專利名稱:物體三維輪廓測量裝置及測量方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及物體三維輪廓測量,特別是一種物體三維輪廓測量裝置及測量方法。
背景技術(shù):
光學(xué)三維形貌測量技術(shù)廣泛應(yīng)用于各種測量領(lǐng)域,具有精度高、速度快和非接 觸性測量等優(yōu)點。目前,光學(xué)三維形貌測量技術(shù)主要采用主動光學(xué)三維測量原理, 使照明光場結(jié)構(gòu)化(點,線,光柵條紋等),利用結(jié)構(gòu)光照明被測物體,被測物體的 三維表面對照明結(jié)構(gòu)光進行調(diào)制,使物體表面的光場分布攜帶被測物體表面的三維 形貌信息。通過CCD相機拍攝調(diào)經(jīng)過調(diào)制的結(jié)構(gòu)光場的圖像,經(jīng)計算機處理,通過 三維形貌重構(gòu)算法,得到被測目標(biāo)的三維形貌信息。
特別的,利用光柵條紋作為結(jié)構(gòu)光的傅立葉變換輪廓術(shù)(FTP),由Takeda等人 于1983年提出[參見在先技術(shù)1: TakedaMitsuo,MutohKazuhiro, "Fourier transform profilometry for the automatic measurement of 3-D object shapes", Applied Optics, Vol.22,Issue.24,1983]。這種方法將光柵投影條紋作為結(jié)構(gòu)光源,通過對圖像強度分 布進行傅立葉變換、濾波、傅立葉逆變換、位相展開等圖像和信息解調(diào)算法處理, 得到測量目標(biāo)的三維形貌信息。
在已經(jīng)廣泛存在的傅立葉變換輪廓術(shù)三維測量結(jié)構(gòu)當(dāng)中,投影條紋陣列的產(chǎn)生 主要是利用正弦振幅光柵,二值振幅型透射光柵,或者是數(shù)字投影儀。
不論是正弦振幅光柵還是二值型振幅光柵,.均是靠光柵不透光部分對光強的吸 收實現(xiàn)投影條紋陣列的產(chǎn)生,能量的利用率較低。在某些實際應(yīng)用場合,實際物體 的表面能量散射較強,或者物體表面分布復(fù)雜,從而導(dǎo)致局部投影條紋過密,很容 易造成投影條紋之間的串?dāng)_。此時的解決方法往往是采用較小的光柵開口比(透光 部分與光柵周期的比值)。振幅光柵的開口比在光柵制作時確定,較小的開口比意味 著較多的能量損失,能量利用率和線條壓縮比之間存在著矛盾。
實際上,大部分的振幅型透射光柵的不透光部分,特別是數(shù)字液晶投影儀的光 柵投影系統(tǒng),仍然有一定的光強透過率,會帶來光柵投影條紋光場的明暗對比度的 下降。而數(shù)字投影儀的其他的缺點包括體積大,價格昂貴等。
利用上述振幅型光柵或數(shù)字投影儀的傅立葉變換輪廓術(shù),在產(chǎn)生一維投影陣列 條紋時,面臨著光強不均勻,能量利用率低,線條壓縮比(條紋周期和明亮條紋寬
4度的比值)不能太大等諸多問題,給三維面形的重建帶來了巨大的挑戰(zhàn)。因此,傅 立葉變換輪廓術(shù)特別需要高效率、高對比度和高壓縮比的條紋產(chǎn)生方法。
空間坐標(biāo)調(diào)制型的二值位相光柵最早是由H.達曼和K. G6rtler等于1971年提出 的[參見在先技術(shù)2: H. Dammann and K. G6rtler, "High-efficiency in-line Multiple Imaging by Multiple Phase Holograms", Opt. Comm. 1971, 3 (3): 312~315 ,及U. Killat, G. Rabe, and W. Rave, "Binary Phase Gratings for Star Couplers with High Splitting Ratio", Fiber and Intergrated Opt, 1982, 4 (2): 159-167]。這種技術(shù)利用特殊孔徑函數(shù) 的衍射光柵產(chǎn)生一維或二維的等光強陣列光束,其最初的目的是在光刻的同時獲得 一個物體的多重成像以提高生產(chǎn)效率。這種光柵后來被稱為"達曼光柵"。它是具有 特殊孔徑函數(shù)的二值位相光柵,在入射光波的夫瑯和費衍射平面上產(chǎn)生一定點陣數(shù) 目的等光強光斑,完全避免了一般振幅光柵因光強吸收不均勻引起的條紋不均勻分 布。
