專利名稱：電阻抗測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電阻抗測量裝置。
背景技術(shù)：
參照圖4，該圖4所示的現(xiàn)有的電阻抗測量裝置，是測量構(gòu)成三角形電路的第一至第三電阻抗元件Zl Z3中的第一電阻抗元件Zl的電阻抗的裝置。將對于第一電阻抗元件Zl與第二電阻抗元件Z2進(jìn)行電連接的第一導(dǎo)電路LI的電位以及對于第二電阻抗元件Z2與第三電阻抗元件Z3進(jìn)行電連接的第二導(dǎo)電路L2的電位感應(yīng)成基準(zhǔn)電位(在圖4的例子中為接地電位)，并測量第一電阻抗元件Zl的電阻抗。將第一以及第二導(dǎo)電路L1、L2的電位感應(yīng)成基準(zhǔn)電位即接地電位是為了防止電流流到第二電阻抗元件Z2，以便避免在測量電阻抗時(shí)對第一電阻抗元件Zl的電阻抗測量造成影響。使用電位感應(yīng)電路11將第一導(dǎo)電路LI的電位感應(yīng)成接地電位。電位感應(yīng)電路11具備比較器111以及可變電源部112。比較器111的正側(cè)輸入端子經(jīng)由接觸銷Pl與第一導(dǎo)電路LI電連接，其負(fù)側(cè)輸入端子與作為基準(zhǔn)電位的接地電位電連接。從比較器111的輸出端子輸出的輸出信號被當(dāng)作控制信號輸入到可變電源部112?？勺冸娫床?12根據(jù)比較器111的輸出信號來改變經(jīng)由2個(gè)輸出端子輸出的電流?？勺冸娫床?12的2個(gè)輸出端子中的一個(gè)經(jīng)由接觸銷P2與第一導(dǎo)電路LI電連接，另一個(gè)與基準(zhǔn)電位即接地電位電連接。然后，當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電路LI的電位相對于接地電位變動至正側(cè)或負(fù)側(cè)時(shí)，比較器111輸出基于該變動的輸出信號，并根據(jù)該輸出信號，通過可變電源部112經(jīng)由2個(gè)輸出端子輸出電流以便抵消第一導(dǎo)電路LI的電位的自接地電位的變動。由此，將第一導(dǎo)電路LI的電位始終感應(yīng)成接地電位。通過使與接地電位連接的接地導(dǎo)線12經(jīng)由接觸銷P3與第二導(dǎo)電路L2電連接，來將第二導(dǎo)電路L2的電位感應(yīng)成接地電位。用于測量電阻抗的電力由電源部13經(jīng)由第三導(dǎo)電路L3賦予給第一電阻抗元件Zl0電源部13經(jīng)由2個(gè)輸出端子輸出用于測量第一電阻抗元件Zl的電阻抗的電力(例如，固定輸出的交流電流)。該2個(gè)輸出端子中的一個(gè)，經(jīng)由電流檢測部14以及接觸銷P4與第三導(dǎo)電路L3電連接，另一個(gè)與接地電位連接。電流檢測部14用于檢測電源部13賦予給第一電阻抗元件Zl的電流値。電位差檢測部15檢測由電源部13經(jīng)由第三導(dǎo)電路L3賦予給第一電阻抗元件Zl的電位差。電位差檢測部15的2個(gè)輸入端子中的一個(gè)，經(jīng)由接觸銷P5與第三導(dǎo)電路L3電連接，另一個(gè)與基準(zhǔn)電位即接地電位電連接。因此，由電位差檢測部15檢測出賦予給第一電阻抗元件Zl的電位差，并將其作為第三導(dǎo)電路L3的電位與基準(zhǔn)電位即接地電位的差。然后，如上所述，將第一以及第二導(dǎo)電路L1、L2的電位感應(yīng)成接地電位，并由電源部13經(jīng)由第三導(dǎo)電路L3將交流電流賦予給第一電阻抗元件Zl，此時(shí)由電流檢測部14以及電位差檢測部15檢測出賦予給第一電阻抗元件Zl的電流以及電位差，根據(jù)該檢測結(jié)果計(jì)算出第一電阻抗元件Zl的電阻抗。
