專利名稱：去電裝置的監(jiān)視裝置及監(jiān)視方法及去電裝置的監(jiān)視用程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及去電裝置的監(jiān)視裝置、去電裝置的監(jiān)視方法及去電裝置的監(jiān)視用程 序，更詳細(xì)而言，涉及用于進(jìn)行被檢查體的電氣特性檢查的檢查裝置的去電裝置的監(jiān)視裝 置、去電裝置的監(jiān)視方法及去電裝置的監(jiān)視用程序。
背景技術(shù)：
檢查裝置用于檢查在前工序中所制造的被檢查體(例如半導(dǎo)體晶片)的電氣特 性。檢查裝置包括以盒為單位收納半導(dǎo)體晶片的裝載室，對從該裝載室接收到的半導(dǎo)體晶 片進(jìn)行電氣特性檢查的探針室。裝載室具備一枚枚搬送半導(dǎo)體晶片的晶片搬送機構(gòu)、在經(jīng)由晶片搬送機構(gòu)在搬送 半導(dǎo)體晶片的期間使半導(dǎo)體晶片的朝向一致的預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)(以下稱為“副卡盤”)。而且， 探針室具備載置半導(dǎo)體晶片并在x、Y、z及θ方向上移動的載置臺(以下稱為“主卡盤”)、 配置于主卡盤上方的探針卡、對探針卡的探針和主卡盤上的半導(dǎo)體晶片的電極焊盤進(jìn)行對 準(zhǔn)的對準(zhǔn)機構(gòu)。另外，在形成探針室的上表面的封頭上配置與探針卡電接觸的測試頭，通過 測試頭在測試器和探針卡之間收發(fā)規(guī)定的信號。在探針室內(nèi)進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的電氣特性檢查時，主卡盤和對準(zhǔn)機構(gòu)協(xié)同動作來對 主卡盤上的半導(dǎo)體晶片的電極焊盤和探針卡的探針進(jìn)行對準(zhǔn)后，主卡盤移動并使半導(dǎo)體晶 片與探針卡電接觸而對半導(dǎo)體晶片的多個器件進(jìn)行電氣特性檢查。在檢查后，主卡盤下降 使半導(dǎo)體晶片離開探針卡后，主卡盤進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的分度進(jìn)給來對所有的器件順次進(jìn)行 電氣特性檢查。但是，在進(jìn)行檢查時，由于主卡盤在移動時與空氣的摩擦等使主卡盤、半導(dǎo)體晶片 上產(chǎn)生靜電。該現(xiàn)象難于避免，若直接放置則由于靜電的影響在檢查中器件的配線構(gòu)造有 可能會損傷。特別是這樣的現(xiàn)象由于器件的微細(xì)構(gòu)造化而變得顯著。于是，本申請人在專 利文獻(xiàn)1中提出了通過主卡盤除去半導(dǎo)體晶片上所帶的靜電的去電裝置。該去電裝置在探 針室內(nèi)進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的電氣特性檢查時，通過主卡盤使半導(dǎo)體晶片離開探針卡，在分度 進(jìn)給半導(dǎo)體晶片時除去主卡盤上的半導(dǎo)體晶片所帶的靜電，當(dāng)半導(dǎo)體晶片與探針卡進(jìn)行電 接觸來進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的電氣特性檢查時不進(jìn)行去電。S卩、主卡盤經(jīng)由接地用配線而接地，該接地用配線上設(shè)置有構(gòu)成去電裝置的繼電 器開關(guān)。繼電器開關(guān)在控制器的控制下進(jìn)行接地用配線的電路的開閉，在半導(dǎo)體晶片與探 針卡進(jìn)行電接觸時繼電器開關(guān)斷開接地用配線的電路而不進(jìn)行去電，在這以外時繼電器開 關(guān)使接地用配線的電路閉合通過主卡盤除去半導(dǎo)體晶片所帶的靜電。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-180580號公報但是，在專利文獻(xiàn)1的去電裝置的情況下，由于使用繼電器開關(guān)進(jìn)行去電，所以若 繼電器開關(guān)重復(fù)進(jìn)行開閉動作，則往往繼電器開關(guān)的可動接點和固定接點熔敷。若繼電器 開關(guān)熔敷則繼電器開關(guān)在應(yīng)該斷開接地用配線的電路時不進(jìn)行應(yīng)該的動作而還是閉合，因 此即使半導(dǎo)體晶片和探針卡電接觸而進(jìn)行器件的電氣特性檢查時也繼續(xù)從主卡盤放電，在
