本實用新型機(jī)構(gòu)涉及一種旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)，特別涉及一種多路輸入、多路輸出的旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

以往分選、封裝設(shè)備的分氣機(jī)構(gòu)主要是采用一路輸入，N路輸出的分氣形式，或為了破壞某些氣路的真空而采用的幾路輸入，N路輸出的形式。第一種形方法的缺點是不能滿足單路或多路氣站的正負(fù)壓切換需要；第二種方法則多采用腰形氣槽實現(xiàn)多路輸入，結(jié)構(gòu)上的缺陷是分出的氣路流量不均勻，且轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)過程中容易漏真空，使用上有很大的局限性與單一性，不能滿足更改工藝時切換一路或多路工作站正負(fù)氣壓的需求。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)存在局限性與單一性的問題，本實用新型提出了一種旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)，其目的在于通過在集流定盤組件內(nèi)設(shè)置有與分流旋轉(zhuǎn)組件內(nèi)的分氣路一一對應(yīng)的進(jìn)氣路，進(jìn)而實現(xiàn)集流定盤組件上多氣路輸入，分類旋轉(zhuǎn)組件多氣路旋轉(zhuǎn)輸出，且輸出的正壓或負(fù)壓，氣路流量均勻。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括用于匯集各路正壓或負(fù)壓的集流定盤組件以及用于旋轉(zhuǎn)分出各路正壓或負(fù)壓的分流轉(zhuǎn)盤組件；

所述集流定盤組件內(nèi)設(shè)有多條進(jìn)氣路，每條進(jìn)氣路外接設(shè)備的工位氣路，以輸入氣體；

所述分流轉(zhuǎn)盤組件位于集流定盤組件的底端面上，分流轉(zhuǎn)盤組件外接動力組件以驅(qū)動其相對集流定盤組件旋轉(zhuǎn)；分流轉(zhuǎn)盤組件內(nèi)設(shè)有多條分別與進(jìn)氣路的分布位置相對應(yīng)的分氣路；集流定盤組件固定不動，而分流轉(zhuǎn)盤組件旋轉(zhuǎn)，每轉(zhuǎn)至其中一條分氣路與相對應(yīng)的進(jìn)氣路相通的位置，氣體由勻量的由一條進(jìn)氣路進(jìn)入一條分氣路，由分氣路輸出。

更具體地，所述集流定盤組件與分流轉(zhuǎn)盤組件相接處設(shè)有防止分流轉(zhuǎn)盤組件旋轉(zhuǎn)時漏氣的密封部件。

更具體地，所述集流定盤組件包括集流定盤以及多個均勻分布在集流定盤的外圓周上的進(jìn)氣管接頭；

每條所述的進(jìn)氣路由其中一個進(jìn)氣管接頭與集流定盤內(nèi)設(shè)置的其中一個集流氣孔形成。

更具體地，所述集流定盤內(nèi)設(shè)有多個集流氣孔，這些集流氣孔均勻的分布在與進(jìn)氣管接頭相對應(yīng)的位置；

所述集流氣孔由集流定盤的底端面往頂端面的方向開設(shè)，且不貫穿集流定盤的頂端面。

更具體地，所述分流轉(zhuǎn)盤組件包括分流轉(zhuǎn)盤、固定在分流轉(zhuǎn)盤上的密封碟盤以及多個均勻分布在分流轉(zhuǎn)盤的外圓周上的出氣管接頭；

每條所述的分氣路由其中一個出氣管接頭、分流轉(zhuǎn)盤內(nèi)設(shè)置的其中一個分流出氣孔與密封碟盤內(nèi)設(shè)置的其中一個分氣通孔形成。

