專利名稱：一種行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微波真空電子器件領(lǐng)域，具體涉及一種行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝。
背景技術(shù)：
行波管作為一種微波功率放大器，廣泛應(yīng)用于雷達(dá)、通訊、電子對(duì)抗等國防和國民經(jīng)濟(jì)領(lǐng)域。電子槍作為產(chǎn)生電子注的組件，為行波管的慢波系統(tǒng)提供一定電流、一定形狀和一定射程的電子注，可滿足高頻場的需求，是行波管的“心臟”。電子槍一般包括發(fā)射電子的陰極組件、加速電子的陽極組件和維持電子注一定形狀的聚焦電極組件，這些組件之間能夠承受一定得電壓要求，使得各電極在工作時(shí)具有一定的高壓分布，同時(shí)電子槍內(nèi)部在電子注運(yùn)行的區(qū)域需要保持一定得真空度，使得電子在真空內(nèi)部運(yùn)動(dòng)。其中的陰極組件為已固定單元，陰極組件內(nèi)包括滿足電子槍參數(shù)的陰極、聚焦極和陽極等。陰極組件一般要求使用在真空環(huán)境內(nèi)，需要整體固定在保證真空性能的外殼上； 目前，陰極組件一般與外殼間采用焊接方式固定，焊接方式有接觸點(diǎn)焊、激光焊接及多種焊接方式相結(jié)合等等；這些固定方式具有不可拆卸的特點(diǎn)，在陰極組件損壞時(shí)，需將陰極組件與外殼之間的焊接破壞才能維修；在陰極組件與外殼之間的焊接破壞以后再次焊接時(shí)，陰極組件與殼體之間的真空很難保證。作為一種改進(jìn)，行波管電子槍系統(tǒng)中，采取一種定位彈片將陰極組件裝配固定在外殼上；這樣陰極組件損壞，需要對(duì)電子槍進(jìn)行維修時(shí)，只需取出定位彈片，即對(duì)陰極組件進(jìn)行維修或是更換，然后將修好的陰極組件再次通過定位彈片固定在外殼上即可。這種通過定位彈片將陰極組件裝配固定在外殼上的方式，不僅方便陰極組件的維修，且在二次裝配時(shí)能夠保證裝配精度，進(jìn)而能夠保證陰極組件的真空性能；該種定位彈片需具備高彈性才能達(dá)到工作要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種彈性好、便于陰極組件維修、能夠保證陰極組件與殼體間二次裝配精度、實(shí)現(xiàn)陰極組件與外殼固定的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，所述定位彈片用于行波管電子槍系統(tǒng)中陰極組件與殼體間的裝配定位，包括以下工序；(1)機(jī)械加工工序選取坯料，鉗工根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙切割出定位彈片；鉗工去除定位彈片上的毛刺，定位彈片機(jī)械加工制作完成；(2)熱處理工序?qū)C(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理，具體是先把馬弗爐升到600士 15°C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至950士 15°C，保溫Hmin后，迅速取出定位彈片，浸水冷卻至常溫；
(3)打磨工序采用砂紙對(duì)定位彈片表面進(jìn)行打磨處理，打磨除去定位彈片表面的黑色；(4)電解拋光工序?qū)⒔?jīng)打磨處理后的定位彈片進(jìn)行電解拋光，將定位彈片放入電解槽中，根據(jù)定位彈片表面積計(jì)算好電流后，向電解槽內(nèi)通入電流，保持1 2min，進(jìn)行電解拋光處理；(5)硬化定型工序?qū)⒍ㄎ粡椘b上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，真空爐內(nèi)溫度升至 650士 15°C時(shí)，保溫4-6小時(shí)進(jìn)行定型，定型結(jié)束后，具有高彈性的定位彈片即制作完成。所述熱處理工序O)，將機(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理， 先把馬弗爐升到600-615°C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至950-965°C，保溫 1-1. 5min后，迅速取出定位彈片，浸水冷卻至常溫。所述熱處理工序O)，將機(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理， 先把馬弗爐升到585-600°C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至935-950°C，保溫 1.5-aiiin后，迅速取出定位彈片，浸水冷卻至常溫。所述電解拋光工序G)，通入電解槽內(nèi)的電流=電流密度(35 50) A/dm2X S 表，S表為定位彈片的表面積；電解所使用的電解液配制過程如下首先向電電解槽中注入500士 IOml的自來水，將310士 IOml的磷酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，再量?1 士5ml的硫酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，最后再向電拋光槽中加?2. 