專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體測(cè)試裝置、功能板以及接口板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置及接口板(interface plate )。更詳細(xì)涉及在 被測(cè)試器件(device to be tested )之間，通過(guò)輸入輸出測(cè)試信號(hào)(testing signal )，執(zhí)行被測(cè)試器件的測(cè)試的半導(dǎo)體測(cè)試裝置和可安裝在這樣的半導(dǎo) 體測(cè)試裝置上的接口板。對(duì)于承認(rèn)通過(guò)文件參照而加入內(nèi)容的指定國(guó)，通 過(guò)參照以下申請(qǐng)所記載的內(nèi)容編入本申請(qǐng)，作為本申請(qǐng)的 一部分。1.特愿2005-228289，申請(qǐng)?jiān)?005年8月5曰背景技術(shù)通常，半導(dǎo)體裝置在其制造過(guò)程以及出場(chǎng)之前進(jìn)行測(cè)試品質(zhì)管理。這 樣的測(cè)試，是臨時(shí)將被測(cè)試器件實(shí)際安裝在半導(dǎo)體測(cè)試裝置上，通過(guò)半導(dǎo) 體測(cè)試裝置上設(shè)置的信號(hào)組件與被測(cè)試之間輸入輸出測(cè)試信號(hào)來(lái)執(zhí)行測(cè)試o一方面，近年來(lái)開(kāi)發(fā)出了被叫"SoC (System on Chip)" ， "SIP (System in Package)"，"系統(tǒng)LSI"等的各種半導(dǎo)體裝置。這種半導(dǎo)體裝置，將處 理器，存儲(chǔ)器，輸入輸出電路，控制電路等功能不同的電路集成在一個(gè)芯片 或組件上，大大地縮小了貼裝面積和降低了功率消耗。因此，為電子學(xué) (electronics)產(chǎn)品的小型化和降低功率消耗做出了貢獻(xiàn)。這種半導(dǎo)體裝置，由于內(nèi)置有所處理的信號(hào)種類(lèi)不同的電路，因此，在進(jìn)行上述半導(dǎo)體測(cè)試時(shí)，輸入輸出的測(cè)試信號(hào)的種類(lèi)也多種多樣涉及廣 泛。比方說(shuō)，電信號(hào)根據(jù)其頻帶及強(qiáng)度等，信號(hào)傳送路的適用規(guī)格也不同。 為此，半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試信號(hào)的處理也不得不變得復(fù)雜。在如下所示專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，記載了能實(shí)施SoC測(cè)試的測(cè)試系統(tǒng)和在那里 使用的功能板(performance board)。功能板具有能直接安裝被測(cè)試器件的 測(cè)試頭(test head)。另外，還具有用來(lái)對(duì)測(cè)試裝置進(jìn)行電連接的連接器 (connector)。另外，在功能板上，這些測(cè)試頭以及連"l妄器^^電連接。因而， 通過(guò)在測(cè)試裝置安裝擁有恰當(dāng)?shù)臏y(cè)試頭的功能板，以此，能夠容易地實(shí)際在 測(cè)試裝置上安裝物理連接構(gòu)造不一樣的被測(cè)試器件。而且，上述功能板實(shí)裝有包括種類(lèi)不同的適配器(adaptor)的連接器， 并且能同時(shí)處理頻帶或者強(qiáng)度不同的信號(hào)。因而對(duì)安裝了用于處理 RF (Radio Frequency)信號(hào)的電路的SoC，也能同時(shí)測(cè)試邏輯電路以及RF信號(hào)電路。而且通過(guò)交換功能板，也能夠容易地對(duì)應(yīng)規(guī)格不同的其他測(cè)試裝置 的測(cè)試。當(dāng)然，被測(cè)試器件有時(shí)被統(tǒng)稱(chēng)為DUT (Device Under Test)。另外，有 時(shí)稱(chēng)半導(dǎo)體測(cè)試裝置為自動(dòng)測(cè)試裝置或者ATE(Automatic Test Equipment)。而且功能板又被叫做負(fù)載板、電路4瓦另夕卜，接口板(interface plate)有時(shí)也被叫做HIFIX (高度定位裝置)、測(cè)試頭底板(test head chassis )、 測(cè)試套件(test fixture )、頂板(top plate)等。專(zhuān)利文獻(xiàn)l:特開(kāi)2004-108898號(hào)公報(bào)SoC、 SIP、系統(tǒng)LSI等的被測(cè)試器件，其輸入輸出端子數(shù)也非常多。另 外，如上所述，包括各種各樣的被處理的信號(hào)的頻帶和強(qiáng)度的裝置。因此， 用來(lái)連接測(cè)試裝置和功能板的信號(hào)媒體以及連接機(jī)構(gòu)的種類(lèi)也是各種各 樣。因而，連接功能板和測(cè)試裝置也不是容易的工作，并且因?yàn)楣δ馨宓母?換使得測(cè)試工作整體效率低下。因此，提出了功能板和測(cè)試裝置之間的叫 做接口板的構(gòu)件介入其間，簡(jiǎn)化功能板的安裝工序的方案。接口板被安裝到測(cè)試裝置一側(cè)，具有與測(cè)試裝置的測(cè)試信號(hào)輸入輸出 端子連接的插座(receptacle)。另外，該插座(孔)與功能板一側(cè)安裝的連 接器相對(duì)應(yīng)。因而，針對(duì)事先安裝了接口板的測(cè)試裝置，能夠通過(guò)插座和連 接器的嵌合，迅速地安裝上功能板。還有，通過(guò)將功能板一側(cè)的連接器和 接口板一側(cè)的插座的物理上的設(shè)置相對(duì)應(yīng)，能同時(shí)讓多個(gè)連接器以及插座 嵌合。另外，在以下的描述中，將連接器和插座組合后的一套連接機(jī)構(gòu)稱(chēng)作 "連接器對(duì)"。但是，在連接器對(duì)里有時(shí)包含嵌合行程(fitting stroke)不同的東西。 另外，同時(shí)一次連接連接器對(duì)中，有時(shí)存在需要使用大的力的問(wèn)題。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠解決上述課題的半導(dǎo)體測(cè)試裝 置以及接口板。該目的通過(guò)權(quán)利要求中的獨(dú)立權(quán)利要求記載的特征組合來(lái) 實(shí)現(xiàn)。