一種mems甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種傳感器的催化劑載體的制備裝置，特別是一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]催化燃燒式瓦斯傳感器是當(dāng)前煤礦中使用最廣泛、最普遍的瓦斯檢測(cè)儀器。隨著技術(shù)的發(fā)展和完善，這種類型的傳感器近年來發(fā)展迅速，現(xiàn)已占據(jù)了煤礦瓦斯檢測(cè)儀器的主導(dǎo)地位，對(duì)煤礦安全生產(chǎn)起到了重要的作用?，F(xiàn)有技術(shù)采用的制備MEMS催化燃燒式甲烷傳感器催化劑載體的方法為用液態(tài)或膠態(tài)催化劑載體在每個(gè)加熱器上逐個(gè)進(jìn)行催化劑載體的制備;這種催化劑載體制備方法不具備批量制備的能力，效率低，且制備的催化劑載體涂層不均勻，一致性不好，生產(chǎn)成本高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是要克服現(xiàn)有技術(shù)中的問題，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、效果好的MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，包括磁力攪拌器，磁力攪拌器上設(shè)有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠的容器，容器內(nèi)的設(shè)有磁力攪拌子、高純鋁片和硅圓片，所述的高純鋁片和硅圓片分別經(jīng)導(dǎo)線與直流電壓源相連，高純鋁片連接直流電壓源的正級(jí)，硅圓片連接直流電壓源的負(fù)極。
[0005]所述的硅圓片上布有成排或者成列設(shè)置的多個(gè)劃線槽，多個(gè)劃線槽內(nèi)分別布有經(jīng)總金屬連接端連在一起的金屬線，成排設(shè)置的多個(gè)劃線槽下方均設(shè)有與金屬線相連的多個(gè)金屬極板。
[0006]所述成排或者成列設(shè)置的多個(gè)劃線槽為四個(gè)。
[0007]所述的多個(gè)與金屬線相連的金屬極板成對(duì)排列，成對(duì)的金屬極板均被劃線槽包圍。
[0008]有益效果，由于采用上述方案，本實(shí)用新型能在同一條件下對(duì)整個(gè)硅圓片上所有MEMS甲烷傳感器加熱元件的加熱器制備催化劑載體，在大的設(shè)備中可對(duì)批量硅圓片采用所述方法同時(shí)進(jìn)行催化劑載體的制備，可實(shí)現(xiàn)MEMS甲烷傳感器催化劑載體的制備裝置的批量制備、使生產(chǎn)的MEMS甲烷傳感器具備一致性好的特點(diǎn)；有利于增強(qiáng)加熱器與催化劑載體的制備裝置之間的結(jié)合力。其設(shè)備簡(jiǎn)單，容易操作，可批量制備催化劑載體，制備的催化劑載體涂層均勻、穩(wěn)定、一致性好。
【附圖說明】
:
[0009]圖1為本實(shí)用新型中的硅圓片俯視示意圖。
[0010]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中:01-金屬線，02-劃線槽，03-總金屬連接端，04-金屬極板，05-硅圓片，10-導(dǎo)線一，11-直流電壓源，12-導(dǎo)線二，13-高純鋁片，15-磁力攪拌子，16-磁力攪拌器，17-納米氧化鋁溶膠，18-容器。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖中的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例作進(jìn)一步的描述:
[0013]本實(shí)用新型的MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，包括磁力攪拌器16，磁力攪拌器16上設(shè)有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠17的容器18，容器18內(nèi)的設(shè)有磁力攪拌子15、高純鋁片13和硅圓片05，所述的高純鋁片13和硅圓片05分別經(jīng)導(dǎo)線與直流電壓源11相連，高純鋁片13經(jīng)導(dǎo)線一 10連接直流電壓源11的正級(jí)，硅圓片05經(jīng)導(dǎo)線二 12連接直流電壓源11的負(fù)極。
[0014]所述的硅圓片05上布有成排或者成列設(shè)置的多個(gè)劃線槽02，多個(gè)劃線槽02內(nèi)分別布有經(jīng)總金屬連接端03連在一起的金屬線01。
[0015]所述成排設(shè)置的多個(gè)劃線槽02為四個(gè)，成列設(shè)置的多個(gè)劃線槽02為四個(gè)，所述的多個(gè)與金屬線01相連的金屬極板04成對(duì)排列，成對(duì)的金屬極板04均被劃線槽包圍，硅圓片05上下兩排的金屬極板04分別為兩對(duì)，中部?jī)膳欧謩e為3對(duì)。
[0016]在硅圓片05上制備有眾多MEMS甲烷傳感器加熱元件;所述MEMS甲烷傳感器加熱元件包括兩個(gè)金屬極板及與之相連的加熱器;硅圓片邊緣設(shè)有總金屬連接端，所述總金屬連接端與硅圓片上劃線槽內(nèi)的金屬線相連，MEMS甲烷傳感器加熱元件的金屬極板均與劃線槽內(nèi)的金屬線連接;MEMS甲烷傳感器加熱元件的加熱器材料為金屬或者為硅;所用納米氧化鋁溶膠粒子平均粒徑為10-50nm。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:它包括磁力攪拌器(16)，磁力攪拌器(16)上設(shè)有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠(17)的容器(18)，容器(18)內(nèi)設(shè)有磁力攪拌子(15)、高純鋁片(13)和硅圓片(05)，所述的高純鋁片(13)和硅圓片(05)分別經(jīng)導(dǎo)線與直流電壓源(11)相連，高純鋁片(13)連接直流電壓源(11)的正級(jí)，硅圓片(05)連接直流電壓源(11)的負(fù)極。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:所述的硅圓片(05)上布有成排或者成列設(shè)置的多個(gè)劃線槽(02)，多個(gè)劃線槽(02)內(nèi)分別布有經(jīng)總金屬連接端(03)連在一起的金屬線(01)，成排設(shè)置的多個(gè)劃線槽(02)下方均設(shè)有與金屬線(01)相連的多個(gè)金屬極板(04)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:所述成排或者成列設(shè)置的多個(gè)劃線槽(02)為四個(gè)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:所述的多個(gè)與金屬線(01)相連的金屬極板(04)成對(duì)排列，成對(duì)的金屬極板(04)均被劃線槽(02)包圍。
【專利摘要】一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，包括磁力攪拌器，磁力攪拌器上設(shè)有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠的容器，容器內(nèi)的設(shè)有磁力攪拌子、高純鋁片和硅圓片，高純鋁片和硅圓片分別經(jīng)導(dǎo)線與直流電壓源相連，高純鋁片連接直流電壓源的正級(jí)，硅圓片連接直流電壓源的負(fù)極。硅圓片上制備有眾多的MEMS甲烷傳感器加熱元件，每個(gè)MEMS甲烷傳感器加熱元件包括兩個(gè)金屬極板及與之相連的加熱器；硅圓片邊緣的總金屬連接端通過硅圓片上的金屬線與所有MEMS甲烷傳感器加熱元件的金屬極板相連；其設(shè)備簡(jiǎn)單，容易操作，可批量制備催化劑載體的制備裝置，制備的催化劑載體涂層均勻、穩(wěn)定、一致性好。
【IPC分類】B01J32/00, G01N33/22, B01J21/04
【公開號(hào)】CN205216857
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521064032
【發(fā)明人】秦順利, 馬洪宇, 王麗影, 丁恩杰
【申請(qǐng)人】中國(guó)礦業(yè)大學(xué)
【公開日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2015年12月17日