周常河等人給出了從2到64點陣的達曼光柵解,并詳細分析了位相制作誤差、 側(cè)壁腐蝕誤差對光柵性能的影響[參見在先技術(shù)3: C. H. Zhou and L. R. Liu, "Numerical Study of達曼Array Illuminators", Appl. Opt., 1995, 34 (26): 5961~5969]。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決上述現(xiàn)有技術(shù)中傅立葉變換輪廓術(shù)的測量結(jié)構(gòu)中利用正弦振幅光 柵,二值振幅型光柵或數(shù)字投影儀產(chǎn)生的一維投影陣列條紋的不均勻、能量利用率 低和線條壓縮比小等問題,提供一種物體三維輪廓測量裝置及測量方法,該裝置具 有測量精度高,測量裝置簡單,計算機重構(gòu)信息處理簡便和易于操作的特點。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下
一種物體三維輪廓測量裝置,其特點是該裝置由激光二極管、透鏡、小孔光闌、 二維達曼光柵、柱面鏡、面陣CCD相機、傳輸線和計算機構(gòu)成,各部件的連接關(guān)系 是所述的激光二極管發(fā)出的光束依次經(jīng)過所述的透鏡、小孔光闌、二維達曼光柵
和柱面鏡后,形成一維投影陣列條紋,照明待測目標(biāo)的表面,由所述的面陣CCD相
機采集待測目標(biāo)表面三維面形調(diào)制的光柵投影條紋,經(jīng)傳輸線輸入所述的計算機, 所述計算機具有圖像采集接口、圖像采集軟件和三維測量信息重建算法軟件。
所述的二維達曼光柵的空間分束比為NXN,該N為2以上的正整數(shù),對所述的 激光二極管的波長的衍射圖樣為正方形的均勻點陣分布。
利用上述物體三維輪廓測量裝置進行物體三維輪廓的測量方法,包括下列步驟:
①調(diào)整透鏡、二維達曼光柵和柱面鏡相互之間的距離,在投影參考平面上形成
清晰分布的一維投影陣列條紋;② 采集參考平面上的參考條紋圖像測量物體三維面形之前,調(diào)整面陣CCD相 機的對焦位置,使參考條紋在面陣CCD相機上清晰成像,采集一幅參考平面上的條 紋圖像作為參考條紋圖像,存儲于所述的計算機中;
③ 對所述的參考條紋圖像進行數(shù)字圖像處理和分析,得到參考條紋圖像的復(fù)數(shù)
信號;。(jc,力-命。(;c,力exp(/2;ir/。jc + p。(;c,力),并存儲在所述的計算機中;
④ 采集待測目標(biāo)上的形變光柵條紋圖像將待測目標(biāo)放置在參考平面上,采集 待測目標(biāo)三維面形調(diào)制而產(chǎn)生的形變光柵條紋圖像,存儲于所述的計算機中;
⑤ 對所述的形變光柵條紋圖像進行數(shù)字圖像處理和分析,得到形變條紋圖樣的
復(fù)數(shù)信息"Jc,;;h命(;c,;;)exp(Z2;r/。x + p(;c,;;)),并存儲在所述的計算機中;
⑥ 計算所述的參考條紋圖像和形變條紋圖像包含的信息差值,即相位差值將
所述的參考條紋圖像的復(fù)數(shù)信息和所述的形變條紋圖像的復(fù)數(shù)信息代入下式進行計 算
力=,一","g。* ","],得到兩幅圖像的位相差;
⑦ 對所述的位相差進行相位展開,并重構(gòu)物體的三維面形信息對所述的位相
差進行相位展開,得到展開后的相位差值A(chǔ)"x'"后,再利用
