專利名稱：一種極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于短波段光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，涉及的一種極紫外成像光學(xué)儀 器成像質(zhì)量測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
對(duì)成像光學(xué)儀器的成像質(zhì)量評(píng)價(jià)是成像光學(xué)儀器研發(fā)過程中必 不可少的環(huán)節(jié)，也是成像光學(xué)儀器應(yīng)用功能驗(yàn)證的重要指標(biāo)之一。對(duì) 成像光學(xué)儀器的光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)主要有星點(diǎn)法、刀口法、陰影 法、分辨率測(cè)量、調(diào)制傳遞函數(shù)測(cè)量等手段。其中分辨率測(cè)量是最簡(jiǎn) 單，最直接的方法。隨著極紫外光刻光學(xué)和空間高分辨率極紫外成像 光學(xué)系統(tǒng)研究的深入，迫切需要一種能在極紫外波段檢測(cè)該波段光學(xué) 成像系統(tǒng)的成像質(zhì)量的裝置。
與本發(fā)明最為接近的已有技術(shù)是中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械
與物理研究所研制的17.1nm波段CCD相機(jī)空間分辨率測(cè)試裝置(光 學(xué)精密工程，第13巻，第56~59頁，2005年11月30日)，其結(jié)構(gòu) 如圖1所示包括極紫外光源1、金屬柵網(wǎng)2、平面反射鏡3、球面 反射鏡4、待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5、極紫外相機(jī)6。
極紫外光源1發(fā)出的光通過金屬柵網(wǎng)2后，投射到平面反射鏡3 上，平面反射鏡3將光線反射到球面反射鏡4上，光束通過球面反射 鏡4反射后變?yōu)闇?zhǔn)直光，準(zhǔn)直光進(jìn)入待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5，待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5將入射的光線成像在極紫外相機(jī)6上，通過 比較金屬柵網(wǎng)2的網(wǎng)格尺度與所成的像，通過計(jì)算即可得到待測(cè)光學(xué) 系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)，由此可評(píng)價(jià)成像光學(xué)儀器的成像質(zhì)量。
該分辨率測(cè)試裝置存在的主要問題是采用牛頓式折反系統(tǒng)準(zhǔn)直 光線，需要用到兩塊反射鏡，且在準(zhǔn)直光路的中心存在遮攔，影響對(duì) 系統(tǒng)分辨率的檢測(cè)精度。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服己有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明的目的在于簡(jiǎn)化己有技術(shù) 的光路結(jié)構(gòu)，降低其對(duì)裝調(diào)技術(shù)的要求，提高反射鏡系統(tǒng)的準(zhǔn)直效果 和檢測(cè)精度。
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種極紫外成像光學(xué)儀器的成 像質(zhì)量測(cè)試裝置。解決技術(shù)問題的技術(shù)方案如圖2所示包括極紫外 光源7、金屬柵網(wǎng)8、離軸拋物面反射鏡9、待測(cè)極紫外成像光學(xué)系
統(tǒng)10、極紫外相機(jī)ll。
在極紫外光源7的光的傳播放方向上，依次放置金屬柵網(wǎng)8、離 軸拋物面反射鏡9，金屬柵網(wǎng)8放置在離軸拋物面反射鏡9的焦面處， 通過金屬柵網(wǎng)8的光線將被離軸拋物面反射鏡9準(zhǔn)直，在離軸拋物面 反射鏡9反射光的光路上依次置有待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)10、極 紫外相機(jī)11，極紫外相機(jī)11的像面放置在待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng) 10的焦面處，用于記錄金屬柵網(wǎng)8所成的像。
工作原理說明極紫外光源7發(fā)出的光通過金屬柵網(wǎng)8，照射到 離軸拋物面反射鏡9上，被其準(zhǔn)直后進(jìn)入待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)200910 10，待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)10將金屬柵網(wǎng)8成像在極紫外相機(jī)11
上，金屬柵網(wǎng)8的網(wǎng)格尺度與所成的像進(jìn)行比較，經(jīng)過計(jì)算即可得到 待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)10的分辨率數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的積極效果該裝置采用一塊離軸拋物面鏡代替已有技術(shù)
中的平面反射鏡3和球面反射鏡4，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，提高了出射 準(zhǔn)直光束能量，提高了檢測(cè)系統(tǒng)的分辨率；同時(shí)避免了原來光路系統(tǒng) 的中心遮攔，擴(kuò)人了檢測(cè)系統(tǒng)的應(yīng)用范圍。


圖1是已有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明按圖2所示的結(jié)構(gòu)實(shí)施。其中極紫外光源7可以選擇空心 陰極光源或激光等離子體光源，金屬柵網(wǎng)8用金屬鎳做原料，為矩形 網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，網(wǎng)格的大小根據(jù)對(duì)不同分辨率測(cè)量的要求來選擇，網(wǎng)柵網(wǎng) 格的精度范圍為2 25^w可以通過微機(jī)械加工方法或同步輻射LIGA 工藝制成不同精度的網(wǎng)柵；離軸拋物面反射鏡9采用微晶玻璃制作， 并經(jīng)過光學(xué)拋光處理；測(cè)量是在真空條件下進(jìn)行，極紫外光源7發(fā)出 的極紫外光束經(jīng)過精密刻畫的金屬柵網(wǎng)8后達(dá)到離軸拋物面反射鏡9 上，最后通過待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)10在極紫外相機(jī)11上成像， 通過對(duì)金屬柵網(wǎng)的網(wǎng)格尺度及其所成像進(jìn)行比較計(jì)算，即可得到待測(cè) 光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。
權(quán)利要求
1、一種極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，包括極紫外光源(7)、金屬柵網(wǎng)(8)、待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)(10)、極紫外相機(jī)(11)；其特征在于還包括離軸拋物面反射鏡(9)；在極紫外光源(7)的光的傳播放方向上，依次放置金屬柵網(wǎng)(8)、離軸拋物面反射鏡(9)，金屬柵網(wǎng)(8)放置在離軸拋物面反射鏡(9)的焦面處，通過金屬柵網(wǎng)(8)的光線將被離軸拋物面反射鏡(9)準(zhǔn)直，在離軸拋物面反射鏡(9)反射光的光路上依次置有待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)(10)、極紫外相機(jī)(11)；極紫外相機(jī)(11)像面放置在待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)(10)的焦面處。
全文摘要
一種極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，屬于短波段光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域涉及的一種成像質(zhì)量測(cè)試裝置，要解決的技術(shù)問題是提供一種極紫外成像光學(xué)儀器的成像質(zhì)量測(cè)試裝置。解決的技術(shù)方案包括極紫外光源、金屬柵網(wǎng)、離軸拋物面反射鏡、待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)、極紫外相機(jī)。在極紫外光源的光的傳播放方向上，依次放置金屬柵網(wǎng)、離軸拋物面反射鏡，金屬柵網(wǎng)放置在離軸拋物面反射鏡的焦面處，通過金屬柵網(wǎng)的光線將被離軸拋物面反射鏡準(zhǔn)直，在離軸拋物面反射鏡反射光的光路上依次置有待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)、極紫外相機(jī)；極紫外相機(jī)像面放置在待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)的焦面處。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高了測(cè)量分辨率。
文檔編號(hào)G01M11/02GK101625281SQ200910067350
公開日2010年1月13日 申請(qǐng)日期2009年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月28日
發(fā)明者巖 鞏, 巍 張, 順 李 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所