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一種極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6149809

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本發(fā)明屬于短波段光學(xué),涉及的一種極紫外成像光學(xué)儀 器成像質(zhì)量測(cè)試裝置。 背景技術(shù)對(duì)成像光學(xué)儀器的成像質(zhì)量評(píng)價(jià)是成像光學(xué)儀器研發(fā)過(guò)程中必 不可少的環(huán)節(jié),也是成像光學(xué)儀器應(yīng)用功能驗(yàn)證的重要指標(biāo)之一。對(duì) 成像光學(xué)儀器的光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)主要有星點(diǎn)法、刀口法、陰影 法、分辨率測(cè)量、調(diào)制傳遞函數(shù)測(cè)量等手段。其中分辨率測(cè)量是最簡(jiǎn) 單,最直接的方法。隨著極紫外光刻光學(xué)和空間高分辨率極紫外成像 光學(xué)系統(tǒng)研究的深入,迫切需要一種能在極紫外波段檢測(cè)該波段光學(xué) 成像系統(tǒng)的成像...
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