另外，作為在先技術(shù)，可舉例如下述的專利文獻(xiàn)I。[專利文獻(xiàn)I]日本實(shí)開昭61- 46474號公報(bào)然而，在上述圖4的現(xiàn)有技術(shù)中，將與接地電位電連接的接地導(dǎo)線12經(jīng)由接觸銷P3與第二導(dǎo)電路L2電連接，由此，將第二導(dǎo)電路L2的電位感應(yīng)成接地電位。因此，因接地導(dǎo)線12具有的電阻値的影響會使第二導(dǎo)電路L2的電位從作為基準(zhǔn)電位的接地電位背離到正側(cè)或負(fù)側(cè)，而且會有該背離幅度根據(jù)接地導(dǎo)線12的長度以及單位長度的電阻値而變化的問題。其結(jié)果，在測量電阻抗時(shí)會有多余的電流流過第二電阻抗元件Z2，導(dǎo)致無法準(zhǔn)確地測量第一電阻抗元件Zl的電阻抗。另外，在將接地導(dǎo)線12經(jīng)由第二導(dǎo)電路L2與接地電位電連接的結(jié)構(gòu)中，接地導(dǎo)線12以后的導(dǎo)線路徑具有規(guī)定的靜電容量，因此，從電源部13開始供給電力到第二導(dǎo)電路L2的電位穩(wěn)定為止需要規(guī)定的充電時(shí)間。為了確保該充電時(shí)間，測量第一電阻抗元件Zl的電阻抗的時(shí)序會延遲，存在測量電阻抗所需的時(shí)間會變長的問題。另外，當(dāng)在接地導(dǎo)線12插設(shè)開關(guān)元件(例如，半導(dǎo)體開關(guān)組件)時(shí)，也存在因流過接地導(dǎo)線12的電流而使開關(guān)組件易于老化的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明要解決的問題在于提供一種電阻抗測量裝置，其在構(gòu)成三角形電路的第一至第三電阻抗元件中的第一電阻抗元件的電阻抗測量中，將在第二電阻抗元件與第三電阻抗元件之間流動的電流抑制為零，能夠準(zhǔn)確地測量第一電阻抗元件的電阻抗，并達(dá)到提高電阻抗測量速度以及延長開關(guān)元件使用壽命的目的。為了解決上述問題，本發(fā)明涉及的第一方式提供一種電阻抗測量裝置，其通過由第一導(dǎo)電路至第三導(dǎo)電路電連接的第一電阻抗元件至第三電阻抗元件構(gòu)成三角形電路，將電連接上述第一電阻抗元件與上述第二電阻抗元件的上述第一導(dǎo)電路的電位以及電連接上述第二電阻抗元件與該第三電阻抗元件的上述第二導(dǎo)電路的電位感應(yīng)成基準(zhǔn)電位，并測量上述第一電阻抗元件的電阻抗，該電阻抗測量裝置的特征在于，包括第一運(yùn)算放大器，其具有與上述第二導(dǎo)電路電連接的輸出端子和反相輸入端子、以及與規(guī)定的基準(zhǔn)電位電連接的同相輸入端子；電源部，其與上述第三導(dǎo)電路電連接并對上述第三導(dǎo)電路賦予用于測量電阻抗的電力，上述第三導(dǎo)電路將上述第一電阻抗元件與上述第三電阻抗元件電連接；以及電特性檢測部，其在通過上述電源部對上述第三導(dǎo)電路賦予上述電力時(shí)，檢測用于測量上述第一電阻抗元件的電阻抗的上述第一電阻抗元件的電特性。另外，本發(fā)明涉及的第二方式的電阻抗測量裝置，在上述第一方式所述的電阻抗測量裝置的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步包括第二運(yùn)算放大器，其具有與上述第一導(dǎo)電路電連接的輸出端子和反相輸入端子、以及與規(guī)定的接地線電連接的同相輸入端子。另外，本發(fā)明涉及的第三方式的電阻抗測量裝置，在上述第一方式I所述的電阻抗測量裝置的基礎(chǔ)上，在被檢查基板上設(shè)置多組上述第一電阻抗元件至第三電阻抗元件以及上述第一導(dǎo)電路至第三導(dǎo)電路，上述電阻抗測量裝置進(jìn)一步包括多銷夾具，其具有分別同時(shí)與上述多組的上述第一導(dǎo)電路至第三導(dǎo)電路接觸的多個(gè)接觸銷；以及連接切換部，其具有多個(gè)開關(guān)元件，并切換上述多銷夾具的上述各接觸銷與上述第一運(yùn)算放大器的上述輸出端子、上述反相輸入端子、上述同相輸入端子以及上述電源部的電連接關(guān)系。
