專利名稱：一種尤其用于超高純度氣體瓶子的閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種尤其用于氣體或者液化氣的瓶子(或氣罐)的 閥。該閥尤其適用于儲(chǔ)有超純氣體的應(yīng)用。
背景技術(shù)：
如今，某些行業(yè)對(duì)特殊氣體日益廣泛的使用以及對(duì)高純度的需 求導(dǎo)致閥系統(tǒng)、閥門以及用于氣體分配的其它設(shè)備的生產(chǎn)商的持續(xù) 不斷的努力，以改善他們產(chǎn)品的質(zhì)量和完善性。對(duì)于半導(dǎo)體^亍業(yè)，例如，由于氣體中的雜質(zhì)不可"l免回地影響部 件的電性能并因此也減少了產(chǎn)品產(chǎn)量，因此開發(fā)出了用于高質(zhì)量氣 體的分配系統(tǒng)。然而，這些氣體昂貴、高度活躍、有腐蝕性并/或有 毒，因此，迫切需要可靠且合適的設(shè)備。盡管做了這些努力，在要求高純度的應(yīng)用中通常使用的某些閥 的設(shè)計(jì)并不能完全滿足要求。這種類型的閥例如包括具有氣流通道 的閥體，閥體內(nèi)設(shè)置有密封座。下部桿的端部充當(dāng)封閉件并因此包 括安裝在環(huán)形凹槽內(nèi)的由聚合材料制成的環(huán)形密封墊。環(huán)形凹槽的 內(nèi)側(cè)由下部桿的自由端限定而其外側(cè)由定位環(huán)限定。通常采用兩種類型的組裝來(lái)固定密封墊。在第一種情況下，定 位環(huán)的4妾觸環(huán)形密封墊的面包4舌一組用于咬住密封墊的齒并因此 固定密封墊，用力將密封墊嵌入環(huán)形凹槽內(nèi)?？蛇x^^地，環(huán)形密封塾安裝在下部桿自由端周圍，然后通過(guò)螺擰或鑲嵌將環(huán)固定到下部 桿上，以4吏環(huán)環(huán)繞環(huán)形密封墊的外圍。在這種情況下，定位環(huán)可以 包括伸入聚合密封墊前面外緣的徑向凸邊。如前所述，應(yīng)用高純度(HP)和超高純度(UHP)意p木著對(duì)純 度和密封性的更高要求。然而，在上面提到過(guò)的設(shè)計(jì)中，齒的存在 意味著對(duì)密封墊的磨損，這將產(chǎn)生微粒并造成死空間(未被密封墊 占據(jù)的空間)。對(duì)于帶有螺紋的環(huán)，螺紋處不能保證密封性，而且 螺紋上的任何磨〗察也可能產(chǎn)生孩i粒。此外，當(dāng)螺檸環(huán)時(shí)會(huì)對(duì)環(huán)形密 封墊施加扭力，這將導(dǎo)致密封墊的變形。最后，當(dāng)鑲嵌裝配時(shí)，既 不可能保證裝S己密封性也不能精確地控制環(huán)形密封墊的固定。因此，現(xiàn)有i殳計(jì)包4舌死空間和可能泄露的區(qū)i或，這些都不希望 出現(xiàn)在純氣體和超純氣體的應(yīng)用中。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種更適合HP和UHP應(yīng)用要求的閥。 根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求1的閥實(shí)現(xiàn)該目標(biāo)。根據(jù)本發(fā)明， 一種用于壓縮氣體或者液化氣體的閥，該閥包括 閥體，該閥體設(shè)置有在入口和出口之間延伸的氣流通道；和_沒(méi)置在所述氣流通道內(nèi)的第一密封座。與第一密封座配合的封閉件具有設(shè) 置有肩部的自由端。由聚合材料制成的環(huán)形密封墊裝配在封閉件的自由端上，所述環(huán)形密封墊具有面對(duì)第一密封座的前端面和靠在封 閉件本體的肩部上的后端面。固定在封閉件上的定位環(huán)周向環(huán)繞環(huán) 形密封墊并包括4氏壓在所述環(huán)形密封墊前端面的外纟彖上的徑向凸 邊。封閉件能夠朝向第一密封座軸向移至第一密封位置，在第一密 封位置處，環(huán)形密封墊壓靠第 一 密封座從而保證閥的主要密封性。才艮據(jù)本發(fā)明的重要特征，環(huán)形密封墊前端面的邊鄉(xiāng)彖上包括外部 環(huán)形肩部，而且定^f立環(huán)的徑向凸邊具有面對(duì)環(huán)形密去t墊的外部環(huán)形 肩部的環(huán)形凸緣。定位環(huán)通過(guò)外部周向密封焊縫固定在封閉件上， 乂人而^f吏環(huán)形凸纟彖軸向伸入環(huán)形密封墊的外部環(huán)形肩部中以{更壓緊
