專利名稱：回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
長(zhǎng)期以來(lái)，國(guó)內(nèi)外學(xué)者對(duì)回轉(zhuǎn)體零件相關(guān)參數(shù)測(cè)量進(jìn)行了大量研究，但是大直徑測(cè)量方面一直沒(méi)有理想的方法和儀器出現(xiàn)，尤其在機(jī)械行業(yè)中，大尺寸精密測(cè)量尚未得到很好解決。本實(shí)用新型的目標(biāo)是研發(fā)通過(guò)傳感器的搭建在線精密檢測(cè)大尺寸回轉(zhuǎn)體零件的電跳動(dòng)量等相關(guān)參數(shù)。電跳動(dòng)量(electrical runout)是精密回轉(zhuǎn)體零件(比如汽輪機(jī)大型轉(zhuǎn)子被測(cè)回轉(zhuǎn)體軸頸)加工質(zhì)量的一項(xiàng)重要評(píng)價(jià)指標(biāo)，美國(guó)石油學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)API 612對(duì)此作了詳細(xì)描述。 目前，機(jī)械跳動(dòng)量的測(cè)量主要采用百分表對(duì)被測(cè)零件進(jìn)行打表檢測(cè)，人工操作效率低，精度不高。電跳動(dòng)量的檢測(cè)主要采用電渦流探頭代替百分表來(lái)進(jìn)行，由于需要與機(jī)械跳動(dòng)量配合同步檢測(cè)，很難達(dá)到精密測(cè)量的高精度要求。而且在線檢測(cè)電跳動(dòng)量、機(jī)械跳動(dòng)量等跳動(dòng)參數(shù)尚無(wú)十分成熟有效的方法和儀器。

實(shí)用新型內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)人工測(cè)量跳動(dòng)的效率低、精度不高等缺點(diǎn)，本實(shí)用新型提供了一種能夠?qū)崿F(xiàn)在線實(shí)時(shí)測(cè)量，測(cè)量精度高的回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)?；剞D(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，包括測(cè)量支架，所述的測(cè)量支架上安裝有對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的相對(duì)移動(dòng)距離的激光位移傳感器，和對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的綜合跳動(dòng)量的電渦流傳感器，以及對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、獲取被測(cè)回轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)角度的霍爾傳感器；所述的被測(cè)回轉(zhuǎn)體上設(shè)有能被所述的霍爾傳感器識(shí)別的標(biāo)記； 所述的激光位移傳感器和電渦流傳感器以及霍爾傳感器均與處理器連接，所述的處理器用綜合跳動(dòng)量減去相對(duì)移動(dòng)距離獲得電跳動(dòng)量；所述的激光位移傳感器與電渦流傳感器位于同一個(gè)圓周上，所述的圓周與被測(cè)回轉(zhuǎn)體同軸；所述的霍爾傳感器與所述的激光傳感器形成的直線與被測(cè)回轉(zhuǎn)體的軸線平行。進(jìn)一步，所述的激光位移傳感器、電渦流傳感器和霍爾傳感器的旁邊均連接有阻止傳感器接觸被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的保護(hù)裝置。進(jìn)一步，所述的保護(hù)裝置為凸起的圓形件，所述的保護(hù)裝置通過(guò)螺紋與傳感器外殼連接。進(jìn)一步，所述的測(cè)量支架上設(shè)有沿水平左右調(diào)節(jié)測(cè)量系統(tǒng)的左右調(diào)節(jié)裝置，所述的左右調(diào)節(jié)裝置包括與所述的測(cè)量支架固接的左右調(diào)節(jié)螺母、與所述的左右調(diào)節(jié)螺母嚙合傳動(dòng)的左右調(diào)節(jié)絲杠和與所述的左右調(diào)節(jié)絲杠固接的左右調(diào)節(jié)旋鈕；所述的測(cè)量支架包括連接所述的激光位移傳感器和電渦流傳感器的圓弧連接臂、 和連接所述的激光位移傳感器和電渦流傳感器的直線連接臂。