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液體回流管的制作方法

文檔序號(hào):5788016閱讀:967來源:國(guó)知局
專利名稱:液體回流管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體濕法清洗技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種液體回流管。
背景技術(shù)
目前的半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中,對(duì)硅片進(jìn)行清洗處理后的清洗液均采用自重回流的方式回收或直接排出設(shè)備之外,其基本原理為將液體回流管路設(shè)置于硅片處理模塊下方,用一根軟管使其與晶片處理模塊連接,通過液體自身的重力使清洗液流入回流管,由于沒有考慮液體從上至下流入,會(huì)對(duì)回流管內(nèi)的氣體造成瞬間壓縮,導(dǎo)致氣體向上涌出,造成液體飛濺,對(duì)硅片二次污染。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何使液體順利排出,不產(chǎn)生液體飛濺,避免對(duì)硅片二次污染。( 二 )技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供了一種液體回流管,包括依次連接的氣體緩沖罐、連接管和中空管,所述中空管上設(shè)有若干進(jìn)液接頭。其中,所述氣體緩沖罐底端設(shè)有進(jìn)氣接頭,所述中空管一端設(shè)有第二排氣接頭,所述進(jìn)氣接頭與所述第二排氣接頭通過所述連接管連通。其中,所述氣體緩沖罐頂端設(shè)有第一排氣接頭,所述中空管另一端設(shè)有排液接頭。其中,所述若干進(jìn)液接頭焊接于所述中空管上。其中,所述中空管由聚丙烯或聚氯乙烯制成。(三)有益效果本實(shí)用新型通過中空管和氣體緩沖罐的配合,可使液體順利排出,不產(chǎn)生液體飛濺,避免對(duì)硅片二次污染。

圖1為按照本實(shí)用新型的液體回流管一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型,但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。圖1為按照本實(shí)用新型的液體回流管一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖,包括氣體緩沖罐7和位于氣體緩沖罐7下方的中空管2,氣體緩沖罐7設(shè)有進(jìn)氣接頭6和第一排氣接頭8,中空管2兩端分別設(shè)有排液接頭1、第二排氣接頭4,中空管2上還焊接有連接其他小尺寸液體流入的管路的若干進(jìn)液接頭3,第二排氣接頭4與進(jìn)氣接頭6通過連接管5連通,為使中空管2焊接后變形最小,該若干進(jìn)液接頭3遍布設(shè)置于中空管2的外周的各個(gè)方向,優(yōu)選地,如圖1所示,中空管2水平放置時(shí),進(jìn)液接頭3設(shè)置于中空管的上、下兩側(cè), 包括上側(cè)進(jìn)液接頭和下側(cè)進(jìn)液接頭,中空管2為防腐蝕的塑料材質(zhì)制成,如PP(聚丙烯)、 PVC^Polyvinylchloride,聚氯乙烯)等,第一排氣接頭8與清洗設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)連接,上側(cè)進(jìn)液接頭和下側(cè)進(jìn)液接頭均與清洗設(shè)備上用于接收清洗液的軟管連接,排液接頭1與清洗設(shè)備的回流液體排出管道相連。上述液體回流管的工作原理為回收清洗液時(shí),清洗液通過軟管自上側(cè)進(jìn)液接頭和下側(cè)進(jìn)液接頭進(jìn)入中空管2,此時(shí)中空管2內(nèi)的氣體壓力增大,由于排液接頭1連接的回流液體排出管道中同樣有氣體,而氣體緩沖罐7的橫截面積較大,壓力較小,氣體由中空管 2經(jīng)連接管5通入氣體緩沖罐7中,清洗液自排液接頭1排入所述清洗設(shè)備的回流液體排出管道,氣體緩沖罐7中的氣體可由清洗設(shè)備上的排風(fēng)系統(tǒng)排出。當(dāng)清洗液回收完成時(shí),中空管2中的氣體壓力降低,氣體會(huì)由中空管上側(cè)進(jìn)液接頭和下側(cè)進(jìn)液接頭進(jìn)入中空管2,使中空管2中氣體壓力保持常壓。以上實(shí)施方式僅用于說明本實(shí)用新型,而并非對(duì)本實(shí)用新型的限制,有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下,還可以做出各種變化和變型,因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實(shí)用新型的范疇,本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種液體回流管,其特征在于,包括依次連接的氣體緩沖罐(7)、連接管( 和中空管O),所述中空管( 上設(shè)有若干進(jìn)液接頭(3)。
2.如權(quán)利要求1所述的液體回流管,其特征在于,所述氣體緩沖罐(7)底端設(shè)有進(jìn)氣接頭(6),所述中空管( 一端設(shè)有第二排氣接頭G),所述進(jìn)氣接頭(6)與所述第二排氣接頭(4)通過所述連接管( 連通。
3.如權(quán)利要求2所述的液體回流管,其特征在于,所述氣體緩沖罐(7)頂端設(shè)有第一排氣接頭(8),所述中空管O)另一端設(shè)有排液接頭(1)。
4.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的液體回流管,其特征在于,所述若干進(jìn)液接頭C3)焊接于所述中空管O)上。
5.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的液體回流管,其特征在于,所述中空管(2)由聚丙烯或聚氯乙烯制成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種液體回流管,包括依次連接的氣體緩沖罐(7)、連接管(5)和中空管(2),所述中空管(2)上設(shè)有若干進(jìn)液接頭(3),可使液體順利排出,不產(chǎn)生液體飛濺,避免對(duì)硅片二次污染。
文檔編號(hào)F16L55/02GK201954184SQ20102062985
公開日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2010年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月23日
發(fā)明者何金群, 昝威, 王銳廷, 裴立坤 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
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