專利名稱：一種硅烷氣體轉(zhuǎn)移裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅烷氣體轉(zhuǎn)移裝置，用于安全轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體制造等工藝中所需 的硅烷。
背景技術(shù)：
硅烷是一種無(wú)色、與空氣接觸并會(huì)引起燃燒的氣體。該氣體與空氣接觸會(huì)引起自 發(fā)燃燒并放出白色的無(wú)定型二氧化硅或黃褐色的硅氧烷的濃煙。它對(duì)健康的首要危害是它 自燃的火焰會(huì)引起嚴(yán)重的熱灼傷。意外的自發(fā)燃燒可能導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸。由于硅烷特殊的 理化性質(zhì)，使用、儲(chǔ)存和輸送中都需要十分小心。硅烷需要在通風(fēng)良好、安全且不受天氣影 響的地方存儲(chǔ)。鋼瓶應(yīng)直立擺放。且保持保護(hù)性閥蓋和輸出閥的密封完好。存儲(chǔ)區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn) 離頻繁出入處和緊急出口。儲(chǔ)存區(qū)域內(nèi)不應(yīng)有火源，儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)所有電器必須有防爆設(shè)施。易 燃物存放區(qū)應(yīng)與氧及氧化物存放區(qū)最少相距6m?；蛘咴谥虚g放置至少1.5m高的防火墻作 為屏障，并保證能耐火半小時(shí)。儲(chǔ)存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應(yīng)有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。 存儲(chǔ)溫度不可高于52°C。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲(chǔ)和存儲(chǔ)時(shí)間過長(zhǎng)。使用先 進(jìn)先出系統(tǒng)。應(yīng)考慮在儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)安裝測(cè)漏器和報(bào)警設(shè)備。硅烷使用過程中使用防火花工具。不要試圖對(duì)裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調(diào)節(jié)或 其他改動(dòng)。如有可能應(yīng)避免單獨(dú)一個(gè)人操作鋼瓶。一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可 以立即趕到。用氫離子檢測(cè)器監(jiān)測(cè)硅烷的修理和在空氣中的擴(kuò)散，用紅外/紫外監(jiān)測(cè)器監(jiān) 測(cè)火災(zāi)。在打開任何裝有硅烷的系統(tǒng)之前必須用惰性氣體全面吹掃系統(tǒng)。如果系統(tǒng)中的任 何部分有死角或可能殘留硅烷的地方，必須抽真空循環(huán)吹掃。應(yīng)將硅烷排放到一個(gè)專門處 理它的地方，最好是將它燃燒掉。即使硅烷濃度較低也十分危險(xiǎn)，不能暴露在空氣中。硅烷 在被惰性氣體稀釋成不可燃的氣體后也可以排空。鋼瓶應(yīng)直立在通風(fēng)設(shè)施良好的卡車上進(jìn)行運(yùn)輸，不要在人員乘坐的車廂內(nèi)運(yùn)輸。 運(yùn)輸前應(yīng)確認(rèn)瓶閥已關(guān)好，輸出閥已裝好并將閥蓋固定好。壓力氣瓶只能由合格的壓縮氣 體生產(chǎn)廠家進(jìn)行重新充裝。嚴(yán)禁擅自運(yùn)輸未經(jīng)壓力氣瓶所有廠家充裝或經(jīng)其書面同意充裝 的氣瓶。在進(jìn)行硅烷泄漏的應(yīng)急操作前，必須先在確保人員安全的前提下，關(guān)閉鋼瓶閥切 斷泄漏源，清除周圍一切可燃物和可能的火源。