外部環(huán)形肩部。
在根據(jù)本發(fā)明的閥中，環(huán)形密封墊因而限定在由封閉件的自由 端和端部以及定位環(huán)限定的環(huán)形凹槽內(nèi)。當(dāng)環(huán)形密封墊壓靠在密封
座上時(shí)，這種類型的限定能夠控制環(huán)形密封墊的擠壓/變形。
此外，設(shè)置在定位環(huán)的徑向凸邊上的環(huán)形凸緣能夠?qū)h(huán)形密封 墊全部壓到環(huán)形凹槽內(nèi)，因此填充了整個(gè)空間并消除了可能存留氣 體的死空間。此處應(yīng)當(dāng)注意，環(huán)形密封墊和凹槽的尺寸被選擇為使 壓縮力最初由環(huán)形凸緣產(chǎn)生。因此，當(dāng)裝配定位環(huán)時(shí)，將通過(guò)環(huán)形 凸緣壓縮環(huán)形密封墊。環(huán)形凸緣的另 一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于通過(guò)環(huán)形密封墊 局部創(chuàng)建強(qiáng)壓縮區(qū)，這形成密封屏障。
最后，通過(guò)在整個(gè)圓周上的密封焊縫的固定構(gòu)成了不能通過(guò)鑲 嵌或螺接實(shí)現(xiàn)的環(huán)形密封墊后面的密封性保證。由于精度、熱量控 制以及實(shí)踐的原因，優(yōu)選使用激光裝置進(jìn)行焊接操作。焊接可以在 有供料或沒(méi)有供料的情況下進(jìn)行。也可以采用其它能夠?qū)崿F(xiàn)精確焊 接的焊接技術(shù)，例如使用電子束。同樣應(yīng)當(dāng)注意的是，通過(guò)焊接固 定定位環(huán)能夠在不給環(huán)形密封墊施加4壬何壓力(除了由環(huán)形凸緣產(chǎn) 生的壓力之外)的情況下將定位環(huán)簡(jiǎn)單地裝配到封閉件本體上，因 此避免了裝配過(guò)程中的任何損壞。
才艮據(jù)一個(gè)實(shí)施例，封閉件的自由端包括徑向伸入環(huán)形密封墊的 內(nèi)部環(huán)形肩部中的端部徑向凸出部分。封閉件的自由端可以是乂人肩
部向徑向凸出部分尺寸遞減的圓4,臺(tái)形習(xí)犬。該端部徑向凸出部分有 兩個(gè)目的(1)當(dāng)裝配環(huán)形密封墊時(shí)，能夠?qū)h(huán)形密封墊保持在適當(dāng)?shù)奈恢茫?2) —旦將定位環(huán)焊接上去，該凸出部分產(chǎn)生密封屏障 效果，該效果類似于通過(guò)在定位環(huán)凸邊上的環(huán)形凸纟彖而獲得的密封 屏障。因此，在該實(shí)施例中，環(huán)形密封墊限定在環(huán)形凹槽內(nèi)，環(huán)形 凹槽的入口有兩個(gè)密封屏障以防止氣體流向環(huán)形密封墊后面。
優(yōu)選地，定位環(huán)和封閉件之間的周向外部焊縫相對(duì)于肩部軸向 靠后設(shè)置。因此，封閉件可以包括環(huán)繞環(huán)形密封墊所抵靠的肩部但 相對(duì)所述肩部軸向靠后i殳置的外圍環(huán)形肩部，然后在該外圍環(huán)形肩 部處將定位環(huán)焊接到封閉件上。軸向位移使得焊接能夠在離密封墊 一定距離處進(jìn)行，因此保證熱量不會(huì)損壞密封墊。
有利地，閥體包括環(huán)繞通道的第二密封座，封閉件本體能夠從 第一密封位置軸向移動(dòng)到第二密封位置處，在第二密封位置，所述 自由端抵靠第二密封座上，從而與所述第二密封座構(gòu)成金屬密封。 該第二密封座的存在對(duì)UHP應(yīng)用尤其有利，其中氣體是昂貴的且 通常有毒，因?yàn)榧词弓h(huán)形密封墊損壞或者脫落(由于磨損或者過(guò)緊 的力)、或者消失(在燃燒后)，仍能通過(guò)金屬密封密封閥門。
可以理解的是，通常設(shè)計(jì)這種類型的第二密封座以使第一密封 座環(huán)繞該第二密封座，而且自由端的位于第二密封座上的部分的橫 截面大于所述第二密封座處的氣流通道的4黃截面。
