專利名稱：基于事件的測試系統(tǒng)的延遲時間插入的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測試半導(dǎo)體器件的基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，更具體地說，涉及一種基于事件數(shù)據(jù)而生成測試圖形和選通信號的方法和裝置，在這種方法和裝置中，一個延遲時間可以容易地被插入到一個特殊事件的事件數(shù)據(jù)中，而不影響其它事件。
在由一個半導(dǎo)體測試系統(tǒng)(如一個IC測試儀)測試半導(dǎo)體器件(如IC和LSI)時，由IC(集成電路)測試儀在預(yù)定測試時間點，在其適當(dāng)?shù)牟遽樕舷蛞粋€被測半導(dǎo)體IC器件提供測試信號或測試圖形。IC測試儀響應(yīng)測試信號，從被測IC器件接收輸出信號。以預(yù)定的定時，輸出信號通過選通信號被選通或者采樣，并且與預(yù)期數(shù)據(jù)比較，以確定IC器件功能是否完好。
傳統(tǒng)地，相對于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的一個測試率或者測試周期，來確定測試信號和選通信號的定時。這樣的一個測試系統(tǒng)有時被稱為基于周期的測試系統(tǒng)。另一種測試系統(tǒng)被稱為基于事件的測試系統(tǒng)，其中，對于每一個插針，預(yù)期的測試信號和選通信號由來自事件存儲器的事件數(shù)據(jù)直接產(chǎn)生。本發(fā)明就涉及這樣一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)。
在一個基于事件的測試系統(tǒng)中，使用了事件的概念，就是用于測試被測半導(dǎo)體器件的信號的邏輯狀態(tài)的任何改變。例如，這樣的改變是測試信號的上升和下降邊緣，或者是選通信號的定時邊緣。事件的定時是相對于從基準(zhǔn)時間點開始的一個時間長度來定義的。典型地，這樣的一個基準(zhǔn)時間點是先前事件的定時。也可以這樣說，這樣的一個基準(zhǔn)時間點是一個通用于全部事件的起始時間。
在一個基于事件的測試系統(tǒng)中，因為定時存儲器(事件存儲器)中的定時數(shù)據(jù)不需要在每個測試周期中都包括關(guān)于波形、向量、延遲等等的復(fù)雜信息，所以定時數(shù)據(jù)的描述可以極大地簡化。正如上面所提到的，在基于事件的測試系統(tǒng)中，典型地，儲存在事件存儲器中用于每一個事件的定時(事件)數(shù)據(jù)，是由在當(dāng)前事件和最后一個事件之間的時差來表示的。
因為這樣在鄰近事件(增量時間)之間的時差是很小的，不同于從固定出發(fā)點(絕對時間)的時差，存儲器中數(shù)據(jù)的大小也可以是小的，從而減少存儲量。
為了產(chǎn)生高分辨率的定時，在事件之間的時間長度(延遲值)是由一個基準(zhǔn)時鐘周期的整數(shù)倍數(shù)和該基準(zhǔn)時鐘周期的一個分?jǐn)?shù)(分?jǐn)?shù)或者事件游標(biāo)(event vernier))的組合來定義的。在事件計數(shù)和事件游標(biāo)之間的定時關(guān)系如圖3A-3E的定時圖所示。在該實例中，圖3A的基準(zhǔn)時鐘(主時鐘或者系統(tǒng)時鐘)具有一個時鐘周期(以下也稱之為“時段”或者“時間間隔”)T。事件0，事件1和事件2如圖3C所示，有定時關(guān)系。
為了參考事件0描述事件1，事件存儲器中定義了一個在兩個事件之間的時差(延遲)ΔV1。事件2的定時由一個離開事件1的時差(延遲)ΔV2來定義。類似的，圖3E中事件3的定時是由一個離開事件2的時差(延遲)ΔV3來定義的。在事件測試系統(tǒng)中，事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)被讀出，并且合計到(summed up to)全部的先前事件上，以產(chǎn)生當(dāng)前事件的一個最終的定時。
因此，在圖3C的例子中，為了產(chǎn)生事件1，圖3B的定時關(guān)系被使用了，其中，N1T表示事件計數(shù)，它是基準(zhǔn)時鐘周期T的N1倍，Δ1T表示事件游標(biāo)，它是基準(zhǔn)時鐘周期T的一部分。類似地，在圖3E中參照事件0產(chǎn)生事件3，全部先前事件的定時數(shù)據(jù)被合計起來，以產(chǎn)生一個總的時差，用N3T+Δ3T來表示，其中，N3T是事件計數(shù)，它是基準(zhǔn)時鐘周期T的N3倍，Δ3T表示事件游標(biāo)，它是基準(zhǔn)時鐘周期T的一部分。
在實際器件測試中，對于被測器件的一個特定插針的測試信號，可能在一個較長的時間段中，比如幾百毫秒，不會變化，而大多數(shù)其它插針的測試信號卻以較高的速率，比如幾十或者幾百毫微秒，進(jìn)行變化。這意味著在兩個鄰近事件之間的時間長度是在一個很寬的范圍中，需要大量的數(shù)據(jù)位來描述最大可能的時間長度。因為半導(dǎo)體測試系統(tǒng)是一個有幾百個測試通道(插針)的大系統(tǒng)，每一測試通道包括一個事件存儲器，使事件存儲器的容量最小化，以減少測試系統(tǒng)的總費用是所期盼的。
