尾氣處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種氣體提純技術(shù)領(lǐng)域，具體說是一種氣體再生系統(tǒng)的尾氣處理
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]在化學(xué)工業(yè)及電子工業(yè)的很多工藝中大量使用超高純度的氫氣。而工業(yè)制備出的氫氣氣體中通常含有一些反應(yīng)物、反應(yīng)過程中的中間產(chǎn)物以及水等雜質(zhì)因其化學(xué)性質(zhì)而使所述氣體無法適用于高工藝性的要求。因此要對超高純度氣體中的各種雜質(zhì)進行除雜對氫氣氣體純化。
[0003]目前，現(xiàn)有的氫氣氣體純化系統(tǒng)一般是由純化罐里面填滿氫氣純化材料制成，純化罐的進料口和出料口均設(shè)置有過濾器。通過對原料氫氣的初步過濾，將氫氣通入純化罐之中，通過氫氣與吸水材料、洗滌材料制成的氫氣純化材料反應(yīng)，對氫氣進行除雜。純化罐中的氫氣純化材料使用1~3星期之后需要再生，再生反應(yīng)過程中會放熱，純化罐底部會產(chǎn)生一些高溫殘留物以及高溫水或者極高溫度的水蒸氣，極高溫度的水蒸氣遇到外面的室溫之后凝結(jié)成水，同時釋放大量熱，由于設(shè)計成本控制需要，我們一般采用常溫閥，而高溫水混合水蒸氣會損壞常溫閥閥體，不方便操作。
[0004]我們設(shè)計了一種氣體再生系統(tǒng)的尾氣處理裝置，在再生氣體出料管道上設(shè)置有高溫水流出管道，高溫水流出管道通過預(yù)熱板吸熱又通過散熱片散熱，進而使高溫水變成液態(tài)水儲存在較長的管道內(nèi)，再經(jīng)過變徑接頭使高溫液態(tài)水孔徑減小，通過加熱板加熱，使小孔徑中的液態(tài)水變成水蒸氣排出。而預(yù)熱板中的熱量可以對再生支路進氣管道進行加熱，實現(xiàn)純化罐的熱循環(huán)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對上述情況，本實用新型提供一種尾氣處理裝置，在再生氣體出料管道上設(shè)置有高溫水流出管道，高溫水流出管道通過預(yù)熱板吸熱又通過散熱片散熱，進而使高溫水變成液態(tài)水儲存在較長的管道內(nèi)，再經(jīng)過變徑接頭使高溫液態(tài)水孔徑減小，通過加熱板加熱，使小孔徑中的液態(tài)水變成水蒸氣排出。而預(yù)熱板中的熱量可以對再生支路進氣管道進行加熱，實現(xiàn)純化罐的熱循環(huán)。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]尾氣處理裝置，包括純化罐、再生氣體出料管道、再生支路進氣管道，純化罐底部設(shè)有再生氣體出料管道，純化罐上部與再生支路進氣管道連接，其特征在于，還包括高溫水流出管道、預(yù)熱板、散熱片、變徑接頭、小孔徑流出管道、加熱板、排出閥，所述高溫水流出管道一端安裝在再生氣體出料管道上，高溫水流出管道向上延伸達到至純化罐上部位置設(shè)有第一 U型折彎處，第一 U型折彎處前段安裝在預(yù)熱板內(nèi)，第一 U型折彎處后段安裝有散熱片，高溫水流出管道位于散熱片底部的位置設(shè)有第二 U型折彎處，第二 U型折彎處頂部的高溫水流出管道安裝在散熱板上，高溫水流出管道在散熱板頂部設(shè)有第三U型折彎處，第三U型折彎處上設(shè)有變徑接頭，變徑接頭連接高溫水流出管道與小孔徑流出管道，小孔徑流出管道設(shè)有加熱板，小孔徑流出管道出口設(shè)有排出閥。
[0008]所述散熱片為環(huán)形設(shè)置，環(huán)形散熱片由內(nèi)而外成放射形結(jié)構(gòu)。
[0009]所述再生支路進氣管道安裝在預(yù)熱板內(nèi)。再生支路進氣管道內(nèi)的氣體通過預(yù)熱板內(nèi)的熱量進行預(yù)熱，達到一定的熱度后進入純化罐，實現(xiàn)純化再生系統(tǒng)的熱循環(huán)利用。
[0010]本實用新型的優(yōu)點是:在再生氣體出料管道上設(shè)置有高溫水流出管道，高溫水流出管道通過預(yù)熱板吸熱又通過散熱片散熱，進而使高溫水變成液態(tài)水儲存在較長的管道內(nèi)，再經(jīng)過變徑接頭使高溫液態(tài)水孔徑減小，通過加熱板加熱，使小孔徑中的液態(tài)水變成水蒸氣排出。而預(yù)熱板中的熱量可以對再生支路進氣管道進行加熱，實現(xiàn)純化罐的熱循環(huán)。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]在圖中:1_純化罐，2-再生氣體出料管道，3-再生支路進氣管道，4-高溫水流出管道，5-預(yù)熱板，6-散熱片，7-變徑接頭，8-小孔徑流出管道，9-加熱板，10-排出閥，11-第一U型折彎處，12-第二 U型折彎處，13-第三U型折彎處。