實(shí)際上，用于使封閉件從第 一密封位置移動(dòng)到第二密封位置的 軸向位移小于0.3mm， 4尤選約為O.lmm。
通常，使用包括軸向控制桿的控制件來(lái)控制封閉件，軸向控制 桿用于向封閉件傳遞至少一種軸向驅(qū)動(dòng)力?？刂萍梢允侨斯た刂?或者是自動(dòng)控制類型的(例如，氣動(dòng)的或者用電》茲鐵操縱)。才艮據(jù)一個(gè)實(shí)施例，封閉件包括用于操縱封閉件的軸向桿部，軸 向桿部可以與控制件的控制桿形成為一體或者與之相接?？刂茥U與 所述封閉件的所述軸向桿部之間的可分離的剛性連接優(yōu)選地是為 了使用的靈活性。
因此，根據(jù)本發(fā)明的閥經(jīng)證明尤其適用于超高純度的應(yīng)用，具 體地說(shuō)，是由于其封閉件的良好密封性并且沒(méi)有死空間。為了用作 儲(chǔ)氣瓶的閥，將閥體設(shè)計(jì)成能固定到瓶子上，而且通道的入口通常 通向瓶子內(nèi)部。但是，本發(fā)明的閥也可用作用于(流體)氣體分配 系統(tǒng)中的通道閥/閥門。在這種情況下，優(yōu)選地，將會(huì)改變閥體以使 入口和出口能連接到氣體分配系統(tǒng)的管子或其它部件上。


參照附圖，本發(fā)明的其它特征和特性從下面對(duì)優(yōu)選實(shí)施例示意
性的詳細(xì)描述中將變得顯而易見。在附圖中
圖1是根據(jù)本發(fā)明的閥的優(yōu)選實(shí)施例的縱向剖面圖，其中，封
WtN^主要密射i^;
圖2是封閉件的縱向剖面圖3是A處的細(xì)節(jié)方文大圖4是封閉件的分解剖面圖5是無(wú)定位環(huán)情況下的封閉件的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
圖1示出了本發(fā)明的閥10的伊c選實(shí)施例的皇從向剖面圖，該閥
包括分別標(biāo)識(shí)為12和14的閥體和人工控制件。i殳計(jì)閥體12以便 旋擰在儲(chǔ)氣瓶上(未圖示)，而且閥體包括在氣體入口 18和氣體出 口 20之間延伸的氣流通道16。
在本實(shí)施例中，氣流通道16由將入口 18連4妄至閥腔24的入 口通道22和將該閥腔連4妾至出口 20的出口通道26構(gòu)成。入口通 道22貫通閥體12的設(shè)置有使閥能旋擰在瓶子上的螺紋(未圖示) 的下部。出口通道26通向形成4妄頭28的部分中。
通向腔24的入口通道22的端部由包括環(huán)形密封表面的第一密 封座30環(huán)繞，該環(huán)形密封表面與封閉件32配合，以便根據(jù)封閉件 32的軸向位置允許氣體流向出口通道26,或者以密封的方式封閉 入口通道22并因此防止氣體通過(guò)通道16。如前所述，通過(guò)控制件 14的控制桿34沿軸向操縱封閉件32,控制桿通過(guò)中間桿38與封 閉件32的桿部36接合。
腔24朝向控制件14的密封通常通過(guò)撓性薄膜40(塑料的或者 金屬的)來(lái)實(shí)現(xiàn)。如圖1和3中能看出的，該薄膜40圍繞桿34的 部分并延伸至腔24的外圍，該薄膜在腔24的外圍由定位件42定 位，定位件本身由密封套44定位，密封套通過(guò)S走擰牢固地固定在 閥體12的孔46中。
由于封閉件的驅(qū)動(dòng)是常規(guī)方式，因此將簡(jiǎn)單描述。桿部36包 括外螺紋，桿部通過(guò)該外螺紋旋擰到中間桿38的凹槽48內(nèi)表面的 螺紋上。中間桿38自身連4妄至控制桿34的下端，以l吏中間桿可軸 向移動(dòng)地與控制桿連4妄在一起而不會(huì)轉(zhuǎn)動(dòng)。控制4干34包4舌與密封 套44的內(nèi)螺紋配合的外螺紋。操縱件50固定在控制桿34的上端。根據(jù)操縱件轉(zhuǎn)動(dòng)的方向，控制桿在密封套44的螺紋上向上或者向 下移動(dòng)，因此引起封閉件32軸向移動(dòng)靠近或者遠(yuǎn)離密封座30。