進(jìn)一步，所述的激光位移傳感器、霍爾傳感器和電渦流傳感器分別設(shè)有使對(duì)應(yīng)的傳感器靠近或遠(yuǎn)離所述的被測(cè)回轉(zhuǎn)體的上下微調(diào)裝置，所述的上下微調(diào)裝置包括與所述的測(cè)量支架固接的上下微調(diào)螺母和與所述的上下微調(diào)螺母固接的上下微調(diào)絲杠，所述的上下微調(diào)絲杠上設(shè)有上下微調(diào)旋鈕。本實(shí)用新型的測(cè)量過(guò)程是測(cè)量前，被測(cè)回轉(zhuǎn)體停轉(zhuǎn)。移動(dòng)測(cè)量裝置接近被測(cè)工件，先調(diào)節(jié)左右調(diào)節(jié)裝置，使本實(shí)用新型在水平方向靠近被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面，同時(shí)開(kāi)啟激光位移傳感器進(jìn)行距離的監(jiān)測(cè)。當(dāng)激光位移傳感器移動(dòng)至被測(cè)回轉(zhuǎn)體最高點(diǎn)附近時(shí)，調(diào)節(jié)激光位移傳感器的上下微調(diào)旋鈕，使激光位移傳感器向下微小移動(dòng)，直到進(jìn)入激光位移傳感器的可測(cè)量距離內(nèi)。這時(shí)可以依靠激光位移傳感器的讀數(shù)值顯示來(lái)調(diào)節(jié)左右調(diào)節(jié)裝置，使激光位移傳感器讀數(shù)最小，即把激光位移傳感器測(cè)點(diǎn)調(diào)節(jié)至正對(duì)被測(cè)回轉(zhuǎn)體圓截面最高點(diǎn)， 再微調(diào)激光位移傳感器的上下微調(diào)旋鈕使圓定位件接觸被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)測(cè)距位置，將激光位移傳感器的保護(hù)裝置旋轉(zhuǎn)一圈使其與工件不接觸，最后鎖上調(diào)節(jié)旋鈕。電渦流傳感器的位置由裝置連接保證。此時(shí)，測(cè)量裝置調(diào)節(jié)完畢，可以進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量時(shí)，被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速固定不變。在測(cè)量軟件中設(shè)置好采樣頻率、采樣點(diǎn)數(shù)等參數(shù)，啟動(dòng)傳感器開(kāi)始進(jìn)行測(cè)量及數(shù)據(jù)采集。激光位移傳感器采集的是數(shù)字信號(hào)，因而可直接傳送至計(jì)算機(jī)。電渦流傳感器采集的是模擬信號(hào)，經(jīng)過(guò)采集卡進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換，最后成數(shù)字信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)，對(duì)傳輸進(jìn)來(lái)的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理。數(shù)據(jù)分析處理的具體過(guò)程是將激光位移傳感器采得的數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)的角度相位值整合畫出機(jī)械跳動(dòng)量的極坐標(biāo)圖，同樣對(duì)應(yīng)畫出電渦流傳感器采得的綜合跳動(dòng)量的極坐標(biāo)圖。由數(shù)值變化范圍計(jì)算得出機(jī)械跳動(dòng)量和綜合跳動(dòng)量，將得出的綜合跳動(dòng)量減去機(jī)械跳動(dòng)量就得出電跳動(dòng)量。這些跳動(dòng)量是被測(cè)回轉(zhuǎn)體被測(cè)圓截面上所表現(xiàn)出的輪廓偏差特性，本實(shí)用新型測(cè)量裝置通過(guò)將激光位移傳感器和電渦流傳感器布置在同一截面內(nèi)而保證了這一點(diǎn)。本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思是采用的激光位移傳感器和電渦流傳感器，其中激光位移傳感器測(cè)量被測(cè)表面的相對(duì)移動(dòng)距離(機(jī)械跳動(dòng)量)，電渦流傳感器對(duì)被測(cè)表面進(jìn)行探測(cè)獲得綜合跳動(dòng)量(Total Indicated Runout，I1R，包含機(jī)械跳動(dòng)量和電跳動(dòng)量)。