更具體地，所述分流轉(zhuǎn)盤內(nèi)設(shè)有多個分流出氣孔，這些分流出氣孔均勻分布在與出氣管接頭相對應(yīng)的位置；

所述分流出氣孔由分流轉(zhuǎn)盤的上端面往下端面的方向開設(shè)，且不貫穿分流轉(zhuǎn)盤的底端的底端面。

更具體地，所述密封部件為固定在分流轉(zhuǎn)盤上的密封碟盤；

所述密封碟盤內(nèi)設(shè)有多個均勻分布在與分流出氣孔和集流進(jìn)氣口相對應(yīng)位置的分氣通孔，分流出氣孔連通集流進(jìn)氣口和分流出氣孔，以連通進(jìn)氣路和分氣路。

更具體地，：還包括將集流定盤組件固定與外接設(shè)備上的連接座；

所述集流定盤安裝在連接座的底端面，通過設(shè)置彈簧銷固定；彈簧銷的外圓周上套裝有彈簧，通過該彈簧的壓縮力以壓緊集流定盤組件與分流轉(zhuǎn)盤組件的接觸面。

更具體地，所述連接座的外圓周上設(shè)有一個鎖緊塊，該鎖緊塊鑲嵌在連接座的外圓周上，通過螺釘固定；

連接座與鎖緊塊的底部各設(shè)有一個以上的半臺階銷孔，連接座上的半臺階銷孔與鎖緊塊上的半臺階銷孔同軸相對設(shè)置，使得兩個半臺階銷孔組合成一個完整的臺階銷孔；

集流定盤的上端面上設(shè)有一個與臺階銷孔相對應(yīng)位置的盲孔，彈簧銷的一端插入臺階銷孔中，由連接座和鎖緊塊夾緊；彈簧銷的另一端與集流定盤上的盲孔間隙配合。

采用本實用新型產(chǎn)生的有益效果：1、本旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)實用性更強(qiáng)，使用范圍更廣，持續(xù)工作更穩(wěn)定，更利于設(shè)備的維護(hù)以及升級改進(jìn)。

2、設(shè)置多個進(jìn)氣路與多個分氣路一一相對應(yīng)，且在分氣路旋轉(zhuǎn)時，每個分氣路也能與進(jìn)氣路交換相通，實現(xiàn)多輸入和多輸出機(jī)構(gòu)的分出的氣路流量均勻。

3、在集流定盤組件和分流轉(zhuǎn)盤組件的相接處設(shè)置密封部件，分流轉(zhuǎn)盤組件旋轉(zhuǎn)過程中，密封部件緊貼在集流定盤組件上，防止真空泄漏。

附圖說明

圖1為旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為集流定盤組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為集流定盤組件的豎直截面圖。

圖4為分流轉(zhuǎn)盤組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為分流轉(zhuǎn)盤組件的豎直截面圖。

圖6為旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)的安裝示意圖。

圖7為旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)的密封碟盤處于靜止工作狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8為圖7中的A-A剖視圖。

圖9為旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)的密封碟盤處于旋轉(zhuǎn)工作狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖10為圖9中的B-B剖視圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面結(jié)合附圖及具體實施方式對本實用新型做進(jìn)一步描述。

如圖1至圖10所示，本實用新型公開了一種新型的具有多路輸入、多路輸出的旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)主要包括兩個部分，分別是相對靜止不動的且與外接設(shè)備的工位氣路相連接的集流定盤組件1、可相對集流定盤組件1旋轉(zhuǎn)且由外接動力組件驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的分流轉(zhuǎn)盤組件2，分流轉(zhuǎn)盤組件2位于集流定盤組件1的底端面上。集流定盤組件1內(nèi)設(shè)有多條進(jìn)氣路，每條進(jìn)氣路外接設(shè)備的工位氣路，以輸入氣體，而分流轉(zhuǎn)盤組件2內(nèi)設(shè)有多條分別與進(jìn)氣路的分布位置相對應(yīng)的分氣路。工作時，集流定盤組件1固定不動，而分流轉(zhuǎn)盤組件2旋轉(zhuǎn)，每轉(zhuǎn)至其中一條分氣路與相對應(yīng)的進(jìn)氣路相通的位置，氣體由勻量的由一條進(jìn)氣路進(jìn)入一條分氣路，由分氣路輸出。