3半導(dǎo)體晶片和探針卡電接觸來進(jìn)行檢查之時半導(dǎo)體晶片的電磁環(huán)境較大地變動而對半導(dǎo) 體晶片的電氣特性檢查造成壞影響，存在有損檢查的可靠性的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是為了解決上述課題而做出的，目的在于提供一種在進(jìn)行被檢查體的電 氣特性檢查時，能夠監(jiān)視除去被處理體所帶的靜電的去電裝置來進(jìn)行高可靠性的電氣特性 檢查的去電裝置的監(jiān)視裝置、去電裝置的監(jiān)視方法以及去電裝置的監(jiān)視用程序。本發(fā)明的第一技術(shù)方案所記載的去電裝置的監(jiān)視裝置，其是監(jiān)視載置了被檢查體 的載置臺和探針卡相對地移動，在上述載置臺上的上述被檢查體和上述探針卡電接觸來進(jìn) 行上述被檢查體的電氣特性檢查的期間，使用放電開關(guān)電路使對上述載置臺進(jìn)行接地的接 地用配線的電路閉合而從上述載置臺除去上述被檢查體所帶的靜電的去電裝置的裝置，該 監(jiān)視裝置具備檢測開關(guān)電路，其與上述放電開關(guān)電路聯(lián)動并且檢測上述放電開關(guān)電路的 誤動作；檢測驅(qū)動電路，其開閉該檢測開關(guān)電路；以及判定電路，其通過上述檢測開關(guān)電路 判定上述放電開關(guān)電路的誤動作。 而且，本發(fā)明的第二技術(shù)方案所記載的去電裝置的監(jiān)視裝置，在第一方面所記載 的發(fā)明中，上述去電裝置具有上述放電開關(guān)電路、開閉上述放電開關(guān)電路的放電驅(qū)動電路， 上述放電開關(guān)電路，在上述被檢查體未與上述探針卡電接觸時使上述接地用配線的電路閉 合來從上述載置臺除去上述被檢查體所帶的靜電，在上述被檢查體與上述探針卡電接觸時 斷開上述接地用配線的電路來中斷從上述載置臺的放電。而且，本發(fā)明的第三技術(shù)方案所記載的去電裝置的監(jiān)視裝置，在第一方面或第二 方面所記載的發(fā)明中，上述接地用配線與上述載置臺的載置面連接。另外，本發(fā)明的第四技術(shù)方案所記載的去電裝置的監(jiān)視裝置，在第一方面或第二 方面所記載的發(fā)明中，上述檢測開關(guān)電路及檢測驅(qū)動電路作為繼電器開關(guān)而構(gòu)成。而且，本發(fā)明的第五技術(shù)方案所記載的去電裝置的監(jiān)視方法，其是監(jiān)視相對地移 動載置了被檢查體的載置臺和探針卡，在使上述載置臺上的上述被檢查體和上述探針卡電 接觸來進(jìn)行上述被檢查體的電氣特性檢查期間，使用放電開關(guān)電路使對上述載置臺進(jìn)行接 地的接地用配線的電路閉合而從上述載置臺除去上述被檢查體所帶的靜電的去電裝置的 方法，上述去電裝置的監(jiān)視方法包括以下步驟第一步驟，在上述被檢查體未與上述探針卡 電接觸時，監(jiān)視為了從上述載置臺除去上述靜電而使上述接地用配線的電路閉合的上述放 電開關(guān)電路；第二步驟，在上述被檢查體與上述探針卡電接觸時，監(jiān)視為了停止從上述載置 臺除去靜電而斷開上述接地用配線的電路的上述放電開關(guān)電路；第三步驟，在上述第一步 驟中斷開了上述放電開關(guān)電路時，判定上述放電開關(guān)電路誤動作。而且，本發(fā)明的第六技術(shù)方案所記載的去電裝置的監(jiān)視用程序，其是計算機驅(qū)動 來執(zhí)行監(jiān)視相對地移動載置了被檢查體的載置臺和探針卡，在使上述載置臺上的上述被檢 查體和上述探針卡電接觸來進(jìn)行上述被檢查體的電氣特性檢查期間，使用放電開關(guān)電路使 對上述載置臺進(jìn)行接地的接地用配線的電路閉合而從上述載置臺除去上述被檢查體所帶 的靜電的去電裝置的方法的程序，上述去電裝置的監(jiān)視用程序包括以下步驟第一步驟，在 上述被檢查體未與上述探針卡電接觸時，監(jiān)視為了從上述載置臺除去上述靜電而使上述接 地用配線的電路閉合的上述放電開關(guān)電路；第二步驟，在上述被檢查體與上述探針卡電接觸時，監(jiān)視為了停止從上述載置臺除去靜電而斷開上述接地用配線的電路的上述放電開關(guān) 電路；第三步驟，在上述第一步驟中斷開了上述放電開關(guān)電路時，判定上述放電開關(guān)電路誤 動作。