更具體地參照?qǐng)D2和4,可以理解的是，封閉件32包括具有自 由端60和肩部62的本體33。由聚合材并+制成的環(huán)形密封墊64(也 稱作圓盤(pastille))圍繞該自由端60而設(shè)置；環(huán)形密封墊64具有 面對(duì)密封座30的前端面66和靠在封閉件32本體的肩部62上的后 端面68。定位環(huán)70周向環(huán)繞環(huán)形密封墊64并包括抵靠在環(huán)形密封 墊64的前端面66的外緣上的徑向凸邊72。尤其應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到環(huán)形密 封墊64的前端面66的邊纟彖上包括外部環(huán)形肩部74，而且定位環(huán) 70的徑向凸邊72具有面^j"環(huán)形密去J"墊64的外部環(huán)形肩部74的環(huán) 形凸緣76。定位環(huán)70通過(guò)外圓周密封焊縫77固定在封閉件32上， 4吏-彈環(huán)形凸纟彖76軸向伸入環(huán)形密去于墊64的外部環(huán)形肩部74中以 <更壓緊該外部環(huán)形肩部。
因此，封閉件32包括限定在由自由端60、肩部62和定位環(huán) 70限定的環(huán)形凹槽內(nèi)的環(huán)形圓盤64,當(dāng)圓盤壓靠在密封座30上時(shí) 定位環(huán)能夠使得圓盤很好地保持住，因此形成閥的主要密封(在第 一密封位置)。事實(shí)上，如從圖3看到的，當(dāng)環(huán)形密封墊壓靠在密 封座30上時(shí)，環(huán)形密封墊能很好地保持在徑向凸邊72和自由端60 之間的環(huán)形凹沖曹的3夾窄出口處。
封閉件的設(shè)計(jì)還保證了改善的密封性。首先，設(shè)置在定位環(huán)70 的徑向凸邊72上的環(huán)形凸緣76將環(huán)形密封墊64壓在環(huán)形凹槽內(nèi)， 使環(huán)形密封墊填充了整個(gè)空間。環(huán)形密封墊64和環(huán)形凹槽的尺寸 優(yōu)選地-波選l奪為4吏得當(dāng)環(huán)形密封墊處于適當(dāng)?shù)奈恢脮r(shí)壓縮力最初 由環(huán)形凸緣76產(chǎn)生。通過(guò)參照?qǐng)D4和圖5將能更好地理解這種情 形。實(shí)際上，環(huán)形密封墊最初的形狀(橫剖面)基本上與環(huán)形凹槽 的形狀相符，當(dāng)裝配上定位環(huán)以后環(huán)形密封墊將限定在該凹槽內(nèi)。 因此，環(huán)形密封墊套在本體33的自由端60上〗吏得環(huán)形密去t墊的后端面68壓靠肩部62。應(yīng)當(dāng)注意，端部徑向凸出部分78徑向伸入環(huán)形密封墊64的內(nèi)部環(huán)形肩部80內(nèi)，端部徑向凸出部分的功能之一是在組裝過(guò)程中保持環(huán)形密封墊64環(huán)繞自由端60。設(shè)置徑向凸出部分78的尖的上棱邊以便抓緊會(huì)朝向底部軸向移動(dòng)的密封墊64并更好地保持它。
然后將定位環(huán)安置在封閉件的本體33上并焊接上去。為此，軸向向上推動(dòng)環(huán)(如圖4所示)4吏其地4氐靠本體33并因此4吏得凸緣76伸入環(huán)形密封墊64的肩部74內(nèi)。當(dāng)將環(huán)推在適當(dāng)?shù)奈恢脮r(shí)，由該凸緣引起的變形/壓力將會(huì)在環(huán)形凹槽內(nèi)產(chǎn)生密封墊64的過(guò)壓縮，并促使密封墊完全占據(jù)凹槽的內(nèi)部空間，因此消除了死空間。
環(huán)形凸纟彖76的另 一個(gè)作用是與環(huán)形密封墊64 —起局部地產(chǎn)生了強(qiáng)壓縮區(qū)域，這形成了密封屏障。
定位環(huán)70的焊縫通過(guò)焊4妄定位環(huán)70的整個(gè)圓周來(lái)實(shí)現(xiàn)，以使_保證將定位環(huán)牢固且密封地固定在封閉件32的本體33上。因此該焊縫以密封的方式封閉住環(huán)形密封墊64后面的區(qū)域，通過(guò)旋擰環(huán)或者鑲嵌環(huán)不可能獲得這種效果。
基于精度和熱控制的原因，優(yōu)選采用激光裝置實(shí)施焊接。為避免環(huán)形密封墊被焊接過(guò)程中的熱量損壞，相對(duì)于肩部62軸向靠后進(jìn)行焊4妻。如乂人附圖中看出的，在圍繞肩部62的本體33的外圍環(huán)形肩部82處進(jìn)4亍外部圓周焊<接，^旦該焊沖妄相對(duì)于所述肩部62軸向靠后。