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)和事件產(chǎn)生方法，其中，在特定事件的定時數(shù)據(jù)中插入一個延遲時間，以擴(kuò)大在兩個事件之間的時差，而不影響測試系統(tǒng)的操作。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)和產(chǎn)生一系列各種定時事件的事件產(chǎn)生方法，其中，事件存儲器使用相對小的數(shù)據(jù)位來存儲定時數(shù)據(jù)，以表示事件之間的長短時差。
本發(fā)明又一個目的是提供一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)和事件產(chǎn)生方法，基于增量時間(時差)，通過存儲和修改一個小存儲容量的事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)，從先前的事件產(chǎn)生另一個事件。
本發(fā)明是一種基于事件的測試系統(tǒng)，該測試系統(tǒng)產(chǎn)生各種定時事件，用于提供一個測試信號給被測電子器件(DUT)，并且以選通信號的定時對DUT輸出進(jìn)行評估，由此對DUT進(jìn)行測試。通過改變事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)，可以自由地改變事件的定時。這樣，事件存儲器的容量比較小，并且用于存儲兩個事件之間大時差的定時數(shù)據(jù)的字長較短。
在本發(fā)明中，用于生成基于事件數(shù)據(jù)的測試圖形和選通信號的裝置，包含一個用于存儲每一個事件定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲器，其中，當(dāng)前事件的定時數(shù)據(jù)由一個延遲時間來表示，該延遲時間是從上一個事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；還包含一個插入裝置，用于在特定事件的定時數(shù)據(jù)中插入一個延遲時間，以這樣的一種方式建立當(dāng)前事件的總延遲時間，即，該延遲時間比由事件存儲器中特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位所能表示的時間要長，其中，插入延遲時間的裝置包括重復(fù)裝置，用于重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)。
按照本發(fā)明的另一個方面，用于插入延遲時間的裝置包括插入裝置，用于插入NOP(NO-Operation)事件，NOP事件表示將被加給特定事件的附加延遲時間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此，在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入附加的延遲時間。本發(fā)明也包含一種方法，該方法是在定時數(shù)據(jù)中插入延遲時間來產(chǎn)生事件序列。
在上面提到的本發(fā)明的第一和第二方面，事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)包含延遲計數(shù)數(shù)據(jù)和延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)，延遲計數(shù)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的，而延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時鐘周期的分?jǐn)?shù)部分(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的。更進(jìn)一步地，在本發(fā)明第一和第二方面，這樣的延遲時間的插入被重復(fù)多次，以達(dá)到當(dāng)前事件的想要的總延遲時間。
本發(fā)明另一方面是一種插入延遲時間的方法，在用于測試半導(dǎo)體器件的事件定時數(shù)據(jù)中插入延遲時間。該方法包含以下步驟把每個事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)存儲到事件存儲器中，其中，當(dāng)前事件的定時數(shù)據(jù)由延遲時間來表示，延遲時間恰好是從上一個事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；并且以這樣的一種方式在特定事件的定時數(shù)據(jù)中插入一個延遲時間，以建立當(dāng)前事件的總延遲時間，該時間比由事件存儲器中特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位能表示的時間要長。延遲時間插入步驟是通過以下步驟進(jìn)行的，即，重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)，或插入一個NOP(NO-操作)事件，NOP事件表示要被添加給特定事件的附加延遲時間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入了附加的延遲時間。