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種在進(jìn)行被檢查體的電氣特性檢查時，能夠監(jiān)視除去被 處理體所帶的靜電的去電裝置來進(jìn)行高可靠性的電氣特性檢查的去電裝置的監(jiān)視裝置、去 電裝置的監(jiān)視方法以及去電裝置的監(jiān)視用程序。


圖1是局部截斷地表示適用了本發(fā)明的去電裝置的一實施方式的檢查裝置的主 視圖。圖2是表示設(shè)置于圖1所示的檢查裝置的去電裝置的構(gòu)成的框圖。附圖符號說明10-檢查裝置；14-主卡盤(載置臺)；14A-卡盤頂層；15-探針卡；15A-探針； 18-接地用配線；20-去電裝置；21-放電電路；21A-放電開關(guān)電路；21B-放電驅(qū)動電路； 22-監(jiān)視電路；22A-檢測開關(guān)電路；22B-檢測驅(qū)動電路；22C-基準(zhǔn)電壓電路；W-半導(dǎo)體晶片
具體實施例方式下面，基于圖1、圖2所示的實施方式說明本發(fā)明。例如圖1所示，具備了本實施方式的去電裝置的檢查裝置10構(gòu)成為具備裝載室 11、探針室12、和驅(qū)動控制裝載室11和探針室12內(nèi)的各種設(shè)備的控制裝置13，在控制裝置 13的控制下一邊驅(qū)動控制各種設(shè)備一邊進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的電氣特性檢查。圖1中雖未圖示，但裝載室11通常具備以盒為單位收納多個半導(dǎo)體晶片W的收 納部、相對于盒搬出搬入半導(dǎo)體晶片W的晶片搬送機構(gòu)、進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的預(yù)對準(zhǔn)的副卡 盤。在裝載室11內(nèi)，在晶片搬送機構(gòu)搬送半導(dǎo)體晶片W的期間由副卡盤進(jìn)行了預(yù)對準(zhǔn)后， 在和探針室之間進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的轉(zhuǎn)移。如圖1所示，探針室I2具備載置從晶片搬送機構(gòu)接到的半導(dǎo)體晶片并向水平方 向和上下方向移動的載置臺(以下稱為“主卡盤”)14、配置于該主卡盤14上方的探針卡15、 對該探針卡15的多個探針15A和主卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W的多個電極焊盤進(jìn)行對準(zhǔn)的 對準(zhǔn)機構(gòu)(未圖示)。在探針室12內(nèi)，通過對準(zhǔn)機構(gòu)對主卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W的多個 電極焊盤和探針卡15的多個探針15A進(jìn)行了對準(zhǔn)后，使探針卡15的多個探針15A和半導(dǎo) 體晶片W的多個電極焊盤電接觸來進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查。在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片 W的電氣特性檢查時，經(jīng)由配置于探針卡15上表面的測試頭T在測試器(未圖示)和探針 卡15之間收發(fā)規(guī)定的信號。另外，探針卡15被固定于封頭(Head Plate) 16的開口部。如圖1所示，主卡盤14構(gòu)成為具備例如真空吸附半導(dǎo)體晶片W的卡盤頂層14A、 使卡盤頂層14A升降的升降機構(gòu)14B，通過XY工作臺17沿水平方向移動并通過升降機構(gòu) 14B卡盤頂層14A進(jìn)行升降。在卡盤頂層14A的表面形成有由金等構(gòu)成的導(dǎo)體膜。該卡盤 頂層14A連接有接地用配線18，如后所述通過接地用配線18除去卡盤頂層14A上的半導(dǎo)體 晶片W所帶的靜電并向地側(cè)放電。