發(fā)明內(nèi)容為了解決上述課題，本發(fā)明的第一方式提供一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其 具有測(cè)試頭、接口板、功能板(performance board )、多個(gè)插座或者多個(gè) 連接器。該測(cè)試頭包括在被測(cè)試器件之間發(fā)出并處理用于輸入輸出的測(cè)試 信號(hào)的信號(hào)組件(signal module)。接口板具有與板本體以及信號(hào)組件電連 接，且設(shè)置在板本體之上的多個(gè)插座、并安裝在測(cè)試頭上。功能板一面具 有嵌合并電連接在插座上的連接器，另一面具有與連接器電連接，且能夠 安裝被測(cè)試器件的測(cè)試用插口，通過(guò)將連接器嵌合在插座上，而安裝在接 口板上。插座或者連接器包括在連接器對(duì)插座的插拔方向上，相對(duì)于板本體位移的升降插座或升降連接器。這樣，即使接口板和功能板的連接用嵌 合過(guò)程混合存在不同的連接器對(duì)，也能夠一次連接。從而，可以迅速完成 功能板的安裝或更換作業(yè)。另外，作為一個(gè)的實(shí)施方式，在如上所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，多個(gè)插 座設(shè)置呈環(huán)狀，包圍安裝在測(cè)試用插口上的被測(cè)試器件。這樣，在功能板上， 能夠使被測(cè)試器件和各連接器的距離均一，并且能回避起因于信號(hào)傳送路 徑的長(zhǎng)度的差異，而造成的測(cè)試精度的劣化。另外，作為其他的實(shí)施方式，在如上所述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，多個(gè)插 座被設(shè)置呈多個(gè)環(huán)狀，包圍安裝在測(cè)試用插口上的被測(cè)試器件，多個(gè)環(huán)狀 互相具有共同中心。這樣，使連接器以及插座的實(shí)際安裝密度提高，能對(duì)應(yīng) 端子數(shù)極多的被測(cè)試器件。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，相對(duì)于板本體彈性支撐的升降插座，與所插入的連接器共同沿插拔方向位移。以此，當(dāng) 用嵌合行程短的連接器對(duì)去嵌合連接器以及插座完了后，插座和連接器一 起位移。因而，也能讓嵌合行程長(zhǎng)的連接器對(duì)中的連接器及插座完全嵌合。 另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，插座通過(guò)具有 與插座相輔的形狀部分，用于保持多個(gè)插座的插座保持座支撐在板本體上。 這樣，插座的更換變得容易，對(duì)不同規(guī)格的接口板也可以容易迅速地進(jìn)行 組裝。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，插座保持座包 括用于保持升降插座的升降插座保持座，升降插座保持座通過(guò)在連接器對(duì) 插座的插拔方向，相對(duì)于板本體位移，在連接器對(duì)插座的插拔方向，相對(duì) 于板本體的位移。這樣，可以用單一的升降機(jī)構(gòu)，整體使收容在一個(gè)升降 插座保持座中的多個(gè)升降插座提升。從而簡(jiǎn)化接口板的機(jī)構(gòu)。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，插座保持座設(shè) 置呈環(huán)狀，包圍安裝在測(cè)試用插口上的被測(cè)試器件。這樣，能夠在功能板中，以均等的距離，相對(duì)測(cè)試用插口 (socket)設(shè)置與插座對(duì)用的連接器。 從而，被測(cè)試器件和連接器間的信號(hào)路徑長(zhǎng)度均一，得以實(shí)施高精度測(cè)試。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，插座保持座設(shè) 置成包圍安裝在測(cè)試用插口上的被測(cè)試器件、具有相互共同的中心的多個(gè) 環(huán)狀。這樣，能夠提高接口板中的插座的安裝密度，進(jìn)而，提高功能板中 的連接器的安裝密度。因此，能夠?qū)?yīng)端子數(shù)目非常多的被測(cè)試器件。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，插座保持座分 別保持具有相互相等的嵌合行程的插座。這樣，能夠以插座保持座為單位， 統(tǒng)一處理多個(gè)插座。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，還包括將升 降插座保持座的位移向插座及連接器的插拔方向引導(dǎo)的導(dǎo)向裝置(guide means)、向升降插座保持座所形成的板本體的表面傾斜的傾斜面、以及接 觸到傾斜面后，通過(guò)水平位移使升降插座保持座位移的驅(qū)動(dòng)裝置。這樣， 由于能夠間接地使升降插座位移，所以，可以在安裝功能板的過(guò)程中，使 升降插座位移。另外，還可以從接口板的外部操作插座的升降，進(jìn)一步， 能夠?qū)崿F(xiàn)插座的升降電動(dòng)化。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，升降插座及與 此對(duì)應(yīng)的連接器的嵌合行程比其他的插座以及與其對(duì)應(yīng)的連接器的嵌合行 程還長(zhǎng)，在插座和連接器嵌合過(guò)程中，當(dāng)其他的插座以及與其對(duì)應(yīng)的連接 器的嵌合后，升降插座向連接器位移。以此，即使嵌合行程長(zhǎng)的連接器對(duì) 混合存在時(shí)，也能切實(shí)將嵌合行程長(zhǎng)的連接器對(duì)連接起來(lái)。另外，作為其他實(shí)施方式，升降插座以及與此對(duì)應(yīng)的連接器的嵌合行 程比其他的插座以及與其對(duì)應(yīng)的連接器的嵌合行程還短，在插座和連接器 嵌合過(guò)程中，當(dāng)升降插座以及與其對(duì)應(yīng)的連接器的嵌合后，到其他的升降 插座及連接器嵌合為止，升降插座及連接器位移。這樣，不用進(jìn)行特別的 操作，就能使嵌合行程不同的連接器對(duì)確實(shí)地連接。另外，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，插座是具有由 相互獨(dú)立的電連接構(gòu)成的多個(gè)端子的多功能插座。這樣，可以進(jìn)一步使插 座和連接器中的貼裝密度更加提高。