最后， 一旦環(huán)70安裝在適當(dāng)?shù)奈恢锰?，徑向凸出部?8的尖上棱邊也產(chǎn)生類似于在凸緣76處獲得的密封屏障效果。由于定位環(huán)70 ^皮密封焊接并且兩個(gè)密封屏障防止氣體流向密封墊64的后部，該設(shè)計(jì)保證了封閉件32的極好的密封。而且，該結(jié)構(gòu)避免了在環(huán)形密封墊64后面形成傾向于將所述環(huán)形密封墊乂人環(huán)形凹槽中擠壓出的氣體壓力。
再次參照?qǐng)D3，可以看出徑向凸出部分78的下部邊緣優(yōu)選設(shè)計(jì)成圓錐形的環(huán)形密封表面86,以便通過(guò)軸向移動(dòng)封閉件從第一密封位置進(jìn)入第二密封位置，從而當(dāng)該表面位于圍繞管道16的第二密封座88 (圖3)上時(shí)形成第二密封(金屬/金屬)，在第一密封位置中在密封墊64和密封座30之間形成密封。如可以看出的，第二密封座88被第一密封座30環(huán)繞并包括圓形邊棱形狀的密封表面。
為使封閉件從第 一 密封位置進(jìn)入第二密封位置，可以預(yù)留小于0.3mm的4由向4立牙多， <尤選約O.lmm。
經(jīng)證明該第二密封的特別有利之處在于即使在損壞的情況下或者當(dāng)密封墊消失(例如火燒之后)時(shí)，其仍保證了閥的密封封閉。
環(huán)形密封墊由聚合材料制成，優(yōu)選由具有低氣體滲透性和高壓下的低擠壓性的熱塑性聚合物制成。尤其，環(huán)形密封墊可以由PCTFE、 Vespel ( Dupont )、 RULON ( Saint-Gobain )、 PVDF制成。
權(quán)利要求
1.一種尤其用于加壓或液化氣體的瓶子的閥，包括閥體(12)，包括氣流通道(16)；第一密封座(30)，設(shè)置在所述氣流通道(16)內(nèi)；封閉件(32)，具有設(shè)置有肩部(62)的自由端(60)；環(huán)形密封墊(64)，裝配在所述封閉件(32)的所述自由端(60)上，所述環(huán)形密封墊(64)具有面對(duì)所述第一密封座(30)的前端面(66)和靠在所述封閉件(32)的所述肩部(62)上的后端面(68)；定位環(huán)(70)，周向環(huán)繞所述環(huán)形密封墊(64)并且包括抵壓在所述環(huán)形密封墊(64)的所述前端面(66)的外緣上的徑向凸邊(72)；所述封閉件(32)能夠朝向所述第一密封座(30)軸向移至第一密封位置，在所述第一密封位置處，所述環(huán)形密封墊(64)壓靠所述第一密封座(30)以保證所述閥的主要密封性；其特征在于所述環(huán)形密封墊(64)的前端面的邊緣上包括外部環(huán)形肩部(74)；所述定位環(huán)(70)的所述徑向凸邊(72)具有面對(duì)所述環(huán)形密封墊(64)的所述外部環(huán)形肩部(74)的環(huán)形凸緣(76)；并且所述定位環(huán)(70)通過(guò)外部周向密封焊縫(77)固定在所述封閉件(32)上，從而使所述環(huán)形凸緣(76)軸向伸入所述環(huán)形密封墊(64)的所述外部環(huán)形肩部(74)中以壓緊所述外部環(huán)形肩部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥，其特征在于，所述封閉件(32)的 所述自由端(60)包括徑向伸入所述環(huán)形密封墊(64)的內(nèi)部 環(huán)形肩部(80 )中的端部徑向凸出部分(78 );所述封閉件(32 ) 的所述自由端(6 0 )呈圓錐臺(tái)形，所述圓錐臺(tái)形從所述肩部(6 2 ) 朝向所述徑向凸出部分(78)的方向逐漸變窄。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的閥，其特征在于，所述定位環(huán)(70 ) 與所述封閉件(32 )之間的所述周向外部密封焊縫(77 )相對(duì) 于所述封閉件的所述肩部(62)軸向靠后設(shè)置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的閥，其特征在于，所述封閉件(32)包 括環(huán)繞所述肩部(62 ) ^f旦相對(duì)所述肩部軸向靠后i殳置的外圍環(huán) 形肩部(82 );并且所述定位環(huán)(70 )在所述外圍環(huán)形肩部(82 ) 處焊接在所述封閉件(32)上。
