電容薄膜壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種電容薄膜壓力傳感器，包括：機(jī)架，具有內(nèi)部空間；薄膜，設(shè)置在所述機(jī)架內(nèi)，并將機(jī)架的內(nèi)部空間劃分為相互隔離的兩部分；電極板，設(shè)置在所述兩部分中的任意一個(gè)中；至少一個(gè)溫度補(bǔ)償單元，與機(jī)架連接，并且所述溫度補(bǔ)償單元的熱膨脹系數(shù)小于所述機(jī)架的熱膨脹系數(shù)。溫度補(bǔ)償單元采用比機(jī)架的熱膨脹系數(shù)小的材料，當(dāng)溫度補(bǔ)償單元和機(jī)架在溫度變化下，同樣受到熱沖擊發(fā)生形變時(shí)，溫度補(bǔ)償單元的形變比機(jī)架的形變小，因此溫度補(bǔ)償單元會(huì)對(duì)機(jī)架的形變產(chǎn)生阻力，減小或消除了機(jī)架的熱變形，從而保證了電極板與薄膜之間標(biāo)稱間距的穩(wěn)定，提高了測(cè)量精度。
【專利說明】電容薄膜壓力傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及計(jì)量測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種電容薄膜壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]參見圖1，為現(xiàn)有技術(shù)中電容薄膜壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖，該結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)氣室，參考?xì)馐襂’和待測(cè)氣室2’，其中待測(cè)氣室2’由底架3’以及薄膜5’構(gòu)成，參考?xì)馐襂’由薄膜5’，機(jī)架6’以及頂架7’構(gòu)成，這兩個(gè)氣室是互相隔離的。電極板4’安裝在參考?xì)馐襂’中。底架3’、薄膜5’、機(jī)架6’、頂架7’一般通過焊接連結(jié)到一起，并實(shí)現(xiàn)密封。8’是一個(gè)彈性單元，其作用是用來固定電極板的位置，從而保證電極板與薄膜之間的標(biāo)稱間距穩(wěn)定。薄膜與電極板構(gòu)成了一個(gè)電容器，工作原理為通過兩氣室的壓差變化使薄膜變形從而獲得不同的電容值即為測(cè)量信號(hào)。
[0003]但是，溫度變化會(huì)使電容薄膜壓力傳感器產(chǎn)生熱變形，從而導(dǎo)致電極板與薄膜之間標(biāo)稱間距的變化而影響測(cè)量精度，這是影響電容薄膜壓力傳感器加工和使用的主要因素。電容薄膜壓力傳感器在制造和使用過程中的，電極板與薄膜之間的標(biāo)稱間距非常重要，雖然電極板牢固地安裝在了傳感器中，但是隨著長時(shí)間使用，溫度變化影響會(huì)使電極與薄膜之間的標(biāo)稱間距還會(huì)產(chǎn)生一些較小的變化。雖然彈性單元8’在保持電容薄膜壓力傳感器的標(biāo)稱間距起到了重要作用，但是在長期使用中，電極板還是產(chǎn)生了一些較小的位移。壓力過載情況也會(huì)造成電極板的位移，在正常使用過程中，薄膜不會(huì)和電極板相接觸，但是壓力超出正常測(cè)量范圍時(shí)會(huì)導(dǎo)致薄膜接觸到電極板并對(duì)彈性單元產(chǎn)生微小的壓力。當(dāng)過載情況結(jié)束，薄膜回到正常測(cè)量位置，彈性單元也使電極板重新歸位。但有時(shí)候，過載結(jié)束后電極板回歸的位置與過載前的初始位置會(huì)有一些不同，這種情況就會(huì)導(dǎo)致標(biāo)稱間距變化從而影響了測(cè)量精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]在下文中給出關(guān)于本發(fā)明的簡要概述，以便提供關(guān)于本發(fā)明的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個(gè)概述并不是關(guān)于本發(fā)明的窮舉性概述。它并不是意圖確定本發(fā)明的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本發(fā)明的范圍。其目的僅僅是以簡化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。
