本實(shí)用新型涉及軸承領(lǐng)域，尤其是涉及一種微球軸承。

背景技術(shù)：

作為未來(lái)微型武器、微型汽車和微型飛機(jī)等微型機(jī)械的動(dòng)力源，微泵、微發(fā)電機(jī)和微發(fā)動(dòng)機(jī)等微動(dòng)力設(shè)備具備廣闊的應(yīng)用前景。由于微軸承是影響微動(dòng)力設(shè)備功率密度和運(yùn)轉(zhuǎn)壽命的關(guān)鍵部件，因而引起了國(guó)際上的廣泛關(guān)注。微球軸承以其支承穩(wěn)定的特性而優(yōu)于其它微軸承，成為 MEMS 中重要的支承機(jī)構(gòu)。在現(xiàn)有的技術(shù)中存在軸承滾道易磨損、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定性能不足、內(nèi)部氣流運(yùn)行不暢等技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、平衡性能優(yōu)良、不易磨損、內(nèi)部氣流運(yùn)行順暢的微球軸承。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種微球軸承，包括封蓋層、葉片層和滾道層，所述封蓋層包括設(shè)置在其中心位置的排氣出口、排布在排氣出口外圍的注油孔以及均勻?qū)ΨQ排布在注油孔外圍的氣流孔；所述葉片層包括葉片層凹槽以及設(shè)置在葉片層凹槽內(nèi)的速度測(cè)試塊、依次設(shè)置在速度測(cè)試塊外圍的動(dòng)葉片和靜葉片，所述動(dòng)葉片和靜葉片之間設(shè)有一組上通氣孔，所述速度測(cè)試塊、動(dòng)葉片和靜葉片的高度均低于葉片層凹槽深度50~80um；所述滾道層包括滾道以及設(shè)置在滾道底部的一組下通氣孔。

進(jìn)一步的，所述注油孔正對(duì)上通氣孔設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述滾道為圓形軌道，滾道底部設(shè)置有至少兩排下通氣孔。

進(jìn)一步的，所述氣流孔呈圓形排布，并正對(duì)葉片層凹槽。

進(jìn)一步的，所述排氣出口為圓形通道，其直徑大于速度測(cè)試塊的寬度。

本實(shí)用新型具有以下有益效果：

1、本實(shí)用新型中排氣出口、氣流孔、下通氣孔和上通氣孔的有機(jī)結(jié)合，使得氣路通常。

2、本實(shí)用新型中所述速度測(cè)試塊、動(dòng)葉片和靜葉片的高度均低于葉片層凹槽深度50~80um，在運(yùn)行時(shí)有效避免速度測(cè)試塊、動(dòng)葉片和靜葉片與封蓋層的碰撞摩擦，且無(wú)需再在封蓋層底面開設(shè)凹槽，使得制作工藝更加簡(jiǎn)單。

3、本實(shí)用新型中在封蓋層上設(shè)置注油孔，且注油孔正對(duì)上通氣孔，可通過注油孔向滾道中注入潤(rùn)滑油以減少微球與滾道之間的摩擦，且無(wú)需再滾道上設(shè)置涂層，使得本實(shí)用新型工藝更為簡(jiǎn)單。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的A部放大圖；

圖3本實(shí)用新型的剖視圖；

其中，1、封蓋層；2、注油孔；3、排氣出口；4、氣流孔；5、葉片層；6、葉片層凹槽；7、滾道層；8、速度測(cè)試塊；9、靜葉片；10、動(dòng)葉片；11、滾道；12、下通氣孔；13、上通氣孔。

具體實(shí)施方式

以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。

如圖1和圖3所示，本實(shí)用新型提供一種微球軸承，包括封蓋層1、葉片層5和滾道層7，封蓋層1和葉片層5之間通過密封膠等粘接，葉片層5和滾道層7之間通過鍵合技術(shù)連接。所述封蓋層1包括設(shè)置在其中心位置的排氣出口3、排布在排氣出口3外圍的注油孔2以及均勻?qū)ΨQ排布在注油孔2外圍的氣流孔4。其中注油孔2正對(duì)上通氣孔13設(shè)置，氣流孔4呈圓形排布，并正對(duì)葉片層凹槽6。所述排氣出口3為圓形通道，其直徑大于速度測(cè)試塊8的寬度。

所述葉片層5包括葉片層凹槽6以及設(shè)置在葉片層凹槽6內(nèi)的速度測(cè)試塊8、依次設(shè)置在速度測(cè)試塊8外圍的動(dòng)葉片10和靜葉片9，如圖2所示，所述動(dòng)葉片10和靜葉片9之間設(shè)有一組上通氣孔13，所述速度測(cè)試塊8、動(dòng)葉片10和靜葉片9的高度均低于葉片層凹槽6深度50~80um；

所述滾道層7包括滾道11以及設(shè)置在滾道11底部的一組下通氣孔12。所述滾道11為圓形軌道，滾道11底部設(shè)置有至少兩排下通氣孔12，使得微球14無(wú)論出于滾道11的什么位置均可以保證微球14可覆蓋至少兩個(gè)下通氣孔12，通過下通氣孔12的氣體為微球14提供一定的浮力，使得軸承腔內(nèi)部氣流順暢的同時(shí)，也可在一定程度上減少微球14與滾道11之間的摩擦。

須知，本說(shuō)明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。以上對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍。凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本實(shí)用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。