在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查時，在被形成于半導(dǎo)體晶片W的多個器件上帶有靜電，因此往往該靜電對各個器件的電氣特性檢查產(chǎn)生不良影響。于是，在本實施方式 中，例如將圖1、圖2所示的去電裝置20設(shè)置于檢查裝置10的裝載室11的上表面，使用去 電裝置20除去主卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W所帶的靜電，并且通過去電裝置20所附帶的監(jiān) 視裝置監(jiān)視去電裝置20。以下基于圖1、圖2對本實施方式的去電裝置的監(jiān)視裝置及使用 該監(jiān)視裝置的本發(fā)明的去電裝置的監(jiān)視方法的一實施方式進(jìn)行說明。用于實施本發(fā)明的監(jiān) 視方法的監(jiān)視用程序存儲于作為控制裝置13的計算機的存儲部，并在驅(qū)動計算機來進(jìn)行 半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查時被執(zhí)行。例如圖1、圖2所示，適用了本實施方式的監(jiān)視裝置的去電裝置20構(gòu)成為具備通 過接地用配線18除去主卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W所帶的靜電的放電電路21、監(jiān)視放電電 路21的監(jiān)視裝置(以下稱為“監(jiān)視電路”)22、分別驅(qū)動控制放電電路21和監(jiān)視電路22的 控制器23、以及收納這些的殼體24，并且去電裝置20配置于裝載室11的上表面，在控制器 23的控制下驅(qū)動。在去電裝置20上經(jīng)由連接器19連接有接地用配線18，通過去電裝置20 除去卡盤頂層14A上的半導(dǎo)體晶片W所帶的靜電并向地側(cè)放電，并且通過監(jiān)視電路22監(jiān)視 放電電路21。該監(jiān)視電路22能夠通過放電電路21監(jiān)視去電裝置20。如圖2所示，放電電路21構(gòu)成為具有與接地用配線18連接以便開閉接地用配線 18的電路的放電開關(guān)21A、開閉放電開關(guān)電路21A的放電驅(qū)動電路21B，在控制器23的控 制下通過放電驅(qū)動電路21B驅(qū)動，開閉接地用配線18的電路。S卩、控制器23具有輸出使去 電裝置20驅(qū)動的指令信號的輸出電路23A，基于來自輸出電路23A的指令信號放電電路21 進(jìn)行驅(qū)動。放電電路21例如由繼電器開關(guān)構(gòu)成。放電電路21以下面的定時開閉接地用配線18的電路。S卩、當(dāng)在控制裝置13的控 制下主卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W沒有與探針卡15接觸時，即當(dāng)半導(dǎo)體晶片W為了離開探 針卡15而升降時或進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的分度進(jìn)給時，在控制器23的控制下放電開關(guān)電路 21A通過放電驅(qū)動電路21B驅(qū)動而使接地用配線18的電路閉合后從主卡盤14除去半導(dǎo)體 晶片W所帶的靜電并向地側(cè)放電，盡可能地減小在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查時靜 電的影響，總是能夠進(jìn)行穩(wěn)定且高可靠性的檢查。而且，當(dāng)控制裝置13的控制下主卡盤14 上的半導(dǎo)體晶片W與探針卡15電接觸來進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查時，在控制器23 的控制下放電驅(qū)動電路21B驅(qū)動放電開關(guān)電路21A而斷開接地用配線18的電路而中斷從 主卡盤14向地側(cè)A的放電，使半導(dǎo)體晶片W的電磁環(huán)境變得穩(wěn)定。另外，如圖2所示，監(jiān)視電路22具有連接從接地用配線18分支的配線18A的且檢 測放電電路21的誤動作的檢測開關(guān)電路22A、開閉檢測開關(guān)電路22A的檢測驅(qū)動電路22B、 通過檢測開關(guān)電路22B判定放電電路21的誤動作的判定電路22C、以及向判定電路22C施 加基準(zhǔn)電壓的基準(zhǔn)電壓電路22D。