[0005]本發(fā)明提供一種電容薄膜壓力傳感器，能夠減小或消除溫度對(duì)傳感器測(cè)量結(jié)果的不良影響，提聞測(cè)量精度。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種電容薄膜壓力傳感器，包括:機(jī)架，具有內(nèi)部空間；薄膜，設(shè)置在所述機(jī)架內(nèi)，并將機(jī)架的內(nèi)部空間劃分為相互隔離的兩部分；電極板，設(shè)置在所述兩部分中的任意一個(gè)中；至少一個(gè)溫度補(bǔ)償單元，與機(jī)架連接，并且所述溫度補(bǔ)償單元的熱膨脹系數(shù)小于所述機(jī)架的熱膨脹系數(shù)。
[0007]相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果是:溫度補(bǔ)償單元采用比機(jī)架的熱膨脹系數(shù)小的材料，當(dāng)溫度補(bǔ)償單元和機(jī)架在溫度變化下，同樣受到熱沖擊發(fā)生形變時(shí)，溫度補(bǔ)償單元的形變比機(jī)架的形變小，因此溫度補(bǔ)償單元會(huì)對(duì)機(jī)架的形變產(chǎn)生阻力，減小或消除了機(jī)架的熱變形，從而保證了電極板與薄膜之間標(biāo)稱間距的穩(wěn)定，提高了測(cè)量精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0009]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中電容薄膜壓力傳感器的剖視圖；
[0010]圖2為本發(fā)明電容薄膜壓力傳感器的剖視圖；
[0011]圖3為本發(fā)明電容薄膜壓力傳感器中溫度補(bǔ)償單元收縮形變圖；
[0012]圖4為本發(fā)明電容薄膜壓力傳感器中溫度補(bǔ)償單元膨脹形變圖；
[0013]附圖標(biāo)記:
[0014]I’ -參考?xì)馐遥?’ -待測(cè)氣室；3’ -底架；4’ -電極板5’ -薄膜；6’ -機(jī)架7’ -頂架；8’ -彈性單元；
[0015]1-溫度補(bǔ)償單元；2-機(jī)架；3_電極板；4_薄膜。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。在本發(fā)明的一個(gè)附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個(gè)或更多個(gè)其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚的目的，附圖和說明中省略了與本發(fā)明無關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0017]在本發(fā)明以下各實(shí)施例中，實(shí)施例的序號(hào)和/或先后順序僅僅便于描述，不代表實(shí)施例的優(yōu)劣。對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重，某個(gè)實(shí)施例中沒有詳述的部分，可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述。
[0018]參見圖2，本發(fā)明提供一種電容薄膜壓力傳感器，包括機(jī)架2、薄膜4、電極板3和溫度補(bǔ)償單元I，其中，機(jī)架2具有內(nèi)部空間，薄膜4設(shè)置在機(jī)架2內(nèi)，即設(shè)置在機(jī)架2的內(nèi)部空間中，并且薄膜4將機(jī)架2的內(nèi)部空間劃分為互相隔離的兩個(gè)部分。這兩個(gè)部分中的任意一個(gè)部分中設(shè)置有電極板3。另外，本發(fā)明的溫度補(bǔ)償單元I，連接在機(jī)架2上，并且溫度補(bǔ)償單元I的熱膨脹系數(shù)小于機(jī)架2的熱膨脹系數(shù)。
[0019]當(dāng)外界溫度變化(電容包膜壓力傳感器受到熱沖擊)時(shí)，溫度補(bǔ)償單元會(huì)受熱膨脹，產(chǎn)生如圖4所示的膨脹現(xiàn)象，也叫膨脹翹曲；在熱沖擊消失后(或環(huán)境溫度變低)，溫度補(bǔ)償單元會(huì)產(chǎn)生圖3所示的收縮，也叫收縮翹曲。當(dāng)然，圖3和4所示的收縮或者膨脹為了幫助理解，而夸大了變形量，實(shí)際應(yīng)用中的變化量，可能是肉眼不可見的。例如參見圖2，當(dāng)環(huán)境溫度變低，機(jī)架按照箭頭a的趨勢(shì)收縮，而溫度補(bǔ)償單元因?yàn)榕蛎浵禂?shù)比機(jī)架的膨脹系數(shù)小，因此其變化量比機(jī)架的變化量小，因此相應(yīng)機(jī)架的收縮，溫度補(bǔ)償單元對(duì)機(jī)架的形變產(chǎn)生沿箭頭b方向的阻力，用以減小機(jī)架的形變。應(yīng)該理解，這里箭頭a和箭頭b的方向僅針對(duì)本例中的情況。
