專利名稱：隔離閥結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種應(yīng)用在真空設(shè)備的隔離閥結(jié)構(gòu)，尤指一種可 確實(shí)讓其中 一 端所接續(xù)的空間保持在負(fù)壓狀態(tài)，防止大氣壓力因下端 蓋所接續(xù)的真空泵突然故障而逆流至其空間中，以及排除因廢材堆積 而影響閥瓣滑動(dòng)狀態(tài)的隔離閥結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代許多高精密度產(chǎn)品(例如半導(dǎo)體、硬盤機(jī)、鏡片等)的制造過
程當(dāng)中，某些加工步驟必需使用程度不一的真空才能完成；又，在實(shí) 驗(yàn)室和工廠中用以制造真空的方法主要是利用真空泵將密閉空間中的 空氣抽出，使該空間保持在負(fù)壓狀態(tài)，亦即到某種程度的真空。
然而，雖然可以利用真空泵持續(xù)將空氣抽出的方式讓該空間保持 在負(fù)壓狀態(tài)，但是當(dāng)該真空泵故障或停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，該負(fù)壓空間外部的 空氣即會(huì)在大氣壓力的作用下逆向侵入原有的負(fù)壓空間當(dāng)中，如此不 但會(huì)造成該空間內(nèi)部產(chǎn)品不同程度的危害，而且重新使該空間恢復(fù)到 既定的負(fù)壓狀態(tài)則必須要再耗費(fèi)相當(dāng)長的運(yùn)作時(shí)間，以及真空泵運(yùn)作 所需的成本。
按， 一般隔離閥主要用以連接于真空泵及一真空室或類似需要形 成負(fù)壓的空間之間，請(qǐng)參照?qǐng)Dl所示，習(xí)用的隔離閥90結(jié)構(gòu)包括有一套 筒91，套筒91兩端再鎖固有一上端蓋92及一下端蓋93,并于套筒91內(nèi) 部套設(shè)有襯環(huán)94 ,以及于襯環(huán)94頂部設(shè)有一閥瓣95,襯環(huán)94的頂部分 設(shè)有若干限位桿941,其圍繞成一用以框限閥瓣95上、下浮動(dòng)的限位空 間，并使閥瓣95因隔離閥90兩側(cè)壓力的不同而于限位桿941間穩(wěn)定滑 動(dòng)，然而，于使用時(shí)可能因廢材堆積于外露的限位桿941上，而令閥瓣 95無法順利滑動(dòng)并損壞相關(guān)機(jī)械構(gòu)件。

實(shí)用新型內(nèi)容
有鑒于此，本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種可確實(shí)讓 其中 一端所接續(xù)的空間保持在負(fù)壓狀態(tài)，并可防止大氣壓力因下端蓋 所接續(xù)的真空泵突然故障而逆流至其空間中，以及排除因廢材堆積而 影響閥瓣滑動(dòng)狀態(tài)的隔離閥結(jié)構(gòu)。
為達(dá)上揭目的，本實(shí)用新型的隔離閥包括有一套筒、 一上端蓋及 一下端蓋，主要在套筒的內(nèi)部套設(shè)有一襯環(huán)，以及于襯環(huán)頂部設(shè)有一 閥瓣，此村環(huán)的外圍以及底部分別設(shè)有若干定位用凸條，使襯環(huán)與套
筒內(nèi)壁以及下端蓋保持特定之間隔；尤其，襯環(huán)于主通孔外圍設(shè)有滑 槽，閥瓣周邊則具有可配合穿入滑槽中滑移的穿軸。
本實(shí)用新型的有益效果為整體隔離閥主要因其兩側(cè)壓力的不同， 即可在閥瓣得壓貼于上端蓋的狀態(tài)下，由閥瓣將上端蓋的管路接口遮 蔽，進(jìn)而讓上端蓋所接續(xù)的空間維持在負(fù)壓狀態(tài)，防止大氣壓力因下 端蓋所接續(xù)的真空泵突然故障而逆流至其空間中；尤其，當(dāng)下端蓋所 接續(xù)的真空泵開始運(yùn)作時(shí)，閥瓣藉由穿軸滑入襯環(huán)的滑槽中以離開上 端蓋，并且于使用時(shí)因該穿軸可完全沒入滑槽中，排除因廢材堆積而 影響閥瓣的滑動(dòng)狀態(tài)以及防止損壞相關(guān)機(jī)械構(gòu)件。
本實(shí)用新型的另一目的即在提供一種可透過各凸條之間所形成的 信道加快上端蓋所接續(xù)的空間到達(dá)負(fù)壓狀態(tài)速度的隔離閥結(jié)構(gòu)。


圖1為習(xí)有隔離閥的結(jié)構(gòu)剖視圖；'