檢測開關(guān)電路22A和檢測驅(qū)動電路22B與放電電路21 (放 電開關(guān)電路21A和放電驅(qū)動電路21B)并聯(lián)地與連接于卡盤頂層14A的接地用配線18連接， 例如與放電電路21同樣地構(gòu)成為繼電器開關(guān)。檢測開關(guān)電路22A基于來自控制器23的輸 出電路23A的指令信號被檢測驅(qū)動電路22B驅(qū)動，以與放電開關(guān)電路21A相反的定時開閉 配線18A的電路。即、檢測開關(guān)電路22A在放電開關(guān)電路21A閉合時斷開，而在放電開關(guān)電 路21A斷開時閉合。監(jiān)視電路22以以下的定時開閉配線18A的電路。S卩、當(dāng)在控制裝置13的控制下 主卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W沒有接觸探針卡15時，換言之，當(dāng)在控制器23的控制下放電開關(guān)電路21A使接地用配線18的電路閉合而從卡盤頂層14A放電之時，在控制器23的控 制下檢測開關(guān)電路22A通過檢測驅(qū)動電路22B驅(qū)動來斷開配線18A的電路。另外，當(dāng)在控 制裝置13的控制下主卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W與探針卡15電接觸而進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W 的電氣特性檢查時，換言之，當(dāng)在控制器23的控制下放電開關(guān)電路21A斷開接地用配線18 的電路而中斷從卡盤頂層14A的放電時，在控制器23的控制下檢測開關(guān)電路22A通過檢測 驅(qū)動電路22B驅(qū)動而使配線18A的電路閉合。檢測開關(guān)電路22A和判定電路22C通過配線18A相互連接。通過配線18A分別向 這些檢測開關(guān)電路22A和判定電路22C施加固有的電壓，施加于判斷電路22C的電壓作為 相對于基準(zhǔn)電壓的比較電壓而被利用。在監(jiān)視電路22中，例如由于繼續(xù)使用去電裝置20而導(dǎo)致放電開關(guān)電路21A的可 動接點和固定接點熔敷，則放電驅(qū)動電路21B即使要斷開放電開關(guān)電路21A也不會斷開。因 此，在半導(dǎo)體晶片W和探針卡15電接觸來進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查時，本來放電 開關(guān)電路21A應(yīng)該斷開而中斷從卡盤頂層14A的放電，但放電開關(guān)電路21A —直閉合而成 為從卡盤頂層14A向地側(cè)持續(xù)放電的狀態(tài)。此時，由于在監(jiān)視電路22處檢測開關(guān)22A也閉合著配線18A，所以配線18A也通過 接地用配線18和放電開關(guān)21A被接地，判定電路22C的比較電壓比基準(zhǔn)電壓低，從判定電 路22C向控制器23的輸入電路23B輸出表示放電開關(guān)電路21A的誤動作的判定信號?？?制器23基于輸入到輸入電路23A的判定信號將Low信號向控制裝置12輸出，將放電電路 21的誤動作告知控制裝置13并且從輸出電路23A向檢測驅(qū)動電路22B輸出Low信號而斷 開檢測開關(guān)22A。當(dāng)放電電路21正常動作時從監(jiān)視電路22的判定電路22C向控制裝置13 輸出High信號作為判定信號來向控制裝置13告知沒有誤動作，并且從輸出電路23A向檢 測驅(qū)動電路22B輸出High信號來將檢測開關(guān)22A保持為閉合。接著，對使用本實施方式的監(jiān)視用程序的本發(fā)明的去電方法的一實施方式進(jìn)行說 明。在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查的情況下，在裝載室11內(nèi)晶片搬送機構(gòu)從收 納部搬出半導(dǎo)體晶片W，在副卡盤進(jìn)行了預(yù)對準(zhǔn)后，在探針室12內(nèi)將半導(dǎo)體晶片W載置于 進(jìn)行待機的主卡盤14上。