一種電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及溶液充裝技術(shù)，特別涉及一種電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)對(duì)潔凈程度和防污染的要求較高，例如電子級(jí)氫氟酸。電子級(jí)氫氟酸主要用于電子、光伏行業(yè)中生產(chǎn)集成電路，要求金屬含量一般低于lOppb，非金屬含量如 Cl ^ 5000ppb、N03 ^ 3000ppb、P0 43 ^ 100ppb^ SO 42 ^ 5000ppb。這不僅對(duì)于生產(chǎn)工藝，也是對(duì)充裝工作提出了更高的要求和精細(xì)掌控。目前對(duì)于電子級(jí)的氫氟酸生產(chǎn)主要是將工業(yè)氫氟酸進(jìn)一步氧化和精餾除雜，然后進(jìn)行充裝。為了提高生產(chǎn)效率，大多采用連續(xù)性充裝，而輸送管道、充裝環(huán)境又大多是半露天設(shè)置。為保證產(chǎn)品質(zhì)量，充裝必需快捷、無風(fēng)，避免空氣中的雜質(zhì)對(duì)氫氟酸的影響。此外，根據(jù)不同的需求、充裝桶的規(guī)格不一、高度不同、甚至外表與內(nèi)部潔凈程度以及內(nèi)部壓力等的不同，上述情況都對(duì)充裝工作提出了更高要求和更嚴(yán)格把控。
[0003]專利號(hào)為200720187316.1的中國(guó)專利申請(qǐng)公開了一種充裝濃硫酸的裝置，該裝置的由下列結(jié)構(gòu)組成:注酸管頭一該注酸管頭包括由注酸管、套裝在注酸管端頭外的套管、套管上端與注酸管外壁間固定聯(lián)接的一水平環(huán)形板形成的一下端開口的環(huán)形腔；受酸管頭一該受酸管頭包括一由受酸管擴(kuò)口后的上端開口的直筒圓管、同軸內(nèi)置于直筒圓管內(nèi)的內(nèi)置短管、內(nèi)置短管下端與受酸管直筒圓管內(nèi)壁間固定聯(lián)接的一水平環(huán)形板的形成的一上端開口的環(huán)形腔；受酸管頭排酸孔一該排酸孔開孔于受酸管頭的內(nèi)置短管下端與受酸管直筒圓管內(nèi)壁間固定聯(lián)接的平環(huán)形板上；注酸管頭和受酸管頭同軸扣合聯(lián)接。采用上述充裝濃硫酸的裝置進(jìn)行硫酸充裝操作時(shí)，既能保證裝酸的順暢，同時(shí)可有效地將濺起的酸進(jìn)行阻擋，并回流到裝酸裝置中，有效的防止酸濺出，操作簡(jiǎn)單、安全可靠。
[0004]但是上述專利提供的充裝濃硫酸的裝置并不能滿足內(nèi)外潔凈度的要求，同時(shí)其充裝過程中仍存在外界環(huán)境對(duì)溶液發(fā)生污染的問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種內(nèi)外潔凈程度高且能有效避免溶液污染的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)。
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0007]一種電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)，包括預(yù)處理機(jī)構(gòu)、風(fēng)淋機(jī)構(gòu)和充裝機(jī)構(gòu)，所述預(yù)處理機(jī)構(gòu)包括預(yù)處理室和吹掃裝置，所述吹掃裝置設(shè)置于預(yù)處理室內(nèi)，所述風(fēng)淋機(jī)構(gòu)包括風(fēng)淋室、干燥空氣加熱裝置和第一風(fēng)機(jī)，所述第一風(fēng)機(jī)的入口朝向風(fēng)淋室外設(shè)置，所述第一風(fēng)機(jī)的出口與干燥空氣加熱裝置的入口連接，所述風(fēng)淋室的頂部和側(cè)面分別設(shè)有風(fēng)淋口，所述干燥空氣加熱裝置的出口與所述風(fēng)淋口連通，所述風(fēng)淋室的底部設(shè)有排風(fēng)口，所述充裝機(jī)構(gòu)包括充裝室、進(jìn)風(fēng)裝置、進(jìn)液裝置和充裝裝置，所述充裝室的頂部設(shè)有進(jìn)風(fēng)管道和充裝管道，所述進(jìn)風(fēng)裝置包括第