依據(jù)本發(fā)明，基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)能夠基于儲存在事件存儲器中的事件數(shù)據(jù)，產(chǎn)生各種定時的事件，從而對半導(dǎo)體器件進(jìn)行評估。每一個事件的定時是由從最后一個事件時間長度的差異(增量時間)來定義的。以延遲時間插入后總的增量時間大于事件存儲器最大的字長的方式，插入一個延遲時間，由此事件之間的增量時間可以容易地擴(kuò)大。在一方面，本發(fā)明的事件測試系統(tǒng)中插入延遲時間的操作，是通過不斷重復(fù)恰好在當(dāng)前事件前面的事件而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要的時間長度。在另一方面，事件測試系統(tǒng)中的延遲時間插入操作，是通過不斷調(diào)用一個當(dāng)前事件的NOP(NO-操作)而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要時間長度。


圖1是示意性方框圖，表示本發(fā)明的基于事件的測試系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)。
圖2是方框圖，表示與圖1的插針電子裝置(pin electronics)有關(guān)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)，其中涉及驅(qū)動事件(測試信號)以及來自來事件發(fā)生器的取樣事件(選通信號)。
圖3是定時圖，表示各驅(qū)動事件和取樣事件的事件之間的相對于基準(zhǔn)時鐘的定時關(guān)系，用于表示基于事件測試操作的基本概念。
圖4是定時圖，表示基于兩個鄰近事件之間的時差(增量時間)的，各種事件之間的定時關(guān)系。
圖5是一個圖表，表示在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲器中存儲的數(shù)據(jù)的一個例子，這些存儲的數(shù)據(jù)對應(yīng)于圖4所示的一系列延遲，不包含延遲時間插入。
圖6是定時圖，表示基于儲存在圖5的事件存儲器中的不包括延遲時間插入的定時數(shù)據(jù)，而生成的一系列事件的波形。
圖7是定時圖，表示在附加的事件被插入事件序列而在事件之間獲得一個足夠長的延遲的情況下，一個定時關(guān)系的例子。
圖8是一個圖表，表示按照本發(fā)明的第一方面，在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲器中存儲的數(shù)據(jù)的例子，其中在事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)中插入了一個延遲。
圖9是定時圖，表示按照本發(fā)明的第一方面，基于儲存在圖8的事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)，而生成的一系列事件的波形。
圖10是一個圖表，表示按照本發(fā)明的第二方面，在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲器中存儲的數(shù)據(jù)的例子，其中在事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)中插入了一個延遲。
圖11是定時圖，表示按照本發(fā)明的第二方面，基于儲存在圖9的事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)，而生成的一系列事件的波形。
圖1是示意性方框圖，表示本發(fā)明的基于事件的測試系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)的例子。基于事件的測試系統(tǒng)包括一個主機12和一個總線接口13，它們都連接到系統(tǒng)總線14，還有內(nèi)部總線15、地址控制邏輯電路18、故障存儲器17，事件存儲器包括事件計數(shù)存儲器20和事件游標(biāo)存儲器21、事件求和與比例邏輯電路22、事件發(fā)生器24、和插針電子裝置26?；谑录臏y試系統(tǒng)是用來對被測半導(dǎo)體器件28進(jìn)行評估的，它是一個典型的存儲器IC，比如隨機存取存儲器(RAM)和閃爍存儲器，或者是邏輯IC，比如微處理器和信號處理機，被測半導(dǎo)體器件28是和插針電子裝置26相連的。