進(jìn)一步，作為其他實(shí)施方式，在上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，插座是具有 芯線和用于包裹芯線的屏蔽導(dǎo)線的同軸型插座。這樣，也可以用在對(duì)不得 不使用具有特定的阻抗的信號(hào)線的高頻測(cè)試信號(hào)，或者，對(duì)使用了受干擾 輻射或者相互受干擾影響的測(cè)試信號(hào)的測(cè)試。另外，本發(fā)明的第二實(shí)施方式，提供一種接口板，其包括，被裝在半 導(dǎo)體裝置的測(cè)試頭上的板本體、與發(fā)出用于測(cè)試被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)的 信號(hào)組件電連接，且接口板包括設(shè)置在板本體上的多個(gè)插座，該接口板安 裝有一個(gè)在其側(cè)面具有嵌合并電連接在插座的連接器的功能板，多個(gè)插座 在連接器相對(duì)插座的插拔方向，相對(duì)于板本體位移的升降插座。這樣，可 以使嵌合行程不同的連接器對(duì)混在一起，匯總連接接口板和功能板。其次，本發(fā)明的第三實(shí)施方式，提供一種功能板，該功能板具有能夠 在半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試頭上安裝被測(cè)試器件的測(cè)試用插口 。功能板包括， 在一面上裝載有測(cè)試用插口的板本體、和安裝在板本體的另一面，與相對(duì) 嵌合于電連接在信號(hào)組件上的插座的多個(gè)連接器，所述信號(hào)組件發(fā)出用于 測(cè)試被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)，另外，多個(gè)連接器包括在連接器對(duì)插座的插拔方向，相對(duì)于板本體位移的升降連接器。這樣，能夠使嵌合行程不同的 連接器對(duì)被混在一起，匯總連接功能板。另外，上述發(fā)明的概要未列舉出本發(fā)明所需要的全部技術(shù)特征。而且， 這些特征群的子組合也能變成發(fā)明。本發(fā)明提供一種接口板，能夠在對(duì)連接在接口板以及功能板之間的連 接器對(duì)插拔的行程不同時(shí)，也能使所有的連接器對(duì)一次同時(shí)連接。另外， 如后所述，利用該功能，通過(guò)減少同時(shí)被插拔的連接器對(duì)數(shù)，可以降低為 安裝功能板而施加的推壓力。


圖1是表示本實(shí)施方式涉及的半導(dǎo)體測(cè)試裝置20構(gòu)成的局部的斷面圖。圖2是擴(kuò)大了圖1所示的用兩點(diǎn)鎖線包圍了的區(qū)域的放大圖。 圖3是功能板300的平面立體圖。 圖4是功能板300的側(cè)面圖。圖5表示在一個(gè)實(shí)施方式中安裝功能板300的過(guò)程示意圖。圖6表示在如上所述實(shí)施方式中安裝功能板300的過(guò)程示意圖。圖7表示在如上所述實(shí)施方式中安裝功能板300的過(guò)程示意圖。圖8表示如上所述實(shí)施方式的變形例的示意圖。圖9表示在其他的實(shí)施方式中安裝功能板300的過(guò)程的圖。圖IO表示在如上所述實(shí)施方式中安裝功能板300的過(guò)程示意圖。圖11表示在如上所述實(shí)施方式中安裝功能板300的過(guò)程示意圖。圖12表示接口板20Q中的插座的安裝構(gòu)造的分解立體圖。圖13單獨(dú)表示讓升降插座保持座260升降的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400的平面圖。圖14圖13所示的構(gòu)件的側(cè)面圖。圖15表示圖13所示構(gòu)件的一部分的斷面圖。圖16安裝了各構(gòu)件的接口板200的部分平面圖。10:被測(cè)試器件，20:半導(dǎo)體測(cè)試裝置，30、40、 50:連接器對(duì)，100:測(cè)試頭，110信號(hào)組件，112:邏輯信號(hào)組件，114RF信號(hào)組件，122:邏輯信號(hào)端子板，124同軸端子板，126、324: RF信號(hào)用連接器，132邏輯信號(hào)連接纜，134:同軸電纜，136連接器銷(xiāo)子，200:接口板，210板本體，212、250:插座保持座，214、 314:托架，222:邏輯信號(hào)用插座，224:RF信號(hào)用插座，226:彈性材料，240:支撐材泮牛，242、254:貫通孔，243:引導(dǎo)銷(xiāo)子，241、245:螺栓，432:螺釘，246:螺孔，264:貫通孔，252、262:加強(qiáng)筋，260:升降插座保持座，266:保持部，268長(zhǎng)孔，300功能板，310板本體，312外周構(gòu)件，316:伸縮托架，322邏輯信號(hào)用連接器，330測(cè)試用插口，334、 346:同軸電纜，3"、342:信號(hào)線，343、 344:穿通孔(vias)，400驅(qū)動(dòng)材料，410環(huán)，420驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子，430:機(jī)架，440-電動(dòng)機(jī)，450軸承覆蓋物，460滾柱軸承。
具體實(shí)施方式
以下、通過(guò)發(fā)明的實(shí)施形態(tài)解說(shuō)本發(fā)明，但是、以下的實(shí)施形態(tài)并不用 于限制權(quán)力要求范圍，以及實(shí)施方式中發(fā)明的特征的組合并不是全部都是 發(fā)明的必需的解決手段。圖l是本實(shí)施形態(tài)涉及的半導(dǎo)體測(cè)試裝置20的局部斷面示意圖。如該 圖所示，半導(dǎo)體測(cè)試裝置20在測(cè)試頭本體IOO上，依次層疊形成了接口板 200和功能板300。然而，該實(shí)施形態(tài)圍繞對(duì)一個(gè)被測(cè)試器件10的連接端子使用互相不同 的頻率或者電力的測(cè)試信號(hào)時(shí)的情況，即，例如在使用了通常的模擬或者 數(shù)碼測(cè)試信號(hào)(A/D (analog and digi tal)測(cè)試信號(hào))進(jìn)行的測(cè)試的同時(shí)，實(shí) 施了使用RF(Radio Frequency)頻帶的測(cè)試的時(shí)候。在這種場(chǎng)合下，在被測(cè) 試器件IO和測(cè)試頭本體100間的電連接可采用適合與測(cè)試信號(hào)所用的頻率 或功率的連接器、插座以及電纜。因此，在以下的實(shí)施形態(tài)中，就同時(shí)將邏 輯信號(hào)以及RF信號(hào)作為測(cè)試信號(hào)使用時(shí)的例子加以說(shuō)明。