專利名稱：高真空機(jī)組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種是以油擴(kuò)散泵為主泵的、使被抽空器件獲得高真空的設(shè)備，與有關(guān)附件構(gòu)成可進(jìn)行真空蒸鍍和濺射、真空熱處理、真空燒結(jié)和擴(kuò)散，還可用在實(shí)驗(yàn)室及其它工業(yè)生產(chǎn)中。
二背景技術(shù)：
一般的真空機(jī)組在運(yùn)行中，一旦被抽真空器件漏氣(如太陽(yáng)能集熱管)，就造成油擴(kuò)散泵內(nèi)的油被氧化，機(jī)組不能工作，必須拆卸、進(jìn)行清洗、更換擴(kuò)散泵的工作介質(zhì)(擴(kuò)散泵油已被氧化，不能使用)重新組裝，進(jìn)行預(yù)抽空，調(diào)試達(dá)到正常工作后，才能再投入生產(chǎn)。這樣既延誤了生產(chǎn)又浪費(fèi)了人力、物資，使用者深感不便。
三
發(fā)明內(nèi)容
1、發(fā)明目的本實(shí)用新型提供一種高真空機(jī)組，其目的在于解決被抽真空器件漏氣時(shí)機(jī)組不能工作，必須拆卸、進(jìn)行清洗、更換擴(kuò)散泵的工作介質(zhì)等方面存在的問(wèn)題。
2、技術(shù)方案一種高真空機(jī)組，它包括有機(jī)械泵，與其通過(guò)管路相連的電磁閥、碟閥、預(yù)抽閥和前置閥、放氣閥、真空缸、高真空閥體及水冷擋板和油擴(kuò)散泵，其特征在于在高真空閥體上設(shè)有線圈，在線圈內(nèi)設(shè)有芯桿；手輪上設(shè)有銷孔，芯桿的一端能夠插接在手輪的銷孔內(nèi)；線圈通過(guò)導(dǎo)線與控制箱中的繼電器連接。
預(yù)抽閥和前置閥的拉桿連在一起形成聯(lián)動(dòng)的拉閥。
在高真空閥體與拉閥的管路上設(shè)有電離真空規(guī)，在拉閥與放氣閥的管路上設(shè)有預(yù)抽熱偶真空規(guī)，在拉閥與真空缸的管路上設(shè)有前置熱偶真空規(guī)。
3、優(yōu)點(diǎn)及效果機(jī)組具有真空抽氣，真空測(cè)量和電氣控制功能，可以獨(dú)立地實(shí)施真空抽氣。本機(jī)組在常規(guī)手動(dòng)操作的功能上，增設(shè)了真空度自動(dòng)控制關(guān)閉高真空閥裝置，在系統(tǒng)暴大氣時(shí)可以有效地自動(dòng)保護(hù)油擴(kuò)散泵。電氣控制裝置是將機(jī)組供電操作電路、真空測(cè)量電路、真空控制及顯示電路集一體的特殊電氣控制箱，其結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，操作方便。自動(dòng)控制真空度值可在現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié)、設(shè)定。本機(jī)組可以廣泛地應(yīng)用于移動(dòng)式真空抽氣的大型閉式生產(chǎn)線上。
四

附圖1為本實(shí)用新型的主要結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2為本實(shí)用新型高真空閥體的主要結(jié)構(gòu)示意圖。
五具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型主要是通過(guò)在常規(guī)的手動(dòng)控制的基礎(chǔ)上，增設(shè)了真空度自動(dòng)控制關(guān)閉結(jié)構(gòu)，在系統(tǒng)暴大氣時(shí)可以有效地保護(hù)油擴(kuò)散泵內(nèi)的介質(zhì)擴(kuò)散到各管路中，從而有效地保護(hù)了真空機(jī)組的正常運(yùn)行。
如附圖1所示，該系統(tǒng)主要包括2X-4型機(jī)械泵1、真空缸2、K-150型油擴(kuò)散泵3，水冷擋板4、高真空閥體5、拉閥6、放氣閥8、蝶閥10、電磁閥12、電離真空規(guī)7、預(yù)抽熱偶真空規(guī)9、前置熱偶真空規(guī)11、電氣控制箱13及管路等組成。被抽真空器件連接到電磁閥12處的管路上，通過(guò)放氣閥8排出空氣。
高真空閥體5的結(jié)構(gòu)如圖2所示，由手動(dòng)閥門和一套自動(dòng)保護(hù)裝置組成。在高真空閥體5上設(shè)有線圈15，在線圈15內(nèi)設(shè)有芯桿16；手輪17上設(shè)有銷孔，芯桿16的一端能夠插接在手輪17的銷孔內(nèi)；線圈15通過(guò)導(dǎo)線與控制箱13中的繼電器連接。當(dāng)系統(tǒng)暴大氣時(shí)，手輪17不能及時(shí)將高真空閥體5關(guān)閉。當(dāng)系統(tǒng)壓力高于設(shè)定壓力時(shí)，控制箱13中的繼電器閉合，線圈供電，電磁力拉動(dòng)芯桿16使其退出手輪17的銷孔，手輪17自動(dòng)順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，關(guān)閉高真空閥體5。如果將保護(hù)真空度設(shè)定為系統(tǒng)暴大氣時(shí)的某個(gè)真空度值，就可以有效地自動(dòng)關(guān)閉高真空閥，保護(hù)擴(kuò)散泵中工作介質(zhì)一一擴(kuò)散泵油免于氧化。
