專利名稱：離子控制傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及能夠檢測(cè)除電裝置產(chǎn)生的正負(fù)離子量的離子平衡和被除電 物的帶電電位雙方的離子控制傳感器。
現(xiàn)有技術(shù)
以往，例如在(日本國(guó))特開平11-345697號(hào)公報(bào)(
~
、
閣1等)記載了一種除電裝置，該除電裝置對(duì)應(yīng)被除電物的靜電電容的大 小及表面電位對(duì)于施加在放電電極針的電壓進(jìn)行可變控制。
該除電裝置的結(jié)構(gòu)如下，具有至少一根放電電極針，其供給電壓， 對(duì)于被除電物產(chǎn)生電暈放電；表面電位計(jì)，其連續(xù)地測(cè)定被除電物的表面 電位；運(yùn)算處理單元，其根據(jù)所測(cè)定的表面電位計(jì)算使被除電物的表面電 位收斂至零的施加電壓；以及電壓輸出單元，其向放電電極針輸出利用計(jì) 算所求得的施加電壓，其中，向運(yùn)算處理單元反饋表面電位計(jì)的測(cè)定結(jié)果， 使對(duì)放電電極針的施加電壓可變。此外，運(yùn)算處理單元也具備根據(jù)表面電 位測(cè)定值的變化計(jì)算被除電物的靜電電容的功能。
按照上述(日本國(guó))特開平11-345697號(hào)公報(bào)記載的現(xiàn)有技術(shù)，始終測(cè) 定被除電物的表面電位及基于該表面電位的靜電電容，向運(yùn)算處理單元反 饋這些測(cè)定值，控制對(duì)放電電極針的施加電壓，大致能夠高精度低進(jìn)行除 電。
此外，在(日本國(guó))特許第3522586號(hào)公報(bào)(
~
、圖1等)
記載有一種液晶面板的制造裝置，使離子發(fā)生器(除電裝置)產(chǎn)生的離子 之中只有除電所需量的離子到達(dá)液晶基板(被除電物)，在失去離子平衡的 情況下，使液晶基板反向帶電。
該液晶面板制造裝置具有除電裝置，其利用電暈放電產(chǎn)生離子；及 柵電極板等電極部件，其根據(jù)除電對(duì)象物的帶電量調(diào)整往除電對(duì)象物的離 子量，其中，除電裝置包括屏蔽殼體，其在放電側(cè)開口；放電電極，其 設(shè)置于屏蔽殼體內(nèi)；以及高壓電源，其向該;故電電籾—施加電暈放電所需的
高電壓。
就其作用而言，著眼于液晶基板和電極部件之間的電場(chǎng)按照液晶基板 的帶電量變化，在帶電量小的情況所述電場(chǎng)變?nèi)?，從而使得從除電裝置產(chǎn) 生的離子的大部分自電極部件流向接地側(cè)，使往液晶基板的到達(dá)離子量減 少，而在帶電量大的情況所述電場(chǎng)變強(qiáng)，使從除電裝置產(chǎn)生的離子的大部 分到達(dá)液晶基板，提高除電效果。
然而，(日本國(guó))特開平11-345697號(hào)公報(bào)所記載的現(xiàn)有技術(shù)，基本上 根據(jù)被除電物的表面電位控制除電裝置，而沒有考慮從除電裝置產(chǎn)生的正 負(fù)離子的離子平衡。因而，也有自除電裝置產(chǎn)生的正負(fù)的離子量沒有形成
離子平衡的情況，從而由于離子發(fā)生器可能使原本未帶電的被除電物帶某 一方的極性。在這樣被除電物帶電的情況下，雖然利用基于其表面電位的 除電裝置的控制可進(jìn)行除電，但是進(jìn)行了本來不需要的除電動(dòng)作，從而浪 費(fèi)時(shí)間及電力。
此外，(日本國(guó))特許第3522586號(hào)公報(bào)記載的現(xiàn)有技術(shù)，由于根據(jù)基 于液晶基板的帶電量的電場(chǎng)強(qiáng)度控制離子往液晶基板的到達(dá)量，因此，在 提高除電精度上受到限制，例如難以將液晶基板準(zhǔn)確地保持在士0[V]。
進(jìn)而，由于需要具備大型的柵電極板等，以能夠覆蓋在除電裝置所配 置的多個(gè)放電電極針與液晶基板之間的空間，因此，存在構(gòu)成部件大型化 而導(dǎo)致裝置整體大型化及成本上升的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，提供一種低成本的離子控制傳感器，其利用極簡(jiǎn) 單的結(jié)構(gòu)，能夠檢測(cè)離子平衡及檢測(cè)被除電物的帶電電位，提高除電裝置