5. 根據(jù)上述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的閥，其特征在于，使用激 光裝置實(shí)現(xiàn)所述周向外部密封焊縫(77)。
6. 根據(jù)上述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的閥，其特征在于，所述閥 體(12)包括環(huán)繞所述通道(16)的第二密封座(88)，所述 封閉件(32 )能夠從所述第一密封位置軸向移動(dòng)到第二密封位 置處，在所述第二密封位置處，所述自由端(60)抵靠所述第 二密封座(88)上以與所述第二密封座形成金屬密封。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的閥，其特征在于，所述第一密封座(30 ) 環(huán)繞所述第二密封座(88)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的閥，其特征在于，所述自由端(60) 的位于所述第二密封座(88)上的部分(86)的橫截面大于所 述第二密封座處的所述氣流通道的橫截面。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6、 7或8所述的閥，其特征在于，用于將所述 封閉件(32 )從所述第一密封位置移至所述第二密封位置所需 要的軸向位移小于0.3mm，優(yōu)選約為O.lmm。
10. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的閥，其特征在于， 一控制件(14)安裝在所述閥體(12)上，并且所述控制件包括用于向 所述封閉件(32 )傳遞至少一種軸向驅(qū)動(dòng)力的軸向控制桿(34 )。
11. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的閥，其特征在于，所述封閉 件(32)包括用于操縱所述封閉件的軸向桿部(36)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10和11所述的閥，其特征在于，所述控制桿(34 ) 與所述封閉件(32)的所述軸向桿部(36)之間可分離地剛性 接合。
13. —種才艮據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的閥的用途，如用作儲(chǔ)氣 弁瓦的閥，或者用作氣體分配管道內(nèi)的通道閥門，尤其用于超高 純度氣體的應(yīng)用。
全文摘要
一種用于加壓或液化氣體的閥，該閥包括具有氣流通道(16)的閥體(12)，以及位于該通道中的密封座(30)，該通道與封閉件(32)配合，該封閉件(32)具有設(shè)置有肩部(62)的自由端(60)。該封閉件(32)的自由端(60)上裝配有環(huán)形密封墊(64)，該環(huán)形密封墊(64)具有面對(duì)密封座(30)的前端面(66)和靠在封閉件的肩部(62)上的后端面(68)。定位環(huán)(70)周向環(huán)繞環(huán)形密封墊(64)并且包括抵壓在所述環(huán)形密封墊(64)的前端面(66)的外緣上的徑向凸邊(72)。環(huán)形密封墊(64)的前端面的邊緣上包括外部環(huán)形肩部(74)，而且定位環(huán)(70)的徑向凸邊(72)具有面對(duì)環(huán)形密封墊(64)的外部環(huán)形肩部(74)的環(huán)形凸緣(76)。定位環(huán)(70)通過(guò)密封外部周向焊縫(77)固定在封閉件(32)上，從而使環(huán)形凸緣(76)軸向伸入環(huán)形密封墊(64)的外部環(huán)形肩部(74)中以壓緊該外部環(huán)形肩部(74)。
文檔編號(hào)F16K1/02GK101517287SQ200780036070
公開日2009年8月26日 申請(qǐng)日期2007年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月28日
發(fā)明者保羅·克雷默, 保羅·穆佐, 沃爾特·格日姆拉斯 申請(qǐng)人:盧森堡專利公司