拉閥6為預(yù)抽閥和前置閥設(shè)計(jì)為一體的聯(lián)動(dòng)閥門，如附圖1所示。用一手柄操作，使預(yù)抽閥和前置閥的開啟、關(guān)閉狀態(tài)互逆，即預(yù)抽閥開啟時(shí)前置閥關(guān)閉，前置閥開啟時(shí)預(yù)抽閥關(guān)閉。因此，該閥結(jié)構(gòu)緊湊，性能可靠，決不可能發(fā)生二閥門同時(shí)開啟的誤操作。拉閥的手柄翻上位置時(shí)為預(yù)抽狀態(tài)(即預(yù)抽閥開啟、前置閥關(guān)閉)，拉閥的手柄壓下時(shí)為前置狀態(tài)(即前置閥開啟，預(yù)抽閥關(guān)閉)。
電氣控制箱13體積小，結(jié)構(gòu)緊湊。其中安裝了機(jī)組供電操作電路、真空測(cè)量及控制電路、顯示及報(bào)警電路等單元電路。電氣控制箱13前面板有真空度數(shù)字顯示、指示燈及報(bào)警燈、操作按鈕等部分組成。電氣控制箱后面板由各種電纜、電線的插座、真空計(jì)電源開關(guān)和機(jī)組電源開關(guān)組成。開啟真空計(jì)電源開關(guān)后，真空度即有數(shù)字顯示。由于真空計(jì)測(cè)量范圍為1000pa～3×10-4pa，所以，當(dāng)系統(tǒng)壓力大于1000pa時(shí)，真空度顯示為1.0E+3(即1.0×103pa)。按下某個(gè)按鈕開關(guān)，相應(yīng)指示燈亮(綠色)。當(dāng)系統(tǒng)壓力大于真空度自動(dòng)保護(hù)壓力時(shí)，漏氣報(bào)警燈亮(紅色)，指示燈部分中的預(yù)抽燈(滅)是顯示不允許開啟高真空閥體5的。當(dāng)系統(tǒng)壓力小于控制預(yù)抽燈的壓力時(shí)，預(yù)抽燈亮(綠色)，表示預(yù)抽結(jié)束，可以開啟高真空閥體5，用擴(kuò)散泵3對(duì)系統(tǒng)抽氣。本機(jī)組預(yù)抽燈的控制壓力設(shè)定為9pa(該值現(xiàn)場(chǎng)可重新設(shè)定)。斷相燈是顯示擴(kuò)散泵電爐斷電的報(bào)警燈。如果電爐絲燒斷，則該燈亮(紅色)報(bào)警，蜂鳴器鳴叫。
前置熱偶真空規(guī)11在啟動(dòng)或調(diào)試油擴(kuò)散泵3時(shí)使用。預(yù)抽熱偶真空規(guī)9的功能有三指示預(yù)抽真空度、顯示可以開啟高真空閥體5的真空度和真空度自動(dòng)控制與保護(hù)輸出。電離真空規(guī)7測(cè)試系統(tǒng)工作真空度。熱偶真空規(guī)和電離真空規(guī)的示值由一塊數(shù)字顯示屏顯示，并且自動(dòng)轉(zhuǎn)換兩種真空規(guī)的真空度信號(hào)。
權(quán)利要求1.一種高真空機(jī)組，它包括有機(jī)械泵(1)，與其通過(guò)管路相連的電磁閥(12)、碟閥(10)、預(yù)抽閥和前置閥、放氣閥(8)、真空缸(2)、高真空閥體(5)及水冷擋板(4)和油擴(kuò)散泵(3)，其特征在于在高真空閥體(5)上設(shè)有線圈(15)，在線圈(15)內(nèi)設(shè)有芯桿(16)；手輪(17)上設(shè)有銷孔，芯桿(16)的一端能夠插接在手輪(17)的銷孔內(nèi)；線圈(15)通過(guò)導(dǎo)線與控制箱(13)中的繼電器連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空機(jī)組，其特征在于預(yù)抽閥和前置閥的拉桿連在一起形成聯(lián)動(dòng)的拉閥(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空機(jī)組，其特征在于在高真空閥體(5)與拉閥(6)的管路上設(shè)有電離真空規(guī)(7)，在拉閥(6)與放氣閥(8)的管路上設(shè)有預(yù)抽熱偶真空規(guī)(9)，在拉閥(6)與真空缸(2)的管路上設(shè)有前置熱偶真空規(guī)(11)。
專利摘要本實(shí)用新型為高真空機(jī)組，涉及一種以油擴(kuò)散泵為主泵的、使被抽空器件獲得高真空的設(shè)備，與有關(guān)附件構(gòu)成可進(jìn)行真空蒸鍍和濺射、真空熱處理、真空燒結(jié)和擴(kuò)散，還可應(yīng)用在實(shí)驗(yàn)室及其它工業(yè)生產(chǎn)中。其特征是在高真空閥體上設(shè)有線圈，線圈內(nèi)設(shè)有芯桿；手輪上設(shè)有銷孔，芯桿的一端插接在手輪的銷孔內(nèi)；線圈通過(guò)導(dǎo)線與控制箱中的繼電器連接。預(yù)抽閥和前置閥的拉桿連在一起形成聯(lián)動(dòng)的拉閥。在高真空閥體與拉閥的管路上設(shè)有電離真空規(guī)，在拉閥與放氣閥的管路上設(shè)有預(yù)抽熱偶真空規(guī)，在拉閥與真空缸的管路上設(shè)有前置熱偶真空規(guī)。本實(shí)用新型的目的在于解決被抽真空器件漏氣時(shí)機(jī)組不能工作，必須拆卸、進(jìn)行清洗、更換擴(kuò)散泵的工作介質(zhì)等方面存在的問(wèn)題。
文檔編號(hào)F04C25/02GK2725567SQ20042007056
公開日2005年9月14日 申請(qǐng)日期2004年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月7日
發(fā)明者劉賀濤, 王光毅, 劉同枝 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)三之環(huán)真空設(shè)備有限公司