專利名稱：活水作業(yè)夾具及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及維修作業(yè)工夾具及其使用方法，具體的說，是一種活水作業(yè)夾 具及其適用方法。
背景技術(shù)：
集成電路晶圓制造廠的環(huán)境控制系統(tǒng)中包括^艮多液體管路，管路中流動的 水就是活水，通過水的循環(huán)流動來控制廠區(qū)內(nèi)的溫度。然而這里所說的活水是 指沒有循環(huán)泵作用的水，其流量和壓力很小，因此流動速度很慢，甚至趨于靜 止。
圖l是溫度控制系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)示意圖，總閥門IO控制整個廠區(qū)活水管路 的開閉，總閥門10分別和總出水管路11和總進水管路12相連接，總出水管路 11和若干條出水支路21的一端連接，總進水管路12和若干條進水支路22的一 端接連，單一出水支路和進水支路的另一端連接至遠程控制單元(RCU) 20 以形成回路，通過遠程控制單元20來調(diào)節(jié)管路中活水的溫度，再通過管路中循 環(huán)流動的活水來控制廠區(qū)內(nèi)的溫度。通常在一個廠區(qū)內(nèi)設(shè)置14個遠程控制單元， 以全面覆蓋每一個區(qū)域。當某條總管11/12或支路21/22出現(xiàn)漏水或閥門故障需 要檢修時，需要關(guān)閉整個廠區(qū)的總閥門10,這樣將會導致整個廠區(qū)環(huán)境的升溫， 導致生產(chǎn)線的停頓，大大影響晶圓的產(chǎn)量。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，改變目前4全修溫度控制管路要關(guān)閉總閥門， 影響廠區(qū)環(huán)境溫度的不利因素，提供一種活水作業(yè)夾具及其使用方法，當溫度 控制管路出現(xiàn)故障需要檢修時，可以不必關(guān)閉總閥門，只會暫時影響故障區(qū)域， 不需影響整個廠區(qū)環(huán)境溫度。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用了如下技術(shù)手段 一種活水作業(yè)夾具，
包括上半片夾具，下半片夾具，通過裝配螺孔及螺4全相連接，用于夾持活水管
路，其實質(zhì)性特點在于所述的上半片夾具有一個出氣口，下半片夾具有一個 進氣口，且所述的活水作業(yè)夾具的上、下半片夾具的兩端分別安裝有前擋板和 后擋板。
在上述的活水作業(yè)夾具中，所述的活水是沒有循環(huán)泵作用的水。 在上述的活水作業(yè)夾具中，其上、下半片夾具的外表面覆有保溫材料。 在上述的活水作業(yè)夾具中，所述上、下半片夾具的內(nèi)徑大于所述活水管路 的外徑。
在上述的活水作業(yè)夾具中，當所述的上、下半片夾具及前、后擋板安裝完 畢后，所述的活水作業(yè)夾具內(nèi)部形成密閉空間。
本發(fā)明的另一解決方案是提供一種采用上述活水作業(yè)夾具局部水凍活水管 路的方法，包括下列步驟通過螺栓將上半片夾具和下半片夾具相互固定以夾 持需要局部冰凍的活水管路；在兩片夾具的兩端分別設(shè)置擋板，使活水作業(yè)夾 具內(nèi)部形成密閉空間；從進氣口向活水作業(yè)夾具內(nèi)部通入攝氏零度以下的制冷 氣體，所述制冷氣體從出氣口排出，以帶走活水管路中的熱量。
在上述的方法中，所述的制冷氣體是-186攝氏度的氮氣。
在上述的方法中，所述的活水管路包括處于同一回路中的一條進水管路和 一條出水管路，采用兩套所述的活水作業(yè)夾具分別對其進行局部水凍。
采用本發(fā)明的活水作業(yè)夾具可以實現(xiàn)活水管路的局部冰凍，當活水管路出 現(xiàn)故障需要檢修時，可以不必關(guān)閉總閥門，只需影響某一遠程控制單元的小回 路，且局部冰凍時，產(chǎn)生類似閥門關(guān)閉的效果，還可利用同一廠區(qū)內(nèi)鄰近的其 他遠程控制單元來補償，對溫度的影響較小，不會導致整個廠區(qū)的環(huán)境升溫。
本發(fā)明的活水作業(yè)夾具及其使用方法由以下的實施例及附圖給出。 圖1為溫度控制系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2a和圖2b分別為本發(fā)明的活水作業(yè)夾具的上半片結(jié)構(gòu)的俯視圖和側(cè)視圖。
圖3a和圖3b分別為本發(fā)明的活水作業(yè)夾具的下半片結(jié)構(gòu)的俯視圖和側(cè)視 圖。
圖4為本發(fā)明的活水作業(yè)夾具的安裝結(jié)構(gòu)剖視圖。
具體實施例方式
以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的活水作業(yè)夾具及其使用方法作進一步的詳細描 述，具體為以下實施方式
本發(fā)明的活水作業(yè)夾具如圖2a、 2b、 3a、 3b所示，包括上半片夾具30, 下半片夾具40，兩者在對應位置上開設(shè)有裝配螺孔32、 42,并通過螺栓(未圖 示)相連接，用于夾持活水管路?；钏鳂I(yè)夾具的上半片夾具30上有一出氣口 31,下半片夾具40上有一進氣口 41，上、下半片夾具30、 40的外表面分別覆 有保溫材料33、 43,用于保溫，且上、下半片夾具30、 40的兩端分別安裝有前 擋板51和后擋板52，從而當該活水作業(yè)夾具安裝完畢后，能夠在其內(nèi)部形成一 密閉空間，供氣體循環(huán)流動。