加強(qiáng)區(qū)域通風(fēng)，以避免硅烷氣體聚集，盡快 將小泄漏未著火的泄漏鋼瓶?jī)?nèi)的氣體轉(zhuǎn)移到其它地方，用消防水槍打散硅烷氣云，防止爆 炸；大火時(shí)，給鋼瓶噴霧狀水降溫，絕對(duì)禁止撲滅火焰，燃燒生成的固體物質(zhì)可能暫時(shí)堵塞 泄漏點(diǎn)，任何的擾動(dòng)將使硅烷再次泄漏。因此轉(zhuǎn)移硅烷的技術(shù)要求極高，如果操作不當(dāng)可能導(dǎo)致嚴(yán)重的事故甚至?xí)旅?但是目前為止還沒有一種能夠安全轉(zhuǎn)移硅烷氣體的裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種可以安全轉(zhuǎn)移硅烷氣體的裝置。
3[0008]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供了一種硅烷氣體轉(zhuǎn)移裝置，其 特征在于，包括第一氮?dú)馄考暗诙獨(dú)馄?，第一氮?dú)馄客ㄟ^第一調(diào)壓閥連接真空發(fā)生器，真 空發(fā)生器的一端連接廢氣收集器，另一端通過手動(dòng)閥管路連接硅烷氣體接收瓶及硅烷氣體 泄漏瓶，第二氮?dú)馄客ㄟ^第二調(diào)壓閥接入硅烷氣體泄漏瓶與手動(dòng)閥之間的管路，在硅烷氣 體泄漏瓶的輸出端上連接有壓力表。本實(shí)用新型結(jié)合氣體的理化性質(zhì)及流體傳質(zhì)的力學(xué)性質(zhì)，對(duì)硅烷氣體進(jìn)行轉(zhuǎn)移， 優(yōu)點(diǎn)是可靠的泄漏應(yīng)急處理設(shè)計(jì)，徹底消除安全隱患；高度可靠的密封連接方式，保證硅 烷供應(yīng)的純度；降低傳輸過程中的泄漏；妥善處理轉(zhuǎn)移的氣體和泄漏鋼瓶，提高產(chǎn)品質(zhì)量 和減少因大量硅烷排放造成的浪費(fèi)；有效降低環(huán)境污染。

圖1為本實(shí)用新型提供的一種硅烷氣體轉(zhuǎn)移裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合實(shí)施例來(lái)具體說(shuō)明本實(shí)用新型。實(shí)施例如圖1所示，為本實(shí)用新型提供的一種硅烷氣體轉(zhuǎn)移裝置，包括第一氮?dú)馄?及第 二氮?dú)馄?，第一氮?dú)馄?通過第一調(diào)壓閥12連接真空發(fā)生器5，真空發(fā)生器5的一端連接 廢氣收集器8，另一端通過手動(dòng)閥6管路連接四個(gè)硅烷氣體接收瓶及一個(gè)硅烷氣體泄漏瓶 11，四個(gè)硅烷氣體接收瓶分別為第一硅烷氣體接收瓶2、第二硅烷氣體接收瓶3、第三硅烷 氣體接收瓶9及第四硅烷氣體接收瓶10。第二氮?dú)馄?通過第二調(diào)壓閥13接入硅烷氣體 泄漏瓶11與手動(dòng)閥6之間的管路，在硅烷氣體泄漏瓶11的輸出端上連接有壓力表7。硅烷的轉(zhuǎn)移過程為首先保持硅烷氣體泄漏瓶11關(guān)閉，打開真空發(fā)生器5端的第 一氮?dú)馄?，調(diào)節(jié)調(diào)壓閥出口壓力在550-690kPa (表壓)，打開第一調(diào)壓閥12并檢查廢氣收 集器8內(nèi)氮?dú)饬鲃?dòng)是否通暢。打開手動(dòng)閥6，觀察壓力表7讀數(shù)降低至OkPa(表壓)以下， 打開四個(gè)硅烷氣體接收瓶，利用真空發(fā)生器5將接收瓶和相應(yīng)管路抽真空。關(guān)閉第一調(diào)壓 閥12和手動(dòng)閥6，打開第二氮?dú)馄?，調(diào)節(jié)調(diào)壓閥出口壓力在5. 5-6. 9MPa (表壓)，緩慢打開 第二調(diào)壓閥13對(duì)傳輸系統(tǒng)中的管道及四個(gè)硅烷氣體接收瓶進(jìn)行氣密性檢測(cè)。關(guān)閉第二調(diào) 壓閥13，打開第一調(diào)壓閥12和手動(dòng)閥6排空四個(gè)硅烷氣體接收瓶壓力。然后調(diào)節(jié)吹掃氮?dú)?壓力在550-690kPa(表壓)，輪流開關(guān)第二調(diào)壓閥13和手動(dòng)閥6，對(duì)四個(gè)硅烷氣體接收瓶和 傳輸管道進(jìn)行充分吹掃置換。