在半導(dǎo)體晶片W從盒被載置到主卡盤14的卡盤頂層14A上的期 間，在去電裝置20中放電電路21的放電開關(guān)電路21A通過放電驅(qū)動電路21B使接地用配 線18的電路閉合，除去卡盤頂層14A所帶的靜電，向地側(cè)放電。若晶片搬送機構(gòu)將半導(dǎo)體晶片W載置于卡盤頂層14A上，則在卡盤頂層14A上真 空吸附了半導(dǎo)體晶片W后，主卡盤14沿水平方向移動。若在卡盤頂層14A吸附固定半導(dǎo)體 晶片W則通過卡盤頂層14A在那之前將半導(dǎo)體晶片W所帶的靜電通過卡盤頂層14A除去。 在主卡盤14移動的期間，主卡盤14與對準(zhǔn)機構(gòu)協(xié)同動作來進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電極焊盤 和探針卡15的探針15A的對準(zhǔn)。在該期間雖然靜電也要附著于半導(dǎo)體晶片W和卡盤頂層 14A上，但由于卡盤頂層14A接地，所以在半導(dǎo)體晶片W與探針15A接觸之前的期間，半導(dǎo)體 晶片W及卡盤頂層14A的靜電通過卡盤頂層14A被除去，因此半導(dǎo)體晶片W未帶有靜電。半導(dǎo)體晶片W對準(zhǔn)后，主卡盤14將半導(dǎo)體晶片W內(nèi)的最初的器件水平移動到探針 15A的正下方，在該位置主卡盤14的升降機構(gòu)14B驅(qū)動半導(dǎo)體晶片W上升，器件的電極焊盤 與探針15A接觸。在該接觸的同時在控制器23的控制下放電開關(guān)電路21A通過放電驅(qū)動
7電路21B斷開接地用配線18的電路，解除卡盤頂層14A的接地，中斷從半導(dǎo)體晶片W和卡 盤頂層14A去電。若最初的器件的檢查結(jié)束，則卡盤頂層14A通過升降機構(gòu)14B下降來解除器件的 電極焊盤和探針15A的接觸。與該下降動作同時放電開關(guān)電路21A通過放電驅(qū)動電路21B 使接地用配線18的電路閉合而從卡盤頂層14A在檢查中除去半導(dǎo)體晶片W和卡盤頂層14A 所帶的靜電，向地側(cè)放電。然后，主卡盤14沿水平方向移動并對半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行分度進(jìn)給，下一個器件到 達(dá)探針15A的正下方后，卡盤頂層14A通過升降機構(gòu)14B上升，器件的電極焊盤和探針15A 電接觸。在從卡盤頂層14A的下降動作到接觸動作的期間從卡盤頂層14A除去半導(dǎo)體晶片 W和卡盤頂層14A的靜電。在器件的電極焊盤和探針15A接觸的同時在控制器23的控制下 放電開關(guān)電路21A通過放電驅(qū)動電路21B斷開接地用配線18的電路，中斷從卡盤頂層14A 去電。在該狀態(tài)下重復(fù)裝置的電氣特性檢查。若結(jié)束半導(dǎo)體晶片W的最后的器件的檢查，則卡盤頂層14A下降。與該下降動作 同時在控制器23的控制下放電開關(guān)電路21A通過放電驅(qū)動電路21B使接地用配線18的電 路閉合來進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W和卡盤頂層14A的去電。之后，主卡盤14為了轉(zhuǎn)移已經(jīng)檢查、 去電過的半導(dǎo)體晶片W而向裝載室11側(cè)移動。在裝載室11中待機的晶片搬送機構(gòu)接受主 卡盤14上的半導(dǎo)體晶片W，將已檢查過的半導(dǎo)體晶片W返回盒后，從盒搬出下一個半導(dǎo)體晶 片W。在重復(fù)半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查的期間，有時放電開關(guān)電路21A熔敷，放電開 關(guān)電路誤動作。此時，在主卡盤14移動而半導(dǎo)體晶片W和探針卡15電接觸來進(jìn)行半導(dǎo)體 晶片W的電氣特性檢查時，即使在控制器23的控制下放電驅(qū)動電路21B動作，放電開關(guān)電 路21A也無法斷開接地用配線18的電路，直接繼續(xù)從卡盤頂層14A放電。由于即使在該情況下在本實施方式中的半導(dǎo)體晶片W的檢查中，監(jiān)視電路22也總 是監(jiān)視放電電路21，所以能夠瞬間檢測出放電電路21的誤動作，中斷電氣特性檢查。