圖2為本實(shí)用新型的隔離閥使用狀態(tài)配置示意圖3為本實(shí)用新型的外觀立體圖4為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)分解圖5為本實(shí)用新型中套筒內(nèi)部結(jié)構(gòu)立體圖6為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)剖視圖7為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖8為本實(shí)用新型的襯環(huán)頂面結(jié)構(gòu)圖9為本實(shí)用新型另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)分解圖。
圖號(hào)說明
隔離閥10套筒11
上端蓋12管路接口 121
下端蓋13管路接口 131
襯環(huán)14凸條141
主通孔142滑槽143
間隔塊144貫穿孔道145
軸套146閥瓣15
穿軸151第一流道161
第二流道162第三流道163
真空泵20真空室30
隔離閥90套筒91
上端蓋92下端蓋93
襯環(huán)94限位桿941
閥瓣9具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的特點(diǎn)，可參閱本案圖式及實(shí)施例的詳細(xì)說明而獲得 清楚地了解。
如圖2所示，本實(shí)用新型的隔離閥1 O主要用以連接于真空泵20及一 真空室30或類似需要形成負(fù)壓的空間之間，請(qǐng)同時(shí)配合參照?qǐng)D3至圖6 所示，整體隔離閥10基本上包括有 一套筒ll、 一上端蓋12、 一下端 蓋13、 一襯環(huán)14及一閥瓣15;其中
上、下端蓋12、 13分別鎖固在套筒11的兩端，而且個(gè)別設(shè)有所屬 的管路接口 121 、 131供與所接續(xù)的空間(真空室30)及真空泵20接續(xù)。
上述襯環(huán)14的外徑小于套筒11的內(nèi)徑，并且在該襯環(huán)14的外圍以 及底部分別設(shè)有若干定位用凸條141，使襯環(huán)14得以穩(wěn)固的套設(shè)在套筒 ll內(nèi)部，并且與套筒11內(nèi)壁以及下端蓋13保持特定的間隔；而且，于 襯環(huán)14設(shè)有主通孔142以及于主通孔142外圍設(shè)有滑槽143。
而閥瓣15則于襯環(huán)14頂部，其周邊具有可配合穿入滑槽143中滑移 的穿軸151,并得以壓貼于上端蓋12，進(jìn)而將J:端蓋12的管路接口121 遮蔽。
主要在真空泵20與真空室30壓力的不同，使閥瓣15壓貼于上端蓋 12的狀態(tài)下，如圖6所示，由閥瓣15將上端蓋12的管路接口121遮蔽， 令上端蓋12所接續(xù)的空間維持在負(fù)壓狀態(tài)，并可防止大氣壓力因下端 蓋所接續(xù)的真空泵突然故障而逆流至其空間中。
反之，當(dāng)下端蓋13所接續(xù)的真空泵20運(yùn)作，因隔離閥10兩側(cè)壓力 的不同而使閥瓣15如圖7所示與上端蓋12相脫離時(shí)，閥瓣15藉由穿軸 151滑入襯環(huán)14的滑槽143中以離開上端蓋12，并且于使用時(shí)因該穿軸 151可完全沒入滑槽143中，排除因廢材堆積而影響閥瓣15的滑動(dòng)狀態(tài) 以及防止損壞相關(guān)機(jī)械構(gòu)件。當(dāng)然，該襯環(huán)14可以如圖4及圖7所示， 在其頂部相對(duì)應(yīng)于主通孔142外圍處布設(shè)有若干間隔塊144以防止閥瓣 15將襯環(huán)14的主通孔142遮蔽。
又，如圖5及圖7所示，該襯環(huán)14對(duì)應(yīng)于閥瓣15處具有一主通孔142, 為供空氣流通的第一流道161，而各凸條141與套筒11內(nèi)壁之間所形成 的信道為數(shù)個(gè)第；流道162，以及進(jìn)一步在襯環(huán)14的本體上另外設(shè)有若 干貫穿孔道145，該貫穿孔道145亦為供空氣流通的第三流道163，利用 舉一流道161、第二流道162以及第三流道163來增加上、下端蓋12、 13 之間的空氣信道數(shù)量，達(dá)到輔助提升空氣流通的效果。
由于，整個(gè)隔離閥10當(dāng)中閥瓣15藉由穿軸151于襯環(huán)14的滑槽143 中滑移浮動(dòng)，故其穿軸151可以呈如圖8所示的圓形斷面，而滑槽143則 配合穿軸151同為圓形斷面，另外，滑槽143與穿軸151之間更可穿設(shè)有 一磨擦阻力較低的軸套146,以降低兩者之間的磨擦阻力，使閥瓣15的 動(dòng)作更為確實(shí)、反應(yīng)更為靈敏。