的性能。
為解決上述的課題，在技術(shù)方案1記載的發(fā)明是一種離子控制傳感器， 其特征在于，在向被除電物供給正負(fù)離子而進(jìn)行除電并具備用于測(cè)定被除 電物的表面電位的表面電位測(cè)定用探針的除電裝置中，包括電位檢測(cè)部， 其構(gòu)成表面電位測(cè)定用探針；以及導(dǎo)電性的蓋，其經(jīng)由絕緣部件配置成包 圍該電位4全測(cè)部。
此外，在技術(shù)方案2記載的發(fā)明是在技術(shù)方案1的離子控制傳感器中，
子而在所述蓋上產(chǎn)生的電位，并作為反饋信號(hào)向除電裝置內(nèi)的控制電路送出。
根據(jù)本發(fā)明的上述結(jié)構(gòu)，可利用單一的離子控制傳感器檢測(cè)除電裝置 產(chǎn)生的正負(fù)離子的離子平衡和被除電物的表面電位，可實(shí)現(xiàn)高精度且高效 率的除電裝置。
此外，本發(fā)明只是在既有的表面電位測(cè)定用探針的電位檢測(cè)部經(jīng)由絕 緣部件安裝導(dǎo)電性的蓋就可實(shí)現(xiàn)，構(gòu)造極簡(jiǎn)單，能以低成本提供。


圖1是表示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的離子控制傳感器的立體圖。
圖2是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的使用狀態(tài)的說明圖。 圖3是圖2的除電裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
以下，根據(jù)

用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。首先，圖1是 本實(shí)施方式的離子控制傳感器10的立體圖。
在圖1中，11是方棒形的表面電位測(cè)定用探針，是所謂的音叉型或音 片型表面電位測(cè)定裝置等的探針，其能夠以非接觸方式測(cè)定被除電物的表 面電位。此外，該探針11的表面電位的測(cè)定原理沒有特別限定。該探針ll 經(jīng)由電纜21與后述的除電裝置20連接。
在表面電位測(cè)定用探針11的長(zhǎng)度方向的大致中央部固接有由合成樹脂 等構(gòu)成的口字形的絕緣部件12，而且用螺釘14安裝由有底方筒形的導(dǎo)電材 料構(gòu)成的蓋13,使得包圍本絕緣部件12和探針11的前端部。此外，上述 的才笨針11的前端部構(gòu)成具有4全測(cè)孔(未圖示)的電位4全測(cè)部lla,本電位 檢測(cè)部lla和蓋13的內(nèi)面由于所述絕緣部件12及空間而保持非接觸狀態(tài)。
其次，圖2是本實(shí)施方式的使用狀態(tài)的說明圖，圖3是除電裝置20的 概略結(jié)構(gòu)圖。
如圖3所示，除電裝置20包括多個(gè)放電電極22,其通過電暈(corona ) 放電而產(chǎn)生正負(fù)離子；高電壓電源電^各23，其用于向這些》文電電極22施力口 可變的高電壓；以及控制電路24，其根據(jù)所述表面電位測(cè)定用探針11的輸
此外，該除電裝置20可以是向》文電電4及22 ;^加交流電壓的交流式除 電裝置或者施加給放電電極22直流電壓的直流式除電裝置，也可以根據(jù)需200580049885.3
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要而具備向被除電物方向強(qiáng)制送出所產(chǎn)生的離子的風(fēng)扇。 接著，參照?qǐng)D2說明本實(shí)施方式的作用。
在圖2中，離子控制傳感器10配置成接近應(yīng)除電的被除電物30的表 面。在此，被除電物30是半導(dǎo)體晶片或液晶基板等的各種除電對(duì)象物。