經(jīng)過(guò)換算可從綜合跳動(dòng)量中去除機(jī)械跳動(dòng)量從而獲得電跳動(dòng)量的大小。采用霍爾傳感器感測(cè)粘于被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的標(biāo)記磁鋼或檢測(cè)端面定位標(biāo)記如工藝孔等，獲得被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的角度。隨著被測(cè)回轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)，傳感器以一定的采樣頻度測(cè)得圓周上的若干點(diǎn)的跳動(dòng)量，最后經(jīng)程序分析分離得到機(jī)械跳動(dòng)量和電跳動(dòng)量，并對(duì)被測(cè)回轉(zhuǎn)體跳動(dòng)進(jìn)行綜合評(píng)價(jià)。本實(shí)用新型測(cè)量時(shí)激光位移傳感器、電渦流傳感器和霍爾傳感器在左右和徑向方向可以調(diào)整，這樣可以保證傳感器每次測(cè)量都在圓截面的法線方向并保持一定測(cè)量距離， 同時(shí)具有很高的柔性，適合各種尺寸的直徑的測(cè)量。測(cè)量時(shí)傳感器旁邊設(shè)置保護(hù)裝置，以免損壞傳感器。激光位移傳感器、電渦流傳感器和霍爾傳感器分別通過(guò)調(diào)節(jié)旋鈕固定在一起， 激光位移傳感器和電渦流傳感器成周向固定角度布置，激光位移傳感器與霍爾傳感器緊密地排列在與被測(cè)回轉(zhuǎn)體中心線平行的位置上。通過(guò)移動(dòng)旋鈕調(diào)節(jié)三種傳感器同時(shí)位于正確的測(cè)量位置進(jìn)行測(cè)量。傳感器上下的微調(diào)是通過(guò)微調(diào)旋鈕進(jìn)行的，轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕帶動(dòng)螺旋副使傳感器外罩殼產(chǎn)生移動(dòng)。左右的調(diào)整通過(guò)一小型絲杠帶動(dòng)與傳感器架連接在一起的滑塊進(jìn)行移動(dòng)。在測(cè)量過(guò)程中激光位移傳感器和電渦流傳感器測(cè)頭與被測(cè)表面的微小距離依靠上下微調(diào)裝置保證。通過(guò)微調(diào)旋鈕調(diào)節(jié)圓形件最低點(diǎn)與被測(cè)表面接觸，然后將圓形件旋轉(zhuǎn) 180度使其與被測(cè)表面不再接觸從而保證一定的測(cè)量距離。測(cè)量之前在測(cè)量位置貼上標(biāo)記小磁鋼或在端面測(cè)量并以端面工藝孔做為標(biāo)記，霍爾傳感器的位置固定，測(cè)量時(shí)被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，每當(dāng)小磁鋼轉(zhuǎn)過(guò)霍爾傳感器時(shí)，引起磁場(chǎng)的變化，傳感器便輸出一個(gè)脈沖，此時(shí)所測(cè)數(shù)據(jù)相位間隔為360度，通過(guò)計(jì)算可得到各角度時(shí)的跳動(dòng)量。本實(shí)用新型具有以下有益效果1.在線實(shí)時(shí)測(cè)量。本實(shí)用新型可安裝在車床刀架上進(jìn)行在線檢測(cè)。激光位移傳感器和電渦流傳感器通過(guò)各自的調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)至正確測(cè)量位置后被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，開(kāi)始測(cè)量。激光位移傳感器和電渦流傳感器的高采樣頻率保證了跳動(dòng)量的在線檢測(cè)。2.測(cè)量精度高。本實(shí)用新型采用的激光位移傳感器在測(cè)量范圍士0. 5mm的情況下線性誤差可達(dá)士0. 05% F. S.，因而該傳感器測(cè)量的機(jī)械跳動(dòng)量的線性誤差為士0. 5 μ。電渦流傳感器測(cè)得的綜合跳動(dòng)量的線性誤差為士 μ。分析計(jì)算得出的電跳動(dòng)量線性誤差為士1. 1 μ，具有很高的精度。3.柔性高。本實(shí)用新型采用的測(cè)量方法可以適用于各種尺寸被測(cè)回轉(zhuǎn)體類零件的檢測(cè)，具有很高的柔性。