主機12的一個實例是具有UNIX操作系統(tǒng)的工作站。主機12的功能是作為一個用戶接口，使用戶可以發(fā)出測試開始和停止操作的指令，可以裝載測試程序和其它測試條件，或者可以進(jìn)行試驗結(jié)果分析。主機12通過系統(tǒng)總線14和總線接口13，與硬件測試系統(tǒng)相連。雖然未示出，但是主機12是可以連接到通信網(wǎng)絡(luò)，向其它測試系統(tǒng)或者計算機網(wǎng)絡(luò)發(fā)送測試信息，或者從其它測試系統(tǒng)或者計算機網(wǎng)絡(luò)上接收測試信息。
內(nèi)部總線15是硬件測試系統(tǒng)內(nèi)部的一個總線，通常連接到大多數(shù)功能塊上，比如地址控制邏輯電路18、故障存儲器17、事件求和與比例邏輯電路22、事件發(fā)生器24。地址控制邏輯電路18的實例是一臺測試器處理器，它是專用于硬件測試系統(tǒng)的，并且用戶不可以訪問。地址控制邏輯電路18根據(jù)主機12的測試程序和條件，對測試系統(tǒng)中的其它功能塊下達(dá)指令。故障存儲器17把試驗結(jié)果，比如DUT 28的故障信息，儲存到地址控制邏輯電路18定義的地址。儲存在故障存儲器17中的信息，是用于被測器件的故障分析階段的。
地址控制邏輯電路18提供地址數(shù)據(jù)給圖1所示的事件計數(shù)存儲器20和事件游標(biāo)存儲器21。在實際的測試系統(tǒng)中，將提供多個集合(set)的事件計數(shù)存儲器和事件游標(biāo)存儲器，每個集合可能對應(yīng)測試系統(tǒng)的一個測試插針。事件計數(shù)和游標(biāo)存儲器為每個測試信號和選通信號的事件儲存定時數(shù)據(jù)。事件計數(shù)存儲器20儲存的定時數(shù)據(jù)是整數(shù)倍基準(zhǔn)時鐘(整數(shù)部分)，事件游標(biāo)存儲器21儲存的定時數(shù)據(jù)是一部分基準(zhǔn)時鐘(分?jǐn)?shù))。在本發(fā)明的內(nèi)容中，用于每個事件的定時數(shù)據(jù)是用距先前事件的時差(延遲時間或者增量時間)來表示的。
事件求和與比例邏輯電路22根據(jù)事件計數(shù)存儲器20和事件游標(biāo)存儲器21的定時數(shù)據(jù)，產(chǎn)生表示每個事件總定時的數(shù)據(jù)?；旧?，這樣的總定時數(shù)據(jù)是通過對整數(shù)倍數(shù)據(jù)和小數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù)求和產(chǎn)生的。在對定時數(shù)據(jù)求和的過程中，定時計數(shù)和偏差邏輯電路22中，也對小數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù)(與整數(shù)數(shù)據(jù)的偏差)的運算進(jìn)行進(jìn)位。更進(jìn)一步地，在產(chǎn)生總定時的過程中，定時數(shù)據(jù)可以乘以一個比例因數(shù)，從而相應(yīng)地修改總定時。
事件發(fā)生器24根據(jù)事件求和與比例邏輯電路22的總定時數(shù)據(jù)，產(chǎn)生事件。因此產(chǎn)生的事件(測試信號和選通信號)，通過插針電子裝置26，被提供給DUT 28?；旧?，插針電子裝置26由大量的零部件組成，每個零部件包括驅(qū)動器和比較器，并建立相對于DUT 28的輸入和輸出關(guān)系。
圖2是一個方框圖，表示帶有驅(qū)動器35和模擬比較器36的插針電子裝置26的更詳細(xì)的配置。事件發(fā)生器24產(chǎn)生驅(qū)動事件，它作為一個測試信號通過驅(qū)動器35被提供給DUT 28的一個輸入引腳。事件發(fā)生器24更進(jìn)一步產(chǎn)生一個取樣事件，它作為一個用于對DUT 28的輸出信號進(jìn)行取樣的選通信號，被提供給模擬比較器36。模式比較器38將模擬比較器36的輸出信號與事件發(fā)生器24的預(yù)期數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。如果兩者之間不匹配的話，就給圖1中的故障存儲器17發(fā)送一個故障信號。
驅(qū)動事件的波形(測試圖形)、從DUT輸出的信號、取樣事件(選通信號)的例子分別表示在圖3C、3D和3E中。當(dāng)通過驅(qū)動器35把圖3C的驅(qū)動事件提供給DUT 28時，作為響應(yīng)，DUT 28產(chǎn)生圖3D所示的輸出信號，該信號由圖3E的取樣事件決定的定時來進(jìn)行選通。如圖3C所示，驅(qū)動事件確定測試圖形上升和下降邊緣的定時。對比而言，如圖3E所示，取樣事件確定選通點的定時，即當(dāng)單一事件作為取樣事件時，選通信號僅僅可以由單一事件產(chǎn)生。這是因為選通信號具有非常窄的脈沖寬度，因此，實際上不可能通過定義它的兩個上升和下降邊緣來產(chǎn)生選通信號。
圖4是根據(jù)兩個相鄰事件之間時間差異(增量時間)，表示不同事件之間定時關(guān)系的定時圖。正如上面參照圖3A-3E所提到的，事件之間的時間長度(延遲數(shù)值)是通過基準(zhǔn)時鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分或者延遲計數(shù))，和基準(zhǔn)時鐘周期的分?jǐn)?shù)部分(分?jǐn)?shù)部分或者延遲游標(biāo))的組合來定義的。