根據(jù)本發(fā)明涉及的電阻抗測量裝置的第一方式，通過第一運(yùn)算放大器，將第二電阻抗元件與第三電阻抗元件之間的第二導(dǎo)電路的電位可靠地感應(yīng)成基準(zhǔn)電位，使第二導(dǎo)電路的電位成為與第一導(dǎo)電路的電位同樣的基準(zhǔn)電位。因此，在測量電阻抗時(shí)，能夠可靠地將流向第二電阻抗元件的電流抑制為零，以準(zhǔn)確地測量第一電阻抗元件的電阻抗。另外，當(dāng)?shù)诙?dǎo)電路的電位自基準(zhǔn)電位偏離時(shí)，第一運(yùn)算放大器在瞬間抑制該電位變動，使第二導(dǎo)電路的電位返回到基準(zhǔn)電位。因此，即使在由電源部對第三導(dǎo)電路開始供給電力時(shí)，也能夠?qū)⒌诙?dǎo)電路的電位穩(wěn)定地維持在基準(zhǔn)電位。其結(jié)果，在由電源部對第三導(dǎo)電路供給電力之后，能夠由電特性檢測部檢測出第一電阻抗元件的電特性并進(jìn)行第一電阻抗元件的電阻抗測量，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)電阻抗測量的高速化。另外，與圖4的現(xiàn)有技術(shù)涉及的第二導(dǎo)電路L2與接地導(dǎo)線12中流過的電流相比，第二導(dǎo)電路與第一運(yùn)算放大器的反相輸入端子以及輸出端子之間流過的電流非常小，因此，即使在使第二導(dǎo)電路與第一運(yùn)算放大器的反相輸入端子以及輸出端子之間電連接的導(dǎo)線上插設(shè)開關(guān)元件(例如，半導(dǎo)體開關(guān)元件)的情況下，也可以實(shí)現(xiàn)該開關(guān)元件的長壽命化。根據(jù)本發(fā)明涉及的電阻抗測量裝置的第二方式，由第二運(yùn)算放大器將第一電阻抗元件與第二電阻抗元件之間的第一導(dǎo)電路的電位可靠地感應(yīng)成基準(zhǔn)電位，使第一以及第二導(dǎo)電路的電位同樣成為基準(zhǔn)電位。因此，在測量電阻抗時(shí)，能夠可靠地將流向第二電阻抗元件的電流抑制為零，進(jìn)而能夠準(zhǔn)確地測量第一電阻抗元件的電阻抗。另外，也可以進(jìn)一步增強(qiáng)對上述第二導(dǎo)電路使用第一運(yùn)算放大器所得到的效果(電阻抗測量的高速化以及開關(guān)組件的長壽命化)。本發(fā)明涉及的第三方式的電阻抗測量裝置，在使用多銷夾具的電阻抗測量裝置中，使用與多銷夾具電連接的多根導(dǎo)線以及插設(shè)于該導(dǎo)線的開關(guān)元件。因此，與使用圖4所示的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的情況相比，通過使用了本發(fā)明涉及的第一運(yùn)算放大器的構(gòu)造，能夠降低導(dǎo)線以及開關(guān)組件的影響。


圖1是表示作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的電阻抗測量裝置的基板檢查裝置的電構(gòu)造的圖。圖2是圖1的基板檢查裝置所具備的多銷夾具的側(cè)視圖。圖3是表示圖1的基板檢查裝置的變形例的圖。圖4是表示現(xiàn)有的電阻抗測量裝置的構(gòu)造的圖。(附圖標(biāo)記說明)21、21a基板檢查裝置，22被檢查基板，31多銷夾具，311保持部件，32連接切換部，33電位感應(yīng)部,331比較器,332可變電源部，34運(yùn)算放大器，35電源部，36電流檢測部，37電位差檢測部，38控制部，41運(yùn)算放大器，LI第一導(dǎo)電路，L2第二導(dǎo)電路，L3第三導(dǎo)電路，P、Pll P16接觸銷，S1、S2電路組，Zl第一電阻抗元件，Z2第二電阻抗元件，Z3第三電阻抗元件。