測(cè)試頭本體IOO再發(fā)出對(duì)被測(cè)試器件IO輸入輸出的測(cè)試信號(hào)的同時(shí)， 處理從被測(cè)試器件IOO反饋的測(cè)試信號(hào)，與此同時(shí)評(píng)價(jià)被測(cè)試器件10。在 該實(shí)施形態(tài)中，測(cè)試頭本體IOO具有信號(hào)組件110,信號(hào)組件11G包括發(fā)出 邏輯測(cè)試信號(hào)，且進(jìn)行處理的邏輯信號(hào)組件112、發(fā)出以及處理RF測(cè)試信 號(hào)的信號(hào)組件114。邏輯信號(hào)組件112發(fā)出的邏輯測(cè)試信號(hào)通過(guò)安裝在邏輯信號(hào)組件112 的上表面的邏輯信號(hào)端子板122輸入輸出。另外，RF信號(hào)組件114發(fā)出的 RF測(cè)試信號(hào)通過(guò)安裝在RF信號(hào)組件114上表面的同軸端子板124輸入輸出。接口板200具有圓板狀板本體210和安裝在板本體210上的分別為多 個(gè)的邏輯信號(hào)用的插座222以及RF信號(hào)用插座224。邏輯信號(hào)用的插座222 通過(guò)邏輯信號(hào)連接電纜132以及邏輯信號(hào)端子板122，被連接在邏輯信號(hào)組 件112上。另外，RF信號(hào)用的插座224通過(guò)同軸電纜134以及同軸端子板 124，被連接在RF信號(hào)組件114上。每一個(gè)邏輯信號(hào)用插座222收容多個(gè)連接器銷(xiāo)子(pin),并且各連接器 銷(xiāo)子獨(dú)立地連接在邏輯信號(hào)組件112上。因而，邏輯信號(hào)用的插座222是 能夠同時(shí)連接多個(gè)邏輯信號(hào)的多用途插座。另一方面，RF信號(hào)使用的插座 224具有芯線和包裹芯線的屏蔽體，即所謂同軸型的插座。功能板300具有圓板狀板本體310和安裝在其上面大致中央處的測(cè)試 用的插口 330。測(cè)試用插口 330具有與被測(cè)試器件10的連接端子對(duì)應(yīng)的連 接器銷(xiāo)子，并且能容易地安裝被測(cè)試器件10。另外，在板本體310的下面周邊緣部，安裝有用于加強(qiáng)板本體310的機(jī) 械強(qiáng)度的外周構(gòu)件312。另外，在外周構(gòu)件312的下面安裝了邏輯信號(hào)用連 接器322。進(jìn)一步，在邏輯信號(hào)用連接器322的內(nèi)側(cè)，通過(guò)托架314，安裝由 外周構(gòu)件312支撐的RF信號(hào)用的連接器3M。為使圖紙的記述簡(jiǎn)潔，在圖1分別繪制了一對(duì)邏輯信號(hào)組件112以及 RF信號(hào)組件114。但是，實(shí)際上安裝了許多信號(hào)組件110。與其相對(duì)應(yīng)，還 安裝多個(gè)邏輯信號(hào)連接電纜(cable) 132以及同軸電纜134。圖2是放大了圖1所示的用虛線圍起來(lái)的范圍的示意圖。在該圖中，與 圖l相同的構(gòu)成要素，附加相同的參照符號(hào)，省略重復(fù)的說(shuō)明。如該圖所示，被安裝在功能板300下方的邏輯信號(hào)用連接器322，與接 口板200 —側(cè)的邏輯信號(hào)用插座222構(gòu)成一對(duì)，形成邏輯信號(hào)用連接器對(duì)。 同樣，RF信號(hào)使用的連接器324與RF信號(hào)使用的插座224構(gòu)成對(duì)，形成RF 信號(hào)使用的連接器對(duì)。一方面，接口板200的RF信號(hào)用插座224通過(guò)同軸電纜134、 RF信號(hào) 用連接器126以及同軸端子板124與RF信號(hào)組件114連接。另外，在該圖 中未示出的邏輯信號(hào)用插座222，被連接在邏輯信號(hào)組件112上如已經(jīng)解i兌 過(guò)的那樣。因而，可以將各接口板200的邏輯信號(hào)用的插座222以及供RF 信號(hào)用的插座224的各連接端子，看作是與信號(hào)組件110的輸入輸出端子 電等效。圖3是圖l到圖3所示的半導(dǎo)體測(cè)試裝置20中的功能板300的立體圖。 如該圖所示，在圓板狀板本體310的大致中央處，安裝了測(cè)試用的插口 330。而且，板本體310,比方說(shuō)可以使用電路基板形成。作為電路基板用材料，公知的有紙苯酚基板，紙環(huán)氧樹(shù)脂基板，玻璃環(huán)氧樹(shù)脂基板，氟樹(shù)脂基板，優(yōu)選具有一定的彎曲剛性和絕緣性的。并且，該功能板300具有供單一測(cè)試使 用的插口 330，但是也可以實(shí)際裝備供多個(gè)測(cè)試使用的插口 330。而且，在板本體310的上表面，構(gòu)成測(cè)試信號(hào)^^徑的信號(hào)線341、 342 以測(cè)試用插口 330為中心在徑向延續(xù)存在。另外，在測(cè)試用插口 330的周邊， 形成貫通4反本體310的穿通孔343、 344。信號(hào)線341、 342通過(guò)這些穿通孔 343、 344，被電連接在板本體310的下面。另外信號(hào)線341、 342也可以是 形成在板本體310上的微波帶線(microstrip line)。在圖3中，簡(jiǎn)潔地繪制了圖面，并且分別繪制了各一根信號(hào)線341和 342。但是，信號(hào)線可根據(jù)被測(cè)試器件10的連接端子數(shù)量增加。因而實(shí)際 上形成達(dá)幾十個(gè)到幾百個(gè)的許多信號(hào)線。圖4是圖3所示功能板300的垂直斷面圖。如該圖所示，在板本體310 下面邊緣部安裝了包括邏輯信號(hào)用的連接器322在內(nèi)的外周構(gòu)件312。外周 構(gòu)件312在加強(qiáng)板本體310的機(jī)械強(qiáng)度的同時(shí)，使各材料的定位容易。另 外，在外周構(gòu)件312中，通過(guò)托架314，懸架供RF信號(hào)使用的連接器324。這里，供邏輯信號(hào)使用的連接器322被設(shè)置在穿通孔343的正下方，并 且通過(guò)穿通孔343以及信號(hào)線341與測(cè)試用插口 330電連接。另外，供邏輯 信號(hào)使用的連接器322具有與接口板200的邏輯信號(hào)用的插座222相補(bǔ)的 形狀，通過(guò)插入邏輯信號(hào)用插座222能形成電連接。一方面，RF信號(hào)用連接器324，通過(guò)被連接在穿通孔344的下端的同軸 電纜346與測(cè)試用插口 330形成電耦合。與RF信號(hào)用連接器324及接口板 200的RF信號(hào)用插座224具有相補(bǔ)的形狀，并且通過(guò)插入RF信號(hào)用插座224 中形成電連接。。