5士0. 2g的六次甲基四胺，并用玻璃棒仔細(xì)攪拌使溶液混合均勻；電解拋光工序中，將不銹鋼作為陽極。所述硬化定型工序(5)，將定位彈片裝上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，真空爐內(nèi)溫度升至650-665°C時(shí)，保溫4-5小時(shí)進(jìn)行定型。 所述硬化定型工序(5)，將定位彈片裝上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，真空爐內(nèi)溫度升至635-650°C時(shí)，保溫5-6小時(shí)進(jìn)行定型。所述打磨工序(3)中，采用的砂紙規(guī)格為800目以下。所述機(jī)械加工工序(1)，選取的坯料為3J1板材。所述硬化定型工序(5)中，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫不低于30°C /分鐘。所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝采用的技術(shù)方案，具有以下優(yōu)點(diǎn)首先，定位彈片坯料選取彈性合金3J1板材，在機(jī)械加工工序中不需任何處理直接加工，降低了加工難度，提高了加工效率；其次，經(jīng)過簡單的淬火熱處理工藝，即能使定位彈片達(dá)到軟化效果；軟化后的定位彈片在真空爐內(nèi)硬化定型，升溫不低于30°C /分鐘，升溫至650士 15°C，保溫不低于4小時(shí)， 隨爐冷卻后的定位彈片即具備高彈性，能夠滿足陰極組件與殼體的定位需求；最后，定位彈片在硬化定型之前，增加了電解拋光工序；定位彈片的表面光潔度大大提高，用高彈性及高光潔度的彈片制作的電子槍系統(tǒng)，性能更穩(wěn)定，可應(yīng)用于毫米波行波管中；綜合之，本發(fā)明制作的定位彈片，具有高彈性及高光潔度，所以運(yùn)用這種定位彈片制作的電子槍系統(tǒng)性能及參數(shù)更穩(wěn)定；而且當(dāng)需要對(duì)電子槍進(jìn)行維修時(shí)，取出定位彈片，就可以進(jìn)行更換陰極組件來實(shí)現(xiàn)行波管的維修；陰極組件維修好以后，再次通過定位彈片實(shí)現(xiàn)陰極組件及殼體的裝配即可，定位彈片能夠保證陰極組件與殼體間的二次裝配精度，進(jìn)而保證陰極組件的真空性能。


下面對(duì)本發(fā)明說明書各幅附圖表達(dá)的內(nèi)容及圖中的標(biāo)記作簡要說明圖1為本發(fā)明中行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的A方向的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝中定位彈片硬化定型時(shí)的裝夾示意圖；1、定位彈片，2、定位彈片硬化定型夾具，3、定位彈片安裝位置。
具體實(shí)施例方式下面對(duì)照附圖，通過對(duì)最優(yōu)實(shí)施例的描述，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。如圖1及圖2為所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝制備的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的結(jié)構(gòu)示意圖。實(shí)施例一所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，所述定位彈片用于行波管電子槍系統(tǒng)中陰極組件與殼體間的裝配，包括以下工序；(1)機(jī)械加工工序選取坯料，鉗工根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙切割出定位彈片；具體為準(zhǔn)備1.5mm厚的 3J1 (Ni36CrTiAl)板材；鉗工按設(shè)計(jì)圖紙下料65mm*65mm，并將坯料固定好；根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙
尺寸，采用穿孔機(jī)在坯料中心位置及環(huán)直徑的外圍位置各加工一個(gè)0lmm的穿絲孔，然