所述的數(shù)字圖像處理和分析包括圖像色彩變換、圖像幾何變換、數(shù)字圖像濾 波、傅立葉變換、自動基頻濾波和傅立葉逆變換。所述的圖像的色彩變換完成從彩 色圖像到灰度圖像的變換。所述的圖像的幾何變換將圖像像素大小裁減成2的正整 數(shù)次冪,便于傅立葉變換的數(shù)字計算。所述的數(shù)字圖像濾波包括中值濾波和均值濾 波。所述的自動基頻濾波是利用計算機自動搜索濾波窗函數(shù)的窗口大小,通過設(shè)定 閾值的方式從最大值位置向兩邊進行搜索,碰到連續(xù)多個數(shù)值小于設(shè)定閾值且變化 緩慢的像素點時,記錄第一個像素點的位置,并設(shè)定為特征點,停止搜索,并判定 到達濾波邊界,且判定峰值兩邊特征點之間的區(qū)域即為矩形濾波窗口的范圍。
本發(fā)明的技術(shù)效果
本發(fā)明將二維達曼光柵和柱面鏡應(yīng)用于傅立葉變換輪廓術(shù)三維測量裝置中,由 于達曼光柵具有譜點光強均勻、能量利用率高和譜點尺寸壓縮比(譜點間距和譜點 特征尺寸的比值)大的特點,并利用柱面鏡將譜點進行一維展開,因而解決了投影 陣列條紋光強分布不均勻,能量利用率低,壓縮比小的技術(shù)問題,產(chǎn)生的一維投影
,重構(gòu)出所測目標(biāo)的三維面形分布。
6陣列條紋具有均勻度高,亮度高,對比度高,線條壓縮比大,和條紋尖銳等優(yōu)點。 相比利用振幅光柵和正弦光柵的傅立葉變換輪廓術(shù)三維測量結(jié)構(gòu)[參考在先技術(shù)l], 具有能量利用率高,投影條紋一維分布均勻,壓縮比大以及三維面形重構(gòu)過程簡化 等優(yōu)點,測量結(jié)構(gòu)簡單,實施方便。
圖1是本發(fā)明物體三維輪廓測量裝置示意圖。
圖2是本發(fā)明所采用的二維達曼光柵和柱面鏡形成一維投影陣列條紋的原理示 意圖。
圖3是本發(fā)明所采用的傅立葉變換輪廓術(shù)的原理示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。
先請參閱圖l,圖l是本發(fā)明物體三維輪廓測量裝置示意圖。由圖可見,本發(fā)明 物體三維輪廓測量裝置,由激光二極管l、透鏡2、小孔光闌3、 二維達曼光柵4、 柱面鏡5、面陣CCD相機6、傳輸線7和計算機8構(gòu)成,各部件的連接關(guān)系是所 述的激光二極管1發(fā)出的光束依次經(jīng)過所述的透鏡2、小孔光闌3、 二維達曼光柵4 和柱面鏡5后,形成一維投影陣列條紋,照明待測目標(biāo)的表面S,由所述的面陣CCD 相機6采集被測量目標(biāo)表面S三維面形調(diào)制的光柵投影條紋,經(jīng)傳輸線7輸入所述 的計算機8,所述計算機8具有圖像采集接口、圖像采集軟件和三維測量信息重建 算法軟件。
本發(fā)明所述的測量裝置中, 一維陣列投影條紋的產(chǎn)生元件包括二維達曼光柵4 和柱面鏡5。所述的二維達曼光柵的空間分束比為NXN,該N為2以上的正整數(shù), 對所述的激光二極管1的波長的衍射圖樣為正方形的均勻點陣分布。
本發(fā)明所涉及的一維投影陣列條紋產(chǎn)生的基本原理和測量原理即傅立葉變換輪 廓術(shù)的基本原理如下
參閱圖2,圖示光路是本發(fā)明所采用的一維投影陣列條紋產(chǎn)生的基本光路原理 圖。圖中Pi表示由透鏡2、 二維達曼光柵4和柱面鏡5組成的光學(xué)系統(tǒng)的焦平面位
置,當(dāng)光路系統(tǒng)確定后,Pi平面的位置確定。P2表示一維投影陣列條紋的產(chǎn)生平面,
同時也作為傅立葉變換輪廓術(shù)測量結(jié)構(gòu)(參閱圖3)中的參考平面。J表示二維達曼 光柵4的周期大小,利用在先技術(shù)3制作的達曼光柵的參數(shù)在制作完成后為確定值。 Z)表示平面Pi和平面P2之間的距離。
二維達曼光柵4的一個矩形單元,其透過率分布為-
7~ W = reef
(1)
其中x為位相轉(zhuǎn)換點的距離,A為第A個位相轉(zhuǎn)換點的距離,Aw為第A:+l個位相 轉(zhuǎn)換點的距離。其傅立葉變換則為