具體實(shí)施例方式參照圖1以及圖2，說明作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的電阻抗測量裝置的基板檢查裝置21。如圖1所示，該基板檢查裝置21對以構(gòu)成三角形電路的方式設(shè)置于被檢查基板22上的第一至第三電阻抗元件Zl Z3中的任意一個(gè)(在此為第一電阻抗元件Zl)的電阻抗進(jìn)行測量并檢查。在被檢查基板22上設(shè)置有構(gòu)成三角形電路的多個(gè)電路組S1、
S2、…(以下，在總稱它們時(shí)僅使用符號“S”)的第一至第三電阻抗元件Zl Z3。各電路組S的第一至第三電阻抗元件Zl Z3具備一側(cè)以及另一側(cè)的連接部，通過第一至第三導(dǎo)電路LI L3電連接而構(gòu)成三角形電路。更具體而言，第一電阻抗元件Zl的一側(cè)的連接部與第二電阻抗元件Z2的另一側(cè)的連接部通過第一導(dǎo)電路LI電連接，第二電阻抗元件Z2的一側(cè)的連接部與第三電阻抗元件Z3的另一側(cè)的連接部通過第二導(dǎo)電路L2電連接，第三電阻抗元件Z3的一側(cè)的連接部與第一電阻抗元件Zl的另一側(cè)的連接部通過第三導(dǎo)電路L3電連接。在此，第一電阻抗元件Zl的電阻抗的測量是一邊將第一以及第二導(dǎo)電路L1、L2的電位感應(yīng)成規(guī)定的基準(zhǔn)電位(在本實(shí)施方式中為接地電位)一邊進(jìn)行的。將第一以及第二導(dǎo)電路L1、L2的電位感應(yīng)成基準(zhǔn)電位即接地電位，是為了防止電流流向第二電阻抗元件Z2，以便避免在測量電阻抗時(shí)對第一電阻抗元件Zl的電阻抗測量造成影響。如圖1以及圖2所示，該基板檢查裝置21包含多銷夾具31、連接切換部32、電位感應(yīng)電路33、相當(dāng)于第一運(yùn)算放大器的運(yùn)算放大器34、電源部35、電流檢測部36、電位差檢測部37以及控制部38。電流檢測部36以及電位差檢測部37對應(yīng)于本發(fā)明涉及的電特性檢測部。如圖2所示，多銷夾具31包含具備導(dǎo)電性的多個(gè)接觸銷P以及確保該多個(gè)接觸銷P彼此絶緣性并保持該多個(gè)接觸銷P的保持部件311。如圖1所示，多個(gè)接觸銷P可以分別同時(shí)接觸第一至第三導(dǎo)電路LI L3,該第一至第三導(dǎo)電路LI L3對設(shè)于被檢查基板22的多個(gè)電路組S的第一至第三電阻抗元件Zl Z3之間進(jìn)行電連接。以一個(gè)電路組S來說明接觸銷P的結(jié)構(gòu)。在對應(yīng)于各電路組S的接觸銷P的組中包含與第一導(dǎo)電路LI接觸的接觸銷PU、P12 ;與第二導(dǎo)電路L2接觸的接觸銷P13、P14 ；以及與第三導(dǎo)電路L3接觸的接觸銷P15、P16。連接切換部32包含通過控制部38的控制來進(jìn)行閉合斷開動作的多個(gè)開關(guān)元件(例如，半導(dǎo)體開關(guān)元件)SW。然后，通過閉合斷開該開關(guān)組件SW，以切換多銷夾具31的各接觸銷P與裝置本體側(cè)的各連接部(在此，為后述的比較器331的正側(cè)輸入端子、可變電源部332的一側(cè)輸出端子、運(yùn)算放大器34的反相輸入端子以及輸出端子、電源部35的一側(cè)輸出端子、以及電位差檢測部37的一側(cè)輸入端子)的電連接關(guān)系。在本實(shí)施方式中，多個(gè)開關(guān)元件SW以如下方式進(jìn)行閉合斷開動作與設(shè)于多銷夾具31的多個(gè)接觸銷P中的設(shè)于被檢查基板22上的三角形電路的各電路組S的每個(gè)對應(yīng)地，且與任一電路組S對應(yīng)的接觸銷P與裝置本體側(cè)的上述各連接部依次電連接。