本實用新型涉及水洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種水洗裝置。

背景技術(shù)：

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中重要的等離子體蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應(yīng)用。

但是，在制備四氟化碳?xì)怏w的過程中，會產(chǎn)生影響四氟化碳?xì)怏w純度的物質(zhì)，如氟化氫氣體，碳粉等，嚴(yán)重影響四氟化碳?xì)怏w的純度，所以，迫切需要一種可靠的水洗設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提出一種水洗裝置，能夠除去溶于水的酸性氣體，并將酸性氣體的水溶液有效的儲存和利用，提高成品氣體的純度。

為達(dá)此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種水洗裝置，包括中空的塔體、噴淋裝置、水封和儲液罐；

所述噴淋裝置設(shè)于所述塔體頂部的內(nèi)壁；

所述水封位于所述塔體底部的下端，并連通于所述塔體和儲液罐；

所述塔體設(shè)有進氣管和排氣管；

所述進氣管連通于所述塔體的底部，所述排氣管連通于所述塔體上部的側(cè)壁。

進一步，所述塔體至少包括兩個塔節(jié)；

相鄰的所述塔節(jié)通過法蘭連接。

進一步，相鄰的塔節(jié)之間設(shè)置有篩板，并通過相鄰的所述塔節(jié)之間的所述法蘭固定。

進一步，所述噴淋裝置為花灑式噴淋裝置。

進一步，沿所述塔體的外周設(shè)置有多個掛耳。

進一步，所述儲液罐的側(cè)壁至少設(shè)有一條出料管。

進一步，位于所述儲液罐側(cè)壁的下部至少設(shè)有一條排污管；

所述出料管的水平位置高于所述排污管的水平位置。

進一步，所述水封包括正向U型水封和反向U型水封；

所述正向U型水封的一端與所述反向U型水封的一端連接，所述正向U型水封的另一端與所述塔體的底部連接，所述反向U型水封的另一端與所述儲液罐連接。

進一步，所述反向U型水封的頂部設(shè)有連通于外部的通管。

進一步，所述塔體上部的內(nèi)壁安裝有喇叭狀的配液盤；

所述配液盤由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內(nèi)收窄；

所述配液盤位于所述噴淋裝置的下方且其上端開口靠近于所述噴淋裝置。

本實用新型的目的在于提出一種水洗裝置，能夠除去溶于水的酸性氣體，并將酸性氣體的水溶液有效的儲存和利用，提高成品氣體的純度。

將混有氟化氫氣體和四氟化碳?xì)怏w的混合氣體從所述進氣口通入至所述塔體，由于氟化氫氣體易溶于水，四氟化碳?xì)怏w不易溶于水，所述噴淋裝置噴出的水會把氟化氫氣體變成氟化氫的水溶液，并且氟化氫的水溶液會通過水封流入至所述儲液罐，把其作為副產(chǎn)品保存起來，在在所述水封的作用下，四氟化碳?xì)怏w并不能進入所述儲液罐，提高氟化氫的水溶液的純度。

由于所述進氣管連通于所述塔體的底部，所述排氣管連通于所述塔體上部的側(cè)壁，所述噴淋裝置設(shè)于所述塔體頂部的內(nèi)壁，通過這樣的配合，能夠增加混合氣體流動的路程，使得所述噴淋裝置噴出的水有更加多的時間與混合氣體接觸，進一步提高水洗的效率，進一步提高四氟化碳?xì)怏w的純度，提高氟化氫的水溶液的產(chǎn)率。

附圖說明

圖1是本實用新型其中一個實施例的正面結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：塔體 41、進氣管 411、排氣管 412、塔節(jié) 413、法蘭 414、掛耳 415、配液盤 416、噴淋裝置 42、水封 43、正向U型水封 431、反向U型水封 432、通管 4321、儲液罐 44、出料管 441、排污管 442、篩板 45。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術(shù)方案。

一種水洗裝置，包括中空的塔體41、噴淋裝置42、水封43和儲液罐44；

所述噴淋裝置42設(shè)于所述塔體41頂部的內(nèi)壁；

所述水封43位于所述塔體41底部的下端，并連通于所述塔體41和儲液罐44；

所述塔體41設(shè)有進氣管411和排氣管412；

所述進氣管411連通于所述塔體41的底部，所述排氣管412連通于所述塔體41上部的側(cè)壁。

為了更加清楚地說明，圖1中的所述塔體41的中部與上部、還有儲液罐44為內(nèi)部示意圖，以更加清晰地看到所述噴淋裝置42、配液盤416、出料管441和排污管442的結(jié)構(gòu)和位置。

將混有氟化氫氣體和四氟化碳?xì)怏w的混合氣體從所述進氣口411通入至所述塔體41，由于氟化氫氣體易溶于水，四氟化碳?xì)怏w不易溶于水，所述噴淋裝置42噴出的水會把氟化氫氣體變成氟化氫的水溶液，并且氟化氫的水溶液會通過水封43流入至所述儲液罐44，把其作為副產(chǎn)品保存起來，在在所述水封43的作用下，四氟化碳?xì)怏w并不能進入所述儲液罐44，提高氟化氫的水溶液的純度。

