技術(shù)總結(jié)
抗光學(xué)混疊的雙頻激光光柵干涉三維測(cè)量方法及系統(tǒng)屬于光柵測(cè)量技術(shù)；該系統(tǒng)包括激光器、光柵干涉鏡組、光電探測(cè)與信號(hào)處理單元，激光器同時(shí)輸出的兩束頻率不同、空間分開的激光平行入射到偏振分光鏡，第一束經(jīng)偏振分光鏡反射后入射到參考光柵形成多個(gè)級(jí)次的多束參考衍射光束，第二束經(jīng)偏振分光鏡透射后入射到測(cè)量光柵形成多束測(cè)量衍射光束，參考衍射光束中的五束依次分別和測(cè)量衍射光束中的(0，0)級(jí)、(0，±1)級(jí)、(±1，0)級(jí)光束對(duì)應(yīng)匯合形成光學(xué)拍頻，經(jīng)光電探測(cè)與信號(hào)處理得到測(cè)量光柵的三維相對(duì)運(yùn)動(dòng)信息；該方法和系統(tǒng)消除了傳統(tǒng)偏振分光不完全引起的光學(xué)頻率混疊、偏振態(tài)混疊及相應(yīng)的周期非線性誤差。

技術(shù)研發(fā)人員：胡鵬程;譚久彬;陳朋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201310616973
技術(shù)研發(fā)日：2013.11.19
技術(shù)公布日：2017.02.01