在圖4的例子中，事件0-7是參照具有一個時間間隔T=1的基準(zhǔn)時鐘來表示的。例如，事件0的增量(延遲)時間ΔV0可以是0.75(延遲計數(shù)“0”，延遲游標(biāo)“0.75”)，事件1的增量時間ΔV1可以是1.50(延遲計數(shù)“1”，延遲游標(biāo)“0.50”)。在這種情形下，事件1的總延遲是2.25，測試系統(tǒng)中的邏輯電路計數(shù)兩個事件時鐘“2.0”，并且計算延遲游標(biāo)之和“0.25”作為余下的分?jǐn)?shù)延遲。
圖5是一個圖表，表示儲存在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲器中數(shù)據(jù)的例子，其中，這些數(shù)據(jù)對應(yīng)于圖4所示的一系列延遲。延遲時間ΔVn(ΔV0、ΔV1、ΔV2…)是由圖5所示的延遲計數(shù)Cn(C1、C2、C3、…)和延遲游標(biāo)Vn(V1、V2、V3、…)的組合來表示的。圖6是定時圖，表示事件的一系列波形的實例，這些事件是根據(jù)圖5的事件存儲器存儲的定時數(shù)據(jù)產(chǎn)生的。圖5和圖6的實例不包括延遲時間插入。
因為延遲游標(biāo)總是沒有基準(zhǔn)時鐘周期T長，所以，幾個位(bits)的字長就足夠完全描述這個事件的任意分?jǐn)?shù)延遲。然而，事件計數(shù)數(shù)據(jù)(延遲計數(shù))不得不支持一個寬范圍的整數(shù)數(shù)值，比如從1到134,217,728的基準(zhǔn)時鐘周期。這是因為實際測試操作中兩個事件間的時間長度可以小到幾十毫微秒，大到幾百毫秒。這樣大量的時鐘周期要求總數(shù)為27的數(shù)據(jù)位，用于每個事件存儲器中的延遲計數(shù)數(shù)據(jù)。
在實際器件測試中，使用這樣大量的時鐘周期是罕見的，在大多數(shù)場合，較小數(shù)量的時鐘周期基本上足夠了。因此，把很小位長(如九位)，用于事件存儲器中的延遲計數(shù)數(shù)據(jù)，是非常理想的。因此，本發(fā)明用來提供一種方法，即在事件中插入一個延遲時間，以使用相對少的數(shù)據(jù)位獲得包括大量時鐘周期的延遲數(shù)據(jù)。換言之，本發(fā)明是為了實現(xiàn)產(chǎn)生一個事件的方法，這個事件和先前事件的時間差比事件存儲器中特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位能夠描述的時間差要長很多。
假設(shè)在圖4和圖5中，用于產(chǎn)生事件2的延遲數(shù)值ΔV2不具有足夠長的延遲，不得不在現(xiàn)有延遲數(shù)據(jù)中插入一個附加延遲時間，以達(dá)到預(yù)定的延遲時間。圖7的定時圖示出了這樣一種情況一個附加事件被插入事件序列，以在事件1和事件2之間產(chǎn)生一個足夠長的延遲。在圖7的例子中，事件2被分為兩個事件，即具有一個延遲時間ΔV2a的事件2a和具有一個延遲時間ΔV2b的事件2b。換言之，具有最大延遲時間的事件2a被插入事件2。
按照本發(fā)明的第一方面，這種延遲插入的操作是通過重復(fù)一個先前事件，即事件1，來執(zhí)行的。圖8示出了儲存在事件存儲器中的數(shù)據(jù)的例子，具有最大延遲計數(shù)數(shù)據(jù)和零游標(biāo)數(shù)據(jù)的事件2a被插在其中。事件2a的事件類型與圖8中最右邊的那一列表示的事件1相同。圖8的事件數(shù)據(jù)將被轉(zhuǎn)化為圖9的波形。事件2是由具有延遲時間ΔV2a(最大延遲計數(shù)和0延遲游標(biāo))的事件2a和具有延遲時間ΔV2b(延遲計數(shù)C2和延遲游標(biāo)V2)的事件2b組合產(chǎn)生的。雖然上面例子中事件2a的延遲計數(shù)是最大的，但是延遲計數(shù)數(shù)據(jù)可以根據(jù)要被插入的延遲時間進(jìn)行變化，因此可以比最大值小?；蛘?，當(dāng)想要的時間長度需要增加兩個以上的最大延遲計數(shù)時，具有最大的延遲計數(shù)的事件1將被重復(fù)好幾次。
本發(fā)明的第一方面的解決方案，在用于產(chǎn)生圖3C所示的測試圖形的一系列驅(qū)動事件中是很有效的。然而，這種解決方案在產(chǎn)生取樣事件(選通信號)中，出現(xiàn)了一個問題。正如前面簡要描述的，選通信號是一個非常窄的脈沖，是由單一邊緣或者單一事件定義的，比如由設(shè)定(上升)邊緣和復(fù)位(下降)邊緣定義，而不是由兩個邊緣定義的。因此，在事件1是一個取樣事件(選通)的情況下，在圖9的例子中，將在事件的中點產(chǎn)生一個選通信號，比如事件2a的定時。這樣的一個選通信號被提供給圖2所示的模擬比較器，以便對DUT的輸出信號進(jìn)行取樣。取樣后的輸出與預(yù)期數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯對比，結(jié)果可能是一個沒有預(yù)期取樣的故障，盡管在DUT的操作中沒有故障。
