專利名稱:高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法及實(shí)現(xiàn)該方法的光譜儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種快速獲得目標(biāo)干涉光譜的動(dòng)鏡式干涉成像方法及實(shí)現(xiàn)該方法的光譜儀,具體涉及一種高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法及實(shí)現(xiàn)該方法的光譜儀。
背景技術(shù):
較早的成像光譜儀有法國(guó)太空空間與戰(zhàn)略系統(tǒng)分部于1991年研制出的邁克爾遜干涉型時(shí)間調(diào)制空間成像傅里葉變換光譜儀D Simenoni.New concept forhigh-compact imaging Fourier transform spectrometer(IFTS)[C].SPIE,1991,1479127-138.,美國(guó)羅倫斯利物摩爾實(shí)驗(yàn)室于1995年研制出的邁克爾遜干涉型時(shí)間調(diào)制空間成像傅里葉變換光譜儀Michael R Carter,Charles L Bennett,DavidJ Fields,et al.Live more imaging Fourier transform spectrometer[C].SPIE,1995,2480380-386.。其采用線性往復(fù)掃描方式,每次掃描結(jié)束時(shí)必須轉(zhuǎn)向,待穩(wěn)定后再采集數(shù)據(jù)。所以,采集數(shù)據(jù)時(shí)必須通過(guò)一束參考激光提供相應(yīng)的相干采樣圖譜。掃描速度通過(guò)伺服系統(tǒng)控制,并在轉(zhuǎn)向時(shí)提供逆程掃描,隨著掃描頻率、速度的增加,往返時(shí)間成為總掃描時(shí)間的重要部分。為了得到精確的采樣干涉圖,伺服系統(tǒng)所需的帶寬急劇增加。而隨著掃描速度的增加,分辨率會(huì)受上述因素的制約。由于往返時(shí)間成為總掃描時(shí)間的重要部分,占空比會(huì)因伺服系統(tǒng)功率、掃描器件尺寸大小、掃描器件重量及系統(tǒng)穩(wěn)定時(shí)間的制約而降低。例如,在360次/秒掃描、單次掃描時(shí)間為2.8毫秒的掃描頻率下極難實(shí)現(xiàn)往復(fù)掃描。1-2毫秒的返程與穩(wěn)定時(shí)間會(huì)將占空比降低至33-50%。在重復(fù)頻率很高的情況下,將制約對(duì)分辨率有影響的掃描長(zhǎng)度。因此,邁克爾遜干涉型時(shí)間調(diào)制空間成像傅里葉變換光譜儀穩(wěn)定性差,工藝復(fù)雜,只適用于空間和光譜時(shí)間變化較慢的目標(biāo)。
轉(zhuǎn)鏡干涉光譜成像是變形的時(shí)間調(diào)制型邁可爾遜干涉技術(shù)J.Peter Dybward,et.al.“New Interferometer Design Concept”,STC Technical Report 2637,Science and Technology Corp,Hampton,VA,under contract #DAAA15-89-D-007,US Army CRDEC,APG,MD,8/92.,該技術(shù)在掃描過(guò)程中有空掃。即轉(zhuǎn)鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)僅在一定角度內(nèi)可獲得干涉光譜圖,而在其他角度為空掃。工作效率低,且只能對(duì)單象素取樣,即只能對(duì)點(diǎn)目標(biāo)掃描,只能應(yīng)用于一個(gè)角度光線的掃描。
一種超高速掃描傅立葉變化紅外光譜測(cè)定法Peter R.Griffiths,Blayne L.Hirsche,Christopher J.Manning.Ultra-rapid-scanning Fourier transforminfared spectrometry.Vibrational Spectroscopy 19(1999)165-176.,雖解決了轉(zhuǎn)鏡空掃的問(wèn)題,但仍只能對(duì)單象素取樣。如果要獲得線目標(biāo)或者面目標(biāo)的干涉圖譜,就必須在系統(tǒng)前部附加一個(gè)前置掃描系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)每個(gè)點(diǎn)的逐個(gè)掃描,最后集合而獲得整個(gè)目標(biāo)的干涉圖譜。存在的缺陷是系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,體積較大,重量重。由于實(shí)時(shí)性差,不僅影響光譜圖的質(zhì)量,且掃描時(shí)間長(zhǎng),掃描速度低,分辨率低,適用的工作范圍也較窄。