圖1是本實(shí)用新型測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體時(shí)的示意圖。圖2是激光位移傳感器和霍爾傳感器測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體的示意圖。
具體實(shí)施方式
參照附圖，進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，包括測(cè)量支架1，所述的測(cè)量支架1上安裝有對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體2、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體2表面的相對(duì)移動(dòng)距離的激光位移傳感器3，和對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體2、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的綜合跳動(dòng)量的電渦流傳感器4，以及對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體2、獲取被測(cè)回轉(zhuǎn)體2的旋轉(zhuǎn)角度的霍爾傳感器5 ；所述的被測(cè)回轉(zhuǎn)體2上設(shè)有能被所述的霍爾傳感器5識(shí)別的標(biāo)記21 ；所述的激光位移傳感器3和電渦流傳感器4以及霍爾傳感器5均與處理器連接，所述的處理器用綜合跳動(dòng)量減去相對(duì)移動(dòng)距離獲得電跳動(dòng)量；所述的激光位移傳感器3與電渦流傳感器4位于同一個(gè)圓周上，所述的圓周與被測(cè)回轉(zhuǎn)體2同軸；所述的霍爾傳感器5與所述的激光位移傳感器3形成的直線與被測(cè)回轉(zhuǎn)體2的軸線平行。所述的激光位移傳感器3、電渦流傳感器4和霍爾傳感器5的旁邊均連接有阻止傳感器3、4、5接觸被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的保護(hù)裝置6。所述的保護(hù)裝置6為凸起的圓形件，所述的保護(hù)裝置6通過(guò)螺紋與傳感器外殼連接。所述的測(cè)量支架1上設(shè)有沿水平左右調(diào)節(jié)測(cè)量系統(tǒng)的左右調(diào)節(jié)裝置，所述的左右調(diào)節(jié)裝置7包括與所述的測(cè)量支架固接的左右調(diào)節(jié)螺母、與所述的左右調(diào)節(jié)螺母嚙合傳動(dòng)的左右調(diào)節(jié)絲杠和與所述的左右調(diào)節(jié)絲杠固接的左右調(diào)節(jié)旋鈕；
5[0032]所述的測(cè)量支架1包括連接所述的激光位移傳感器3和電渦流傳感器4的圓弧連接臂、和連接所述的激光位移傳感器3和霍爾傳感器5的直線連接臂。所述的激光位移傳感器3、霍爾傳感器5和電渦流傳感器4分別設(shè)有使對(duì)應(yīng)的傳感器靠近或遠(yuǎn)離所述的被測(cè)回轉(zhuǎn)體的上下微調(diào)裝置a、b、c，所述的上下微調(diào)裝置a、b、c包括與所述的測(cè)量支架1固接的上下微調(diào)螺母和與所述的上下微調(diào)螺母固接的上下微調(diào)絲杠， 所述的上下微調(diào)絲杠上設(shè)有上下微調(diào)旋鈕。本實(shí)用新型的測(cè)量過(guò)程是測(cè)量前，被測(cè)回轉(zhuǎn)體停轉(zhuǎn)。移動(dòng)測(cè)量裝置接近被測(cè)工件，先調(diào)節(jié)左右調(diào)節(jié)裝置，使本實(shí)用新型在水平方向靠近被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面，同時(shí)開(kāi)啟激光位移傳感器進(jìn)行距離的監(jiān)測(cè)。當(dāng)激光位移傳感器移動(dòng)至被測(cè)回轉(zhuǎn)體最高點(diǎn)附近時(shí)，調(diào)節(jié)激光位移傳感器的上下微調(diào)旋鈕，使激光位移傳感器向下微小移動(dòng)，直到進(jìn)入激光位移傳感器的可測(cè)量距離內(nèi)。