【具體實施方式】
[0013]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
[0014]參見圖1，尾氣處理裝置，包括純化罐、再生氣體出料管道、再生支路進氣管道，純化罐底部設(shè)有再生氣體出料管道，純化罐上部與再生支路進氣管道連接，其特征在于，還包括高溫水流出管道、預(yù)熱板、散熱片、變徑接頭、小孔徑流出管道、加熱板、排出閥，所述高溫水流出管道一端安裝在再生氣體出料管道上，高溫水流出管道向上延伸達到至純化罐上部位置設(shè)有第一 U型折彎處，第一 U型折彎處前段安裝在預(yù)熱板內(nèi)，第一 U型折彎處后段安裝有散熱片，高溫水流出管道位于散熱片底部的位置設(shè)有第二 U型折彎處，第二 U型折彎處頂部的高溫水流出管道安裝在散熱板上，高溫水流出管道在散熱板頂部設(shè)有第三U型折彎處，第三U型折彎處上設(shè)有變徑接頭，變徑接頭連接高溫水流出管道與小孔徑流出管道，小孔徑流出管道設(shè)有加熱板，小孔徑流出管道出口設(shè)有排出閥。
[0015]所述散熱片為環(huán)形設(shè)置，環(huán)形散熱片由內(nèi)而外成放射形結(jié)構(gòu)。
[0016]所述再生支路進氣管道安裝在預(yù)熱板內(nèi)。再生支路進氣管道內(nèi)的氣體通過預(yù)熱板內(nèi)的熱量進行預(yù)熱，達到一定的熱度后進入純化罐，實現(xiàn)純化再生系統(tǒng)的熱循環(huán)利用。
[0017]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型的范圍內(nèi)。本實用新型要求的保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
【主權(quán)項】
1.尾氣處理裝置，包括純化罐、再生氣體出料管道、再生支路進氣管道，純化罐底部設(shè)有再生氣體出料管道，純化罐上部與再生支路進氣管道連接，其特征在于，還包括高溫水流出管道、預(yù)熱板、散熱片、變徑接頭、小孔徑流出管道、加熱板、排出閥，所述高溫水流出管道一端安裝在再生氣體出料管道上，高溫水流出管道向上延伸達到至純化罐上部位置設(shè)有第一 U型折彎處，第一 U型折彎處前段安裝在預(yù)熱板內(nèi)，第一 U型折彎處后段安裝有散熱片，高溫水流出管道位于散熱片底部的位置設(shè)有第二 U型折彎處，第二 U型折彎處頂部的高溫水流出管道安裝在散熱板上，高溫水流出管道在散熱板頂部設(shè)有第三U型折彎處，第三U型折彎處上設(shè)有變徑接頭，變徑接頭連接高溫水流出管道與小孔徑流出管道，小孔徑流出管道設(shè)有加熱板，小孔徑流出管道出口設(shè)有排出閥。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述散熱片為環(huán)形設(shè)置，環(huán)形散熱片由內(nèi)而外成放射形結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述再生支路進氣管道安裝在預(yù)熱板內(nèi)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種尾氣處理裝置，包括純化罐、再生氣體出料管道、再生支路進氣管道，純化罐底部設(shè)有再生氣體出料管道，純化罐上部與再生支路進氣管道連接，還包括高溫水流出管道、預(yù)熱板、散熱片、變徑接頭、小孔徑流出管道、加熱板、排出閥，所述高溫水流出管道一端安裝在再生氣體出料管道上，高溫水流出管道安裝了預(yù)熱板、散熱片、加熱板。本實用新型高溫水流出管道通過預(yù)熱板吸熱又通過散熱片散熱，進而使高溫水變成液態(tài)水儲存在較長的管道內(nèi)，再經(jīng)過變徑接頭使高溫液態(tài)水孔徑減小，通過加熱板加熱，使小孔徑中的液態(tài)水變成水蒸氣排出。而預(yù)熱板中的熱量可以對再生支路進氣管道進行加熱，實現(xiàn)純化罐的熱循環(huán)。
【IPC分類】B01D53/26
【公開號】CN204911179
【申請?zhí)枴緾N201520634328
【發(fā)明人】江曉松
【申請人】先普半導(dǎo)體技術(shù)(上海)有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年8月21日