置換完成后關(guān)閉第二氮?dú)馄?、關(guān)閉第二調(diào)壓閥13，待壓力表 7讀數(shù)降到OkPa(表壓)以下時(shí)，關(guān)閉四個(gè)硅烷氣體接收瓶及手動(dòng)閥6。緩慢打開硅烷氣體泄漏瓶11至壓力表7讀數(shù)穩(wěn)定后，打開第一硅烷氣體接收瓶2， 壓力平衡后關(guān)閉第一硅烷氣體接收瓶2。按此方法依次將硅烷氣體泄漏瓶11內(nèi)的硅烷轉(zhuǎn) 移到第二硅烷氣體接收瓶3、第三硅烷氣體接收瓶9及第四硅烷氣體接收瓶10中。打開第 一氮?dú)馄?和第一調(diào)壓閥12，緩慢打開手動(dòng)閥6，將硅烷氣體泄漏瓶11內(nèi)的殘余硅烷排入 廢氣收集器8直到壓力表7讀數(shù)降到OkPa(表壓)以下。關(guān)閉手動(dòng)閥6，打開第二氮?dú)馄? 和第二調(diào)壓閥13，壓力平衡后關(guān)閉第二氮?dú)馄?，打開手動(dòng)閥6排空，重復(fù)開關(guān)手動(dòng)閥6和 第二調(diào)壓閥13進(jìn)行硅烷氣體泄漏瓶11吹掃置換至少10遍。
4[0016]最后關(guān)閉硅烷氣體泄漏瓶11，卸下硅烷氣體泄漏瓶11并送交專業(yè)部門維修或處 置。妥善處理或回收利用四個(gè)硅烷氣體接收瓶?jī)?nèi)的氣體。整個(gè)轉(zhuǎn)移過程廢氣收集裝置收集 系統(tǒng)中產(chǎn)生的廢氣，有效的減少了對(duì)環(huán)境的危害。上述裝置主要用于出現(xiàn)氣體鋼瓶發(fā)生泄漏，需要轉(zhuǎn)移鋼瓶?jī)?nèi)硅烷氣體的場(chǎng)合。轉(zhuǎn) 移過程應(yīng)用氣體的分壓原理，將泄漏鋼瓶?jī)?nèi)的硅烷氣體逐個(gè)轉(zhuǎn)移到接收鋼瓶，以降低泄漏 鋼瓶壓力，減緩泄漏，便于泄漏鋼瓶的后續(xù)處理。確保硅烷的安全處置和操作。
權(quán)利要求一種硅烷氣體轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括第一氮?dú)馄?1)及第二氮?dú)馄?4)，第一氮?dú)馄?1)通過第一調(diào)壓閥(12)連接真空發(fā)生器(5)，真空發(fā)生器(5)的一端連接廢氣收集器(8)，另一端通過手動(dòng)閥(6)管路連接硅烷氣體接收瓶及硅烷氣體泄漏瓶，第二氮?dú)馄?4)通過第二調(diào)壓閥(13)接入硅烷氣體泄漏瓶與手動(dòng)閥(6)之間的管路，在硅烷氣體泄漏瓶的輸出端上連接有壓力表(7)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅烷氣體轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括第一氮?dú)馄考暗诙獨(dú)馄浚谝坏獨(dú)馄客ㄟ^第一調(diào)壓閥連接真空發(fā)生器，真空發(fā)生器的一端連接廢氣收集器，另一端通過手動(dòng)閥管路連接硅烷氣體接收瓶及硅烷氣體泄漏瓶，第二氮?dú)馄客ㄟ^第二調(diào)壓閥接入硅烷氣體泄漏瓶與手動(dòng)閥之間的管路，在硅烷氣體泄漏瓶的輸出端上連接有壓力表。本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)是可靠的泄漏應(yīng)急處理設(shè)計(jì)，徹底消除安全隱患；高度可靠的密封連接方式，保證硅烷供應(yīng)的純度；降低傳輸過程中的泄漏；妥善處理轉(zhuǎn)移的氣體和泄漏鋼瓶，提高產(chǎn)品質(zhì)量和減少因大量硅烷排放造成的浪費(fèi)；有效降低環(huán)境污染。
文檔編號(hào)F17C7/00GK201615335SQ20102012925
公開日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2010年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月11日
發(fā)明者曾慶騰, 李東升 申請(qǐng)人:上海正帆科技有限公司;上海億欣電子科技有限公司;上海昕通半導(dǎo)體設(shè)備有限公司