這時(shí)可以依靠激光位移傳感器的讀數(shù)值顯示來(lái)調(diào)節(jié)左右調(diào)節(jié)裝置，使激光位移傳感器讀數(shù)最小，即把激光位移傳感器測(cè)點(diǎn)調(diào)節(jié)至正對(duì)被測(cè)回轉(zhuǎn)體圓截面最高點(diǎn)， 再微調(diào)激光位移傳感器的上下微調(diào)旋鈕使圓定位件接觸被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)測(cè)距位置，將激光位移傳感器的保護(hù)裝置旋轉(zhuǎn)一圈使其與工件不接觸，最后鎖上調(diào)節(jié)旋鈕。電渦流傳感器的位置由裝置連接保證。此時(shí)，測(cè)量裝置調(diào)節(jié)完畢，可以進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量時(shí)，被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速固定不變。在測(cè)量軟件中設(shè)置好采樣頻率、采樣點(diǎn)數(shù)等參數(shù)，啟動(dòng)傳感器開(kāi)始進(jìn)行測(cè)量及數(shù)據(jù)采集。激光位移傳感器采集的是數(shù)字信號(hào)，因而可直接傳送至計(jì)算機(jī)。電渦流傳感器采集的是模擬信號(hào)，經(jīng)過(guò)采集卡進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換，最后成數(shù)字信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)，對(duì)傳輸進(jìn)來(lái)的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理。數(shù)據(jù)分析處理的具體過(guò)程是將激光位移傳感器采得的數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)的角度相位值整合畫出機(jī)械跳動(dòng)量的極坐標(biāo)圖，同樣對(duì)應(yīng)畫出電渦流傳感器采得的綜合跳動(dòng)量的極坐標(biāo)圖。由數(shù)值變化范圍計(jì)算得出機(jī)械跳動(dòng)量和綜合跳動(dòng)量，將得出的綜合跳動(dòng)量減去機(jī)械跳動(dòng)量就得出電跳動(dòng)量。這些跳動(dòng)量是被測(cè)回轉(zhuǎn)體被測(cè)圓截面上所表現(xiàn)出的輪廓偏差特性，本實(shí)用新型測(cè)量裝置通過(guò)將激光位移傳感器和電渦流傳感器布置在同一截面內(nèi)而保證了這一點(diǎn)。本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思是采用的激光位移傳感器和電渦流傳感器，其中激光位移傳感器測(cè)量被測(cè)表面的相對(duì)移動(dòng)距離(機(jī)械跳動(dòng)量)，電渦流傳感器對(duì)被測(cè)表面進(jìn)行探測(cè)獲得綜合跳動(dòng)量(Total Indicated Runout，I1R，包含機(jī)械跳動(dòng)量和電跳動(dòng)量)。經(jīng)過(guò)換算可從綜合跳動(dòng)量中去除機(jī)械跳動(dòng)量從而獲得電跳動(dòng)量的大小。采用霍爾傳感器感測(cè)粘于被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的標(biāo)記磁鋼或檢測(cè)端面定位標(biāo)記如工藝孔等，獲得被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的角度。隨著被測(cè)回轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)，傳感器以一定的采樣頻度測(cè)得圓周上的若干點(diǎn)的跳動(dòng)量，最后經(jīng)程序分析分離得到機(jī)械跳動(dòng)量和電跳動(dòng)量，并對(duì)被測(cè)回轉(zhuǎn)體跳動(dòng)進(jìn)行綜合評(píng)價(jià)。本實(shí)用新型測(cè)量時(shí)激光位移傳感器、電渦流傳感器和霍爾傳感器在左右和徑向方向可以調(diào)整，這樣可以保證傳感器每次測(cè)量都在圓截面的法線方向并保持一定測(cè)量距離， 同時(shí)具有很高的柔性，適合各種尺寸的直徑的測(cè)量。測(cè)量時(shí)傳感器旁邊設(shè)置保護(hù)裝置，以免損壞傳感器。激光位移傳感器、電渦流傳感器和霍爾傳感器分別通過(guò)調(diào)節(jié)旋鈕固定在一起， 激光位移傳感器和電渦流傳感器成周向固定角度布置，激光位移傳感器與霍爾傳感器緊密地排列在與被測(cè)回轉(zhuǎn)體中心線平行的位置上。通過(guò)移動(dòng)旋鈕調(diào)節(jié)三種傳感器同時(shí)位于正確的測(cè)量位置進(jìn)行測(cè)量。[0039]傳感器上下的微調(diào)是通過(guò)微調(diào)旋鈕進(jìn)行的，轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕帶動(dòng)螺旋副使傳感器外罩殼產(chǎn)生移動(dòng)。左右的調(diào)整通過(guò)一小型絲杠帶動(dòng)與傳感器架連接在一起的滑塊進(jìn)行移動(dòng)。在測(cè)量過(guò)程中激光位移傳感器和電渦流傳感器測(cè)頭與被測(cè)表面的微小距離依靠上下微調(diào)裝置保證。通過(guò)微調(diào)旋鈕調(diào)節(jié)圓形件最低點(diǎn)與被測(cè)表面接觸，然后將圓形件旋轉(zhuǎn) 180度使其與被測(cè)表面不再接觸從而保證一定的測(cè)量距離。測(cè)量之前在測(cè)量位置貼上標(biāo)記小磁鋼或在端面測(cè)量并以端面工藝孔做為標(biāo)記，霍爾傳感器的位置固定，測(cè)量時(shí)被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，每當(dāng)小磁鋼轉(zhuǎn)過(guò)霍爾傳感器時(shí)，引起磁場(chǎng)的變化，傳感器便輸出一個(gè)脈沖，此時(shí)所測(cè)數(shù)據(jù)相位間隔為360度，通過(guò)計(jì)算可得到各角度時(shí)的跳動(dòng)量。本實(shí)用新型具有以下有益效果1.在線實(shí)時(shí)測(cè)量。本實(shí)用新型可安裝在車床刀架上進(jìn)行在線檢測(cè)。激光位移傳感器和電渦流傳感器通過(guò)各自的調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)至正確測(cè)量位置后由被測(cè)回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，開(kāi)始測(cè)量。激光位移傳感器和電渦流傳感器的高采樣頻率保證了跳動(dòng)量的在線檢測(cè)。2.測(cè)量精度高。本實(shí)用新型采用的激光位移傳感器在測(cè)量范圍士0. 5mm的情況下線性誤差可達(dá)士0. 05% F. S.，因而該傳感器測(cè)量的機(jī)械跳動(dòng)量的線性誤差為士0. 5 μ。電渦流傳感器測(cè)得的綜合跳動(dòng)量的線性誤差為士 μ。分析計(jì)算得出的電跳動(dòng)量線性誤差為士1. 1 μ，具有很高的精度。3.柔性高。本實(shí)用新型采用的測(cè)量方法可以適用于各種尺寸被測(cè)回轉(zhuǎn)體類零件的檢測(cè)，具有很高的柔性。本說(shuō)明書實(shí)施例所述的內(nèi)容僅僅是對(duì)實(shí)用新型構(gòu)思的實(shí)現(xiàn)形式的列舉，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不應(yīng)當(dāng)被視為僅限于實(shí)施例所陳述的具體形式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍也及于本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思所能夠想到的等同技術(shù)手段。
權(quán)利要求1.回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于包括測(cè)量支架，所述的測(cè)量支架上安裝有對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的相對(duì)移動(dòng)距離的激光位移傳感器，和對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的綜合跳動(dòng)量的電渦流傳感器，以及對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、獲取被測(cè)回轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)角度的霍爾傳感器；所述的被測(cè)回轉(zhuǎn)體上設(shè)有能被所述的霍爾傳感器識(shí)別的標(biāo)記；所述的激光位移傳感器和電渦流傳感器以及霍爾傳感器均與處理器連接，所述的處理器用綜合跳動(dòng)量減去相對(duì)移動(dòng)距離獲得電跳動(dòng)量；所述的激光位移傳感器與電渦流傳感器位于同一個(gè)圓周上，所述的圓周與被測(cè)回轉(zhuǎn)體同軸；所述的霍爾傳感器與所述的激光傳感器形成的直線與被測(cè)回轉(zhuǎn)體的軸線平行。