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法及實(shí)現(xiàn)該方法的光譜儀,其解決了背景技術(shù)中只能對(duì)單象素取樣、工作效率低,或系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、掃描速度低、穩(wěn)定性差的技術(shù)問(wèn)題。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法,其特征在于該方法包括以下步驟1)準(zhǔn)直透鏡1將來(lái)自目標(biāo)的光束轉(zhuǎn)換成平行光束;2)分束器2將平行光束分為反射光束IF和透射光束IT;(1)被分束器2分出的反射光束IF經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3和角反射器5、6多次反射,再回到分束器2,通過(guò)傅立葉透鏡8會(huì)聚到探測(cè)器9,形成第一束光的光程;(2)被分束器2分出的透射光束IT到達(dá)角反射器7,經(jīng)角反射器7和分束器2多次反射,再回到分束器2,通過(guò)傅立葉透鏡8會(huì)聚到探測(cè)器9,形成第二束光的光程;3)第一束光與第二束光通過(guò)傅立葉透鏡8到達(dá)探測(cè)器9時(shí)產(chǎn)生光程差,成為兩束相干光,在探測(cè)器9上產(chǎn)生干涉光譜圖;4)干涉光譜圖經(jīng)計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)12進(jìn)行傅立葉變換,得到復(fù)原的目標(biāo)圖像。
上述第一束光、第二束光的光程可以是1)被分束器2分出的反射光束IF(1)經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3反射到角反射器5,角反射器5把入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡3;(2)反射回轉(zhuǎn)鏡3的光又被轉(zhuǎn)鏡3反射到角反射器6,角反射器6把入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡3;(3)轉(zhuǎn)鏡3再次將光反射到角反射器5,角反射器5再次將入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡3;
(4)轉(zhuǎn)鏡3將光反射回分束器2;(5)反射回分束器2的光又被分為反射光束IFF和透射光束IFT;2)被分束器2分出的透射光束IT(1)被角反射器7按與入射方向平行的方向反射回分束器2;(2)反射回分束器2的光又被分為反射光束ITF和透射光束ITT;4)被分束器2分出的反射光束IF再次被分束器2分出的透射光束IFT,透過(guò)分束器2到達(dá)傅立葉透鏡8,被探測(cè)器9接收;5)被分束器2分出的透射光束IT再次被分束器2分出的反射光束ITF,通過(guò)傅立葉透鏡8,被探測(cè)器9接收。
一種實(shí)現(xiàn)上述高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法的光譜儀,包括傅立葉透鏡8,位于傅立葉透鏡8的焦面上的探測(cè)器9,與探測(cè)器9相連接的計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)12,設(shè)置于前置光學(xué)系統(tǒng)11主光軸上的準(zhǔn)直透鏡1,設(shè)置于準(zhǔn)直透鏡1軸線00′上的分束器2,其特征在于它還包括轉(zhuǎn)鏡3和角反射器5-7;所述轉(zhuǎn)鏡3的初始位置和角反射器5-7的位置應(yīng)滿足1)主光軸上的光被分束器2第一次分出的反射光束IF為第一束光;其經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3和角反射器5、6多次反射,再回到分束器2,通過(guò)傅立葉透鏡8會(huì)聚到探測(cè)器9形成的第一束光的光程;2)主光軸上的光被分束器2第一次分出的透射光束IT為第二束光;其到達(dá)角反射器7,經(jīng)角反射器7和分束器2多次反射,再回到分束器2,通過(guò)傅立葉透鏡8會(huì)聚到探測(cè)器9形成的第二束光的光程;3)第一束光再回到分束器2的交點(diǎn)與第二束光再回到分束器2的交點(diǎn)相重合;4)第一束光被分束器2再次分出的透射光束IFT和第二束被分束器2再次分出的反射光束ITF光路重合;5)第一束光的光程與第二束光的光程相等;所述傅立葉透鏡8的光軸位于第一束光的透射光束IFT與第二束光的反射光束ITF相重合的光路上;所述的分束器2位于既能接收到通過(guò)準(zhǔn)直透鏡1的初始入射光、又能接收到經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3和角反射器5多次反射的反射光的準(zhǔn)直透鏡1的軸線00′上。
上述角反射器7可由一塊角反射器構(gòu)成,也可以是由兩塊角反射器13、14相向設(shè)置,再與一塊平面鏡15相向設(shè)置構(gòu)成的反射器組件。