另外，在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，僅針對各電路組S的第一至第三電阻抗元件Zl Z3中的第一電阻抗元件Zl進(jìn)行電阻抗測量，但也可以增設(shè)連接切換部32內(nèi)的開關(guān)元件SW的數(shù)目以及配線路徑，以便可測量第二以及第三電阻抗元件Z2、Z3的電阻抗。電位感應(yīng)電路33用于將各電路組S的第一導(dǎo)電路LI的電位感應(yīng)成作為基準(zhǔn)電位的接地電位，并且包含比較器331與可變電源部332。比 較器331的正側(cè)輸入端子經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷Pll而與各電路組S內(nèi)的第一導(dǎo)電路LI電連接，該負(fù)側(cè)輸入端子與作為基準(zhǔn)電位的接地電位電連接。從比較器331的輸出端子輸出的輸出信號，作為控制信號賦予給可變電源部332。可變電源部332根據(jù)比較器331的輸出信號，使經(jīng)由2個(gè)輸出端子輸出的電流產(chǎn)生變化(也可以取代電流而使輸出電壓產(chǎn)生變化)?？勺冸娫床?32的2個(gè)輸出端子中的一個(gè)，經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷P12而與各電路組S內(nèi)的第一導(dǎo)電路LI電連接，另一個(gè)與作為基準(zhǔn)電位的接地電位電連接。然后，當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電路LI的電位相對于接地電位朝正側(cè)或負(fù)側(cè)變動時(shí)，比較器331根據(jù)該變動輸出輸出信號，并根據(jù)該輸出信號，由可變電源部332經(jīng)由2個(gè)輸出端子輸出電流，以便抵消第一導(dǎo)電路LI的電位自接地電位的變動。由此，第一導(dǎo)電路LI的電位始終被感應(yīng)成作為基準(zhǔn)電位的接地電位。運(yùn)算放大器34用于將各電路組S的第二導(dǎo)電路L2的電位感應(yīng)成作為基準(zhǔn)電位的接地電位。運(yùn)算放大器34的反相輸入端子經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷P13而與各電路組S內(nèi)的第二導(dǎo)電路L2電連接。另外，其同相輸入端子與作為基準(zhǔn)電位的接地電位電連接。另外，其輸出端子經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷P14而與各電路組S內(nèi)的第二導(dǎo)電路L2電連接。然后，當(dāng)?shù)诙?dǎo)電路L2的電位自基準(zhǔn)電位即接地電位偏離時(shí)，該第二導(dǎo)電路L2的電位變動會被賦予給運(yùn)算放大器34的反相輸入端子，而抵消該電位變動的電流(或電壓)瞬間從運(yùn)算放大器34的輸出端子賦予給第二導(dǎo)電路L2。由此，第二導(dǎo)電路L2的電位變動在瞬間被運(yùn)算放大器34抑制，使第二導(dǎo)電路L2的電位返回到作為基準(zhǔn)電位的接地電位。電源部35通過控制部38的控制，經(jīng)由2個(gè)輸出端子輸出進(jìn)行各電路組S的第一電阻抗元件Zl的電阻抗測量所需的電力(例如，固定輸出的交流電流)。電源部35的2個(gè)輸出端子中的一個(gè)經(jīng)由后述的電流檢測部36、連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷P15而與各電路組S內(nèi)的第三導(dǎo)電路L3電連接，另一個(gè)與接地電位電連接。在本實(shí)施方式中，電源部35輸出固定輸出的交流電流，但也可以使電源部35輸出固定輸出的交流電壓、電流値或電壓値以固定振幅與周期周期性變動的變動直流電流或變動直流電壓。