2.如權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的激光位移傳感器、電渦流傳感器和霍爾傳感器的旁邊均連接有阻止傳感器接觸被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的保護(hù)裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的保護(hù)裝置為凸起的圓形件，所述的保護(hù)裝置通過(guò)螺紋與傳感器外殼連接。
4.如權(quán)利要求1-3之一所述的回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的測(cè)量支架上設(shè)有沿水平左右調(diào)節(jié)測(cè)量系統(tǒng)的左右調(diào)節(jié)裝置，所述的左右調(diào)節(jié)裝置包括與所述的測(cè)量支架固接的左右調(diào)節(jié)螺母、與所述的左右調(diào)節(jié)螺母嚙合傳動(dòng)的左右調(diào)節(jié)絲杠和與所述的左右調(diào)節(jié)絲杠固接的左右調(diào)節(jié)旋鈕；所述的測(cè)量支架包括連接所述的激光位移傳感器和電渦流傳感器的圓弧連接臂、和連接所述的激光位移傳感器和霍爾傳感器的直線連接臂。
5.如權(quán)利要求4所述的回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的激光位移傳感器、霍爾傳感器和電渦流傳感器分別設(shè)有使對(duì)應(yīng)的傳感器靠近或遠(yuǎn)離所述的被測(cè)回轉(zhuǎn)體的上下微調(diào)裝置，所述的上下微調(diào)裝置包括與所述的測(cè)量支架固接的上下微調(diào)螺母和與所述的上下微調(diào)螺母固接的上下微調(diào)絲杠，所述的上下微調(diào)絲杠上設(shè)有上下微調(diào)旋鈕。
專利摘要回轉(zhuǎn)體電跳動(dòng)量測(cè)量系統(tǒng)，包括測(cè)量支架，測(cè)量支架上安裝有對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面相對(duì)移動(dòng)距離的激光位移傳感器，和對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、以測(cè)量被測(cè)回轉(zhuǎn)體表面的綜合跳動(dòng)量的電渦流傳感器，以及對(duì)準(zhǔn)被測(cè)回轉(zhuǎn)體、獲取被測(cè)回轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)角度的霍爾傳感器；被測(cè)回轉(zhuǎn)體上設(shè)有能被霍爾傳感器識(shí)別的標(biāo)記；激光位移傳感器和電渦流傳感器以及霍爾傳感器均與處理器連接，處理器用綜合跳動(dòng)量減去相對(duì)移動(dòng)距離獲得電跳動(dòng)量；激光位移傳感器與電渦流傳感器位于同一個(gè)圓周上，圓周與被測(cè)回轉(zhuǎn)體同軸；霍爾傳感器與激光位移傳感器形成的直線與被測(cè)回轉(zhuǎn)體的軸線平行。本實(shí)用新型具有能夠?qū)崿F(xiàn)在線實(shí)時(shí)測(cè)量、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01B11/00GK202216664SQ20112031660
公開(kāi)日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月27日
發(fā)明者尹海, 曹衍龍, 李結(jié)凍, 楊將新, 賴海鳴, 陳小龍 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)