當(dāng)被運(yùn)送至離子控制傳感器10的正下的被除電物30例如帶有正電位 時(shí)，由于靜電感應(yīng)而使離子控制傳感器10的蓋也帶有正電位。利用表面電 位測(cè)定用探針11的電位檢測(cè)部1 la檢測(cè)該正電位，其檢測(cè)信號(hào)作為反饋信 號(hào)被輸入除電裝置20內(nèi)的控制電路24。
由此，在控制電^各24中，為了除去(中和)^皮除電物30的正電位， 使高電壓電源電路23動(dòng)作，而從放電電極22大量地產(chǎn)生負(fù)離子。例如， 進(jìn)行使施加給放電電極22的交流或直流的負(fù)電壓的振幅比正電壓的振幅更 大等控制動(dòng)作。
通過上述動(dòng)作，由于向被除電物30供給自放電電極22產(chǎn)生的大量的 負(fù)離子，因此，中和被除電物30的正電位而除電。
此外，在檢測(cè)自放電電極22產(chǎn)生的正負(fù)離子量的平衡即所謂的離子平 衡的情況下，在離子控制傳感器10的正下不存在被除電物30的狀態(tài)或者 即使存在被除電物30也沒有正負(fù)帶電的狀態(tài)下，使除電裝置20動(dòng)作。
在此情況，離子控制傳感器10的蓋13與從放電電極22產(chǎn)生的正負(fù)離 子量的平衡對(duì)應(yīng)地帶有正電位或負(fù)電位，此外，若取得離子平衡，就變成O 電位
即，當(dāng)所產(chǎn)生的正離子比負(fù)離子多時(shí)，因蓋13帶有正電位，則表面電 位測(cè)定用探針11的電位檢測(cè)部lla檢測(cè)到正電位，該檢測(cè)信號(hào)作為反饋信 號(hào)被輸入除電裝置20內(nèi)的控制電路24。因而，在控制電路24中，進(jìn)行控 制動(dòng)作，使高電壓電源電路23動(dòng)作，使得自放電電極22大量產(chǎn)生負(fù)離子。
在從放電電極22產(chǎn)生的負(fù)離子比正離子多的情況下，進(jìn)行與上述相反 的動(dòng)作。
此外，上述的實(shí)施方式僅僅是一例，對(duì)本發(fā)明的離子控制傳感器或表 面電位測(cè)定用探針的形狀、結(jié)構(gòu)沒有任何限定，可以進(jìn)行各種變形。
此外，對(duì)除電裝置的結(jié)構(gòu)、形狀也不特別限定，其可用作天花板等的 安裝型、桌上型、空調(diào)型等各種形式的除電裝置。
權(quán)利要求
1.一種離子控制傳感器，其特征在于，在向被除電物供給正負(fù)離子而進(jìn)行除電并具備用于測(cè)定被除電物的表面電位的表面電位測(cè)定用探針的除電裝置中，包括電位檢測(cè)部，其構(gòu)成表面電位測(cè)定用探針；以及導(dǎo)電性的蓋，其經(jīng)由絕緣部件配置成包圍該電位檢測(cè)部。
2. 如權(quán)利要求1所述的離子控制傳感器，其特征在于， 利用所述電位檢測(cè)部檢測(cè)因被除電物的帶電電荷或從除電裝置所供給的離子而在所述蓋上產(chǎn)生的電位，并作為反饋信號(hào)向除電裝置內(nèi)的控制電 路送出。
全文摘要
提供一種離子控制傳感器，在向被除電物供給正負(fù)離子進(jìn)行除電并具備用于測(cè)定被除電物的表面電位的表面電位測(cè)定用探針的除電裝置中，包括電位檢測(cè)部(11a)，其構(gòu)成表面電位測(cè)定用探針(11)；及導(dǎo)電性的蓋(13)，其配置成以非接觸狀態(tài)包圍該電位檢測(cè)部(11a)，利用電位檢測(cè)部(11a)檢測(cè)因被除電物(30)的帶電電荷或自除電裝置(20)所供給的離子而在蓋(13)產(chǎn)生的電位，并作為反饋信號(hào)向除電裝置(20)內(nèi)的控制電路(24)送出。按照本發(fā)明，能夠以極簡(jiǎn)單的構(gòu)造檢測(cè)離子平衡及被除電物的帶電電位，可提高離子發(fā)生器的除電性能。
文檔編號(hào)G01R29/24GK101180547SQ20058004988
公開日2008年5月14日 申請(qǐng)日期2005年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月27日
發(fā)明者中島用松 申請(qǐng)人:修谷魯電子機(jī)器股份有限公司