以上，如圖3以及圖4所示，功能板300具有能實(shí)際裝備被測(cè)試器件 10的測(cè)試用插口 330，并且，具有與各測(cè)試用插口 330的端子對(duì)應(yīng)的邏輯 信號(hào)用連接器322以及RF信號(hào)用連接器324。通過(guò)這些邏輯信號(hào)用連接器 322以及RF信號(hào)用連接器324，能在外部連接;故安裝在測(cè)試用插口 330上的 被測(cè)試器件10。另外，通過(guò)分別將邏輯信號(hào)用連接器322嵌合在邏輯信號(hào)用插座222上, 將RF信號(hào)用連接器324嵌合在RF信號(hào)用插座224上，而將功能板300的各 信號(hào)線341、 342經(jīng)由接口板200，被電連接到信號(hào)組件110上。這樣，可以 實(shí)施在信號(hào)組件110以及被測(cè)試器件IO之間的測(cè)試信號(hào)的輸入輸出測(cè)試。而且，在具有如上所述的接口板200的半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，分別成對(duì)地 設(shè)置功能板300的邏輯信號(hào)用連接器322以及RF信號(hào)用連接器324和接口板200的邏輯信號(hào)用插座222以及rf信號(hào)用插座224。因而通過(guò)在接口板 200上按壓功能板300，能使多個(gè)的連接器以及插座一起嵌合。而且，在這個(gè)半導(dǎo)體測(cè)試裝置20中，即使在接口板200以及功能板300 之間安置的多個(gè)連接器對(duì)的嵌合行程不同的時(shí)候也能一起嵌合所有的連接 器對(duì)。關(guān)于這一點(diǎn)在以下說(shuō)明。圖5，圖6以及圖7是表示與嵌合行程不同的連接器對(duì)30對(duì)應(yīng)的插座的 安裝構(gòu)造及其動(dòng)作的示意圖。從圖1到圖4的各圖顯示的構(gòu)件相同的構(gòu)成 要素附加相同的參照符號(hào)，省略重復(fù)的說(shuō)明。另夕卜，這里給出的是rf信號(hào) 用連接器324以及rf信號(hào)用的插座224構(gòu)成的信號(hào)用連接器對(duì)的嵌合行程 比邏輯信號(hào)用連接器322以及邏輯信號(hào)用插座222構(gòu)成的邏輯信號(hào)用連接 器對(duì)子的嵌合行程短的情況。圖5表示準(zhǔn)備安裝的功能板300與接口板200的分離的狀態(tài)。這里，rf 信號(hào)用插座224通過(guò)彈性材料226以及托架214，被彈性支撐，并且能相對(duì)板 本體210向下方位移。但是，在該狀態(tài)中，由于rf信號(hào)用插座224開(kāi)放， 所以彈性構(gòu)件226形成拉伸，rf信號(hào)用的插座224的上端處在相對(duì)于接口板 200的底部高度h。的位置上。以下，如圖6所示，功能板300下降，邏輯信號(hào)用連接器322以及rf 信號(hào)用連接器324分別與邏輯信號(hào)用插座222以及rf信號(hào)用插座224接觸。 而且，當(dāng)功能板300下降的時(shí)候，在各連接器對(duì)中，連接器和插座開(kāi)始嵌 合，不久，嵌合行程短的rf信號(hào)用連接器對(duì)先完成嵌合。但是，在這個(gè)時(shí) 候，邏輯信號(hào)用連接器對(duì)還沒(méi)有完全嵌合，因此，為了使邏輯信號(hào)用連接 器對(duì)完全嵌合，而外加推壓力p,將功能板300進(jìn)一步向下按壓。此時(shí)，如圖7所示，在已經(jīng)完成嵌合的rf信號(hào)用連接器對(duì)中，彈性支 撐的rf信號(hào)用插座224，和已經(jīng)完成嵌合的rf信號(hào)用連接器324 —起下降 到高度h!,所以沒(méi)有妨礙邏輯信號(hào)用連接器322的下降。這樣，能讓互相嵌 合行程不同的rf信號(hào)用的連接器對(duì)和邏輯信號(hào)用連接器對(duì)一起完全嵌合。另外，圖8是圖5到圖7所示的實(shí)施形態(tài)的變形例。在該變形例表示 的連接器對(duì)40中，功能板300中的rf信號(hào)用連接器被在插拔方向伸 縮的伸縮托架316支撐。另外，這個(gè)伸縮托架316,向拉伸方向偏置。圖8表 示了與圖7相同的嵌合階段，但是，為了較遲完成嵌合的邏輯信號(hào)用連接器 對(duì)，先完成嵌合的rf信號(hào)用連接器對(duì)向被彈性支撐了的rf信號(hào)用連接器 324的方向上升。圖9，圖10，圖11是解說(shuō)其他實(shí)施形態(tài)涉及的連接器50的動(dòng)作示意圖。 另外，在該實(shí)施方式中，rf信號(hào)用連接器對(duì)的嵌合行程比邏輯信號(hào)用連接 器對(duì)的嵌合行程還長(zhǎng)。另外，在該實(shí)施方式中，能讓rf信號(hào)用插座224主動(dòng)位移。但是，在這里圍繞動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)讓RF信號(hào)用插座224主動(dòng)位 移的構(gòu)造另外后述。首先，圖9表示了以下準(zhǔn)備安裝的功能板300與接口板200的分離的 狀態(tài)。這里，RF信號(hào)使用的插座224處在能夠自己位移范圍的最低位置， 并且其上端處于從接口板2 00的底部起的高度H 。的位置。以下，如圖10所示，功能板300下降，邏輯信號(hào)用連接器322以及RF 信號(hào)用連接器324分別與邏輯信號(hào)用插座222以及RF信號(hào)用插座224接觸。 而且，當(dāng)功能板300下降的時(shí)候，嵌合行程短的邏輯信號(hào)用連接器對(duì)先完 成嵌合。但是，在這個(gè)時(shí)候，RF信號(hào)用連接器對(duì)還沒(méi)有完全嵌合，留下間 隔D。但是，如圖ll所示，使支撐RF信號(hào)用的升降插座224的升降插座保 持座260上升到箭頭M2所示方向的高度H2為止。以此，RF信號(hào)用插座224 也上升，所以能讓RF信號(hào)用的連接器對(duì)完全嵌合。這樣，在該實(shí)施形態(tài)中， 能夠在任何時(shí)期使RF信號(hào)用插座224位移。因而，盡管插拔行程是相同連 接器對(duì)，也可以將插拔的時(shí)間錯(cuò)開(kāi)，而能減少為安裝功能板所需要的推壓 力。另外，為了說(shuō)明上的方便，在以上的說(shuō)明中將"連接器"和"插座"的組 合稱(chēng)作"連接器對(duì)"，但是，"連接器"可以是所謂的插頭(公)，也可以是插孔 (母)或者插口 (母)。