2wr
(2)
其中侮二2wc^,"為達曼光柵的衍射級次,詢?yōu)榈贏:個位相轉(zhuǎn)換點在第"級衍射 級次上對應(yīng)的位相角。
總的譜點強度可表示為
、2wr八
其中/ 為達曼光柵第"級衍射級次上的光強度,且
(。"),Z(一V(s—十i -)
A:=0
a:
=(-l廣1 sin aA - sin 2肌
(a),2f;(-i)i+i(cosai+1-cos"*)
=cos - cos 2";r -1
(3)
(4)
(5)
其中(a^為所有位相轉(zhuǎn)換點在第"級衍射級次上實數(shù)部分強度的總和,(2")/為所 有位相變換點在第"級次上虛數(shù)部分強度的總和。式(3)可簡化,對于零級譜點, 零級譜點上的光強度為
1 + 2£(-1)、
"1
(6)
對非零級,其譜點強度為
,。2 r丄
7 =2 + [1 + Z (- V cos t ]2
(7)
根據(jù)衍射點陣的分束數(shù)目,達曼光柵分為奇數(shù)型和偶數(shù)型兩種。利用計算機進行數(shù) 值計算光柵解時,需考慮的目標(biāo)函數(shù)有光柵效率、最小特征尺度、均勻度等[參考在 先技術(shù)2和3]。通過計算機數(shù)值計算所得的二維達曼光柵的圖樣分布為譜點強度均 勻的二維點陣分布。
僅僅采用達曼光柵仍然不能產(chǎn)生一維分布的條紋陣列。本發(fā)明巧妙綜合利用了二維達曼光柵產(chǎn)生二維點陣分布,再利用柱面鏡將其中的一個維度上的點陣展開成 線條分布,最終實現(xiàn)了高效率,高對比度和高線條壓縮比的一維投影陣列條紋的產(chǎn) 生結(jié)構(gòu)和方法。
在圖2中,當(dāng)不考慮柱面鏡作用時,二維達曼光柵4的均勻二維點陣分布圖樣 位于平面Pi的后面。但是,由于透鏡2和柱面鏡5的組合光路縮短了光路的焦距, 使得系統(tǒng)的焦平面位于Pi平面。在平面P2上,柱面鏡5完成了二維達曼光柵4均勻 點陣沿少方向的展寬。這些展寬的光斑的疊加形成了在x維度上均勻分布,在y維 度上呈線陣分布的一維投影陣列線陣。
從理論上分析, 一維達曼光柵的一維衍射點陣也是可以通過柱面鏡完成在y空 間維度上的展開。但是,由于柱面鏡有限的空間展開角度,決定了一維達曼光柵加 上柱面鏡結(jié)構(gòu)所展開的條紋長度非常有限,限制了這種結(jié)構(gòu)的應(yīng)用。而利用二維達 曼光柵,從圖2看出,由于y方向上是對多個點同時展開,可以很好地克服展開條 紋長度有限的缺點。
參閱圖3,所示光路結(jié)構(gòu)是本發(fā)明所采用的傅立葉變換輪廓術(shù)測量原理圖。MiM2 表示投影光路的光軸方向,NhN2表示圖像采集光路的光軸方向。參考平面P2是一維
投影陣列條紋的投影參考平面,作為待測平面S的測量參考。/2(jc,力表示在物體表
面B點相對參考平面P2對應(yīng)坐標(biāo)處的高度,Z表示圖像采集光路的入瞳和光柵投影 光路之間的距離,當(dāng)光路結(jié)構(gòu)確定后,£為已知量,"表示圖像采集光路入瞳和參 考平面的距離,同樣在系統(tǒng)中為已知量。
沒有待測表面時即/^x,力-0,在參考平面P2上,條紋圖像為原始的投影條紋,
沒有形變,其光場分布可以表示為
<formula>formula see original document page 9</formula> (8)
當(dāng)上述原始投影條紋圖像投影到待測表面S時,待測表面的高度分布 /z(x,;f)^0,得到形變的條紋圖像,其光場分布可以表示為
<formula>formula see original document page 9</formula> (9)
其中,r。(x,y)ro, r(;c,y)表示上述兩種情況的非均勻的表面反射,^"表示各級傅立 葉級數(shù)的權(quán)重因子,^和p分別表示條紋圖像未經(jīng)待測表面S調(diào)制和經(jīng)過待測表面 S調(diào)制的位相分布,/fl表示投影條紋的基頻。