后根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙上要求切割出滿足尺寸要求的定位彈片；鉗工去除定位彈片上的毛刺，定位彈片機(jī)械加工制作完成，但此時(shí)定位彈簧還不具備高彈性；(2)熱處理工序?qū)C(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理，具體是先把馬弗爐升到615°C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至915°C，保溫Imin后，迅速取出，浸水冷卻至常溫；(3)打磨工序經(jīng)淬火處理后的定位彈片表面發(fā)黑，采用800目的砂紙對(duì)定位彈片表面進(jìn)行打磨處理，打磨除去定位彈片表面的黑色即可；(4)電解拋光工序?qū)⒔?jīng)打磨處理后的定位彈片進(jìn)行電解拋光，其中電解液的配置方法如下向電拋光槽中注入500ml的自來水，將310ml的磷酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，再量?1ml的硫酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，最后再向電拋光槽中加?. 5g的六次甲基四胺，并用玻璃棒仔細(xì)攪拌使溶液混合均勻；將不銹鋼陽極放入電拋光液中待用， 具體處理方法是將定位彈片放入電解槽中，根據(jù)定位彈片表面積計(jì)算好電流后，電流=電流密度35A/dm2XSe，向電解槽內(nèi)通入電流，保持2min，進(jìn)行電解拋光處理；
(5)硬化定型工序如圖3所示，將定位彈片裝上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，升溫保持 30°C /分鐘，真空爐內(nèi)溫度升至665°C時(shí)，保溫4小時(shí)進(jìn)行定型，定型結(jié)束后，定位彈片的彈性模量可達(dá)20000公斤/毫米2左右，具有高彈性的定位彈片即制作完成。實(shí)施例二所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，所述定位彈片用于行波管電子槍系統(tǒng)中陰極組件與殼體間的裝配，包括以下工序；(1)機(jī)械加工工序選取坯料，鉗工根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙切割出定位彈片；具體為準(zhǔn)備1.5mm厚的 3J1 (Ni36CrTiAl)板材；鉗工按設(shè)計(jì)圖紙下料65mm*65mm，并將坯料固定好；根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙
尺寸，采用穿孔機(jī)在坯料中心位置及環(huán)直徑的外圍位置各加工一個(gè)0lmm的穿絲孔，然
后根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙上要求切割出滿足尺寸要求的定位彈片；鉗工去除定位彈片上的毛刺，定位彈片機(jī)械加工制作完成，但此時(shí)定位彈簧還不具備高彈性；(2)熱處理工序?qū)C(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理，具體是先把馬弗爐升到585°C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至935°C，保溫aiiin后，迅速取出，浸水冷卻至常溫；(3)打磨工序經(jīng)淬火處理后的定位彈片表面發(fā)黑，采用750的砂紙對(duì)定位彈片表面進(jìn)行打磨處理，打磨除去定位彈片表面的黑色即可；(4)電解拋光工序?qū)⒔?jīng)打磨處理后的定位彈片進(jìn)行電解拋光，其中電解液的配置方法如下向電拋光槽中注入510ml的自來水，將310ml的磷酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，再量?6ml的硫酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，最后再向電拋光槽中加?. 7g的六次甲基四胺，并用玻璃棒仔細(xì)攪拌使溶液混合均勻；將不銹鋼陽極放入電拋光液中待用， 具體處理方法是將定位彈片放入電解槽中，根據(jù)定位彈片表面積計(jì)算好電流后，電流=電流密度35A/dm2XSe，向電解槽內(nèi)通入電流，保持lmin，進(jìn)行電解拋光處理；(5)硬化定型工序如圖3所示，將定位彈片裝上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，升溫保持 35°C /分鐘，真空爐內(nèi)溫度升至635°C時(shí)，保溫6小時(shí)進(jìn)行定型，定型結(jié)束后，定位彈片的彈性模量可達(dá)20000公斤/毫米2左右，具有高彈性的定位彈片即制作完成。實(shí)施例三所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，所述定位彈片用于行波管電子槍系統(tǒng)中陰極組件與殼體間的裝配，包括以下工序；(1)機(jī)械加工工序選取坯料，鉗工根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙切割出定位彈片；具體為準(zhǔn)備1.5mm厚的 3J1 (Ni36CrTiAl)板材；鉗工按設(shè)計(jì)圖紙下料65mm*65mm，并將坯料固定好；根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙尺寸，采用穿孔機(jī)在坯料中心位置及環(huán)直徑的外圍位置各加工一個(gè)0lmm的穿絲孔，然后根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙上要求切割出滿足尺寸要求的定位彈片；鉗工去除定位彈片上的毛刺，定位彈片機(jī)械加工制作完成，但此時(shí)定位彈簧還不具備高彈性；(2)熱處理工序?qū)C(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理，具體是先把馬弗爐升到600°C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至950°C，保溫1. 