另外，在不同的情況下，只要插座和連接器都是嵌合的， 其形狀無(wú)論是母型還是公型都可。另夕卜，把測(cè)試裝置中處理的信號(hào)分成邏輯信號(hào)和RF信號(hào)進(jìn)行了說(shuō)明，但 是，測(cè)試信號(hào)不受此限。而且，各連接器對(duì)是分別與測(cè)試信號(hào)對(duì)應(yīng)的，只要 是能夠通過(guò)向特定方向的揷抜而裝拆的，可以適當(dāng)?shù)剡x擇。并且，作為RF 信號(hào)用連接器對(duì)，能例示的優(yōu)選OMPA型、OMPB型、BMA型、SMB型、MCX型 等的推進(jìn)型的，但是并不局限于這些類(lèi)型。如圖9到圖ll所示的實(shí)施形態(tài)那樣，圖12給出了能讓RF信號(hào)用插座 224主動(dòng)位移的構(gòu)造中的一個(gè)的形態(tài)。在該圖中，與此前述的圖紙相同的構(gòu)成要素附加相同參照符號(hào)，并省略了重復(fù)的說(shuō)明。圖12是表示接口板20G中的插座的支撐構(gòu)造的圖。但是省略了板本體 210的圖示。在半導(dǎo)體測(cè)試裝置20中， 一個(gè)的接口板200實(shí)際安裝了多個(gè)插座。使 用能夠分別保持多個(gè)插座的插座保持座，并且通過(guò)實(shí)際裝備多個(gè)插座保持 座，能夠容易地進(jìn)行多個(gè)插座的安裝以及交換。在圖12所示了的實(shí)施形態(tài) 中，三種的插座保持座^皮設(shè)置成雙重的環(huán)狀。也就是，在該接口板200中，在外周側(cè)環(huán)狀設(shè)置了四個(gè)具有1/4圓弧形 狀的插座保持座212。這些插座保持座212在內(nèi)側(cè)具有與邏輯信號(hào)用的插座222的外形相補(bǔ)的形狀的部分，能夠保持多個(gè)邏輯信號(hào)用插座222。另外，這 些插座保持座212被直接固定在接口板2 0 0的板本體210 (非圖示)上。而且， 邏輯信號(hào)用插座222有多個(gè)嵌合孔，在其每一個(gè)內(nèi)部收容了被連接到邏輯信 號(hào)組件112上的連接器銷(xiāo)子136。進(jìn)一步，圓形的支撐構(gòu)件240被設(shè)置在由上述外周面?zhèn)鹊牟遄３肿?212形成的圓的內(nèi)側(cè)。在這個(gè)支撐構(gòu)件240上，仍然分別交互設(shè)置具有1/4 圓弧的形狀的插座保持座250以及升降插座保持座260，并且全體構(gòu)成環(huán)狀。在這個(gè)實(shí)施形態(tài)中，內(nèi)周面的插座保持座2 5 0也在內(nèi)側(cè)具有與邏輯信號(hào) 用插座222的外形相補(bǔ)的形狀的部分，并且能保持多個(gè)邏輯信號(hào)用插座222。 另外，升降插座保持座2 6 0具有多個(gè)能收容RF信號(hào)用插座2 2 4的保持部266。 這樣，插座保持座250以及升降插座保持座260分別保持插拔行程相同的連 接器對(duì)。這里，支撐材料240，在其周面上有多個(gè)貫通孔242，通過(guò)穿插在里面 的螺釘241固定在板本體210(非圖示)上。另外，插座保持座250 通過(guò)穿 插在其兩端的加強(qiáng)筋252上形成的貫通孔254中螺絲245，相對(duì)于支撐構(gòu)件 240的螺絲孔246固定。因而，這些構(gòu)件不針對(duì)板本體210位移。一方面，升降插座保持座260,仍然通過(guò)穿插在其兩端的加強(qiáng)筋262上 形成的貫通孔264中的導(dǎo)向銷(xiāo)子243安裝在支撐構(gòu)件240上。但是，導(dǎo)向 銷(xiāo)子243，其下端附近加工有螺紋，穿插到貫通孔中的部分呈平滑的圓柱形。 另外，該圓柱形部分的長(zhǎng)度也比升降插座保持座260的加強(qiáng)筋262的厚度 大，加之貫通孔264的內(nèi)徑也比導(dǎo)向銷(xiāo)子243僅僅大一點(diǎn)點(diǎn)。因而升降插 座保持座260受導(dǎo)向銷(xiāo)子243的引導(dǎo)，能夠在升降方向位移。而且，升降插座保持座260在內(nèi)側(cè)的側(cè)面上具有傾斜的長(zhǎng)孔268。通過(guò) 讓接觸到該長(zhǎng)孔268的內(nèi)側(cè)的構(gòu)件水平位移，而能夠使升降插座保持座260 主動(dòng)位移。另外，在長(zhǎng)孔268的兩端形成水平部分。這樣，盡管上下方向的負(fù)荷 針對(duì)在最上或者最低位置的升降插座保持座260發(fā)生作用，但是，不發(fā)生 K平方向的應(yīng)力。另外，在該接口板200上安裝了功能板300的狀態(tài)，安裝了被測(cè)試器件 10的測(cè)試用插口 330位于環(huán)狀的插座保持座212、 250、 260的大致中央， 從而，在從被測(cè)試器件10至接口板200的測(cè)試用信號(hào)路徑中，各信號(hào)線路 的長(zhǎng)度均一。圖13是單獨(dú)表示在圖12所示的接口板200中，通過(guò)所述長(zhǎng)孔268，驅(qū) 動(dòng)升降插座保持座260的位移的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400的平面圖(省略了圖l2的圖 示)。如該圖所示，該驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400被裝在環(huán)410的外面，具有向外側(cè)突出的的多個(gè)驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420。如后所述，該驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420的頂端被安置在升降插 座保持座260的長(zhǎng)孔268里。另夕卜，圖14是從側(cè)面看圖13所示的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400的側(cè)視圖。如該圖顯 示，框(rack) 430被在方面在環(huán)410下螺絲432固定。另外，這個(gè)框430和 被電動(dòng)機(jī)440驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的小齒輪齒輪442相配。因而使電動(dòng)機(jī)440決定工 作，并且使環(huán)41G旋轉(zhuǎn)，并且能讓驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420水平位移。