對(8)式進行一維傅立葉變換獲得傅立葉頻譜,對得到的頻譜進行濾波,提取 基頻分量后進行傅立葉反變換,可以得到參考條紋圖像的復(fù)數(shù)信號g。 (A力=4[ (A力exp (/2tt/。;c + p。 (x,力) (10 )
對(9)式進行同樣的處理,結(jié)果得到變形條紋圖像的復(fù)數(shù)信號-
g(U) = ^r(x,少)exp(/2;r/oX + ^7(x,少)) (11)
比較(10)和(11)式,所測物體三維面形調(diào)制投影光柵條紋的結(jié)果導(dǎo)致復(fù)指數(shù)項 中的位相發(fā)生了變化,大小為 (x,y):
A^,+ gIm[^,^°>》] 。2)
另外一個方面,從光路示意圖3中,由幾何光路可知-
Ap(x,力=p(x,y)-伊0= 2;r /0^C (13 )
1^/丄"/(丄0-/ ) (14) 由(13) (14)式可以計算待測高度^和髙度調(diào)制導(dǎo)致的位相差A(yù)p(x,y)之間 的表達關(guān)系式
(15)
在具體的測量過程中,通過(12)式從參考條紋圖像和受到測量目標(biāo)高度調(diào)制 的形變條紋圖像中進行差值計算,得到位相差A(yù)p(x,少)的數(shù)值,然后由(15)式給 出高度分布的信息。
本發(fā)明具體實施例的參數(shù)如下
所述的激光二極管1的激光中心波長為650/^。所述的二維達曼光柵4分束陣列 為21X21的二維達曼光柵,光柵周期^/=500um,最細線寬為2. 5um,光柵圖案面 積為lOmmXlOmm,并對波長650/m 的衍射點陣特征點光強分布均勻。所述的柱面鏡 5的大小為50mmX50mm,焦距為125腿。參考圖1和圖2,所述激光二極管1產(chǎn)生的 光束經(jīng)過透鏡2和小孔光闌3,得到會聚的照明光束,利用所述的二維達曼光柵4 對聚焦的光束進行分光束衍射,在透鏡2的焦面上形成清晰的21X21的二維均勻點 陣分布圖樣。利用所述的柱面鏡5將21 X21的二維均勻點陣分布圖樣在P2平面的y 方向進行展開,得到x方向均勻分布的一維投影陣列條紋,照明于測量目標(biāo)S的表 面。所述的面陣CCD相機6采集被物體表面調(diào)制的形變條紋圖樣,由傳輸線7將采 集的圖像信號傳送到計算機8。所述計算機8具有圖像采集接口,圖像采集軟件以 及三維測量信息重建算法和軟件。所述的面陣CCD相機6和柱面鏡5所在光軸的夾 角為15°。利用上述基于二維達曼光柵和柱面鏡的傅立葉變換輪廓術(shù)進行測量時
① 調(diào)整透鏡2、 二維達曼光柵4和柱面鏡5相互之間的距離,在投影參考平面 P2上形成清晰分布的一維投影陣列條紋;
② 采集參考平面P2上的條紋分布圖樣測量物體三維面形之前,調(diào)整面陣CCD 相機6的對焦位置,使參考條紋在面陣CCD相機6上清晰成像,采集一幅參考平面 上的參考條紋圖像,存儲于計算機8中;
③ 對所述的參考條紋圖像進行數(shù)字圖像處理和分析,包括圖像的色彩變換,圖 像的幾何變換,數(shù)字圖像濾波技術(shù),以提高圖像的對比度,減少圖像噪聲,然后進
行傅立葉變換、自動基頻濾波、傅立葉逆變換,得到參考條紋圖像復(fù)數(shù)信號
i。(;c,;;卜々。(x,力exp(G;r/。;c+ 并存儲在計算機8中;在自動基頻濾波
過程中,濾波窗口大小判定的連續(xù)像素點的個數(shù)設(shè)為6,判定閾值設(shè)為最大值的1/15, 即碰到峰值兩邊連續(xù)6個變化緩慢且小于閾值的像素點時,搜索過程結(jié)束。
④ 采集測量目標(biāo)上的形變光柵條紋分布圖像將測量目標(biāo)放置在參考平面上, 由于受限于面陣CCD相機6的焦深,測量物體的高度分布變化不能超出面陣CCD 相機成像的焦深范圍。采集待測目標(biāo)三維面形調(diào)制而產(chǎn)生的形變光柵條紋圖像,存 儲于計算機8中;