或者，在只需測量第一電阻抗元件Zl的電阻値的情況下，作為電源部35也可以使用恒定電流源或恒定電壓源。電流檢測部36插設(shè)于將電源部35 —側(cè)的輸出端子與連接切換部32連接的導(dǎo)線上，并檢測出由電源部35經(jīng)由各電路組S的第三導(dǎo)電路L3賦予給第一電阻抗元件Zl的電流値(例如，交流電流値)，將該檢測結(jié)果賦予給控制部38。電位差檢測部37檢測由電源部35經(jīng)由各電路組S的第三導(dǎo)電路L3賦予給第一電阻抗元件Zl的電位差(例如，交流電位差)，并將該檢測結(jié)果賦予給控制部38。電位差檢測部37的2個(gè)輸入端子中的一個(gè)，經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷P16而與各電路組S內(nèi)的第三導(dǎo)電路L3電連接，另一個(gè)與作為基準(zhǔn)電位的接地電位電連接。因此，賦予給第一電阻抗元件Zl的電位差當(dāng)作第三導(dǎo)電路L3的電位與作為基準(zhǔn)電位的接地電位之的差被電位差檢測部15檢測出。作為與這一點(diǎn)相關(guān)的變形例，例如，電位差檢測部37的另一個(gè)輸入端子也可以不與作為基準(zhǔn)電位的接地電位連接，而是與比較器331的正側(cè)輸入端子一起經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷Pll而與各電路組S的第一導(dǎo)電路LI電連接。
另外，在本實(shí)施方式中，設(shè)置有電流檢測部36以及電位差檢測部37 二者，但在能夠根據(jù)電源部35的輸出電流値或輸出電壓値取得與賦予給第一電阻抗元件Zl的電流値或電壓値相關(guān)的信息時(shí)，也可以省略電流檢測部36與電位差檢測部37中的一個(gè)?？刂撇?8負(fù)責(zé)該基板檢查裝置21的控制以及被檢查基板22的檢查處理。具體而言，例如控制部38使連接切換部32的各開關(guān)元件SW閉合斷開，以使被檢查基板22上所設(shè)置的多個(gè)三角形電路的電路組S中的任意一個(gè)與裝置本體側(cè)的上述各連接部依次連接，并使電源部35對各電路組S的第一電阻抗元件Zl供給用于測量電阻抗的電力。然后，控制部38根據(jù)電流檢測部36以及電位差檢測部37檢測出的賦予給各電路組S的第一電阻抗元件Zl的電流値以及電位差値，計(jì)算出第一電阻抗元件Zl的電阻抗，并根據(jù)該計(jì)算結(jié)果進(jìn)行第一電阻抗元件Zl以及被檢查基板22的好壞與否判斷等?；谠摶鍣z查裝置21的檢查例如是，使連接切換部32的各開關(guān)元件SW閉合斷開，以使被檢查基板22上所設(shè)置的多個(gè)三角形電路組S中的任意一個(gè)與裝置本體側(cè)的上述各連接部依次導(dǎo)通。此時(shí)，裝置本體側(cè)的各連接部(比較器331的正側(cè)輸入端子、可變電源部332的一側(cè)的輸出端子、運(yùn)算放大器34的反相輸入端子與輸出端子、電源部35的一側(cè)的輸出端子、以及電位差檢測部37的一側(cè)的輸入端子)經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的多個(gè)接觸銷P中的對應(yīng)于該定時(shí)的檢查對象的三角形電路組S的接觸銷Pll P16，而與對應(yīng)于檢查對象電路組S的第一至第三導(dǎo)電路LI L3依次導(dǎo)通。然后，通過電源部35經(jīng)由第一導(dǎo)電路LI對檢查對象的電路組S的第一電阻抗元件Zl賦予用于測量電阻抗的電力(例如交流電流)，并且通過電流檢測部36以及電位差檢測部37檢測賦予給該第一電阻抗元件Zl的電流値以及電位差値，根據(jù)該檢測出的電流値以及電位差値，通過控制部38判斷該第一電阻抗元件Zl的好壞與否。