進(jìn)一步，圖15是表示上述驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420安裝在上述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400上的 安裝構(gòu)造斷面圖。如圖所示，驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420的尾部通過(guò)滾柱軸承460，被穿 插在環(huán)410形成的殼體(housing) 412里。至于勞拉軸承460以及驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子 420的尾部，由軸承覆蓋物450封裝，不能/人環(huán)410拔出來(lái)。通過(guò)這樣的構(gòu) 造，因?yàn)轵?qū)動(dòng)銷(xiāo)子420順滑旋轉(zhuǎn)，從而可以對(duì)上述的長(zhǎng)孔268,高效率傳遞升 降方向的驅(qū)動(dòng)力。圖16是將圖13至圖15所示的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400安裝在圖12所示的接口 板200上的狀態(tài)的平面圖。另外，為了使圖12的位置關(guān)系變得明瞭，在圖 中記載了表示圖12的視圖點(diǎn)的箭頭V。如該圖所示，插座保持座212及250中，安裝有多個(gè)邏輯信號(hào)插座222。 另外，升降插座保持座2 6 Q也保持多個(gè)RF信號(hào)用插座224。另外，驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400被設(shè)置在內(nèi)圓的插座保持座250以及升降插座保持 座260構(gòu)成的圓的內(nèi)側(cè)，此時(shí)，驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420被插入升降插座保持座260 的長(zhǎng)孔268的內(nèi)部。另外，電動(dòng)機(jī)440通過(guò)無(wú)圖示的裝置，被固定在接口板 200的板本體210上。如上方法形成的接口板200中，通過(guò)讓電動(dòng)機(jī)440工作，讓環(huán)410旋 轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420當(dāng)接到長(zhǎng)孔268的內(nèi)表面。進(jìn)一步，當(dāng)環(huán)410旋轉(zhuǎn)，則 基于驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420的傾斜，升降插座保持座260上升或者下降。由于該上 升和下將均為主動(dòng)動(dòng)作，所以，能夠克服在插拔升降插座保持座260所保 持的RF信號(hào)用插座224涉及的機(jī)械阻抗，而插拔RF信號(hào)用連接器324。另外，在上述實(shí)施例中，記載了使用單一環(huán)410使相同形狀的升降插 座保持座260位移時(shí)的情況，但是，例如通過(guò)混合存在具有傾斜不同的長(zhǎng) 孔268的升降插座保持座260，可以用單一的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400進(jìn)一步插拔多種 連接器對(duì)。還有，通過(guò)將驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400多個(gè)重疊個(gè)別驅(qū)動(dòng)，還能夠在不同 的時(shí)間插拔一部分連接器對(duì)。而且，在如上所述實(shí)施形態(tài)中，在與升降插座保持座260的配置對(duì)應(yīng)的 地方使用了安裝有驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件400,但是對(duì)不升降的插座保持 座250，內(nèi)面部不能接觸到驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子420而形成大孔洞，以此，使驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)子 420的作用無(wú)效。另夕卜，在如上所述實(shí)施方式中，記述了讓升降插座保持座260位移時(shí)的 情況，但是也可以是讓插座其本身位移的構(gòu)造。另外，插座以及插座保持座 的種類(lèi)、數(shù)量，組合、配置等也不受上述實(shí)施方式的限定。以上使用實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，但是本發(fā)明的技術(shù)范圍沒(méi)有限定在 上述實(shí)施方式所述范圍。可對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行多種變更或者改良，這點(diǎn) 對(duì)于本技術(shù)的領(lǐng)域人員而言是不言而喻的。從權(quán)利要求的記載可知，進(jìn)行
權(quán)利要求
1、一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于包括測(cè)試頭，其包括發(fā)出并處理在與被測(cè)試器件之間進(jìn)行輸入輸出的測(cè)試信號(hào)的信號(hào)組件；接口板，其具有與板本體以及所述信號(hào)組件電連接，且設(shè)置在所述板本體之上的多個(gè)插座、并被安裝在所述測(cè)試頭上；以及，功能板，所述功能板在一面具有嵌合并電連接在所述插座上的連接器，另一面具有與所述連接器電連接，且能夠安裝所述被測(cè)試器件的測(cè)試用插口，通過(guò)將所述連接器嵌合在所述插座上，而安裝在所述接口板上；所述多個(gè)插座或者所述多個(gè)連接器，包括在所述連接器對(duì)所述插座插拔的方向，相對(duì)于所述板本體位移的升降插座及升降連接器。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于所述多個(gè)連接 器以及所述插座被設(shè)置呈環(huán)狀，包圍安裝在所述測(cè)試用插口上的所述^C測(cè) 試器件。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于所述多個(gè)連接 器及所述插座被設(shè)置呈多個(gè)環(huán)狀，包圍安裝在所述測(cè)試用插口上的所述被 測(cè)試器件，所述多個(gè)環(huán)狀互相具有共同的中心。