⑤ 對所述的進行數(shù)字圖像處理和分析,包括圖像的色彩變換,圖像的幾何變換, 數(shù)字圖像濾波技術(shù),以提高圖像的對比度,減少圖像噪聲,然后進行傅立葉變換、 自動基頻濾波、傅立葉逆變換,得到形變光柵條紋圖像的復(fù)數(shù)信號
1(;c,力命(x,力exp(ik/。x + p(jc,y)),并存儲在計算機8中;在自動基頻濾波過
程中,濾波窗口大小判定的連續(xù)像素點的個數(shù)設(shè)為6,判定閾值設(shè)為最大值的1/15, 即碰到峰值兩邊連續(xù)6個變化緩慢且小于閾值的像素點時,搜索過程結(jié)束。
⑥ 計算所述的參考條紋圖像的復(fù)數(shù)信號和所述的形變條紋圖像包含的信息差 值,即相位差值。將上述所存儲的參考條紋圖像的復(fù)數(shù)信號和形變光柵條紋圖像的 復(fù)數(shù)信號代入下式進行計算
A伊(;c,力-^g工m[g"J)f。,"力],得到兩幅圖像的位相差; Re[g(w)g。 (jc,力]
⑦ 對所述的位相差進行相位展開,并重構(gòu)物體的三維面形信息。由于計算機計
算的反正切值位于(-TT,Tl],因此相對位相分布存在不連續(xù)躍變,要對計算的位相差進
行相位展開;得到展開后的相位差值A(chǔ)^(JC,);)后,再利用A(;c,力-^4^;^1^,
11重構(gòu)出所測目標(biāo)的三維面形分布。
上述式中r^,W、咕,力分別表參考平面和待測目標(biāo)表面S的非均勻的表面反射 率,A表示各級傅立葉級數(shù)的權(quán)重因子,^^,^和^^,"表示條紋圖像未經(jīng)待測目標(biāo) 表面S調(diào)制和經(jīng)過待測目標(biāo)表面S調(diào)制的位相分布,/。表示投影光柵條紋的基頻。
本發(fā)明所述的基于二維達曼光柵和柱面鏡的傅立葉變換輪廓術(shù)三維測量結(jié)構(gòu), 具有能量利用率高,投影條紋分布均勻,壓縮比大,以及條紋清晰明亮,對比度高 等優(yōu)點,便于算法實現(xiàn)過程和三維面形重構(gòu)過程的簡化。所述測量結(jié)構(gòu)具有操作方 便,測量速度快,實施簡單,測量精度高等優(yōu)點,便于計算機處理信息,可以實現(xiàn) 自動測量,具有重要的實用價值和前景。
權(quán)利要求
1、一種物體三維輪廓測量裝置,其特征在于由激光二極管(1)、透鏡(2)、小孔光闌(3)、二維達曼光柵(4)、柱面鏡(5)、面陣CCD相機(6)、傳輸線(7)和計算機(8)構(gòu)成,各部件的連接關(guān)系是所述的激光二極管(1)發(fā)出的光束依次經(jīng)過透鏡(2)、小孔光闌(3)、二維達曼光柵(4)和柱面鏡(5)后,形成一維投影陣列條紋,照明待測目標(biāo)的表面(S),由所述的面陣CCD相機(6)采集被測量目標(biāo)表面(S)三維面形調(diào)制的光柵投影條紋,經(jīng)傳輸線(7)輸入所述的計算機(8),所述計算機(8)具有圖像采集接口、圖像采集軟件和三維測量信息重建算法軟件。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的物體三維輪廓測量裝置,其特征在于所述的二 維達曼光柵(4)的空間分束比為NXN,該N為2以上的正整數(shù),對所述的 LD激光(1)波長的衍射圖樣為正方形的均勻點陣分布。
3、 利用權(quán)利要求1所述的物體三維輪廓測量裝置進行物體三維輪廓的測 量方法,其特征在于包括下列步驟① 調(diào)整透鏡(2)、 二維達曼光柵(4)和柱面鏡(5)相互之間的距離,在 投影參考平面(P2)上形成清晰分布的一維投影陣列條紋;② 采集參考平面(P2)上的參考條紋圖像測量物體三維面形之前,調(diào)整 面陣CCD相機(6)的對焦位置,使參考條紋在面陣CCD相機(6)上清晰成像, 采集一幅參考平面上的條紋圖像作為參考條紋圖像,存儲于計算機(8)中;③ 對所述的參考條紋圖像進行數(shù)字圖像處理和分析,得到參考條紋圖像的復(fù)數(shù)信號: g。 (U) = 4ro (x,y)exp(f2;r/0x + p。 (x,力),并存儲在所述的計算t幾(8 ) 中;④ 采集待測目標(biāo)上的形變光柵條紋圖像將待測目標(biāo)放置在參考平面(P2) 上,采集待測目標(biāo)三維面形調(diào)制而產(chǎn)生的形變光柵條紋圖像,存儲于所述的 計算機(8)中;⑤ 對所述的形變光柵條紋圖像進行數(shù)字圖像處理和分析,得到形變條紋圖樣的復(fù)數(shù)信息;(x,力-々(;c,力exp(^/。x + p(x,力),并存儲在所述的計算機 (8)中;⑥ 計算所述的參考條紋圖像和形變條紋圖像包含的信息差值,即相位差值將所述的參考條紋圖像的復(fù)數(shù)信息和所述的形變條紋圖像的復(fù)數(shù)信息代 入下式進行計算A"x,+臟,gJm[g",,",力],得到兩幅圖像的位相差; Re[g(x,力g。⑦對所述的位相差進行相位展開,并重構(gòu)物體的三維面形信息對所述的 位相差進行相位展開,得到展開后的相位差值A(chǔ)Wx,力后,再利用M^)= A ," l ,重構(gòu)出所測目標(biāo)的三維面形分布。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的物體三維輪廓的測量方法,其特征在于所述的 數(shù)字圖像處理和分析包括圖像色彩變換、圖像幾何變換、數(shù)字圖像濾波、 傅立葉變換、自動基頻濾波和傅立葉逆變換。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的物體三維輪廓的測量方法,其特征在于所述的 圖像的色彩變換完成從彩色圖像到灰度圖像的變換。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的物體三維輪廓的測量方法,其特征在于所述的 圖像的幾何變換將圖像像素大小裁減成2的正整數(shù)次冪,便于傅立葉變換的 數(shù)字計算。
7、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的物體三維輪廓的測量方法,其特征在于所述的 數(shù)字圖像濾波包括中值濾波和均值濾波。
8、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的物體三維輪廓的測量方法,其特征在于所述的 自動基頻濾波是利用計算機自動搜索濾波窗函數(shù)的窗口大小,通過設(shè)定閾值 的方式從最大值位置向兩邊進行搜索,碰到連續(xù)多個數(shù)值小于設(shè)定閾值且變 化緩慢的像素點時,記錄第一個像素點的位置,并設(shè)定為特征點,停止搜索, 并判定到達濾波邊界,且判定峰值兩邊特征點之間的區(qū)域即為矩形濾波窗口 的范圍。
全文摘要
一種物體三維輪廓測量裝置及測量方法,該裝置由激光二極管、透鏡、小孔光闌、二維達曼光柵、柱面鏡、面陣CCD相機、傳輸線和計算機構(gòu)成,各部件的連接關(guān)系是所述的激光二極管發(fā)出的光束依次經(jīng)過透鏡、小孔光闌、二維達曼光柵和柱面鏡后,形成一維投影陣列條紋,照明待測目標(biāo)的表面,由所述的面陣CCD相機采集被測量目標(biāo)表面三維面形調(diào)制的光柵投影條紋,經(jīng)傳輸線輸入所述的計算機,所述計算機具有圖像采集接口、圖像采集軟件和三維測量信息重建算法軟件。本發(fā)明利用二維達曼光柵和柱面鏡的傅立葉變換三維輪廓測量結(jié)構(gòu)具有能量利用率高、測量結(jié)構(gòu)簡單、測量精度高、計算機重構(gòu)信息處理簡便和易于操作等優(yōu)點。
文檔編號G01B11/24GK101451826SQ200810204749
公開日2009年6月10日 申請日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者周常河, 軍 張, 武騰飛, 偉 賈 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所