二風(fēng)機(jī)、初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器，所述初效過濾器、第二風(fēng)機(jī)、中效過濾器和高效過濾器依次連接，所述高效過濾器的出口與進(jìn)風(fēng)管道連通，所述充裝室的底部設(shè)有出風(fēng)口，所述進(jìn)液裝置包括充裝管路、高純水管路、導(dǎo)氣管路和廢液抽排管路，所述充裝裝置包括機(jī)械夾具和充裝接頭，所述機(jī)械夾具可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于充裝室頂部且沿充裝室頂部方向可升降設(shè)置，所述充裝接頭上設(shè)有導(dǎo)氣口和充裝口，充裝接頭的一端與機(jī)械夾具連接，充裝接頭的另一端分別與導(dǎo)氣口和充裝口連通，所述導(dǎo)氣管路通過充裝管道與導(dǎo)氣口連接，所述充裝管路、高純水管路和廢液抽排管路分別通過充裝管道與充裝口連接，所述預(yù)處理室、風(fēng)淋室和充裝室依次連通設(shè)置。
[0008]進(jìn)一步的，還包括傳送機(jī)構(gòu)，所述傳送機(jī)構(gòu)設(shè)置于預(yù)處理室的出口處并依次通過風(fēng)淋室和充裝室。
[0009]進(jìn)一步的，所述吹掃裝置為高壓氣槍，所述干燥空氣加熱裝置為空氣加熱器。
[0010]進(jìn)一步的，所述預(yù)處理機(jī)構(gòu)還包括粘塵裝置，所述粘塵裝置靠近預(yù)處理機(jī)構(gòu)的出口設(shè)置。
[0011 ] 進(jìn)一步的，所述粘塵裝置為粘塵紙或粘塵布。
[0012]進(jìn)一步的，所述風(fēng)淋機(jī)構(gòu)還包括空氣過濾裝置，所述空氣過濾裝置的一端與第一風(fēng)機(jī)的入口連接，所述空氣過濾裝置的另一端設(shè)置于風(fēng)淋室外。
[0013]進(jìn)一步的，所述風(fēng)淋室和充裝室的入口和出口處分別設(shè)置有防塵裝置，所述防塵裝置為防塵簾。
[0014]進(jìn)一步的，所述充裝機(jī)構(gòu)還包括計(jì)量裝置，所述計(jì)量裝置包括容液槽、液位計(jì)量件和稱重件，所述容液槽與充裝管路連通，所述液位計(jì)量件設(shè)置于容液槽內(nèi)，所述稱重件設(shè)置于容液槽底部。
[0015]進(jìn)一步的，所述充裝室的側(cè)面設(shè)置有透明板，所述透明板上設(shè)有防酸手套，所述防酸手套穿過透明板并伸入充裝室內(nèi)。
[0016]進(jìn)一步的，所述機(jī)械夾具和充裝接頭分別為兩個(gè)或兩個(gè)以上。
[0017]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0018](I)本實(shí)用新型的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)，尤其適用于電子級(jí)氫氟酸的充裝；通過預(yù)處理機(jī)構(gòu)、風(fēng)淋機(jī)構(gòu)和充裝機(jī)構(gòu)的設(shè)置，整體結(jié)構(gòu)更合理有效；
[0019](2)通過預(yù)處理機(jī)構(gòu)和風(fēng)淋機(jī)構(gòu)中的吹掃裝置、干燥空氣加熱裝置和第一風(fēng)機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，對(duì)待充裝的空桶的外部進(jìn)行清潔，同時(shí)結(jié)合頂部和側(cè)面的風(fēng)淋口，可加強(qiáng)風(fēng)力作用，從而有效提高待充裝的空桶的外部潔凈程度；