[0020]應(yīng)該理解，上述機(jī)架2可以是一體結(jié)構(gòu)，薄膜4直接設(shè)置在機(jī)架2內(nèi)部空間的內(nèi)壁面上(圖中未示出)。機(jī)架2也可以由兩部分組成，薄膜4夾設(shè)在兩部分之間(如圖2所示)，然后使三者連接牢固，形成一個(gè)內(nèi)部空間被分割成兩個(gè)相互隔離部分的機(jī)架2。當(dāng)然這兩種方式都是本發(fā)明可以采用的實(shí)施例。另外，本發(fā)明的電容薄膜壓力傳感器是通過將電極板3所在部分抽真空，通過與另一部分的壓力差，使薄膜4距離電極板3的位置變化，因?yàn)楸∧?和電極板3組成了電容器，因此二者之間的距離會(huì)影響電容器的電容值，該電容值的變化可以反映加價(jià)內(nèi)部空間兩部分之間的壓力變化。由上述原理可知，電極板3所在的部分是真空的，因此，要保證由薄膜4與機(jī)架2連接處的密閉性，薄膜4本身也不能有縫隙，即兩個(gè)互相隔離的部分不會(huì)連通。并且電極板3所在的部分是有機(jī)架2的內(nèi)壁面和薄膜4組成，機(jī)架2的內(nèi)壁面上也不可以出現(xiàn)縫隙。當(dāng)然，在機(jī)架2上需要有貫通機(jī)架2所在部分的通孔，用于對(duì)該部分進(jìn)行抽真空處理，該通孔在完成抽真空處理后要密封。另外，兩部分中沒有設(shè)置電極板3 —部分可以與外界連通，用于測(cè)量外界的壓力值。
[0021]本發(fā)明電容薄膜壓力傳感器的溫度補(bǔ)償單元I采用比機(jī)架2的熱膨脹系數(shù)小的材料，當(dāng)溫度補(bǔ)償單元I和機(jī)架2在溫度變化下，同樣受到熱沖擊發(fā)生形變時(shí)，溫度補(bǔ)償單元I的形變比機(jī)架2的形變小，因此溫度補(bǔ)償單元I會(huì)對(duì)機(jī)架2的形變產(chǎn)生阻力，減小或消除了機(jī)架2的熱變形，從而保證了電極板與薄膜之間標(biāo)稱間距的穩(wěn)定，提高了測(cè)量精度?；蛘哒f，溫度補(bǔ)償單元減小或消除了機(jī)架2變形對(duì)測(cè)量結(jié)構(gòu)的不良影響，該不良影響包括電極板與薄膜之間標(biāo)稱間距發(fā)生改變，也包括電極板所在部分因?yàn)闄C(jī)架形變，導(dǎo)致內(nèi)部空間容積變化，影響壓力大小，使測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。
[0022]更進(jìn)一步，溫度補(bǔ)償單元還可以連接在電極板上，以避免電極板因?yàn)闇囟榷巫?，改變電極板與薄膜之間的標(biāo)稱間距，使測(cè)量結(jié)果受到影響，當(dāng)然，連接在電極板上的溫度補(bǔ)償單元的熱膨脹系數(shù)也要小于電極板的熱膨脹系數(shù)，否則不會(huì)起到上述效果?？蛇x的，溫度補(bǔ)償單元的熱膨脹系數(shù)同時(shí)小于電極板和機(jī)架的熱膨脹系數(shù)。
[0023]在一種可選的實(shí)施例中，溫度補(bǔ)償單元I可以是呈環(huán)形的，這里所說的環(huán)形并不僅限于圓環(huán)，其它環(huán)形如方形，橢圓都可以，并且環(huán)形的環(huán)面截面也不限于圓形。例如可以是手鐲狀:以一個(gè)圓，繞同一平面內(nèi)與它不相交的一條直線旋轉(zhuǎn)，所圍成的形狀；也可以是磁鐵狀:以一個(gè)矩形，繞同一平面內(nèi)與它不相交的一條直線旋轉(zhuǎn)，所圍成的形狀。使用環(huán)形的溫度補(bǔ)償單元I能夠通過環(huán)形的結(jié)構(gòu)，通過環(huán)形的內(nèi)應(yīng)力更進(jìn)一步的對(duì)機(jī)架2的形變產(chǎn)生阻力，更有效的減小或消除了機(jī)架2的熱變形。
[0024]溫度補(bǔ)償單元與機(jī)架連接，可以是與機(jī)架的外壁面連接，也可以是與機(jī)架的內(nèi)壁面連接。可選地，溫度補(bǔ)償單元I可以是焊接在機(jī)架2的外壁面上，當(dāng)溫度補(bǔ)償單元I為環(huán)形時(shí)，溫度補(bǔ)償單元I平放在外壁面上焊接，這里所說的平放，環(huán)形的軸向與機(jī)架2的外壁面呈九十度，當(dāng)然可以有五至十度的誤差。這里環(huán)形的放置方式還可以是其它方式，其目的都是為了提供阻力來減小或消除機(jī)架2的熱變形。因此，溫度補(bǔ)償單元I的形狀、焊接方式等只要能夠?qū)崿F(xiàn)上述目的就可以應(yīng)用于本發(fā)明。