4，根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于相對(duì) 于所述板本體彈性支撐的所述升降插座或所述升降連接器，與被插入的所 述連接器共同沿所述插拔方向位移。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于所述插座具 有與所述插座相輔的形狀部分，通過(guò)用于多個(gè)保持所述插座的插座保持座 (holder),支撐在所述板本體上。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于所述插座保持 座包括升降插座保持座，用于保持所述升降插座；所述升降插座保持座通過(guò) 所述連接器對(duì)所述插座插拔的方向，相對(duì)于所述板本體位移，而沿所述連 接器對(duì)所述插座的插拔方向，相對(duì)于所述板本體位移。
7、 根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其中，所 述插座保持座設(shè)置呈環(huán)狀，包圍安裝在所述測(cè)試用插口上的所述被測(cè)試器 件。
8、 根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其中，所 述插座保持座設(shè)置呈多個(gè)環(huán)狀，包圍安裝在所述測(cè)試用插口上的所述被測(cè) 試器件，且所述多個(gè)環(huán)狀具有相互共同的中心。
9、 根據(jù)權(quán)利要求7或7所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于所述插座 保持座分別保持具有相互相等的嵌合行程的所述插座。
10、 根據(jù)權(quán)利要求6至10任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在 于還包括用于將所述升降插座保持座的位移向所述插座及所述連接器的 插拔方向引導(dǎo)的導(dǎo)向裝置、在所述升降插座保持座形成的相對(duì)于所述極板 本體的表面傾斜的傾斜面、以及接觸到所述傾斜面后，通過(guò)水平位移使所 述升降插座保持座位移的驅(qū)動(dòng)裝置。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1至IO任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在 于所述升降插座及與此對(duì)應(yīng)的所述連接器的嵌合行程比其他的所述插座以 及與此對(duì)應(yīng)的所述連接器的嵌合行程還長(zhǎng)，在所述插座和所述連"l妄器嵌合 過(guò)程中，當(dāng)所述其他的插座以及所述連接器的嵌合后，所述升降插座向所 述連接器位移。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1至IO任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在以及與此對(duì)應(yīng):所述i接器的嵌合行程還短，、在所述插座和所述連接器^ 合過(guò)程中，在所述升降插座以及所述連接器嵌合之后，到所述其他的升降 插座及所述連接器嵌合為止，所述升降插座及所述連接器位移。
13、 根據(jù)權(quán)利要求1至12任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在 于所述插座是具有由相互獨(dú)立的電耦合構(gòu)成的多個(gè)端子的多功能插座。
14、 根據(jù)權(quán)利要求1至13任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在 于所述插座是具有芯線和用于包裹所述芯線的屏蔽導(dǎo)線的同軸型插座。
15、 一種接口板，其特征在于所述接口板被安裝在半導(dǎo)體裝置的測(cè) 試頭上的板本體、所述接口板電連接在發(fā)出用于測(cè)試被測(cè)試器件的測(cè)試信 號(hào)的信號(hào)組件上，且所述接口板包括設(shè)置在所述板本體上的多個(gè)插座，所 述接口板裝載了一個(gè)在其側(cè)面具有嵌合并電連接在所述插座上的連接器的 功能板，所述多個(gè)插座包括在所述連接器對(duì)所述插座的插拔方向，相對(duì)于所述 板位移的升降插座。
16、 一種功能板，是具有能夠在半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試頭上安裝被測(cè) 試器件的測(cè)試用插口的功能板，其特征在于其包括板本體，在一面上裝載有所述測(cè)試用插口、多個(gè)連接器，安裝在所述板本體的另一面，相對(duì)嵌合于電連接在信號(hào) 組件上的插座，所述信號(hào)組件發(fā)出用于測(cè)試被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)，所述多個(gè)連接器還包括在所述連接器對(duì)所述插座的插拔方向，相對(duì)于 所述板本體位移的升降連接器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠?qū)⒐δ馨?200)的不同種類(lèi)連接器一次連接的半導(dǎo)體測(cè)試裝置(20)。所述裝置具有測(cè)試頭本體(100)，所述測(cè)試頭本體(100)包括發(fā)出用于測(cè)試被測(cè)試器件(10)的測(cè)試信號(hào)的信號(hào)組件(110)；接口板(200)，其具有與板本體(210)以及信號(hào)組件(110)電連接，且設(shè)置在板本體(210)之上的多個(gè)插座、并被安裝在測(cè)試頭本體(100)上；以及，功能板(300)，所述功能板(300)在一面具有嵌合并電連接在插座上的連接器，另一面具有與連接器電連接，且連接在被測(cè)試器件(10)上的測(cè)試用插口(330)，通過(guò)將連接器嵌合在插座上，而安裝在接口板(200)上；所述裝置還包括在連接器對(duì)插座插拔的方向，相對(duì)于板本體(200)位移的升降插座及升降連接器。
文檔編號(hào)G01R31/28GK101238379SQ200680028210
公開(kāi)日2008年8月6日 申請(qǐng)日期2006年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月5日
發(fā)明者伊藤良真, 林省三 申請(qǐng)人:愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社