo)志的面積的變化，并基于該長(zhǎng)度的變化或面積的變化，通過(guò)計(jì)算求取所述可更換的部件的相對(duì)所述攝影機(jī)的前后方向的位置的變化。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X射線分析裝置，其特征在于， 具有:蓋罩，包圍對(duì)所述樣品照射X射線的單元、檢測(cè)從所述樣品發(fā)出的X射線的單元、所述可更換的部件、所述攝影機(jī)， 該蓋罩由不擁有視覺(jué)確認(rèn)用的窗的`殼體和不擁有視覺(jué)確認(rèn)用的窗的門來(lái)形成。
【文檔編號(hào)】G01N23/20GK103728325SQ201310471920
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年10月11日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月11日
【發(fā)明者】大原孝夫, 若佐谷賢治, 小澤哲也, 西邦夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社理學(xué)