集流定盤組件1包括連接座11、集流定盤12以及多個均勻分布在集流定盤12的外圓周上的進(jìn)氣管接頭13。本實施例中的旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)應(yīng)用與半導(dǎo)體分選封裝設(shè)備上，連接座11即用于與半導(dǎo)體分選封裝設(shè)備的相關(guān)部件連接。進(jìn)氣管接頭13連接的每路輸入都是固定服務(wù)于對應(yīng)的一個工位。

連接座11呈柱狀，連接座11的軸線位置設(shè)有安裝孔，該安裝孔貫穿整個連接座11。連接座11的外圓周上設(shè)有一個鎖緊塊14，該鎖緊塊14鑲嵌在連接座11的外圓周上，通過螺釘固定。安裝后，鎖緊塊14的外圓周與連接座11的外圓周剛好平齊。連接座11與鎖緊塊14的底部各設(shè)有一個以上的半臺階銷孔，連接座11上的半臺階銷孔與鎖緊塊14上的半臺階銷孔同軸相對設(shè)置，使得兩個半臺階銷孔組合成一個完整的臺階銷孔。

集流定盤12安裝在連接座11的底部，集流定盤12的上端面上設(shè)有一個與臺階銷孔相對應(yīng)位置的盲孔，通過設(shè)置彈簧銷15將集流定盤12固定在連接座11的底部。其中，彈簧銷15的外圓周上套有彈簧16，通過該彈簧16的壓縮力以壓緊集流定盤組件1與分流轉(zhuǎn)盤組件2的接觸面，使得集流定盤12與分流轉(zhuǎn)盤組件2緊密接觸。彈簧銷15插入彈簧16的內(nèi)徑中，對彈簧16起到導(dǎo)向的作用。更具體地，彈簧銷15的一端插入臺階銷孔中，由連接座11和鎖緊塊14夾緊，而臺階銷孔的臺階面用于限定彈簧16的一端；彈簧銷15的另一端與集流定盤12上的盲孔間隙配合，盲孔定位彈簧16的另一端。

集流定盤12的底部設(shè)有多個沿著集流定盤12軸線方向由底往上開設(shè)，且不貫穿集流定盤12頂端的集流氣孔121，這些集流氣孔121繞著集流定盤12的軸線均勻分布在與軸線具有一定距離的位置，且均勻分布在與進(jìn)氣管接頭13相對應(yīng)的位置上。進(jìn)氣管接頭13與集流氣孔121數(shù)量相等，且進(jìn)氣管接頭13與相對應(yīng)的集流氣孔121相連通。更具體地，進(jìn)氣管接頭13外接設(shè)備的工位氣路，通過進(jìn)氣管接頭13氣體輸入集流定盤12內(nèi)的集流氣孔121中，實現(xiàn)在集流定盤12中聚集各路正壓或負(fù)壓。

分流轉(zhuǎn)盤組件2包括分流轉(zhuǎn)盤21、固定在分流轉(zhuǎn)盤21上的密封碟盤22以及多個均勻分布在分流轉(zhuǎn)盤21的外圓周上的出氣管接頭23。密封碟盤22位于集流定盤12和分流轉(zhuǎn)盤21之間，本實施例設(shè)置密封碟盤22作為集流定盤組件1和分流轉(zhuǎn)盤組件2連接處的密封部件，并在集流定盤組件1上的彈簧壓力的作用下，將集流定盤組件1和分流定盤組件2密封緊貼，以完成密封碟盤22在相對于集流定盤組件1旋轉(zhuǎn)過程中，保持在在氣流交換過程中始終處于密封不漏氣的狀態(tài)，以實現(xiàn)動態(tài)密封輸送氣流功能。