由于所述進氣管411連通于所述塔體41的底部，所述排氣管412連通于所述塔體41上部的側(cè)壁，所述噴淋裝置42設(shè)于所述塔體41頂部的內(nèi)壁，通過這樣的配合，能夠增加混合氣體流動的路程，使得所述噴淋裝置42噴出的水有更加多的時間與混合氣體接觸，進一步提高水洗的效率，進一步提高四氟化碳?xì)怏w的純度，提高氟化氫的水溶液的產(chǎn)率。

進一步，所述塔體41至少包括兩個塔節(jié)413，本實施例的所述塔節(jié)413為管狀的，所述塔節(jié)413內(nèi)裝填有PP填料；

相鄰的所述塔節(jié)413通過法蘭414連接。

可以根據(jù)實際的情況，增加所述塔節(jié)413的數(shù)量，以增加所述塔體41的長度，同時，通過所述法蘭414連接，方便后續(xù)所述塔節(jié)413的拆裝和維修。

進一步，相鄰的塔節(jié)413之間設(shè)置有篩板45，并通過相鄰的所述塔節(jié)413之間的所述法蘭414固定。

混有氟化氫氣體和四氟化碳?xì)怏w的混合氣體中會混有粉塵，主要是制備四氟化碳?xì)怏w時不充分反應(yīng)留下的碳粉，所述篩板45能夠把粉塵過濾，增加四氟化碳?xì)怏w的純度，所述篩板45通過相鄰的所述塔節(jié)413之間的所述法蘭414固定，更加方便其安裝和拆卸。

進一步，所述噴淋裝置42為花灑式噴淋裝置。

花灑式噴淋裝置能夠把水更加充分地噴淋，使水的噴淋面積更大，令水與混合氣體的更加充分地接觸，提高水洗的質(zhì)量。

進一步，沿所述塔體41的外周設(shè)置有多個掛耳415。

所述塔體41安裝時，通過鋼索系住所述掛耳415，進一步提高所述塔體41的安裝的穩(wěn)定性。

進一步，所述儲液罐44的側(cè)壁至少設(shè)有一條出料管441。

方便水洗后的副產(chǎn)品氟化氫的水溶液的出料，本實施例設(shè)有1條出料管441，在滿足出料的前提下能夠降低成本。

進一步，位于所述儲液罐44側(cè)壁的下部至少設(shè)有一條排污管442；

所述出料管441的水平位置高于所述排污管442的水平位置。

混合氣體中的粉塵經(jīng)水洗后會成為固態(tài)渣，并且會一同進入至所述儲液罐44，由于重力作用，這些固態(tài)渣會沉積在所述儲液罐44的底部，本實施例的所述儲液罐44的內(nèi)部設(shè)置有隔板，有效將固態(tài)渣沉降下來而不參與循環(huán)，且設(shè)置有兩條所述排污管442，均設(shè)在所述儲液罐44側(cè)壁的下部，能夠加快固態(tài)渣的清理速度。

因為所述儲液罐44底部沉積有固態(tài)渣，所述出料管441的水平位置高于所述排污管442的水平位置，從所述出料管441排出的氟化氫的水溶液的純度會更加高。

進一步，所述水封43包括正向U型水封431和反向U型水封432；

所述正向U型水封431的一端與所述反向U型水封432的一端連接，所述正向U型水封431的另一端與所述塔體41的底部連接，所述反向U型水封432的另一端與所述儲液罐44連接。

所述正向U型水封431和反向U型水封432價格便宜，成本低，通過所述正向U型水封431和反向U型水封432的配合，能夠有效地阻止四氟化碳?xì)怏w進入到所述儲液罐。

進一步，所述反向U型水封432的頂部設(shè)有連通于外部的通管4321。

所述通管4321連通至外部，使所述儲液罐44的氣壓與外部氣壓一致，防止虹吸現(xiàn)象。

進一步，所述塔體41上部的內(nèi)壁安裝有喇叭狀的配液盤416；

所述配液盤416由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內(nèi)收窄；

所述配液盤416位于所述噴淋裝置42的下方且其上端開口靠近于所述噴淋裝置42。

喇叭狀的所述配液盤416能夠避免所述水洗裝置42噴出來的水沿所述塔體41的內(nèi)壁流動，所述水洗裝置42噴出來的水從配液盤416上端的開口流向其下端的開口，再流向所述塔體1的底部，提高水洗的效率。

以上結(jié)合具體實施例描述了本實用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對本實用新型保護范圍的限制?；诖颂幍慕忉?，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動即可聯(lián)想到本實用新型的其它具體實施方式，這些方式都將落入本實用新型的保護范圍之內(nèi)。