上述探測(cè)器9以采用紅外探測(cè)器為佳,具體可采用CCD紅外探測(cè)器。
上述轉(zhuǎn)鏡3以由圓柱體的斜端面構(gòu)成為宜,其便于加工、安裝。
本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)
1.可實(shí)現(xiàn)高頻掃描,且穩(wěn)定性好。采用轉(zhuǎn)鏡式動(dòng)鏡,系統(tǒng)運(yùn)行連續(xù),當(dāng)掃描速度很高時(shí),由于慣性的作用,旋轉(zhuǎn)伺服系統(tǒng)仍能保持較好的穩(wěn)定性。
2.抗干擾能力強(qiáng)。由于獲得干涉圖的時(shí)間極短,系統(tǒng)對(duì)振動(dòng)敏感的程度低,機(jī)械振動(dòng)頻率一般對(duì)光譜圖的質(zhì)量無(wú)影響。
3.角反射器與轉(zhuǎn)鏡匹配形成的光路具有自補(bǔ)償特性,從而使本發(fā)明具有較好的抗干擾性。
4.掃描效率高。轉(zhuǎn)鏡以一個(gè)圓柱體的具有一定傾斜度的端面作為反射面,在電機(jī)的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng),無(wú)空掃現(xiàn)象,掃描效率高。
5.可實(shí)現(xiàn)線目標(biāo)或面目標(biāo)的直接掃描。采用角反射鏡,不僅能掃描主光軸光線,還可掃描具有一定角度的光線,即可對(duì)線目標(biāo)或面目標(biāo)直接進(jìn)行掃描,縮短了掃描時(shí)間,進(jìn)一步提高了掃描效率和光譜圖的質(zhì)量。
6.實(shí)時(shí)性好,分辨率高,工作范圍寬。尤適用于對(duì)較大目標(biāo)的大面積掃描。
7.功耗低,所需驅(qū)動(dòng)功率小。
8.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積小,重量輕。
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本發(fā)明反射器組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明1-準(zhǔn)直透鏡,2-分束器,3-轉(zhuǎn)鏡,4-電機(jī),5-角反射器,6-角反射器,7-角反射器,8-傅立葉透鏡,9-探測(cè)器,10-被觀測(cè)物,11-前置光學(xué)系統(tǒng),12-計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng),13-角反射器,14-角反射器,15-平面鏡。
具體實(shí)施例方式
參見附圖1,本發(fā)明的光學(xué)系統(tǒng)主要由準(zhǔn)直透鏡1、分束器2、轉(zhuǎn)鏡3、角反射器5-7、前置光學(xué)系統(tǒng)11和傅立葉透鏡8構(gòu)成;干涉系統(tǒng)主要由準(zhǔn)直透鏡1、分束器2、轉(zhuǎn)鏡3、角反射器5-7和傅立葉透鏡8構(gòu)成。探測(cè)系統(tǒng)主要由探測(cè)器9構(gòu)成,見附圖2;計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)12為信息處理系統(tǒng)。
本發(fā)明的工作原理在轉(zhuǎn)鏡3靜止時(shí),主光軸上的光束被分束器2分成兩束光,該兩束光的光程相等。當(dāng)轉(zhuǎn)鏡3在電機(jī)4的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),被分束器2第一次分出的反射光束IF,經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3與角反射器5、6多次反射后,回到分束器2,再到達(dá)傅立葉透鏡8的第一束光的光程會(huì)發(fā)生變化。而被分束器2第一次分出的透射光束IT,經(jīng)角反射器7反射回分束器2,被分束器2反射到達(dá)傅立葉透鏡8的第二束光的光程不變化。兩束光的光路不再重合,最后到達(dá)探測(cè)器9的光程不再相等,從而產(chǎn)生光程差,成為兩束相干光,在探測(cè)器9上產(chǎn)生干涉圖。隨著轉(zhuǎn)鏡3的轉(zhuǎn)動(dòng),兩束光的光程差不斷變化,由此獲得干涉光譜圖。干涉光譜圖經(jīng)計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)12進(jìn)行傅立葉變換后,可得到復(fù)原的目標(biāo)圖像。轉(zhuǎn)鏡3在電機(jī)4帶動(dòng)下高速轉(zhuǎn)動(dòng),即可實(shí)現(xiàn)高速掃描。