因此，本發(fā)明的第二方面相對于上面介紹的第一方面來說，是另一種解決方案，其中一個稱為NOP(NO-操作)的新的事件被插入事件存儲器。圖10示出了按照本發(fā)明第二個方面，存儲在事件存儲器中的數(shù)據(jù)。在事件2之后，一個標(biāo)明為事件2a的NOP事件被插入事件數(shù)據(jù)。事件2a具有延遲時間ΔV2a(最大延遲計數(shù)和0延遲游標(biāo))。在圖10的最右端的那一列中，新事件的事件類型標(biāo)明為NOP。圖10的事件數(shù)據(jù)將被轉(zhuǎn)換為圖11的波形。
當(dāng)NOP事件被喚醒時，測試系統(tǒng)除了產(chǎn)生一個標(biāo)明的延遲時間外，什么也不做。因此，對于驅(qū)動事件，NOP插入不會改變測試插針的狀態(tài)。對于取樣事件序列，NOP插入將產(chǎn)生無取樣事件，相應(yīng)地，沒有不正確的測試結(jié)果。雖然上面例子中事件2a的延遲計數(shù)是最大的，但是延遲計數(shù)數(shù)據(jù)可以根據(jù)要被插入的延遲時間進(jìn)行變化，因此可以比最大值小。更進(jìn)一步地，當(dāng)需要的時間長度要求兩個NOP事件以上時，多個具有最大延遲計數(shù)的NOP事件可能被插入。
根據(jù)本發(fā)明，基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，根據(jù)存儲在事件存儲器中的事件數(shù)據(jù)，能夠產(chǎn)生不同定時的事件，來評估這個半導(dǎo)體器件。每一事件的定時是由距最后一個事件開始的時間長度(增量時間)來定義的。事件之間的增量時間通過在其中插入一個延遲時間可以容易地擴(kuò)大，在某種意義上，延遲時間插入之后的總增量時間，大于事件存儲器的最大字長。在一個方面，本發(fā)明的事件測試系統(tǒng)中的延遲時間插入操作，是通過重復(fù)一個恰好在當(dāng)前事件前的事件而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要的時間長度。在另外一個方面，事件測試系統(tǒng)中的延遲時間插入操作，是通過不斷調(diào)用當(dāng)前事件的NOP(NO-操作)而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要的時間長度。
雖然在此只明確地說明和描述了一個最佳實施例，但應(yīng)理解，按照上述教導(dǎo)，在后面所附的權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可以對本發(fā)明做出許多修改和改進(jìn)，而不會背離本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1．一種在半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中基于事件數(shù)據(jù)來產(chǎn)生測試圖形和選通信號的裝置，包括一個用于存儲每個事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲器，其中，當(dāng)前事件的定時數(shù)據(jù)是用延遲時間來表示的，該延遲時間是從前一個事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；以及插入裝置，用于在特定事件的定時數(shù)據(jù)中插入延遲時間，以這樣一種方式建立當(dāng)前事件的總延遲時間，即，總延遲時間比由事件存儲器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；其中用于插入延遲時間的插入裝置，包括重復(fù)裝置，用于重復(fù)恰好在特定事件前的事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號的裝置，其中，事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)包含由基準(zhǔn)時鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲計數(shù)數(shù)據(jù)，和由基準(zhǔn)時鐘周期的分?jǐn)?shù)(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號的裝置，其中，恰好在特定事件前的事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)被重復(fù)很多次，以獲得當(dāng)前事件的總延遲時間。