分流轉(zhuǎn)盤21亦呈圓柱形，分流轉(zhuǎn)盤21的上端面上設(shè)有多個沿著分流轉(zhuǎn)盤21的軸線方向由上往下開設(shè)，且不貫穿分流轉(zhuǎn)盤21底端的分流出氣孔211，這個分流出氣孔211繞著分流轉(zhuǎn)盤21的軸線均勻分布在與出氣管接頭23相對應(yīng)的位置。出氣管接頭23與分流出氣孔211的數(shù)量相等，出氣管接頭23與相對應(yīng)的分流出氣孔211相連通。

密封碟盤22呈圓柱形，密封碟盤22安裝在分流轉(zhuǎn)盤21的上端面，通過螺釘固定。密封碟盤22內(nèi)設(shè)有多個分氣通孔221，這些分氣通孔221由密封碟盤22的上端面貫穿至下端面，且繞著密封碟盤22的軸線均勻分布在與集流氣孔121和分流出氣孔211均相對應(yīng)的位置，分流出氣孔211連通集流進(jìn)氣口和分流出氣孔211，以連通進(jìn)氣路和分氣路。此外，密封碟盤22上設(shè)有兩個定位銷孔，該定位銷孔上安裝定位銷，以保證密封碟盤22與分流轉(zhuǎn)盤21同軸心。

分流旋轉(zhuǎn)盤組件中的每條分氣路由其中一個出氣管接頭23、分流轉(zhuǎn)盤21內(nèi)設(shè)置的其中一個分流出氣孔211與密封碟盤22內(nèi)設(shè)置的其中一個分氣通孔221形成。

本實施例中的旋轉(zhuǎn)分氣機(jī)構(gòu)，集流定盤12上均勻分布的集流氣孔121與圓周面上均勻分布的進(jìn)氣管接頭13一一相通；密封碟盤22上的分氣通孔221與分流轉(zhuǎn)盤21上的分流出氣孔211相連通，分流出氣孔211與分流轉(zhuǎn)盤21圓周上均勻分布的出氣管接頭23一一相通，集流定盤12上的集流氣孔121與密封碟盤22上的分氣通孔221位置與分布一一對應(yīng)。于集流氣孔121中聚集，輸送到密封碟盤22時由分氣通孔221將氣流均勻分別輸送入分流出氣孔211中，進(jìn)而由出氣管接頭23排出，實現(xiàn)均勻分氣。

工作時，集流定盤12每個氣孔對應(yīng)設(shè)備的工位氣路是保持不變的，但分流旋轉(zhuǎn)盤組件上氣孔的氣路則是隨轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)動而不斷更替。密封碟盤22克服摩擦力轉(zhuǎn)動一個氣孔位置，同時分流轉(zhuǎn)盤21上的分流出氣孔211則改變一次氣路，原氣路剛由后一個分流出氣孔211接替，繼續(xù)原工位的工作。更具體地，當(dāng)密封碟盤22旋轉(zhuǎn)到分氣通孔221與集流氣孔121正對相通的，完成正負(fù)氣壓的輸送。當(dāng)密封碟盤22旋轉(zhuǎn)到分氣通孔221與集流氣孔121位于相錯位的位置時，分氣路始終保持真空狀態(tài)，即在下一個工位前，裝設(shè)在出氣管接頭23上的各路氣管在旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下也一直處于真空狀態(tài)，達(dá)到實現(xiàn)保持真空吸附的目的。

綜上所述，此新型旋轉(zhuǎn)分分機(jī)構(gòu)實用性更強(qiáng)，使用范圍更廣，持續(xù)工作更穩(wěn)定，更利于設(shè)備的維護(hù)以及升級改進(jìn)。

最后應(yīng)當(dāng)說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對本實用新型保護(hù)范圍的限制，盡管參照較佳實施例對本實用新型作了詳細(xì)地說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，均屬本實用新型的保護(hù)范圍。