當(dāng)針對一個(gè)電路組S的檢查完成時(shí)，將下一個(gè)電路組S設(shè)定為檢查對象，依次進(jìn)行檢查至最后一個(gè)電路組S。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，通過運(yùn)算放大器34將構(gòu)成三角形電路的第二電阻抗元件Z2與第三電阻抗元件Z3之間的第二導(dǎo)電路L2的電位準(zhǔn)確地感應(yīng)成作為基準(zhǔn)電位的接地電位，使第二導(dǎo)電路L2的電位成為與第一導(dǎo)電路LI的電位同樣的基準(zhǔn)電位即接地電位。因此，在測量電阻抗時(shí)，能夠?qū)⒘飨虻诙娮杩乖2的電流可靠地抑制為零，并能夠準(zhǔn)確地測量第一電阻抗元件Zl的電阻抗。另外，當(dāng)?shù)诙?dǎo)電路L2的電位自基準(zhǔn)電位偏離時(shí)，通過運(yùn)算放大器34瞬間抑制該電位變動，使第二導(dǎo)電路L2的電位返回到作為基準(zhǔn)電位的接地電位。因此，即使當(dāng)由電源部35對第三導(dǎo)電路L3開始供給電力時(shí)，第二導(dǎo)電路L2的電位也能夠穩(wěn)定地維持在作為基準(zhǔn)電位的接地電位。其結(jié)果，在由電源部35對第三導(dǎo)電路L3供給電力之后，能夠使電流檢測部36以及電位差檢測部37檢測出賦予給第一電阻抗元件Zl的電流値以及電位差値，并進(jìn)行第一電阻抗元件Zl的電阻抗測量，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)使電阻抗測量及好壞與否判斷等的高速化。另外，與圖4的現(xiàn)有技術(shù)涉及的第二導(dǎo)電路L2與接地導(dǎo)線12中流過的電流相比，各電路組S的三角形電路的第二導(dǎo)電路L2與運(yùn)算放大器34的反相輸入端子以及輸出端子之間流過的電流非常小，因此能夠?qū)崿F(xiàn)導(dǎo)線上所插設(shè)的連接切換部32的開關(guān)元件SW(例如半導(dǎo)體開關(guān)元件)等的長壽命化，上述導(dǎo)線將第二導(dǎo)電路L2與運(yùn)算放大器34的反相輸入端子以及輸出端子之間電連接。
另外，如本實(shí)施方式涉及的基板檢查裝置21 —樣，在使用多銷夾具31的裝置中，使用與多銷夾具31電連接的多根導(dǎo)線以及插設(shè)于該導(dǎo)線的開關(guān)元件。因此，與使用圖4所示的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的情況相比，通過使用本實(shí)施方式涉及的運(yùn)算放大器34的構(gòu)造，能夠降低導(dǎo)線以及開關(guān)元件的影響。參照圖3，說明本實(shí)施方式涉及的基板檢查裝置21的變形例。在圖3的變形例涉及的基板檢查裝置21a中，使用運(yùn)算放大器41取代電位感應(yīng)電路33，而將各電路組S的第一導(dǎo)電路LI的電位感應(yīng)成作為基準(zhǔn)電位的接地電位。該運(yùn)算放大器41相當(dāng)于本發(fā)明涉及的第二運(yùn)算放大器。運(yùn)算放大器41的反相輸入端子經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷Pll而與各電路組S內(nèi)的第一導(dǎo)電路LI電連接。另外，其同相輸入端子與作為基準(zhǔn)電位的接地電位電連接。另外，其輸出端子經(jīng)由連接切換部32以及與多銷夾具31的各電路組S對應(yīng)設(shè)置的接觸銷P12，而與各電路組S內(nèi)的第一導(dǎo)電路LI電連接。通過該運(yùn)算放大器41，將各電路組S的第一導(dǎo)電路LI的電位可靠地感應(yīng)成作為基準(zhǔn)電位的接地電位，使第一以及第二導(dǎo)電路L1、L2的電位同樣地成為作為基準(zhǔn)電位的接地電位。因此，在測量電阻抗時(shí)，能夠可靠地將流向第二電阻抗元件Z2的電流抑制為零，并能夠準(zhǔn)確地測量第一電阻抗元件Zl的電阻抗。另外，也能夠進(jìn)一步加強(qiáng)對上述第二導(dǎo)電路L2使用運(yùn)算放大器34所得到的效果(電阻抗測量的高速化以及開關(guān)元件的長壽命化)。