即、監(jiān) 視電路22的檢測開關(guān)電路22A通過檢測驅(qū)動電路2B使配線18A的電路閉合，因此檢測開 關(guān)電路22A通過配線18A和接地用配線18與地側(cè)連接。因此，從判定電路22C向檢測開關(guān) 電路22A施加的電壓迅速降低，判定電路22C的比較電壓比基準(zhǔn)電壓小而將Low信號作為 判定信號向控制器23的輸入電路23B輸出，將放電開關(guān)電路21A的誤動作、即將未切斷應(yīng) 該切斷接地用配線18的電路的放電開關(guān)電路21A而閉合著的情況作為Low信號向輸入電 路23B輸出，從控制器23向控制裝置13告知該情況。控制裝置13基于所輸入的Low信號 中斷半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查。這樣若放電電路21有時誤動作則由于中斷半導(dǎo)體晶 片W的電氣特性檢查，所以無損檢查的可靠性，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的且高可靠性的檢查。根據(jù)如上所述的本實施方式，去電裝置20的監(jiān)視裝置具備與放電開關(guān)電路21A連 動且檢測放電開關(guān)電路21A的誤動作的檢測開關(guān)電路22A、開閉檢測開關(guān)電路22A的檢測驅(qū) 動電路22B、通過檢測開關(guān)電路22A判定放電開關(guān)電路21A的誤動作的判定電路22C，由此 通過使用監(jiān)視用程序來執(zhí)行以下步驟監(jiān)視在半導(dǎo)體晶片W和探針卡15未電接觸時為了從 主卡盤14除去靜電而使接地用配線18的電路閉合的放電開關(guān)電路21A的第一步驟、監(jiān)視 在半導(dǎo)體晶片W和探針卡15電接觸時為了停止來自主卡盤14除去靜電而斷開接地用配線 18的電路的放電開關(guān)電路21A的第二步驟、在第二步驟中放電開關(guān)電路21A閉合時判定為放電開關(guān)電路21A誤動作的第三步驟，而能夠在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查時監(jiān)視 除去半導(dǎo)體晶片W所帶的靜電的去電裝置20來進(jìn)行高可靠性的電氣特性檢查。另外，根據(jù)本實施方式，去電裝置20具有放電開關(guān)電路21A、開閉放電開關(guān)電路 21A的放電驅(qū)動電路21B，放電開關(guān)電路21A在半導(dǎo)體晶片W和探針卡15沒有電接觸時使 接地用配線18的電路閉合來從主卡盤14除去半導(dǎo)體晶片W所帶的靜電，在半導(dǎo)體晶片W 和探針卡15電接觸時斷開接地用配線18的電路中斷來自主卡盤14的放電，因此能夠在監(jiān) 視電路22的監(jiān)視下穩(wěn)定地從主卡盤14除去半導(dǎo)體晶片W所帶的靜電，而能夠進(jìn)行高可靠 性的電氣特性檢查。另外，本發(fā)明毫不限定于上述實施方式，根據(jù)需要可以適當(dāng)變更各構(gòu)成要素。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠優(yōu)選地利用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的檢查裝置。
權(quán)利要求
1.一種去電裝置的監(jiān)視裝置，其是監(jiān)視相對地移動載置了被檢查體的載置臺和探針 卡，在使所述載置臺上的所述被檢查體和所述探針卡電接觸來進(jìn)行所述被檢查體的電氣特 性檢查期間，使用放電開關(guān)電路使對所述載置臺進(jìn)行接地的接地用配線的電路閉合而從所 述載置臺除去所述被檢查體所帶的靜電的去電裝置的裝置，所述去電裝置的監(jiān)視裝置其特 征在于，具備檢測開關(guān)電路，其與所述放電開關(guān)電路連動并且檢測所述放電開關(guān)電路的誤動作； 檢測驅(qū)動電路，其開閉該檢測開關(guān)電路；以及 判定電路，其通過所述檢測開關(guān)電路判定所述放電開關(guān)電路的誤動作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去電裝置的監(jiān)視裝置，其特征在于，所述去電裝置具有所述放電開關(guān)電路、開閉所述放電開關(guān)電路的放電驅(qū)動電路， 所述放電開關(guān)電路，在所述被檢查體未與所述探針卡電接觸時閉合所述接地用配線的 電路來從所述載置臺除去所述被檢查體所帶的靜電，在所述被檢查體與所述探針卡電接觸 時斷開所述接地用配線的電路來中斷從所述載置臺放電。