本發(fā)明準(zhǔn)直透鏡1的軸線00′位于前置光學(xué)系統(tǒng)11的主光軸上。分束器2的位置應(yīng)確保既能接收到通過(guò)準(zhǔn)直透鏡1的初始入射光,又能接收到通過(guò)轉(zhuǎn)鏡3和角反射器5多次反射回的光。角反射器7可采用一塊角反射器構(gòu)成,見圖1、2。角反射器7還可采用由兩塊角反射器13、14與一塊平面鏡15構(gòu)成的反射器組件,見圖3。轉(zhuǎn)鏡3的初始位置和角反射器5-7的位置應(yīng)滿足當(dāng)轉(zhuǎn)鏡3在某一位置定位時(shí),1)主光軸上的光在分束器2上第一次被分出的反射光束IF為第一束光;其經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3和角反射器5、6多次反射,再回到分束器2,被分束器2分為反射光束IFF和透射光束IFT,透射光束IFT通過(guò)傅立葉透鏡8到達(dá)探測(cè)器9的光程形成第一束光的光程。
2)主光軸上的光在分束器2上第一次被分出的透射光束IT為第二束光;其到達(dá)角反射器7,又經(jīng)角反射器7和分束器2多次反射,再回到分束器2,被分束器2分為反射光束ITF和透射光束ITT,反射光束ITF通過(guò)傅立葉透鏡8到達(dá)探測(cè)器9的光程形成第二束光的光程。
3)第一束光再回到分束器2的交點(diǎn)與第二束光再回到分束器2的交點(diǎn)相重合。
4)第一束光被分束器2再次分出的透射光束IFT和第二束被分束器2再次分出的反射光束ITF光路重合。
5)第一束光的光程與第二束光的光程相等。傅立葉透鏡8的光軸位于第一束光的透射光束IFT與第二束光的反射光束ITF相重合的光路上。探測(cè)器9位于傅立葉透鏡8的焦面上。探測(cè)器9以采用紅外CCD探測(cè)器為宜。圖2所示的被觀測(cè)物10是火箭,其是本發(fā)明用于觀測(cè)火箭尾焰的示意圖。
本發(fā)明光的傳輸過(guò)程1.來(lái)自目標(biāo)的光束經(jīng)前置光學(xué)系統(tǒng)11到達(dá)準(zhǔn)直透鏡1,準(zhǔn)直透鏡1將目標(biāo)光束轉(zhuǎn)換成平行光束;平行光束投射到鍍有半透半反膜的分束器2上。
2.分束器2將光束分為反射光束IF和透射光束IT。其中,1)被分束器2分出的反射光束IF(1)經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3反射到角反射器5,角反射器5把入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡3;(2)反射回轉(zhuǎn)鏡3的光又被轉(zhuǎn)鏡3反射到角反射器6,角反射器6把入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡3;
(3)轉(zhuǎn)鏡3再次將光反射到角反射器5,角反射器5再次將入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡3;(4)轉(zhuǎn)鏡3將光反射回分束器2;(5)反射回分束器2的光再次被分為反射光束IFF和透射光束IFT。
2)被分束器2分出的透射光束IT(1)被角反射器7按與入射方向平行的方向反射回分束器2;(2)反射回分束器2的光再次被分為反射光束ITF和透射光束ITT。
4.被分束器2分出的反射光束IF再次被分束器2分出的透射光束IFT,透過(guò)分束器2到達(dá)傅立葉透鏡8,被位于傅立葉透鏡8焦面上的探測(cè)器9接收。
5.被分束器2分出的透射光束IT再次被分束器2分出的反射光束ITF,通過(guò)傅立葉透鏡8,被位于傅立葉透鏡8焦面上的探測(cè)器9接收。
6.分束器2第一次分出的反射光束IF,經(jīng)轉(zhuǎn)鏡3和角反射器5、6多次反射,再回到分束器2,通過(guò)傅立葉透鏡8會(huì)聚到探測(cè)器9形成第一束光的光程;分束器2第一次分出的透射光束IT,到達(dá)角反射器7,又經(jīng)角反射器7和分束器2多次反射,再回到分束器2,通過(guò)傅立葉透鏡8會(huì)聚到探測(cè)器9形成第二束光的光程;該兩束光產(chǎn)生光程差,成為兩束相干光,在探測(cè)器9上產(chǎn)生干涉光譜圖。
7.干涉光譜圖經(jīng)計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)12進(jìn)行傅立葉變換,得到復(fù)原的目標(biāo)圖像。
權(quán)利要求
1.一種高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法,其特征在于該方法包括以下步驟1)準(zhǔn)直透鏡(1)將來(lái)自目標(biāo)的光束轉(zhuǎn)換成平行光束;2)分束器(2)將平行光束分為反射光束IF和透射光束IT;(1)被分束器(2)分出的反射光束IF經(jīng)轉(zhuǎn)鏡(3)和角反射器(5)、(6)多次反射,再回到分束器(2),通過(guò)傅立葉透鏡(8)會(huì)聚到探測(cè)器(9),形成第一束光的光程;(2)被分束器(2)分出的透射光束IT到達(dá)角反射器(7),經(jīng)角反射器(7)和分束器(2)多次反射,再回到分束器(2),通過(guò)傅立葉透鏡(8)會(huì)聚到探測(cè)器(9),形成第二束光的光程;3)第一束光與第二束光通過(guò)傅立葉透鏡(8)到達(dá)探測(cè)器(9)時(shí)產(chǎn)生光程差,成為兩束相干光,在探測(cè)器(9)上產(chǎn)生干涉光譜圖;4)干涉光譜圖經(jīng)計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)(12)進(jìn)行傅立葉變換,得到復(fù)原的目標(biāo)圖像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法,其特征在于所述第一束光、第二束光的光程是1)被分束器(2)分出的反射光束IF(1)經(jīng)轉(zhuǎn)鏡(3)反射到角反射器(5),角反射器(5)把入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡(3);(2)反射回轉(zhuǎn)鏡(3)的光又被轉(zhuǎn)鏡(3)反射到角反射器(6),角反射器(6)把入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡(3);(3)轉(zhuǎn)鏡(3)再次將光反射到角反射器(5),角反射器(5)再次將入射的光沿與入射方向平行的方向反射回轉(zhuǎn)鏡(3);(4)轉(zhuǎn)鏡(3)將光反射回分束器(2);(5)反射回分束器(2)的光又被分為反射光束IFF和透射光束IFT;2)被分束器(2)分出的透射光束IT(1)被角反射器(7)按與入射方向平行的方向反射回分束器(2);(2)反射回分束器(2)的光又被分為反射光束ITF和透射光束ITT;4)被分束器(2)分出的反射光束IF再次被分束器(2)分出的透射光束IFT,透過(guò)分束器(2)到達(dá)傅立葉透鏡(8),被探測(cè)器(9)接收;5)被分束器(2)分出的透射光束IT再次被分束器(2)分出的反射光束ITF,通過(guò)傅立葉透鏡(8),被探測(cè)器(9)接收。
3.一種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法的光譜儀,包括傅立葉透鏡(8),位于傅立葉透鏡(8)的焦面上的探測(cè)器(9),與探測(cè)器(9)相連接的計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)(12),設(shè)置于前置光學(xué)系統(tǒng)(11)主光軸上的準(zhǔn)直透鏡(1),設(shè)置于準(zhǔn)直透鏡(1)軸線OO′上的分束器(2),其特征在于它還包括轉(zhuǎn)鏡(3)和角反射器(5)-(7);所述轉(zhuǎn)鏡(3)的初始位置和角反射器(5)-(7)的位置應(yīng)滿足1)主光軸上的光被分束器(2)第一次分出的反射光束IF為第一束光;其經(jīng)轉(zhuǎn)鏡(3)和角反射器(5)、(6)多次反射,再回到分束器(2),通過(guò)傅立葉透鏡(8)會(huì)聚到探測(cè)器(9)形成的第一束光的光程;2)主光軸上的光被分束器(2)第一次分出的透射光束IT為第二束光;其到達(dá)角反射器(7),經(jīng)角反射器(7)和分束器(2)多次反射,再回到分束器(2),通過(guò)傅立葉透鏡(8)會(huì)聚到探測(cè)器(9)形成的第二束光的光程;3)第一束光再回到分束器(2)的交點(diǎn)與第二束光再回到分束器(2)的交點(diǎn)相重合;4)第一束光被分束器(2)再次分出的透射光束IFT和第二束被分束器(2)再次分出的反射光束ITF光路重合;5)第一束光的光程與第二束光的光程相等;所述傅立葉透鏡(8)的光軸位于第一束光的透射光束IFT與第二束光的反射光束ITF相重合的光路上;所述的分束器(2)位于既能接收到通過(guò)準(zhǔn)直透鏡(1)的初始入射光、又能接收到經(jīng)轉(zhuǎn)鏡(3)和角反射器(5)次反射的反射光的準(zhǔn)直透鏡(1)的軸線OO′上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀,其特征在于所述的角反射器(7)由一塊角反射器構(gòu)成;所述的角反射器(7)或是由兩塊角反射器(13)、(14)相向設(shè)置,再與一塊平面鏡(15)相向設(shè)置構(gòu)成的反射器組件。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀,其特征在于所述的探測(cè)器(9)為紅外探測(cè)器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀,其特征在于所述轉(zhuǎn)鏡(3)由圓柱體的斜端面構(gòu)成。
全文摘要
一種高穩(wěn)定度干涉成像光譜儀的成像方法及實(shí)現(xiàn)該方法的光譜儀,其準(zhǔn)直透鏡將來(lái)自目標(biāo)的光轉(zhuǎn)換成平行光束,經(jīng)分束器后分為反射光束I
文檔編號(hào)G01J3/45GK1900667SQ20051004303
公開日2007年1月24日 申請(qǐng)日期2005年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月23日
發(fā)明者相里斌, 蘇麗娟, 袁艷 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所