權(quán)利要求
1.一種電阻抗測量裝置，其通過由第一導(dǎo)電路至第三導(dǎo)電路電連接的第一電阻抗元件至第三電阻抗元件構(gòu)成三角形電路，將電連接上述第一電阻抗元件與上述第二電阻抗元件的上述第一導(dǎo)電路的電位以及電連接上述第二電阻抗元件與上述第三電阻抗元件的上述第二導(dǎo)電路的電位感應(yīng)成基準(zhǔn)電位，并測量上述第一電阻抗元件的電阻抗，該電阻抗測量裝置的特征在于，包括 第一運(yùn)算放大器，其具有與上述第二導(dǎo)電路電連接的輸出端子和反相輸入端子、以及與規(guī)定的基準(zhǔn)電位電連接的同相輸入端子； 電源部，其與上述第三導(dǎo)電路電連接并對上述第三導(dǎo)電路賦予用于測量電阻抗的電力，上述第三導(dǎo)電路將上述第一電阻抗元件與上述第三電阻抗元件電連接；以及 電特性檢測部，其在通過上述電源部對上述第三導(dǎo)電路賦予上述電力時(shí)，檢測用于測量上述第一電阻抗元件的電阻抗的上述第一電阻抗元件的電特性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻抗測量裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括 第二運(yùn)算放大器，其具有與上述第一導(dǎo)電路電連接的輸出端子和反相輸入端子、以及與規(guī)定的接地線電連接的同相輸入端子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻抗測量裝置，其特征在于， 在被檢查基板上設(shè)置多組上述第一電阻抗元件至第三電阻抗元件以及上述第一導(dǎo)電路至第三導(dǎo)電路， 上述電阻抗測量裝置進(jìn)一步包括 多銷夾具，其具有分別同時(shí)與上述多組的上述第一導(dǎo)電路至第三導(dǎo)電路接觸的多個(gè)接觸銷；以及 連接切換部，其具有多個(gè)開關(guān)元件，并切換上述多銷夾具的上述各接觸銷與上述第一運(yùn)算放大器的上述輸出端子、上述反相輸入端子、上述同相輸入端子以及上述電源部之間的電連接關(guān)系。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電阻抗測量裝置，其在對構(gòu)成三角形電路的第一至第三電阻抗元件中的第一電阻抗元件的電阻抗測量中，將在第二電阻抗元件與第三電阻抗元件之間流過的電流抑制為零，并能夠準(zhǔn)確地測量出第一電阻抗元件的電阻抗。該電阻抗測量裝置具備運(yùn)算放大器(34)，該運(yùn)算放大器(34)包括與第二導(dǎo)電路L2電連接的輸出端子以及反相輸入端子、以及與規(guī)定的基準(zhǔn)電位(例如接地電位)電連接的同相輸入端子。然后，一面將第一電阻抗元件Z1與第二電阻抗元件Z2之間的第一導(dǎo)電路L1的電位以及第二電阻抗元件Z2與第三電阻抗元件Z3之間的第二導(dǎo)電路L2的電位感應(yīng)成基準(zhǔn)電位，一面測量第一電阻抗元件Z1的電阻抗。
文檔編號G01R27/02GK102998531SQ20121032562
公開日2013年3月27日 申請日期2012年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月12日
發(fā)明者山下宗寛 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社