[0025]在一種可選的實(shí)施方式中，機(jī)架2可選的為不銹鋼材料；和/或，溫度補(bǔ)償單元I可選為因科鎳合金；和/或，電極板3可選為陶瓷材料。其中優(yōu)選的，電極板3的陶瓷材料可以為氧化鋁或鎂橄欖石。上述材料并不用于限制本發(fā)明，但是機(jī)架2材料和溫度補(bǔ)償單元I的材料需要特別注意，溫度補(bǔ)償單元I的材料的熱膨脹系數(shù)應(yīng)該小于機(jī)架2材料的熱膨脹系數(shù)，以起到對(duì)機(jī)架2的形變產(chǎn)生阻力，減小或消除了機(jī)架2的熱變形，從而減小或消除了機(jī)架2變形對(duì)測(cè)量結(jié)構(gòu)的不良影響，提高了測(cè)量精度的效果。并且在可以使用的材料中選擇熱膨脹系數(shù)遠(yuǎn)小于機(jī)架2材料的熱膨脹系數(shù)的材料，更能有效提高本發(fā)明測(cè)量的精度。
[0026]在一種可選的實(shí)施方式中，上述的電極板3包括板體和柱體，柱體形成于板體的一面上,并且該柱體從板體的面(柱體形成的面)上凸起,并且該凸起連接到機(jī)架2的內(nèi)部空間上。應(yīng)該理解這里提及凸起連接的內(nèi)部空間是被分成的兩部分中，電極板3所在的部分。也可以理解為電極板3的板體通過柱體與機(jī)架2的內(nèi)部空間連接。這種結(jié)構(gòu)的減少了電極板3u機(jī)架2之間的接觸，因此電極板3受機(jī)架2的熱沖擊及機(jī)械振動(dòng)的影響較小，能夠進(jìn)一步提高測(cè)量精度。
[0027]可選的，上述板體上形成有凹槽，柱體形成于凹槽中。也可以理解為:以板體和柱體的交界線為基準(zhǔn)線，沿著基準(zhǔn)線在所述板體上形成凹槽?；蛘撸弩w與柱體連接的面，以凹陷的方式形成于板體上。這種凹槽的結(jié)構(gòu)，可以消除連接處的應(yīng)力，并且有助于保證電極板3的水平設(shè)置。
[0028]當(dāng)然，上述柱體和板體可以為一體結(jié)構(gòu)，也可以為分體結(jié)構(gòu)，通過焊接等方式連接。
[0029]在以上任意一種可選的實(shí)施方式的基礎(chǔ)上，將機(jī)架2內(nèi)部空間的兩部分分為參考室和待測(cè)室，其中，電極板3所在的部分為參考室，另一個(gè)為待測(cè)室，其中參考室具有抽氣孔，用于將參考室抽成真空狀態(tài)，并且，待測(cè)室也具有貫穿機(jī)架2的通氣孔，該通氣孔可以與大氣直接連通。這樣，參考室和待測(cè)室之間的壓力差使分隔這兩個(gè)部分的薄膜4產(chǎn)生形變，并且如上述薄膜4與電極板3組成了電容器，薄膜4的形變使他與電極板3之間的距離變化，進(jìn)一步使電容值變化，以確定待測(cè)室內(nèi)的壓力值。當(dāng)待測(cè)室直接與大氣連通，就可以測(cè)出當(dāng)前位置及情況下的大氣壓力。
[0030]可選地，上述機(jī)架2呈圓柱體，機(jī)架2的內(nèi)部空間在軸向上被薄膜4劃分為兩個(gè)部分，也可以理解為，以圓柱體的任意一個(gè)圓形平面為底，豎直放置機(jī)架2，在豎直方向上分為上下兩個(gè)部分，這兩個(gè)部分就是被上述薄膜4劃分的。當(dāng)然，電極板3所在的部分定義為參考室，溫度補(bǔ)償單元I形成于機(jī)架2上靠近參考室的外平面上。這里的外平面是指，當(dāng)機(jī)架2為圓柱體時(shí)，機(jī)架2具有兩個(gè)圓形的平面，這兩個(gè)圓形的平面彼此背離，這兩個(gè)面稱之為外平面。因?yàn)闄C(jī)架2在軸向上被分為兩部分，參考室和待測(cè)室，這兩個(gè)平面必然有一個(gè)靠近參考室，另一個(gè)靠近待測(cè)室。溫度補(bǔ)償單元I就設(shè)置在靠近參考室內(nèi)的外平面上。
[0031]這樣設(shè)置的溫度補(bǔ)償單元I能夠更有效的保證測(cè)量精度，因?yàn)閰⒖际覟橹锌战Y(jié)構(gòu)，其形變會(huì)影響其內(nèi)部的壓力值，因此溫度補(bǔ)償單元I設(shè)置在靠近參考室內(nèi)外平面上效果更好。當(dāng)然，這種設(shè)置位置只是一種優(yōu)選的方式，其它設(shè)置位置也可以用于本發(fā)明，并且，溫度補(bǔ)償單元I的數(shù)量可以設(shè)置多個(gè)，以達(dá)到更好效果。
[0032]綜上所述，本發(fā)明電容薄膜壓力傳感器所采用的溫度補(bǔ)償單元，具有比機(jī)架的熱膨脹系數(shù)小的材料，當(dāng)溫度補(bǔ)償單元和機(jī)架在溫度變化下，同樣受到熱沖擊發(fā)生形變時(shí)，溫度補(bǔ)償單元的形變比機(jī)架的形變小，因此溫度補(bǔ)償單元會(huì)對(duì)機(jī)架的形變產(chǎn)生阻力，減小或消除了機(jī)架的熱變形，從而保證了電極板與薄膜之間標(biāo)稱間距的穩(wěn)定，提高了測(cè)量精度。