[0020](3)通過充裝機(jī)構(gòu)中的進(jìn)風(fēng)裝置、進(jìn)液裝置和充裝裝置的設(shè)計(jì)，一方面，初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器可以保證第二風(fēng)機(jī)引進(jìn)的空氣可以有效過濾掉空氣中粉塵、微小顆粒等，達(dá)到充裝室無塵的要求；一方面，充裝管路、高純水管路、導(dǎo)氣管路和廢液抽排管路使得溶液、高純水、氣體和廢液可以由充裝室進(jìn)入或排出，可通過對(duì)進(jìn)液裝置的操作實(shí)現(xiàn)對(duì)待充裝的空桶的內(nèi)部進(jìn)行清潔，同時(shí)根據(jù)排出的液體測(cè)量其潔凈度，使得待充裝的空桶的內(nèi)部達(dá)到高潔凈的要求，當(dāng)待充裝的空桶的內(nèi)部完成潔凈操作，可通過充裝管路將待充裝的溶液(例如氫氟酸)充裝進(jìn)空桶內(nèi)，具有待充裝的空桶的內(nèi)部潔凈度高且充裝方便的優(yōu)點(diǎn)；另一方面，機(jī)械夾具和充裝接頭使得充裝操作可以根據(jù)空桶的具體位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或升降，從而方便溶液、高純水、氣體和廢液的進(jìn)入或排出操作；
[0021](4)充裝機(jī)構(gòu)的具體設(shè)置可保證充裝室為無塵，且進(jìn)液裝置和進(jìn)風(fēng)裝置不會(huì)在充裝過程中引入任何空氣雜質(zhì)，使其避免空氣雜質(zhì)對(duì)于溶液(氫氟酸)的污染，同時(shí)可保護(hù)充裝人員免于氫氟酸以及有毒氣體的傷害；充裝裝置可適應(yīng)充裝桶的不同規(guī)格，不同高度的要求，可清除充裝過程中的污染源以及人員流動(dòng)影響的不確定性，具有有效避免溶液污染的有益效果。
【附圖說明】
[0022]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)的預(yù)處理機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；
[0024]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)的風(fēng)淋機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；
[0025]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)的風(fēng)淋機(jī)構(gòu)內(nèi)的風(fēng)淋口與排風(fēng)口的結(jié)構(gòu)圖；
[0026]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的電子級(jí)溶液的充裝機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
[0027]標(biāo)號(hào)說明:
[0028]1、預(yù)處理機(jī)構(gòu)；11、預(yù)處理室；12、吹掃裝置；13、粘塵裝置；2、風(fēng)淋機(jī)構(gòu)；21、風(fēng)淋室；22、干燥空氣加熱裝置；23、第一風(fēng)機(jī)；24、空氣過濾裝置；25、風(fēng)淋口 ；26、排風(fēng)口 ；3、充裝機(jī)構(gòu)；31、充裝室；311、進(jìn)風(fēng)管道；312、充裝管道；313、出風(fēng)口 ；32、進(jìn)風(fēng)裝置；321、第二風(fēng)機(jī)；322、初效過濾器；323、中效過濾器；324、高效過濾器；33、進(jìn)液裝置；331、充裝管路；332、高純水管路；333、導(dǎo)氣管路；334、廢液抽排管路；335、循環(huán)管路；34、充裝裝置；341、機(jī)械夾具；342、充裝接頭；3421、導(dǎo)氣口 ；3422、充裝口 ；343、透明板；344、防酸手套；35、計(jì)量裝置；351、容液槽；352、液位計(jì)量件；353、稱重件；4、傳送機(jī)構(gòu)；5、防塵裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為詳細(xì)說明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖予以說明。
[0030]本實(shí)用新型最關(guān)鍵的構(gòu)思在于:通過預(yù)處理機(jī)構(gòu)、風(fēng)淋機(jī)構(gòu)和充裝機(jī)構(gòu)的設(shè)置，從而保證待充裝的空桶的內(nèi)外潔凈程度，且能有效避免溶液污染。
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