如圖4所示，當某條活水管路如出水支路21出現(xiàn)漏水故障需要檢修時，使 用兩套上述的活水作業(yè)夾具分別安裝在該出水支路21及相應的進水支路22上， 從進氣口 41向活水作業(yè)夾具內(nèi)部通入-186攝氏度的氮氣，氮氣在活水作業(yè)夾具 所形成的密閉空間中流動，再從出氣口31排出，帶走該出水/進水支路21/22中 的熱量，以達到局部冰凍的目的。需要說明的是，這里所說的活水是沒有循環(huán) 泵作用的水，其流量和壓力很小，因此流動速度很慢，能夠?qū)崿F(xiàn)冰凍。通過局 部水凍需要維修的支路21/22中的活水，產(chǎn)生類似閥門關(guān)閉的效果，使與之相連 的遠程控制單元20內(nèi)不產(chǎn)生活水流動的方式來排查故障，只會影響某一遠程控 制單元20的小回路，且局部冰凍時，還可利用同一廠區(qū)內(nèi)鄰近的其他遠程控制 單元20來補償，不會對廠區(qū)環(huán)境溫度造成大的影響。
本發(fā)明的活水作業(yè)夾具及其使用方法的另 一具體實施例是可以通過使用活 水作業(yè)夾具維修或更換遠程控制單元20,如圖1、圖4所示，當遠程控制單元 20出現(xiàn)故障需要維修或更換時，也可通過局部水凍與^f目連的出7jC/進水支路， 使該遠程控制單元20內(nèi)不產(chǎn)生活水流動，以便維修或更換。
綜上所述，采用本發(fā)明的活水作業(yè)夾具可實現(xiàn)對活水管路的局部水凍，當 活水管路出現(xiàn)故障需要檢修時，可以不必關(guān)閉總閥門，從而不會影響整個廠區(qū)
的環(huán)境溫度，此外，該活水作業(yè)夾具是移動式的，哪里需要維修活水管路，就 可以方便移動取用。
權(quán)利要求
1.一種活水作業(yè)夾具，包括上半片夾具，下半片夾具，通過裝配螺孔及螺栓相連接，用于夾持活水管路，其特征在于:所述的上半片夾具有一個出氣口，下半片夾具有一個進氣口，且所述的活水作業(yè)夾具的上、下半片夾具的兩端分別安裝有前擋板和后擋板。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活水作業(yè)夾具，其特征在于，所述的活水是沒 有循環(huán)泵作用的水。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活水作業(yè)夾具，其特征在于，所述的活水作業(yè) 夾具的上、下半片夾具的外表面覆有保溫材料。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活水作業(yè)夾具，其特征在于，所述上、下半片 夾具的內(nèi)徑大于所述活水管^^的外徑。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活水作業(yè)夾具，其特征在于，當所述的上、下 半片夾具及前、后擋板安裝完畢后，所述的活水作業(yè)夾具內(nèi)部形成密閉空間。
6. —種釆用如權(quán)利要求1所述的活水作業(yè)夾具局部冰凍活水管路的方 法，其特征在于，包括下列步驟通過螺栓將上半片夾具和下半片夾具相互固定以夾持需要局部冰凍的活 水管路；在兩片夾具的兩端分別設(shè)置擋板，使活水作業(yè)夾具內(nèi)部形成密閉空間； 從進氣口向活水作業(yè)夾具內(nèi)部通入攝氏零度以下的制冷氣體，所述制冷 氣體從出氣口排出，以帶走活水管路中的熱量。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的活水作業(yè)夾具局部冰凍活水管路的方法，其特 征在于，所述的制冷氣體是-186攝氏度的氮氣。
8. 沖艮據(jù)權(quán)利要求6所述的活水作業(yè)夾具局部水凍活水管路的方法，其特 征在于，所述的活水管路包括處于同 一回路中的一條進水管路和一條出水管 路，采用兩套所述的活水作業(yè)夾具分別對其進行局部冰凍。
全文摘要
本發(fā)明提供了活水作業(yè)夾具及其使用方法，用于活水管路的維修作業(yè)，該活水作業(yè)夾具包括上半片夾具，下半片夾具，通過裝配螺孔和螺栓相連接，活水作業(yè)夾具的上半片夾具有一個出氣口，下半片夾具有一個進氣口，且上、下半片夾具的兩端分別安裝有前擋板和后擋板，該活水作業(yè)夾具使用方法是通過進氣口向活水作業(yè)夾具內(nèi)部通入-186攝氏度的氮氣，局部冰凍需要維修的活水管路，以不產(chǎn)生活水流動的方式來排查故障，維修時可以不關(guān)閉活水總閥門，并且該活水作業(yè)夾具是移動式的，哪里需要維修活水管路，就可以方便移動取用。
文檔編號F17D3/01GK101373040SQ200710045039
公開日2009年2月25日 申請日期2007年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月20日
發(fā)明者龔文衛(wèi) 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司