[0033]最后應(yīng)說明的是:雖然以上已經(jīng)詳細(xì)說明了本發(fā)明及其優(yōu)點(diǎn)，但是應(yīng)當(dāng)理解在不超出由所附的權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以進(jìn)行各種改變、替代和變換。而且，本發(fā)明的范圍不僅限于說明書所描述的過程、設(shè)備、手段、方法和步驟的具體實(shí)施例。本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員從本發(fā)明的公開內(nèi)容將容易理解，根據(jù)本發(fā)明可以使用執(zhí)行與在此所述的相應(yīng)實(shí)施例基本相同的功能或者獲得與其基本相同的結(jié)果的、現(xiàn)有和將來要被開發(fā)的過程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。因此，所附的權(quán)利要求旨在在它們的范圍內(nèi)包括這樣的過程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。
【權(quán)利要求】
1.一種電容薄膜壓力傳感器,其特征在于,包括: 機(jī)架，具有內(nèi)部空間； 薄膜，設(shè)置在所述機(jī)架內(nèi)，并將機(jī)架的內(nèi)部空間劃分為相互隔離的兩部分； 電極板，設(shè)置在所述兩部分中的任意一個(gè)中； 至少一個(gè)溫度補(bǔ)償單元，與機(jī)架連接，并且所述溫度補(bǔ)償單元的熱膨脹系數(shù)小于所述機(jī)架的熱膨脹系數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述溫度補(bǔ)償單元還連接在所述電極板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述溫度補(bǔ)償單元具有環(huán)形結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述溫度補(bǔ)償單元與所述機(jī)架的內(nèi)壁面或外壁面連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述機(jī)架為不銹鋼材料；和/或， 所述薄膜為柔性不銹鋼材料；和/或 所述溫度補(bǔ)償單元為因科鎳合金；和/或， 所述電極板為陶瓷材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述電極板包括板體和柱體，所述柱體形成于所述板體的一面，從該面凸起并連接于所述機(jī)架的內(nèi)部空間上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述板體的一面上形成有凹槽，所述柱體形成于所述凹槽內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述板體和所述柱體為一體結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 以所述電極板所在的部分為參考室，另一部分為待測(cè)室，所述參考室具有抽氣孔； 所述待測(cè)室具有貫通所述機(jī)架并與外界連通的通氣孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-7和9中任一項(xiàng)所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于， 所述機(jī)架呈圓柱體，在沿所述圓柱體的軸線方向上，所述機(jī)架的內(nèi)部空間，被所述薄膜劃分為兩個(gè)部分，以所述電極板所在的部分為參考室，所述溫度補(bǔ)償單連接于機(jī)架上靠近所述參考室的外平面。
【文檔編號(hào)】G01L9/12GK103759881SQ201310722200
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2013年12月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月24日
【發(fā)明者】馬奔, 馮焱, 張偉文, 成永軍, 孫雯君, 盛學(xué)民, 魏萬印, 王迪 申請(qǐng)人:蘭州空間技術(shù)物理研究所