綜上所述，本實(shí)用新型提供一較佳可行的隔離閥結(jié)構(gòu)，爰依法提 呈新型專利的申請(qǐng)；再者，本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容及技術(shù)特點(diǎn)巳揭示 如上，然而熟悉本項(xiàng)技術(shù)的人士仍可能基于本實(shí)用新型的揭示而作各 種不背離本案實(shí)用新型精神的替換及修飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)
范圍應(yīng)不限于實(shí)施例所揭示者，而應(yīng)包括各種不背離本實(shí)用新型的替 換及修飾，并為以下的申請(qǐng)專利范圍所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種隔離閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括有一套筒；一上端蓋及一下端蓋，分別鎖固在套筒兩端，并且個(gè)別設(shè)有所屬的管路接口；一襯環(huán)，其外徑小于套筒的內(nèi)徑，并且在其外圍以及底部分別設(shè)有若干定位用凸條，使得以穩(wěn)固的套設(shè)在套筒內(nèi)部，并且與套筒內(nèi)壁以及下端蓋保持間隔，再于襯環(huán)設(shè)有主通孔以及于主通孔外圍設(shè)有滑槽；一閥瓣，設(shè)于襯環(huán)頂部，其周邊具有可配合穿入滑槽中滑移的穿軸，并得以壓貼于上端蓋，進(jìn)而將上端蓋的管路接口遮蔽。
2、 如權(quán)利要求1所述隔離閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，該襯環(huán)在其頂 部相對(duì)應(yīng)于主通孔外圍處布設(shè)有若干用以防止閥瓣將襯環(huán)內(nèi)圏遮蔽 的間隔塊。
3、 如權(quán)利要求1或2所述l4離閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，該襯環(huán)設(shè) 有若干貫穿孔道。
4、 如權(quán)利要求3所述隔離閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，該襯環(huán)的主 通孔為一供空氣流通的第一流道，而各凸條與套筒內(nèi)壁之間所形成的 信道為數(shù)個(gè)第二流道，以及進(jìn)一步在襯環(huán)的本體上另外設(shè)有若干貫穿 孔道，該貫穿孔道亦為供空氣流通的第三流道。
5、 如權(quán)利要求1所述隔離閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，該襯環(huán)的滑槽 呈圓形斷面。
6、 如權(quán)利要求1所述隔離閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，該閥瓣的穿軸 呈圓形斷面。
7、 如權(quán)利要求1所述隔離閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，該滑槽中穿設(shè) 有一軸套。
專利摘要本實(shí)用新型隔離閥結(jié)構(gòu)包括有一套筒、一上端蓋及一下端蓋，主要在套筒的內(nèi)部套設(shè)有一襯環(huán)，以及于襯環(huán)頂部設(shè)有一閥瓣，此襯環(huán)的外圍以及底部分別設(shè)有若干定位用凸條，使襯環(huán)與套筒內(nèi)壁以及下端蓋保持特定之間隔；尤其，襯環(huán)于主通孔外圍設(shè)有滑槽，閥瓣周邊則具有可配合穿入滑槽中滑移的穿軸，主要因隔離閥兩側(cè)壓力的不同，使閥瓣得以壓貼于上端蓋，進(jìn)而將上端蓋的管路接口遮蔽，或使閥瓣藉由穿軸滑入襯環(huán)的滑槽中以離開上端蓋，并且于使用時(shí)因該穿軸可完全沒入滑槽中，排除因廢材堆積而影響閥瓣的滑動(dòng)狀態(tài)。
文檔編號(hào)F16K3/02GK201196290SQ20082000702
公開日2009年2月18日 申請(qǐng)日期2008年3月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月5日
發(fā)明者林進(jìn)達(dá) 申請(qǐng)人:尚弘科技股份有限公司