5min后，迅速取出，浸水冷卻至常溫；(3)打磨工序經(jīng)淬火處理后的定位彈片表面發(fā)黑，采用700目的砂紙對(duì)定位彈片表面進(jìn)行打磨處理，打磨除去定位彈片表面的黑色即可；(4)電解拋光工序?qū)⒔?jīng)打磨處理后的定位彈片進(jìn)行電解拋光，其中電解液的配置方法如下向電拋光槽中注入490ml的自來水，將300ml的磷酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，再量?6ml的硫酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢瑁詈笤傧螂姃伖獠壑屑尤?. 3g的六次甲基四胺，并用玻璃棒仔細(xì)攪拌使溶液混合均勻；將不銹鋼陽極放入電拋光液中待用， 具體處理方法是將定位彈片放入電解槽中，根據(jù)定位彈片表面積計(jì)算好電流后，電流=電流密度50A/dm2XSe，向電解槽內(nèi)通入電流，保持2min，進(jìn)行電解拋光處理；(5)硬化定型工序?qū)⒍ㄎ粡椘b上夾具(如圖3所示)后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，升溫保持40°C /分鐘，真空爐內(nèi)溫度升至650°C時(shí)，保溫5小時(shí)進(jìn)行定型，定型結(jié)束后，定位彈片的彈性模量可達(dá)20000公斤/毫米2左右，具有高彈性的定位彈片即制作完成。所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝定位彈片坯料選取彈性合金3J1板材，在機(jī)械加工工序中不需任何處理直接加工，降低了加工難度，提高了加工效率；經(jīng)過簡單的淬火熱處理工藝，即能使定位彈片達(dá)到軟化效果；軟化后的定位彈片在真空爐內(nèi)硬化定型，升溫不低于30°C /分鐘，升溫至650士 15°C，保溫不低于4小時(shí)，隨爐冷卻后的定位彈片即具備高彈性，能夠滿足陰極組件與殼體的定位需求；定位彈片在硬化定型之前，增加了電解拋光工序，定位彈片的表面光潔度大大提高，用高彈性及高光潔度的彈片制作的電子槍系統(tǒng)性能更穩(wěn)定，可應(yīng)用于毫米波行波管中；當(dāng)需要對(duì)電子槍進(jìn)行維修時(shí)，取出定位彈片，就可以更換陰極組件來實(shí)現(xiàn)行波管的維修；陰極組件維修好以后，再次通過定位彈片實(shí)現(xiàn)陰極組件及殼體的裝配即可，定位彈片能夠保證陰極組件與殼體件二次裝配精度，進(jìn)而保證陰極組件的真空性能，所述行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝制作的定位彈片現(xiàn)已應(yīng)用于毫米波行波管中。上面對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了示例性描述，顯然本發(fā)明具體實(shí)現(xiàn)并不受上述方式的限制， 只要采用了本發(fā)明的方法構(gòu)思和技術(shù)方案進(jìn)行的各種非實(shí)質(zhì)性的改進(jìn)，或未經(jīng)改進(jìn)將本發(fā)明的構(gòu)思和技術(shù)方案直接應(yīng)用于其它場合的，均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，所述定位彈片用于行波管電子槍系統(tǒng)中陰極組件與殼體間的裝配定位，其特征在于包括以下工序；(1)機(jī)械加工工序選取坯料，鉗工根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙切割出定位彈片；鉗工去除定位彈片上的毛刺，定位彈片機(jī)械加工制作完成；(2)熱處理工序?qū)C(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理，具體是先把馬弗爐升到 600士 15°C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至950士 15°C，保溫Hmin后，迅速取出定位彈片，浸水冷卻至常溫；(3)打磨工序采用砂紙對(duì)定位彈片表面進(jìn)行打磨處理，打磨除去定位彈片表面的黑色；(4)電解拋光工序?qū)⒔?jīng)打磨處理后的定位彈片進(jìn)行電解拋光，將定位彈片放入電解槽中，根據(jù)定位彈片表面積計(jì)算好電流后，向電解槽內(nèi)通入電流，保持1 2min，進(jìn)行電解拋光處理；(5)硬化定型工序?qū)⒍ㄎ粡椘b上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，真空爐內(nèi)溫度升至 650士 15°C時(shí)，保溫4-6小時(shí)進(jìn)行定型，定型結(jié)束后，具有高彈性的定位彈片即制作完成。