4．一種用于在半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中基于事件的數(shù)據(jù)來產(chǎn)生測試圖形和選通信號的裝置，包括一個用于存儲每個事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲器，其中當(dāng)前事件的定時數(shù)據(jù)是用延遲時間來表示的，該延遲時間是從前一個事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；以及插入裝置，用于在特定事件的定時數(shù)據(jù)中插入延遲時間，以這樣一種方式形成當(dāng)前事件的總延遲時間，即，總延遲時間比由事件存儲器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；其中，用于插入延遲時間的插入裝置包括NOP(NO-操作)事件插入裝置，NOP事件表示要被添加給特定事件的附加延遲時間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入了附加的延遲時間。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號的裝置，其中事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)包含由基準(zhǔn)時鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲計數(shù)數(shù)據(jù)，和由基準(zhǔn)時鐘周期的分?jǐn)?shù)(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)。
6．根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號的裝置，其中，NOP事件的插入被重復(fù)很多次，以達(dá)到當(dāng)前事件的預(yù)定總延遲時間。
7．一種在用于測試半導(dǎo)體器件的事件的定時數(shù)據(jù)中插入延遲時間的方法，包括以下步驟在事件存儲器中存儲每個事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)，其中，當(dāng)前事件的定時數(shù)據(jù)是用延遲時間來表示的，該延遲時間是從前一個事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；以及在特定事件的定時數(shù)據(jù)中插入一個延遲時間，以這樣一種方式形成當(dāng)前事件的總延遲時間，即，總延遲時間比由事件存儲器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；其中，延遲時間插入步驟是通過以下步驟進(jìn)行的，即，重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)，或插入一個NOP(NO-操作)事件，NOP事件表示要被添加給特定事件的附加延遲時間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入了附加的延遲時間。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的在定時數(shù)據(jù)中插入延遲時間的方法，其中事件存儲器中的定時數(shù)據(jù)包含延遲計數(shù)數(shù)據(jù)和延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)，延遲計數(shù)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的，而延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時鐘周期的分?jǐn)?shù)部分(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的。
全文摘要
在基于事件的測試系統(tǒng)中通過產(chǎn)生不同定時的事件對被測電子器件進(jìn)行測試的裝置和方法，該裝置包括一個用于儲存每個事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲器，其中，當(dāng)前事件的定時數(shù)據(jù)是用延遲時間來表示的，在特定事件的定時數(shù)據(jù)中插入一個延遲時間，當(dāng)前事件的總延遲時間比由事件存儲器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；附加延遲時間是通過重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)而插入的，或者是通過在事件存儲器中加入NOP事件而插入的。
文檔編號G01R31/28GK1316772SQ0110972
公開日2001年10月10日 申請日期2001年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2000年3月24日
發(fā)明者格倫·A·戈梅斯, 安東尼·勒, 詹姆斯·艾倫·特恩奎斯特, 羅基特·拉尤斯曼, 菅森茂 申請人:株式會社鼎新