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的去電裝置的監(jiān)視裝置，其特征在于， 所述接地用配線與所述載置臺的載置面連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的去電裝置的監(jiān)視裝置，其特征在于， 所述檢測開關(guān)電路及檢測驅(qū)動電路構(gòu)成為繼電器開關(guān)。
5.一種去電裝置的監(jiān)視方法，其是監(jiān)視相對地移動載置了被檢查體的載置臺和探針 卡，在使所述載置臺上的所述被檢查體和所述探針卡電接觸來進(jìn)行所述被檢查體的電氣特 性檢查期間，使用放電開關(guān)電路閉合對所述載置臺進(jìn)行接地的接地用配線的電路而從所述 載置臺除去所述被檢查體所帶的靜電的去電裝置的方法，所述去電裝置的監(jiān)視方法其特征 在于，包括以下步驟第一步驟，監(jiān)視在所述被檢查體未與所述探針卡電接觸時，為了從所述載置臺除去所 述靜電而使所述接地用配線的電路閉合的所述放電開關(guān)電路；第二步驟，監(jiān)視在所述被檢查體與所述探針卡電接觸時，為了停止從所述載置臺除去 靜電而斷開所述接地用配線的電路的所述放電開關(guān)電路；第三步驟，在所述第一步驟中斷開了所述放電開關(guān)電路時，判定所述放電開關(guān)電路誤 動作。
6.一種去電裝置的監(jiān)視用程序，其是計算機驅(qū)動來執(zhí)行監(jiān)視去電裝置的方法的程序， 該去電裝置使被檢查體的載置臺和探針卡相對地移動，在所述載置臺上的所述被檢查體和 所述探針卡電接觸來進(jìn)行所述被檢查體的電氣特性檢查期間，使用放電開關(guān)電路使對所述 載置臺進(jìn)行接地的接地用配線的電路閉合而從所述載置臺除去所述被檢查體所帶的靜電 的，所述去電裝置的監(jiān)視用程序其特征在于，包括以下步驟第一步驟，監(jiān)視在所述被檢查體未與所述探針卡電接觸時，為了從所述載置臺除去所 述靜電而使所述接地用配線的電路閉合的所述放電開關(guān)電路；第二步驟，監(jiān)視在所述被檢查體與所述探針卡電接觸時，為了停止從所述載置臺除去 靜電而斷開所述接地用配線的電路的所述放電開關(guān)電路；第三步驟，在所述第一步驟中斷開了所述放電開關(guān)電路時，判定為所述放電開關(guān)電路 誤動作。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的電氣特性檢查時，能夠監(jiān)視除去被處理體所帶的靜電的去電裝置來進(jìn)行高可靠性的電氣特性檢查的去電裝置的監(jiān)視裝置、去電裝置的監(jiān)視方法及去電裝置的監(jiān)視用程序。本發(fā)明的去電裝置的監(jiān)視裝置(監(jiān)視電路)是監(jiān)視相對地移動主卡盤和探針卡，在使主卡盤上的半導(dǎo)體晶片和探針卡接觸來進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的電氣特性檢查時，使用放電開關(guān)電路從主卡盤除去半導(dǎo)體晶片所帶的靜電的去電裝置的裝置，具備檢測開關(guān)電路，其與去電裝置的放電開關(guān)電路連動并且檢測所述放電開關(guān)電路的誤動作；檢測驅(qū)動電路，其開閉該檢測開關(guān)電路；以及判定電路，其通過檢測開關(guān)電路判定放電開關(guān)電路的誤動作。
文檔編號G01R35/00GK102004232SQ20101024285
公開日2011年4月6日 申請日期2010年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月2日
發(fā)明者篠原榮一 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社