2.按照權(quán)利要求1所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，其特征在于所述電解拋光工序中，通入電解槽內(nèi)的電流=電流密度(35 50) A/dm2 X S表。
3.按照權(quán)利要求1所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，其特征在于所述電解拋光工序，電解所使用的電解液配制過程如下首先向電解槽中注入500士 IOml自來水，將310 士 IOml的磷酸注入電拋光槽中并用玻璃棒不斷地?cái)嚢瑁倭咳?1 士 5ml的硫酸注入電拋光槽中用玻璃棒不斷地?cái)嚢?，最后再向電拋光槽中加?. 5士0. 2g的六次甲基四胺，并用玻璃棒攪拌使溶液混合均勻；電解拋光工序中，將不銹鋼作為陽極。
4.按照權(quán)利要求1所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，其特征在于所述熱處理工序，將機(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理，先把馬弗爐升到 600-6150C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至950-965°C，保溫1_1. 5min后，迅速取出定位彈片，浸水冷卻至常溫。
5.按照權(quán)利要求1所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，其特征在于所述硬化定型工序，將定位彈片裝上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，真空爐內(nèi)溫度升至650-665 °C時(shí)，保溫4-5小時(shí)進(jìn)行定型。
6.按照權(quán)利要求1所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，其特征在于所述熱處理工序，將機(jī)械加工好的定位彈片放在馬弗爐中進(jìn)行淬火軟化處理，先把馬弗爐升到 585-6000C，再把定位彈片放入，再將馬弗爐內(nèi)溫度升至935-950°C，保溫1. 5-2min后，迅速取出定位彈片，浸水冷卻至常溫。
7.按照權(quán)利要求1所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，其特征在于所述硬化定型工序，將定位彈片裝上夾具后放入真空爐內(nèi)，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫，真空爐內(nèi)溫度升至635-650°C時(shí)，保溫5-6小時(shí)進(jìn)行定型。
8.按照權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，其特征在于所述打磨工序中，采用的砂紙規(guī)格為800目以下。
9.按照權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝， 其特征在于所述機(jī)械加工工序，選取的坯料為3J1板材。
10.按照權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝， 其特征在于所述硬化定型工序中，對(duì)真空爐進(jìn)行升溫不低于30°C /分鐘。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種行波管電子槍系統(tǒng)定位彈片的制作工藝，所述定位彈片用于行波管電子槍系統(tǒng)中陰極組件與殼體間的裝配定位，包括(1)機(jī)械加工工序；(2)熱處理工序；(3)打磨工序；(4)電解拋光工序；(5)硬化定型工序；本發(fā)明經(jīng)過熱處理工序的淬火熱處理，定位彈片達(dá)到軟化效果；軟化后的定位彈片在真空爐內(nèi)硬化定型后即具備高彈性，能夠滿足陰極組件與殼體的定位需求；當(dāng)需要對(duì)電子槍進(jìn)行維修時(shí)，取出定位彈片，就可以更換陰極組件來實(shí)現(xiàn)行波管的維修；陰極組件維修好以后，再次通過定位彈片實(shí)現(xiàn)陰極組件及殼體的裝配即可，定位彈片能夠保證陰極組件與殼體間的二次裝配精度，進(jìn)而保證陰極組件的真空性能。
文檔編號(hào)C25F3/16GK102501032SQ20111039400
公開日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月2日
發(fā)明者吳華夏, 孫梅林, 張文丙, 董晨, 賀兆昌, 鄭軍 申請(qǐng)人:安徽華東光電技術(shù)研究所