專利名稱：一種激光檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空等離子體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于真空等離子體設(shè)備的激光檢測裝置。
背景技術(shù)：
在淀積和濺射等等離子體工藝中，所用的載片臺需要轉(zhuǎn)動，使薄膜的厚度均勻一致。通常在腔室內(nèi)底部加上一個磁性開關(guān)或接近開關(guān)，當(dāng)載片臺到達預(yù)定位置時，產(chǎn)生一個到位信號，使載片臺固定在指定位置，取放芯片。傳統(tǒng)的方法，測量和定位精度差、拆裝維護不方便，在等離子工藝條件下，易產(chǎn)生反應(yīng)物污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種激光檢測裝置，在淀積和濺射等等離子體工藝中，實現(xiàn)高精度、快速檢測和定位。為了達到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為
一種激光檢測裝置，包括激光器筒體和設(shè)置在所述激光器筒體下方的激光器，所述激光器筒體下端設(shè)有透光玻璃；所述激光檢測裝置設(shè)置在真空室下部。上述方案中，所述激光器筒體為圓柱筒狀。上述方案中，所述激光器筒體通過激光器支架與所述激光器連接。上述方案中，所述激光器與真空室載片臺的距離為5 5000mm。上述方案中，所述透光玻璃厚度為1 20mm，直徑為1 200mm。上述方案中，所述透光玻璃的材料為石英或聚碳酸酯。上述方案中，所述激光器筒體和激光器支架的材質(zhì)為金屬材料，所述金屬材料為鋁合金或不銹鋼。上述方案中，所述激光器檢測移動物體精度的速度為0. 01 10mm/S，所述激光器檢測固定物體的檢測精度0. 001 10mm。與現(xiàn)有技術(shù)方案相比，本發(fā)明采用的技術(shù)方案產(chǎn)生的有益效果如下
本發(fā)明設(shè)置在真空室外部，實現(xiàn)動態(tài)檢測載片臺位置和移動速度，在等離子體工藝中可以保持真空腔室對真空度的要求；保持激光器結(jié)構(gòu)和信號采集不會受等離子電磁場的干擾；等離子體啟輝條件下，不會污染激光檢測裝置，同時便于操作和維護。


圖1為本發(fā)明實施例提供的進氣結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明技術(shù)方案進行詳細(xì)描述。如圖1所示，本發(fā)明實施例提供一種激光檢測裝置，安裝在真空室2的下部，包括圓柱筒狀的激光器筒體3和設(shè)置在激光器筒體3下方的激光器8。激光器筒體3通過激光
3器支架4與激光器8連接，激光器8包括發(fā)射器6和接收器7 ；激光器筒體3下端設(shè)有透光玻璃5，透光玻璃的材料為石英或聚碳酸酯，透光玻璃厚度為1 20mm，直徑為1 200mm。 激光器8與真空室載片臺1的距離為5 5000mm。激光器筒體3和激光器支架4的材質(zhì)為鋁合金或不銹鋼等金屬材料。激光器8檢測移動物體精度的速度為0. 01 lOmm/s，激光器 8檢測固定物體的檢測精度0. OOl 10mm。本發(fā)明在工作時，發(fā)射器6發(fā)射光通過透光玻璃5，到達載片臺1上的被檢測物體， 激光被反射由接收器7接受，獲得信號，接入計算機實現(xiàn)檢測和控制。當(dāng)載片臺1在預(yù)定位置停止，然后取放芯片，為工藝實驗做好準(zhǔn)備。激光器8檢測距離在1 5000mm范圍，檢測精度由激光器8和安裝支架4的精度、以及測量的距離決定，為0. Ol 10mm。激光器支架 4安裝時，確保激光檢測的位置在筒體的中間部分，可保證測量的清晰度和精度，以及測量的重復(fù)性。本發(fā)明可以在真空腔室外部安裝，激光器支架的安裝距離可以調(diào)整，實現(xiàn)動態(tài)檢測載片臺位置和移動速度。本發(fā)明還可以保持真空腔室對真空度的要求，保持激光器結(jié)構(gòu)和信號采集不會受等離子電磁場的干擾，在等離子體啟輝條件下，不會污染激光檢測裝置。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種激光檢測裝置，其特征在于包括激光器筒體和設(shè)置在所述激光器筒體下方的激光器，所述激光器筒體下端設(shè)有透光玻璃；所述激光檢測裝置設(shè)置在真空室下部。
2.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于所述激光器筒體為圓柱筒狀。
3.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于所述激光器筒體通過激光器支架與所述激光器連接。
4.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于所述激光器與真空室載片臺的距離為5 5000mm。
5.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于所述透光玻璃厚度為1 20mm，直徑為1 200mm。
6.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于所述透光玻璃的材料為石英或聚碳酸酯。
7.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于所述激光器筒體和激光器支架的材質(zhì)為金屬材料，所述金屬材料為鋁合金或不銹鋼。
8.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于所述激光器檢測移動物體精度的速度為0. 01 lOmm/s，所述激光器檢測固定物體的檢測精度0. 001 10mm。
全文摘要
本發(fā)明涉及真空等離子體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于真空等離子體設(shè)備的激光檢測裝置。所述激光檢測裝置，包括激光器筒體和設(shè)置在所述激光器筒體下方的激光器，所述激光器筒體下端設(shè)有透光玻璃；所述激光檢測裝置設(shè)置在真空室下部。本發(fā)明設(shè)置在真空室外部，實現(xiàn)動態(tài)檢測載片臺位置和移動速度，在等離子體工藝中可以保持真空腔室對真空度的要求；保持激光器結(jié)構(gòu)和信號采集不會受等離子電磁場的干擾；等離子體啟輝條件下，不會污染激光檢測裝置，同時便于操作和維護。
文檔編號G01P3/36GK102506712SQ20111034536
公開日2012年6月20日 申請日期2011年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月4日
發(fā)明者劉訓(xùn)春, 夏洋, 席峰, 張慶釗, 李勇滔, 李楠, 王佳 申請人:中國科學(xué)院微電子研究所